JP2016049672A

JP2016049672A - 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置

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Publication number: JP2016049672A
Application number: JP2014175512A
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Inventors: 陽平中村; Yohei Nakamura; 田村　泰之; Yasuyuki Tamura; 泰之田村
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Priority date: 2014-08-29
Filing date: 2014-08-29
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Abstract

【課題】印刷を継続しながら液体中の気泡を排出し、かつ流路抵抗を低減し吐出性能のばらつきを抑える。
【解決手段】液体吐出ヘッド１００は、液体を貯留する圧力室１０２と圧力室１０２に連通した吐出口１０３とを備える液体吐出部であって、圧力室は圧力室の液体を加圧する加圧手段を備え、加圧された液体が吐出口１０３から吐出する液体吐出部が複数設けられた液体吐出基板１０１と、液体吐出基板１０１の、吐出口の反対側に位置する裏面に接する液体貯留室１２４と、を有している。液体貯留室１２４は、少なくとも一つの共通液体流路１１２と、第１の共通液室１１１とに仕切られている。共通液体流路１１２は複数の圧力室の入口と複数の圧力室の出口のいずれか一方に連通し、第１の共通液室１１１は他方に連通している。
【選択図】図１

Description

本発明は、液体を吐出する液体吐出ヘッドとこれを備えた液体吐出装置に関する。

インクなどの液体を吐出して記録媒体に画像を記録する液体吐出装置には、一般に、液体を吐出する液体吐出ヘッドが搭載されている。液体吐出ヘッドから液体を吐出させる機構として、圧電素子によって容積が収縮可能な圧力室を利用した機構や、液体を熱で発泡させて圧力を発生させる発熱体を有するものが知られている。これらの機構で発生した圧力により、圧力室内の液体が、圧力室の一端に形成された吐出口から吐出する。また、圧力室には微少な負圧が印加されており、この負圧を吐出口の毛管力と釣りあわせることにより、液体の界面を吐出口内に保っている。

液体吐出ヘッドにおいては、圧力室内に気泡が存在することで液滴の吐出性能が著しく低下することが知られている。圧力室内の気泡は、吐出時の圧力変化で起こるキャビテーション、液体の供給流路からもたらされる気泡など、様々な要因で発生する。従来、圧力室内の気泡は一般的に、吸引回復、すなわち印刷を停止し吐出口にキャップをして吐出口に負圧をかけ、液体と共に吸引することで排出されている。しかし、高速、高画質な画像を出力する商業用の液体吐出装置において、印刷を停止する吸引回復は、生産性を低下させ、また多くの液体を廃棄するため、時間とコストの面で不利となる。

特許文献１には、圧力室内に流入チャネルと流出チャネルとを備えた液体吐出装置が開示されている。液体は流入チャネルから圧力室に供給され、液体の一部が圧力室に連通した吐出口から吐出し、残りの液体は流出チャネルに排出される。流出チャネルに液体を排出することによって液体を循環させることができるため、印刷を停止させずに気泡やごみを除去することができる。また、吐出口からの蒸発による液体の増粘を防止することができる。圧力室と流入チャネルと流出チャネルは吐出口毎に設けられている。各流入チャネルは吐出口列ごとに共通に設けられた共通液体流路と連通し、各流出チャネルは吐出口列ごとに共通に設けられた他の共通液体流路と連通している。

特表２０１２−５３２７７２号公報特開２０１４−４７１２号公報

高解像度出力を目的とした液体吐出ヘッドにおいては、吐出口が高密度で配置されている。このため、特許文献１に開示された液体吐出装置においては、吐出口列ごとに共通に設けられた共通液体流路は狭く長い流路となる。流路抵抗により共通液体流路に圧力分布が発生し、圧力室ごとに異なる負圧がかかるため、吐出性能のばらつきが生じやすい。流路抵抗は液体の粘度に依存するため、ＵＶインクやはんだペーストなどの高粘度液体の印刷においては、さらに大きな吐出性能のばらつきが生じ、画像の劣化を引き起こす。

