JP2019155713A - 液体吐出ヘッド及び液体吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】液体の供給及び回収がされる液体吐出ヘッドにおいて、液体を吐出する複数の吐出口を高密度に配置することができる液体吐出ヘッドの提供する。【解決手段】液体吐出ヘッドは、液体を吐出する複数の吐出口とそれぞれ連通し所定方向に沿って配列される複数の第１圧力室を有する第１圧力室列と、液体を吐出する複数の吐出口とそれぞれ連通し前記所定方向に沿って配列される複数の第２圧力室を有する第２圧力室列と、前記複数の第１圧力室に液体を供給するための第１流路と、前記複数の第２圧力室から液体を回収するための第２流路と、を備え、液体の吐出方向から見て、前記第１圧力室列の一部は前記第１流路に重なって配置され、前記第２圧力室列の一部は前記第２流路に重なって配置される。【選択図】図３

Description

本発明は、液体吐出ヘッド及び液体吐出装置に関する。

インクジェット記録装置が備える吐出ヘッドは、例えば、圧力室と、圧力室を収縮させる圧電素子と、複数の吐出口が形成されたプレートとを備え、圧電素子により圧力室の容積を変化させて圧力室内のインクを所定の吐出口から液滴として吐出する。複数の吐出口の一部は、吐出動作時に、インクを吐出しない場合がある。インクを吐出しない吐出口内のインクは、その表面から揮発成分が蒸発して粘度が高くなる。その結果、吐出ヘッドは、吐出不良を起こす場合がある。
この吐出不良を抑制するために、例えば、圧力室を循環経路に連結して吐出口近傍のインクを循環させる循環機構がある。循環機構を採用する吐出ヘッドは、吐出ヘッド内に、循環経路の一部を構成するインクの供給流路及び回収流路を備える。この機構を採用する吐出ヘッドの高画質対応のためには、複数の吐出口を高密度に配置する必要がある。この場合、吐出ヘッドの圧力室及び圧電素子は、吐出口と同じ個数必要となる。

特開２０１４−６５３１３号公報

循環機構を採用した高画質対応の吐出ヘッドでは、循環を行うための供給流路、回収流路に加えて、多数の圧力室を有する為、それらの効率的な配置が課題となる。例えば、特許文献１に開示されている吐出ヘッドの場合、圧電素子が配置されている面上の個別配線が配置されている領域には圧力室を配置できないため、複数の吐出口を高密度に配置することができない。
本発明は、液体の供給及び回収がされる液体吐出ヘッドにおいて、液体を吐出する複数の吐出口を高密度に配置することができる液体吐出ヘッドの提供を目的とする。

本発明の液体吐出ヘッドは、液体を吐出する複数の吐出口とそれぞれ連通し所定方向に沿って配列される複数の第１圧力室を有する第１圧力室列と、液体を吐出する複数の吐出口とそれぞれ連通し前記所定方向に沿って配列される複数の第２圧力室を有する第２圧力室列と、前記複数の第１圧力室に液体を供給するための第１流路と、前記複数の第２圧力室から液体を回収するための第２流路と、を備え、液体の吐出方向から見て、前記第１圧力室列の一部は前記第１流路に重なって配置され、前記第２圧力室列の一部は前記第２流路に重なって配置されることを特徴とする。

本発明の液体吐出ヘッドによれば、液体の供給及び回収がされる液体吐出ヘッドにおいて、液体を吐出する複数の吐出口を高密度に配置することができる。

第１実施形態の液体吐出装置の概略図である。 第１実施形態の液体吐出ヘッドのヘッドチップの分解図である。 第１実施形態のヘッドチップの部分拡大図である。 第１実施形態の別のヘッドチップの部分拡大図である。 第２実施形態のヘッドチップの部分拡大図である。 第３実施形態の液体吐出ヘッドのヘッドチップの分解図である。

