JP2016046437A - 粘着テープ剥離方法および粘着テープ剥離装置 - Google Patents
粘着テープ剥離方法および粘着テープ剥離装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016046437A JP2016046437A JP2014170723A JP2014170723A JP2016046437A JP 2016046437 A JP2016046437 A JP 2016046437A JP 2014170723 A JP2014170723 A JP 2014170723A JP 2014170723 A JP2014170723 A JP 2014170723A JP 2016046437 A JP2016046437 A JP 2016046437A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- peeling
- tape
- adhesive tape
- semiconductor wafer
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 41
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 title claims description 5
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims abstract description 40
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 33
- 230000008569 process Effects 0.000 claims abstract description 27
- 230000008859 change Effects 0.000 claims abstract description 17
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 claims description 34
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 12
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims description 4
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 abstract description 12
- 238000005336 cracking Methods 0.000 abstract description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 73
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6835—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2221/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
- H01L2221/67—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L2221/683—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L2221/68304—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H01L2221/68381—Details of chemical or physical process used for separating the auxiliary support from a device or wafer
- H01L2221/68386—Separation by peeling
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
Description
保持テーブルに設けられた環状凸部で前記半導体ウエハの外周を保持する保持過程と、
前記半導体ウエハによって密閉された保持テーブルの中空内部に気体を供給して加圧する加圧過程と、
剥離部材によって剥離テープを前記粘着テープに貼り付けて折り返しながら当該剥離テープを剥離することによって粘着テープを一体にして半導体ウエハから剥離する剥離過程と、
前記剥離過程で、保持テーブルの中空内部への気体の供給流量または圧力の変化の少なくとも一方を検出器によって検出する検出過程と、
前記検出された実測値と予め決めた基準値の比較から半導体ウエハの割れを判別する判別過程と、
を備えたことを特徴とする。
環状凸部によって前記半導体ウエハの外周を保持する保持テーブルと、
前記半導体ウエハによって密閉された中空内部に気体を供給して加圧する加圧器と、
前記半導体ウエハに向けて帯状の剥離テープを供給する剥離テープ供給機構と、
前記保持テーブル上の半導体ウエハに剥離部材によって剥離テープを貼り付けた後に、当該剥離部材で剥離テープを折り返して剥離することによって粘着テープを一体にして半導体ウエハから剥離する剥離機構と、
前記保持テーブルと剥離部材が交差するように相対的に水平移動させる水平駆動機構と、
前記保持テーブルの中空内部の圧力を調整する制御部と、
前記粘着テープを剥離する過程で、気体の供給流量の変化および中空内部の圧力変化の少なくとも一方を検出する検出器と、
前記検出器によって検出された実測値と予め決めた基準値の比較から半導体ウエハの割れを判別する判別部と、
前記保護テープと一体化した剥離テープを巻取回収するテープ回収機構と、
を備えたことを特徴とする。