本発明の目的は、印刷を継続しながら液体中の気泡を排出することが可能でかつ、流路抵抗を低減し吐出性能のばらつきを抑えることのできる液体吐出ヘッドを提供することにある。

本発明の液体吐出ヘッドは液体を貯留する圧力室と圧力室に連通した吐出口とを備える液体吐出部であって、圧力室は該圧力室の液体を加圧する加圧手段を備え、加圧された液体が吐出口から吐出する液体吐出部が複数設けられた液体吐出基板と、液体吐出基板の、吐出口の反対側に位置する裏面に接する液体貯留室と、を有している。液体貯留室は、少なくとも一つの共通液体流路と、第１の共通液室とに仕切られている。共通液体流路は複数の圧力室の入口と複数の圧力室の出口のいずれか一方に連通し、第１の共通液室は他方に連通している。

液体貯留室は、少なくとも一つの共通液体流路と、第１の共通液室とに仕切られ、複数の圧力室の入口と複数の圧力室の出口のいずれか一方が第１の共通液室に連通している。つまり、圧力室の入口と出口のいずれか一方は、共通液体流路を介さず直接第１の共通液室に連通している。このため、第１の共通液室に連通している圧力室の入口側、または圧力室の出口側の流路抵抗が低減し、吐出性能のばらつきが抑えられる。液体は共通液体流路から圧力室に供給され、第１の共通液室から排出され、あるいは第１の共通液室から圧力室に供給され、共通液体流路から排出される。従って、印刷を継続しながら液体中の気泡を排出することができる。

本発明によれば、印刷を継続しながら液体中の気泡を排出することが可能でかつ、流路抵抗を低減し吐出性能のばらつきを抑えることのできる液体吐出ヘッドを提供することができる。

本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッドの概略断面図である。図１に示す液体吐出ヘッドの液体吐出基板の概略断面図である。図１に示す液体吐出ヘッドにおける液体の流れを示す図である。第１および第２の共通液室と共通液体流路の構成部品の分解斜視図である。四角断面形状の共通液体流路を有する液体吐出ヘッドの概略断面図である。液体が図２と逆方向に循環する液体吐出ヘッドの概略断面図である。グールド型の液体吐出ヘッドの分解斜視図である。グールド型の液体吐出ヘッドの概略断面図である。

以下に、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。
（第１の実施形態）
図１は本発明の第１の実施形態に係る液体吐出装置に搭載される液体吐出ヘッドの概略断面図、図２は液体吐出ヘッドの液体吐出基板の概略断面図である。液体吐出ヘッド１００は液体吐出基板１０１を有し、液体吐出基板１０１には複数の液体吐出部１２３が二次元に配置されている。各液体吐出部１２３には吐出口１０３を備えた圧力室１０２と、振動板１０５が接合された圧電素子１０４と、液体供給路１０６と、液体回収路１０７とが設けられている。圧力室１０２は印刷のために用いられるインク等の液体を一時的に貯留する。吐出口１０３は各圧力室１０２に対応し、かつ圧力室１０２に連通して設けられている。圧電素子１０４は圧力室１０２の液体を加圧する加圧手段である。振動板１０５は圧力室１０２の吐出口１０３と対向する底面１２５を画定している。圧電素子１０４には個別電極と共通電極（図示せず）が電気接続されており、これらの電極はバンプ（図示せず）を介して支持基板１０８上の配線（図示せず）と電気接続されている。支持基板１０８上の配線は液体吐出ヘッド１００外の制御回路（図示せず）へ引き出されている。制御回路から供給される電圧によって圧電素子１０４が変形し、圧電素子１０４に接合された振動板１０５が圧力室１０２を変形させ、圧力室１０２内の液体を加圧する。振動板１０５で加圧された圧力室１０２の液体の一部は吐出口１０３から吐出する。液体供給路１０６は圧力室１０２の入口と連通しており、圧力室１０２に液体を供給する。液体回収路１０７は圧力室１０２の出口と連通しており、吐出口１０３から吐出しない、圧力室１０２の液体の残部を流出させ回収する。液体供給路１０６および液体回収路１０７は、圧力室１０２で発生した圧力が吐出口１０３へ向かうよう、吐出口１０３よりも大きな慣性を持っている。