＜第１実施形態＞ 以下、第１実施形態及びその変形例について説明する。図１は、本実施形態の液体吐出装置１０の模式図である。液体吐出装置１０は、液体吐出ヘッド２０と、搬送部３０とを備えている。液体吐出装置１０は、一例として、インク（液体の一例）を記録媒体（媒体の一例）に吐出して着弾させることにより記録媒体上に画像を形成するインクジェット方式の記録装置である。搬送部３０は、液体吐出ヘッド２０に対向する位置に記録媒体を搬送する。ここで、液体の一例は、インク以外であってもよい。

図２（ａ）〜（ｄ）は、液体吐出ヘッド２０が備えるヘッドチップ１００の分解図である。ヘッドチップ１００は、長尺状とされ、その長手方向（図中Ｘ方向）を液体吐出装置１０の奥行き方向（図中Ｙ方向）に沿わせた状態で配置されている。ヘッドチップ１００は複数の層から構成されており、図２（ａ）〜（ｄ）に示す各層は各吐出口１０２によるインクの吐出方向側と反対側から見たものである。図２（ａ）〜（ｄ）に示す各層は、それらの説明を容易にするために、各層における外側から見えない部分も図示されている。
図２（ｄ）は、インクを吐出するための複数の吐出口１０２が形成されているオリフィスプレート１０１をインクが吐出する側（後述する下面側）から見た図である。
図２（ｃ）は、シリコンなどを加工して作られた流路形成層１０３のオリフィスプレート１０１側から見た図である。流路形成層１０３には、共通供給流路１０４（供給流路の一例）と、複数の供給支流路１０５（第１流路の一例）と、共通回収流路１０６（回収流路の一例）と、複数の回収支流路１０７（第２流路の一例）とが形成されている。共通供給流路１０４、複数の供給支流路１０５、共通回収流路１０６及び複数の回収支流路１０７は、それぞれ直線状流路とされている。共通供給流路１０４は、ヘッドチップ１００の長手方向（所定方向から交差する交差方向の一例）に沿った状態で、ヘッドチップ１００の短手方向の一端側に配置されている。共通供給流路１０４は、複数の供給支流路１０５にインクを供給するための流路とされている。共通回収流路１０６は、ヘッドチップ１００の長手方向に沿った状態で、ヘッドチップ１００の短手方向の他端側に配置されている。共通回収流路１０６は、複数の回収支流路１０７からインクを回収するための流路とされている。複数の供給支流路１０５及び複数の回収支流路１０７の各流路は、それぞれヘッドチップ１００の短手方向（所定方向の一例）に沿って、供給支流路１０５と回収支流路１０７とが交互に並べられた状態で配置されている。共通供給流路１０４は、供給支流路１０５の一端側で複数の供給支流路１０５に連通している。共通回収流路１０６は、供給支流路１０５の他端側で複数の回収支流路１０７に連通している。
図２（ｂ）は、流路形成層１０３のオリフィスプレート１０１側と反対側から見た図である。流路形成層１０３におけるオリフィスプレート１０１側と反対側には、供給孔１０８と、回収孔１０９と、吐出口１０２に対応した圧力室１１０とが形成されている。供給孔１０８は、共通供給流路１０４と連通する。回収孔１０９は、共通回収流路１０６連通する。以下、流路形成層１０３におけるオリフィスプレート１０１側の面を「下面」、流路形成層１０３におけるオリフィスプレート１０１と反対側の面を「上面」として説明する。
図２（ａ）に示すように、アクチュエータ層１１１には、流路形成層１０３の上面に形成されている圧力室１１０に対応して圧電素子１１２が配置されている。そのため、アクチュエータ層１１１は、長尺とされている。さらに、アクチュエータ層１１１の短手方向の一端側には供給孔１１６（第１貫通孔の一例）が形成され、他端側には回収孔１１７（第２貫通孔の一例）が形成されている。別言すると、アクチュエータ層１１１には、２つの貫通孔が形成されており、一方が供給孔１１６、他方が回収孔１１７とされている。回収孔１１７は、流路形成層１０３の回収孔１０９と連通する貫通孔とされている。回収孔１１７は、供給孔１１６より幅が狭く開口面積が小さく作られている。すなわち、回収孔１１７は、供給孔１１６よりも断面積が小さい貫通孔とされている。ヘッドチップ１００の短手方向の他端側の領域、すなわち、共通回収流路１０６の上の領域における、回収孔１１７以外の領域には、駆動ＩＣ１１４が実装されている。なお、アクチュエータ層１１１は、流路形成層１０３の上面に配置されている（図４（ｂ）参照）。また、アクチュエータ層１１１の一部は、後述する振動板２０５及び複数の圧電素子１１２で構成されている。
個々の圧電素子１１２に接続されている個別配線１１３は、ヘッドチップ１００の短手方向の他端側、すなわち、回収孔１１７が形成されている側に引き出されて駆動ＩＣ１１４に接続されている。駆動ＩＣ１１４には圧電素子１１２を駆動してインクを吐出させる信号を伝えるＦＰＣ１１５が接続されている。
各吐出口１０２から吐出されるインクは、外部に繋がる供給孔１１６から共通供給流路１０４に供給され、さらに共通供給流路１０４から各供給支流路１０５を通って各圧力室１１０に供給される。
液体吐出装置１０が備える制御部（図示省略）からの吐出制御信号はＦＰＣ１１５を介して駆動ＩＣ１１４に伝えられ、駆動ＩＣ１１４から出力される吐出駆動のための電圧波形は各個別配線１１３を通って各圧電素子１１２に印加される。その結果、各圧電素子１１２により各圧力室１１０を拡張、収縮させることで、すなわち、各圧力室１１０の容積を変化させることにより各吐出口１０２からインクが吐出される。これに対して、各圧力室１１０に供給されたインクのうち吐出されなかったインクは、回収支流路１０７を経由して共通回収流路１０６を通り回収孔１１７からヘッドチップ１００の外部に排出され回収される。外部は、一例として循環経路（図示省略）とされ、循環経路にはヘッドチップ１００に供給するためのインクを収容するインクタンク（図示省略）が連結されている。すなわち、本実施形態のヘッドチップ１００は、インクタンクが連結されている循環経路に繋がっており、外部から供給孔１１６を介してインクが流れ、回収孔１１７を介して外部にインクが流れるようになっている。
このようなインクの定常流は、所定の吐出口１０２がインクを吐出しない期間に吐出口１０２のインク表面からインクの揮発成分が蒸発して生じるインクの増粘に起因する液体吐出ヘッド２０の吐出不良を防止するのに有効である。この定常流におけるインクの流れる方向を開口面積が小さい回収孔１１７を供給孔とし、開口面積が大きい供給孔１１６を回収孔として、すなわち、インクの流れる方向を逆方向にする構成としてもよい。例えば、定常流に加え多くの吐出口１０２から連続してインクを吐出する場合には大量のインクを供給する必要がある。この場合、開口面積が大きく流抵抗が小さい回収孔として使用する供給孔１１６からインクを逆流させて供給できるように構成しておけばよい。