支持基板１０８は複数の液体吐出部１２３の剛性を保ちつつ、これらの液体吐出部１２３を支持する機能を有している。支持基板１０８には、液体供給路１０６に連通した液体供給連通孔１０９と、液体回収路１０７に連通した液体回収連通孔１１０とが形成されている。複数の液体供給連通孔１０９は互いに隣接する共通液体流路１１２の間で、それぞれの液体供給路１０６と第１の共通液室１１１とを連通させ、複数の液体回収連通孔１１０はそれぞれの液体回収路１０７と共通液体流路１１２とを連通させる。従って、支持基板１０８は液体吐出部１２３へ液体を供給する機能と、液体吐出部１２３から液体を回収する機能と、液体吐出部１２３を配列支持する機能と、液体吐出部１２３へ電気制御信号を印加する機能とを有している。さらに支持基板１０８は、液体吐出基板１０１の吐出口１０３の反対側に位置する裏面１２６を画定している。

液体は液体吐出基板１０１の液体供給路１０６から供給されて、圧力室１０２を通り液体回収路１０７から回収される循環流れを形成する。制御回路からの電気信号が支持基板１０８の電極を通って圧電素子１０４に印加されると振動板１０５が変形する。圧電素子１０４は振動板１０５を介して圧力室１０２の底面１２５を面外方向に変形させ、圧力室１０２の液体を加圧する。圧力室１０２が収縮および膨張することにより圧力室１０２内の圧力が増減し、圧力の変動により吐出口１０３から液体を吐出する。

液体吐出基板１０１の、吐出口１０３の反対側に位置する裏面１２６、すなわち支持基板１０８の裏面１２６に接して液体貯留室１２４が設けられている。支持基板１０８の、液体を吐出する吐出口１０３及び吐出口１０３に連通する圧力室１０２が配される面を第１面と、裏面１２６を第２の面という場合がある。液体貯留室１２４は、少なくとも一つの共通液体流路１１２と、第１の共通液室１１１と、に仕切られている。本実施形態では複数の共通液体流路１１２が設けられ、これらの共通液体流路１１２は吐出口１０３ないし圧力室１０２が配列する方向に沿って互いに平行に配置されている。第１の共通液室１１１と共通液体流路１１２は、支持基板１０８ないし液体吐出基板１０１の裏面１２６に面して形成されている。圧力室１０２と、第１の共通液室１１１および共通液体流路１１２とを支持基板１０８の同じ側に配置した場合、圧力室１０２から吐出口１０３までの距離が長くなるため、吐出特性が低下する。第１の共通液室１１１と共通液体流路１１２を支持基板１０８に関して圧力室１０２の反対面に配置することにより、圧力室１０２から吐出口１０３までの距離を短くすることができ、吐出性能の向上が可能となる。

第１の共通液室１１１の底面１２７は、支持基板１０８の裏面１２６ないし図１における支持基板１０８の下方に広い液だまりが形成されるように、第２の構成部材１２９で画定されている。第２の構成部材１２９の底面１３０にメイン供給口１１３が形成されており、メイン供給口１１３から液体が第１の共通液室１１１に供給される。共通液体流路部材１１５が支持基板１０８の裏面１２６に接合されており、共通液体流路部材１１５と支持基板１０８とによって共通液体流路１１２が形成されている。共通液体流路１１２が支持基板１０８に沿って設けられることにより、共通液体流路１１２と液体回収連通孔１１０との位置合わせが容易になる。この結果、共通液体流路部材１１５が樹脂等の硬度の低い材質で形成された場合でも、共通液体流路１１２を支持基板１０８で確実に支持することができる。共通液体流路１１２は液体吐出部１２３の配列に沿って形成され、図１の紙面に垂直な方向に延びている。このため、各共通液体流路１１２に接続された複数の液体回収連通孔１１０を介して、各液体吐出部１２３の液体が共通液体流路１１２に回収される。液体貯留室１２４内の互いに隣接する共通液体流路１１２の間の空間は共通液体供給部１１４となっている。第１の共通液室１１１の共通液体供給部１１４は液体供給連通孔１０９と接続されている。第１の共通液室１１１の液体は図１の上方へ流れ、液体供給連通孔１０９を介して各液体吐出部１２３に供給される。