図３（ａ）及び（ｂ）は、図２（ａ）〜（ｄ）のヘッドチップ１００の一部を拡大した図である。以下、供給支流路１０５、回収支流路１０７並びに圧力室１１０の位置関係及び各流路の接続について詳しく説明する。
図３（ａ）は、ヘッドチップ１００からアクチュエータ層１１１を除いて、ヘッドチップ１００を上側から見た部分拡大図である。図３（ａ）は、その説明を容易にするために、外側から見えない部分も図示されている。図３（ｂ）は、図３（ａ）のＡ−Ａ断面を示したものである。
図３（ａ）に示すように、流路形成層１０３には、供給支流路１０５と回収支流路１０７とがそれぞれ平行でかつ交互に配置されている。供給支流路１０５には、複数の圧力室１１０の一部が流路形成層１０３の厚み方向（吐出口１０２から吐出されるインクの吐出方向、図中Ｚ方向）で重なって配置されている。また、回収支流路１０７には、複数の圧力室１１０の一部が流路形成層１０３の厚み方向で重なって配置されている。ここで、供給支流路１０５に列を成して重なるように配列されている各圧力室１１０を第１圧力室、列を成す第１圧力室で構成される群を第１圧力室列１１０Ａとする。回収支流路１０７に列を成して重なるように配列されている各圧力室１１０を第２圧力室、列を成す第２圧力室で構成される群を第２圧力室列１１０Ｂとする。図３（ａ）及び図４（ａ）に示すように、第１圧力室列１１０Ａを構成する複数の第１圧力室のＸ方向の一方側は供給支流路１０５に連結され他方側は回収支流路１０７に連結されている。第２圧力室列１１０Ｂを構成する複数の第２圧力室のＸ方向の一方側は回収支流路１０７に連結され他方側は供給支流路１０５に連結されている。すなわち、複数の第１圧力室と複数の第２圧力室とは、それぞれ、供給支流路１０５及び回収支流路１０７との連結位置がＸ方向において逆方向となる関係を有している。
インクは、供給支流路１０５から供給接続流路２０１を通った後、更に供給貫通孔２０２を通って、圧力室１１０に供給される。供給接続流路２０１及び供給貫通孔２０２は、絞り流路とされている。供給貫通孔２０２は、流路形成層１０３をその厚み方向に貫通するように形成されている。供給接続流路２０１及び供給貫通孔２０２は、インク吐出時に圧力室１１０が収縮した時の圧力室１１０内の圧力が供給流路側（供給支流路１０５側）に逃げないように構成されている。具体的には、供給接続流路２０１及び供給貫通孔２０２は、それぞれ、流抵抗を大きくするために流路断面積が圧力室１１０の流路断面積よりも小さく設定され、イナータンスを大きくするために長さが長くなるように形成されている。
供給支流路１０５を挟んで供給貫通孔２０２の反対側、すなわち、圧力室１１０のインク供給側と反対側には、フィードスルー２０３が形成されている。フィードスルー２０３は、圧力室１１０と連通し、流路形成層１０３を圧力室１１０側からオリフィスプレート１０１側まで貫通して、吐出口１０２に連通している。
流路形成層１０３における下面側（オリフィスプレート１０１側）の部分には、フィードスルー２０３と回収支流路１０７とを連通する絞り流路２０４が形成されている。絞り流路２０４は、供給接続流路２０１及び供給貫通孔２０２と同様に、インク吐出時に圧力室１１０が収縮した時の圧力室１１０内の圧力が供給流路側（供給支流路１０５側）に逃げないように構成されている。すなわち、絞り流路２０４は、その流路断面積が圧力室１１０の流路断面積より小さく設定され（圧力室１１０よりも流抵抗が大きく設定され）、イナータンスを大きくするために長さが長くなるように形成されている。

図４（ａ）は、ヘッドチップ１００を上面側から見た部分拡大図である。図４（ａ）は、その説明を容易にするために、外側から見えない部分も図示されている。図４（ｂ）は、図４（ａ）のＢ−Ｂ断面を示したものである。
アクチュエータ層１１１における流路形成層１０３との接合部分は、ＳｉＮなどで作られた振動板２０５とされている。本実施形態では、振動板２０５は、各圧力室１１０の壁の一部を形成している。振動板２０５の上側には、各圧電素子１１２と接続される複数の個別配線１１３が配置されている。振動板２０５及び複数の個別配線１１３上には、ＳｉＯ２などで作られた絶縁層２０６が形成されている。絶縁層２０６の上には、複数の圧電素子１１２の一方の面と接続され、複数の圧電素子１１２の共通の電極として用いられる共通電極２０７が形成されている。
共通電極２０７の上側には、各圧力室１１０に対応して圧電素子１１２が配置されている。各圧電素子１１２上には個別電極２０８が形成されている。各個別電極２０８は絶縁層２０９により覆われている。
個別電極２０８上の絶縁層２０９と、個別配線１１３上の絶縁層２０６、共通電極２０７及び絶縁層２０９で構成される積層体とには、それぞれ１つずつ穴が開けられている。当該積層体の穴は、スルーホール２１１とされている。個別電極２０８と個別配線１１３とは、接続電極２１０により接続されている。共通電極２０７及び個別配線１１３は、ヘッドチップ１００の短手方向の端部（他端側）まで引き出されてそれぞれ駆動ＩＣ１１４と接続されていている（図４（ａ）及び図２（ａ）参照）。そして、駆動ＩＣ１１４からのインク吐出のための駆動電圧の波形が圧電素子１１２に印加されて振動板２０５が撓み、圧力室１１０の体積が拡張、収縮することでインクが吐出口１０２から吐出される。
図４（ａ）及び（ｂ）に示すように、本実施形態では、個別配線１１３は振動板２０５と共通電極２０７との間に配置されている。しかしながら、接続電極２１０をそのまま個別配線とし、当該個別配線を圧電素子１１２上の絶縁層２０９からヘッドチップ１００の端部まで引き出す構成としてもよい。個別電極２０８、１１３は、複数の圧電素子１１２と振動板２０５との間及び複数の圧電素子１１２を挟んで振動板２０５の反対側の一方又は両方に配置されていればよい。
以上のとおり、インク吐出方向から見て、第１圧力室列１１０Ａの一部が第１流路に重なって配置され、第２圧力室列１１０Ｂの一部が第２流路に重なって配置されている。すなわち、本実施形態の場合、供給支流路１０５及び回収支流路１０７と、圧力室１１０とがインク吐出方向において、重なって配置されている。したがって、本実施形態によれば、インクの供給及び回収がされる液体吐出ヘッド２０において、複数の吐出口１０２を高密度に配置することができる。
さらに、本実施形態では、インク吐出方向から見て、圧力室１１０に複数の個別配線１１３が重なって配置されている。具体的には、複数の個別配線１１３は、各圧電素子１１２に重なって配置されている。したがって、本実施形態によれば、インクの供給及び回収がされる液体吐出ヘッド２０において、複数の吐出口１０２を高密度に配置することができる。