図３は、共通液体供給部１１４および共通液体流路１１２における液体の流れを示す図である。図４は、第１の共通液室１１１および共通液体流路１１２を形成する構成部材の分解斜視図である。液体は脱気やフィルタリングを受けた後、所望の負圧に圧力を制御されて、メイン供給口１１３から第１の共通液室１１１へ供給される。液体吐出部１２３に供給される液体１１８は、図３に示すように共通液体流路１１２の間の共通液体供給部１１４を通って供給されるため、流路長さが短く、液体吐出部１２３の配列数に拘らず流路抵抗を低減することができる。共通液体流路１１２は液体吐出基板１０１の裏面１２６を弦とする半円形の断面を有している。このため、共通液体供給部１１４の流路抵抗をさらに小さくすることができる。

図４を参照すると、液体吐出ヘッド１００は、複数の共通液体流路１１２と連通する第２の共通液室１３１を有している。第２の共通液室１３１は液体吐出部１２３を挟んで両側に設けられているが、液体吐出部１２３ないし吐出口１０３の配列数によってはいずれか一方のみに設けることもできる。液体吐出部１２３から回収される液体１１９は、複数の液体吐出部１２３の液体回収連通孔１１０から共通液体流路１１２を通って第２の共通液室１３１に入り、第２の共通液室１３１に設けられたメイン回収口１１７から回収される。共通液体流路１１２が液体吐出部１２３または吐出口１０３の配列に沿って延び、かつ互いに平行に並列して形成されているため、共通液体流路１１２の本数を減らすことができる。メイン回収口１１７はメイン供給口１１３よりも低い負圧に圧力を制御されているため、両者の設定圧力差により、メイン供給口１１３から液体吐出部１２３を経てメイン回収口１１７へ至る液体の循環流れが形成される。回収される液体１１９の流路、具体的には共通液体流路１１２の長さは液体吐出部１２３ないし吐出口１０３の配列数が多くなるほど長くなり、流路抵抗も大きくなる。しかし、第１の共通液室１１１が十分大きく、共通液体供給部１１４の流路抵抗が小さいため、各液体吐出部１２３に加わる負圧はほぼ第１の共通液室１１１の圧力に等しい。このため、液体吐出部１２３間の負圧の差（ばらつき）はほとんどなく、各液体吐出部１２３で均一な吐出性能を得ることができる。本実施形態では、共通液体供給部１１４から２列の液体吐出部１２３へ液体が供給され、さらに２列の液体吐出部１２３ないし吐出口１０３から１列の共通液体流路１１２へ液体が回収される。このため、共通液体流路１１２を広くすることができ、共通液体流路１１２の流路抵抗の低減も可能となる。

図４に示すように、液体吐出ヘッド１００は第１の構成部材１２８と第２の構成部材１２９とを有している。第１の構成部材１２８は、共通液体流路１１２の溝部１３２と、共通液体流路１１２間に開けられた共通液体供給部１１４と、第１の共通液室１１１の側壁１３３の一部と、第２の共通液室１３１の側壁１３４と、を形成している。第２の構成部材１２９は、第１及び第２の共通液室１１１，１３１の底面１３０と、第１の共通液室１１１の側壁１３３の残部と、を形成している。第２の構成部材１２９は流体を供給するためのメイン供給口１１３が底面１３０に開けられており、側面１３５が立ち上がった構造を有している。第１の構成部材１２８と第２の構成部材１２９を組み合わせることで第１の共通液室１１１と第２の共通液室１３１が形成される。このように単純な構成で流路を形成することができるため、液体吐出ヘッド１００を安価に製造することが可能となる。