＜第２実施形態＞ 次に、第２実施形態について図５を参照しながら、前述の第１実施形態と異なる部分について説明する。以下、本実施形態において、第１実施形態と同じ構成要素については同じ符号を用いて説明する。
第１実施形態では、各供給支流路１０５と各回収支流路１０７とに対して、それぞれ一列を成す圧力室１１０、すなわち、第１圧力室列１１０Ａ及び第２圧力室列１１０Ｂが重なるように流路形成層１０３が形成されている（図３（ａ）及び（ｂ）並びに図４（ａ）及び（ｂ））。これに対して、本実施形態では、各供給支流路１０５と各回収支流路１０７の幅が、第１実施形態の場合よりも広い。本実施形態では、互いに隣接して配置される第１圧力室列１１０Ａと、第２圧力室列１１０Ｂとは、二列を成す群（以下、圧力室群１１０Ｃという。）を構成している。別言すれば、本実施形態のヘッドチップ１００Ａは、第１圧力室列１１０Ａと第２圧力室列１１０Ｂとが互いに隣接して二列を成す複数の圧力室群１１０Ｃを有している。圧力室群１１０Ｃは、複数の群とされ、複数の圧力室群１１０Ｃの一部は、インク吐出方向から見て、それぞれ、供給支流路１０５及び回収支流路１０７に重なって配置されている。
図５（ａ）及び（ｂ）は、本実施形態のヘッドチップ１００Ａの一部を拡大した図である。図５（ａ）は、ヘッドチップ１００Ａからアクチュエータ層１１１を除いて、ヘッドチップ１００Ａを上面側から見た部分拡大図である。図５（ａ）は、その説明を容易にするために、外側から見えない部分も図示されている。図５（ｂ）は、図５（ａ）のＢ−Ｂ断面を示したものである。
図５（ａ）に示すように、流路形成層１０３には、供給支流路１０５と回収支流路１０７とがそれぞれ平行でかつ交互に配置されている。供給支流路１０５には、圧力室群１１０Ｃが流路形成層１０３の上面に形成されている。圧力室群１１０Ｃのうち第１圧力室列１１０Ａを構成する各圧力室１１０と、第２圧力室列１１０Ｂを構成する各圧力室１１０とは、互いに反対方向を向いた状態で配置されている。別言すると、複数の第１圧力室と複数の第２圧力室とは、それぞれ、供給支流路１０５及び回収支流路１０７との連結位置がＸ方向において逆方向となる関係を有している。
本実施形態では、供給支流路１０５から第１圧力室を通って回収支流路１０７に至るまでの流路の流抵抗と、供給支流路１０５から第２圧力室を通って回収支流路１０７に至るまでの流路の流抵抗とは、概略等しい（略同一）に設定されている。したがって、本実施形態では、第１圧力室列１１０Ａの各第１圧力室を経由して吐出されるインクの吐出特性と、第２圧力室列１１０Ｂの各第２圧力室を経由して吐出されるインクの吐出特性とを、概略揃えることが容易となる。また、本実施形態は、第１実施形態に比べて、各供給支流路１０５及び各回収支流路１０７の幅を広くすることができることに伴い、支流路の流抵抗を下げることができる。さらに、本実施形態は、第１実施形態に比べて、供給接続流路２１２を長く設定することが可能となるため、インク吐出時における圧力室１１０で発生した圧力をインク供給側に逃し難くすることができる。

＜第３実施形態＞ 次に、第３実施形態について図６を参照しながら、前述の第１実施形態及び第２実施形態と異なる部分について説明する。以下、本実施形態において、第１実施形態と同じ構成要素については同じ符号を用いて説明する。
本実施形態は、異なる種類のインク（一例として２種類のインク）を供給して吐出させる構成とされている。具体的には、本実施形態のヘッドチップ１００Ｂは、第１実施形態の２枚のヘッドチップ１００が互いの短手方向の一端側（供給孔１１６側）が隣接した状態で並べられ、かつ、一体的に形成された構成とされている（図２及び図６参照）。
以上の構成により、本実施形態は、１つのヘッドチップ１００Ｂで２種類のインク、例えば色の違うインクを供給して吐出することができる。

以上のとおり、本発明について第１〜第３実施形態を一例として説明したが、本発明の技術的範囲に含まれる形態は第１〜第３実施形態に限定されるものではない。
例えば、第３実施形態のヘッドチップ１００Ｂは、第１実施形態のヘッドチップ１００の２枚の組み合わせと同等の構成であるとして説明した。しかしながら、第３実施形態の変形例として、例えば、第２実施形態のヘッドチップ１００Ａの２枚の組み合わせであってもよい。また、第３実施形態の他の変形例として、例えば、第１実施形態のヘッドチップ１００と第２実施形態のヘッドチップ１００Ａとで構成される２枚のヘッドチップの組み合わせと同等の構成としてもよい。
各実施形態では、各圧力室１１０の変形をＰＺＴ等の圧電素子１１２により行うとして説明した。しかしながら、圧電素子１１２及び振動板２０５に換えてヒーター（図示省略）としてもよい。
第２実施形態では、供給支流路１０５から第１圧力室までの流路及び第１圧力室から回収支流路１０７までの流路の流抵抗と、供給支流路１０５から第２圧力室までの流路及び第２圧力室から回収支流路１０７までの流路の流抵抗とは、概略等しい設定とした。第１実施形態及び第３実施形態において、第２実施形態の上記設定としてもよい。

１００ 液体吐出ヘッド
１０２ 吐出口
１１０ 第１圧力室、第２圧力室
１１０Ａ 第１圧力室列
１１０Ｂ 第２圧力室列
１０５ 供給支流路（第１流路の一例）
１０７ 回収支流路（第２流路の一例）

Claims (12)