以上説明してきたように、液体貯留室１２４内に共通液体流路１１２を形成することにより、共通液体供給部１１４の流路抵抗を低減することができる。また、複数の液体吐出部１２３の圧力を均一化することで吐出性能のばらつきを低減することができる。

共通液体流路１１２の断面形状は半円形に限られず、半楕円形や三角形などの、液体吐出基板１０１の裏面１２６に向かって幅が広がるテーパー形状の断面形状を有していてもよい。半楕円は楕円の長軸または短軸に沿って楕円を切断して得られる楕円の半部を意味する。半楕円形の共通液体流路１１２は、切断線である楕円の長軸または短軸が液体吐出基板１０１の裏面１２６に接している。三角形の共通液体流路１１２は、一辺が液体吐出基板１０１の裏面１２６に接している。さらに、共通液体流路１１２の断面形状は、長辺または短辺が液体吐出基板１０１の裏面１２６に接している台形形状でもよい。いずれの形状も共通液体供給部１１４の流路抵抗を抑えることができる。図５に示すように、共通液体流路１１２の断面形状は四角であってもよい。四角は正方形、長方形、菱形を含む任意の四辺形である。この場合、四辺の一つが液体吐出基板１０１の裏面１２６に接している。四角形状の共通液体流路１１２は、半円形状の共通液体流路１１２に比べ共通液体供給部１１４の流路抵抗は高くなる。しかし、供給される液体１１８が上方へ向かって流れるために、共通液体供給部１１４の流路抵抗を十分低く抑えることが可能である。また、四角形状の共通液体流路１１２は半円形状の共通液体流路１１２と比べると、同じ高さでより大きな断面積を確保することができるため、共通液体供給部１１４の流路抵抗の低減も可能になる。

本実施形態においては、共通液体供給部１１４の流路抵抗を低減させることができるが、共通液体回収部１４５の流路抵抗を低減させる構成も可能である。図６に、液体の循環流れ方向が上述の実施形態と逆にされた液体吐出ヘッド１００の概略断面図を示す。共通液体流路１１２の代わりに共通液体流路１４４が、共通液体供給部１１４の代わりに共通液体回収部１４５が設けられ、メイン供給口１１３とメイン回収口１１７の位置が入れ替えられている。液体はメイン供給口１１３から第２の共通液室１３１と共通液体流路１４４を通って各液体吐出部１２３に供給され、共通液体回収部１４５と第１の共通液室１１１を通ってメイン回収口１１７から回収される。この構成の場合、共通液体流路１４４の流路抵抗による圧力分布が発生するが、各液体吐出部１２３の圧力は第１の共通液室１１１で規定することができる。このため、図１〜４に示す実施形態と同様、圧力が均一化され、吐出性能のばらつきを低減することができる。

このように、本実施形態では共通液体流路１１２（または１４４）が複数の圧力室１０２の入口側と出口側のいずれか一方に連通し、第１の共通液室１１１が他方に連通している。換言すれば、複数の圧力室１０２の入口と複数の圧力室１０２の出口のいずれか一方に連通する共通液室（液体貯留室）１２４が配され、共通液室１２４の内部には他方に連通する共通液体流路１１２が配されている。圧力室１０２の入口側と出口側のいずれか一方の流路抵抗を低減させることで、吐出口が高密度に配置された液体吐出ヘッドにおいても各液体吐出部１２３の圧力室１０２の圧力を均一に制御することが可能となる。さらに、本実施形態によれば、共通液体供給部１１４（または共通液体回収部１４５）の流路抵抗を小さくすることが可能である。共通液体流路１１２（または１４４）の大きさを比較的大きくすることで、圧力室１０２の入口側と出口側の両者の流路抵抗を小さくすることも可能である。