1. 液体を吐出する複数の吐出口とそれぞれ連通し所定方向に沿って配列される複数の第１圧力室を有する第１圧力室列と、
   液体を吐出する複数の吐出口とそれぞれ連通し前記所定方向に沿って配列される複数の第２圧力室を有する第２圧力室列と、
   前記複数の第１圧力室に液体を供給するための第１流路と、
   前記複数の第２圧力室から液体を回収するための第２流路と、を備え、
   液体の吐出方向から見て、前記第１圧力室列の一部は前記第１流路に重なって配置され、前記第２圧力室列の一部は前記第２流路に重なって配置されることを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記第１圧力室及び前記第２圧力室の壁の一部は、振動板で形成されており、
   前記振動板における、前記第１圧力室及び前記第２圧力室の外側に配置され、前記振動板を振動させて複数の前記第１圧力室及び複数の前記第２圧力室の容積をそれぞれ変化させる複数の圧電素子と、
   複数の前記圧電素子に接続される複数の個別配線と、を備え、
   複数の前記個別配線は、複数の前記圧電素子と前記振動板との間及び複数の前記圧電素子を挟んで前記振動板の反対側の一方又は両方に配置されることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記振動板及び前記圧電素子を一部とする、長尺なアクチュエータ層を有し、
   前記アクチュエータ層の短手方向の一端側には第１貫通孔が形成され、他端側には前記第１貫通孔よりも断面積が小さい第２貫通孔が形成されており、
   前記第１貫通孔及び前記第２貫通孔の一方は前記第１流路に連通する供給孔とされ、他方は前記第２流路に連通する回収孔とされ、
   前記個別配線は、前記短手方向における前記第２貫通孔が形成されている側に引き出されていることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記複数の圧電素子を駆動させるための複数の駆動ＩＣを備え、
   前記複数の駆動ＩＣは、前記個別配線に接続されていることを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記第１流路及び前記第２流路は、それぞれ前記所定方向に沿う複数の直線状流路とされ、
   前記複数の第１流路及び前記複数の第２流路は、前記所定方向と交差する交差方向に沿って交互に配置されており、
   直線状とされ、前記複数の第１流路に液体を供給するための供給流路と、
   直線状とされ、前記複数の第２流路から液体を回収するための回収流路と、を備え、
   前記供給流路は、前記交差方向に沿って配置され、前記第１流路の一端側で前記複数の第１流路に連通し、
   前記回収流路は、前記交差方向に沿って配置され、前記第１流路の他端側で前記複数の第２流路に連通することを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記複数の第１圧力室と前記第１流路とは、前記第１圧力室よりも流抵抗の大きい絞り流路により連通されていることを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記複数の第２圧力室と前記第２流路とは、前記第２圧力室よりも流抵抗の大きい絞り流路により連通されていることを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記複数の第１圧力室は、前記第２流路に連結されており、
   前記複数の第２圧力室は、前記第１流路に連結されており、
   前記所定方向に交差する交差方向において、前記複数の第１圧力室の一方側は前記第１流路に他方側は前記第２流路に連結され、前記複数の第２圧力室の一方側は前記第２流路に他方側は前記第１流路に連結されていることを特徴とする請求項１〜７の何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記複数の第１圧力室は、前記第２流路に連結されており、
   前記複数の第２圧力室は、前記第１流路に連結されており、
   前記第１流路から前記第１圧力室を通って前記第２流路に至るまでの流路の流抵抗と、前記第１流路から前記第２圧力室を通って前記第２流路に至るまでの流路の流抵抗とは、略同一とされていることを特徴とする請求項１〜８の何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
10. 前記第１圧力室列と前記第２圧力室列とが互いに隣接して二列を成す複数の圧力室群を有し、
    複数の前記圧力室群は、前記吐出方向から見て、それぞれ前記第１流路及び前記第２流路に重なって配置されていることを特徴とする請求項９に記載の液体吐出ヘッド。
11. 前記第１流路及び前記第２流路は、循環経路の一部とされていることを特徴とする請求項１〜１０の何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
12. 請求項１〜１１の何れか１項に記載の液体吐出ヘッドと、
    前記液体吐出ヘッドに対向する位置に媒体を搬送する搬送部と、を備えることを特徴とする液体吐出装置。