（第２の実施形態）
本発明はグールド型の液体吐出ヘッド、すなわち圧力室が圧電体で囲まれ、圧力室の径方向の伸縮により圧力室の液体に圧力が印加される液体吐出ヘッドにも適用することができる。図７は、本発明が適用されるグールド型の液体吐出ヘッドの一実施形態の分解斜視図であり、図８はその概略断面図である。

液体吐出ヘッド１００は、吐出口１０３が設けられた吐出口形成部材１２０と、圧力室１０２および液体回収路１０７を形成する圧電素子１０４と、を有している。圧力室１０２は、一端で吐出口１０３と連通し他端で第１の共通液室１１１と連通する筒状または柱状の形状を有している。本実施形態では、圧力室１０２の液体の加圧手段は、圧力室１０２を構成するとともに圧力室１０２の側面を面外方向に変形させる圧電素子１０４である。圧力室１０２と吐出口１０３は液体吐出部１２３を形成している。吐出口形成部材１２０と、圧電素子１０４と、支持基板１０８と、構造体１２１と、メイン供給口板１２２とが順次積層されている。支持基板１０８には液体供給連通孔１０９と液体回収連通孔１１０が配設され、構造体１２１には共通液体流路１１２と共通液体供給部１１４が形成され、メイン供給口板１２２にはメイン供給口１１３が形成されている。メイン供給口板１２２は、構造体１２１と接合されることで、第１の共通液室１１１を構成する。

液体吐出ヘッド１００は、液体を一時的に貯留する圧力室１０２と、各圧力室１０２に対応して設けられた吐出口１０３と、液体を回収するための液体回収路１０７と、を有している。液体回収路１０７の一端は吐出口１０３の近傍で圧力室１０２と連通し、他端は共通液体流路１１２と連通している。圧電素子１０４は圧力室１０２を筒状に囲んで配置されており、内面に液体吐出部１２３ごとに個別の電極（図示せず）を有し、外面に全ての液体吐出部１２３に共通の電極（図示せず）を有している。電極に電圧を印加することで圧電素子１０４が圧力室１０２を収縮させるように変形する。これらの電極は支持基板１０８の電気配線（図示せず）に接続されており、制御電圧信号が印加される。なお、このタイプのヘッドの詳細な構成および駆動方法は特許文献２に開示されている。

メイン供給口１１３から供給された液体は、第１の共通液室１１１から、構造体１２１に形成された共通液体供給部１１４を通って液体供給連通孔１０９から各圧力室１０２へ供給される。各圧力室１０２の液体の一部は吐出口１０３から吐出する。残りの液体は液体回収路１０７および液体回収連通孔１１０を通り、複数の液体回収連通孔１１０に共通する共通液体流路１１２に流入し、第２の共通液室１３１を通ってメイン回収口１１７から回収される。共通液体流路１１２は斜め方向に延びる吐出口列に沿って、吐出口列ごとに形成されている。

図８に示すように、構造体１２１の共通液体流路１１２の下部には第１の共通液室１１１が形成され、第１の共通液室１１１の底部はメイン供給口板１２２で画定されている。互いに隣接する共通液体流路１１２の間に共通液体供給部１１４が設けられている。第１の実施形態と同様に、供給される液体１１８が上方に流れるため、流路抵抗を低減することができる。構造体１２１は射出成型で作製可能な形状を有し、メイン供給口板１２２と接着するだけで第１の共通液室１１１を形成することができるため、本実施形態の液体吐出ヘッドを安価に作製することができる。

このように、本発明はグールドタイプの液体吐出ヘッドにも適用することができ、さらに吐出口が斜め方向に配列していても本発明を適用することができる。本実施形態においても共通液体供給部に圧力分布を生じさせることなく、液体の循環流路を形成することができる。

１０１液体吐出基板
１０２圧力室
１０３吐出口
１１１第１の共通液室
１１２共通液体流路
１２３液体吐出部
１２４液体貯留室

Claims

液体を貯留する圧力室と前記圧力室に連通した吐出口とを備える液体吐出部であって、前記圧力室は該圧力室の前記液体を加圧する加圧手段を備え、加圧された前記液体が前記吐出口から吐出する液体吐出部が複数設けられた液体吐出基板と、
前記液体吐出基板の、前記吐出口の反対側に位置する裏面に接する液体貯留室と、を有し、
前記液体貯留室は、少なくとも一つの共通液体流路と、第１の共通液室とに仕切られ、前記共通液体流路は複数の前記圧力室の入口と複数の前記圧力室の出口のいずれか一方に連通し、前記第１の共通液室は他方に連通している、液体吐出ヘッド。
複数の前記共通液体流路と連通する第２の共通液室を有する、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
前記共通液体流路の溝部と前記第１の共通液室の側壁の一部と第２の共通液室の側壁とを形成する第１の構成部材と、前記第１の共通液室の側壁の残部と前記第１及び第２の共通液室の底面とを形成する第２の構成部材と、を有する、請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
前記共通液体流路は前記液体吐出基板の前記裏面を弦とする半円形の断面を有している、請求項１から３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
前記共通液体流路は前記液体吐出基板の前記裏面に向かって幅が広がるテーパー形状の断面を有している、請求項１から３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
前記共通液体流路は四角形状の断面を有している、請求項１から３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
前記共通液体流路は前記吐出口が配列する方向に沿って延びている、請求項１から６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
複数の前記共通液体流路は互いに平行に延びている、請求項１から７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
前記液体吐出基板は、複数の前記圧力室にそれぞれ前記液体を供給する複数の液体供給路と、複数の前記圧力室からそれぞれ前記液体を回収する複数の液体回収路と、それぞれの前記液体供給路と前記共通液体流路とを連通させる複数の液体供給連通孔と、隣接する前記共通液体流路の間でそれぞれの前記液体回収路と前記第１の共通液室とを連通させる複数の液体回収連通孔と、を有する、請求項１から８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
前記液体吐出基板は、複数の前記圧力室にそれぞれ前記液体を供給する複数の液体供給路と、複数の前記圧力室からそれぞれ前記液体を回収する複数の液体回収路と、隣接する前記共通液体流路の間でそれぞれの前記液体供給路と前記第１の共通液室とを連通させる複数の液体供給連通孔と、それぞれの前記液体回収路と前記共通液体流路とを連通させる複数の液体回収連通孔と、を有する、請求項１から８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
前記加圧手段は、前記圧力室の前記吐出口と対向する底面の近傍に設けられ前記底面を面外方向に変形させる圧電素子である、請求項１から１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
前記吐出口の２列に対して１列の前記共通液体流路が配置されている、請求項１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
前記圧力室は、一端で前記吐出口と連通し他端で前記第１の共通液室と連通する筒状または柱状の形状を有し、前記液体は前記他端から前記圧力室に供給され、前記液体吐出基板は、一端が前記吐出口の近傍で前記圧力室と連通し他端が前記共通液体流路と連通する複数の液体回収路を有し、前記加圧手段は、前記圧力室を構成するとともに前記圧力室の側面を面外方向に変形させる圧電素子である、請求項１から１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
支持基板と、前記支持基板の第１面の側に配される、液体を吐出する吐出口及び当該吐出口に連通する圧力室と、を備える液体吐出ヘッドであって、
前記圧力室は当該圧力室に液体を供給するための入口と液体を流出させるための出口とを備え、
前記支持基板の第１面の裏面である第２面には、複数の前記圧力室の入口と複数の前記圧力室の出口のいずれか一方に連通する共通液室が配されており、前記共通液室の内部には他方に連通する共通液体流路が配されている、液体吐出ヘッド。
前記共通液体流路は、複数の前記圧力室が配列される方向に沿って配されている、請求項１４に記載の液体吐出ヘッド。
前記共通液室の内部には複数の前記共通液体流路が配されている、請求項１４または１５に記載の液体吐出ヘッド。
請求項１から１６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドを備えた液体吐出装置。