ウエハWは、図1ないし図3に示すように、パターンが形成された表面に保護テープPTが貼付けられて表面が保護された状態でバックグラインド処理されたものである。その裏面は、外周部を径方向に約2mmを残して研削(バックグラインド)されている。すなわち、裏面に扁平凹部bが形成されるとともに、その外周に沿って環状凸部rが残存された形状に加工されたものが使用される。例えば、扁平凹部bの深さdが数百μm、研削域のウエハ厚さtが数十μmになるよう加工されている。したがって、裏面外周に形成された環状凸部rは、ウエハWの剛性を高める環状リブとして機能し、ハンドリングやその他の処理工程におけるウエハWの撓み変形を抑止する。
図4は、この発明の一実施例に係り、保護テープ剥離装置の全体構成を示した正面図、図5は保護テープ剥離装置の要部の概略構成を示す平面図、図6は保持テーブルの概略構成を示す縦断面である。なお、本実施例の保護テープ剥離装置は、粘着テープ剥離装置に相当する。
2 … テープ供給部
3 … 剥離機構
4 … テープ回収部
6 … 環状凸部
7 … 吸着溝
8 … 真空源
11 … 流路
12 … エアー供給装置
13 … 圧力計
20 … 剥離ユニット
29 … 剥離部材
36 … 制御部
37 … 判別部
PT … 保護テープ
Ts … 剥離テープ
W … 半導体ウエハ
Claims (4)
- 半導体ウエハに貼り付けられた粘着テープを剥離する粘着テープ剥離方法であって、
保持テーブルに設けられた環状凸部で前記半導体ウエハの外周を保持する保持過程と、
前記半導体ウエハによって密閉された保持テーブルの中空内部に気体を供給して加圧する加圧過程と、
剥離部材によって剥離テープを前記粘着テープに貼り付けて折り返しながら当該剥離テープを剥離することによって粘着テープを一体にして半導体ウエハから剥離する剥離過程と、
前記剥離過程で、保持テーブルの中空内部への気体の供給流量または圧力の変化の少なくとも一方を検出器によって検出する検出過程と、
前記検出された実測値と予め決めた基準値の比較から半導体ウエハの割れを判別する判別過程と、
を備えたことを特徴とする粘着テープ剥離方法。 - 請求項1に記載の粘着テープ剥離方法において、
前記検出過程で、割れを検出した時点の位置を記憶する
ことを特徴とする粘着テープ剥離方法。 - 半導体ウエハに貼り付けられた粘着テープを剥離する粘着テープ剥離装置であって、
環状凸部によって前記半導体ウエハの外周を保持する保持テーブルと、
前記半導体ウエハによって密閉された中空内部に気体を供給して加圧する加圧器と、
前記半導体ウエハに向けて帯状の剥離テープを供給する剥離テープ供給機構と、
前記保持テーブル上の半導体ウエハに剥離部材によって剥離テープを貼り付けた後に、当該剥離部材で剥離テープを折り返して剥離することによって粘着テープを一体にして半導体ウエハから剥離する剥離機構と、
前記保持テーブルと剥離部材が交差するように相対的に水平移動させる水平駆動機構と、
前記保持テーブルの中空内部の圧力を調整する制御部と、
前記粘着テープを剥離する過程で、気体の供給流量の変化および中空内部の圧力変化の少なくとも一方を検出する検出器と、
前記検出器によって検出された実測値と予め決めた基準値の比較から半導体ウエハの割れを判別する判別部と、
前記保護テープと一体化した剥離テープを巻取回収するテープ回収機構と、
を備えたことを特徴とする粘着テープ剥離装置。 - 請求項3に記載の粘着テープ剥離装置において、
前記判別部によって判別された割れの位置を記憶する記憶部を備えた
ことを特徴とする粘着テープ剥離装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014170723A JP6316706B2 (ja) | 2014-08-25 | 2014-08-25 | 粘着テープ剥離方法および粘着テープ剥離装置 |
KR1020150108032A KR102378964B1 (ko) | 2014-08-25 | 2015-07-30 | 점착 테이프 박리 방법 및 점착 테이프 박리 장치 |
TW104126655A TWI667704B (zh) | 2014-08-25 | 2015-08-17 | 黏著帶剝離方法及黏著帶剝離裝置 |
CN201510527177.1A CN105390428A (zh) | 2014-08-25 | 2015-08-25 | 粘合带剥离方法和粘合带剥离装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014170723A JP6316706B2 (ja) | 2014-08-25 | 2014-08-25 | 粘着テープ剥離方法および粘着テープ剥離装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016046437A true JP2016046437A (ja) | 2016-04-04 |
JP6316706B2 JP6316706B2 (ja) | 2018-04-25 |
Family
ID=55422568
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014170723A Active JP6316706B2 (ja) | 2014-08-25 | 2014-08-25 | 粘着テープ剥離方法および粘着テープ剥離装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6316706B2 (ja) |
KR (1) | KR102378964B1 (ja) |
CN (1) | CN105390428A (ja) |
TW (1) | TWI667704B (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106328553A (zh) * | 2016-08-19 | 2017-01-11 | 晶澳太阳能有限公司 | 一种全自动晶体硅太阳能电池质量测试机 |
KR20190136944A (ko) | 2018-05-31 | 2019-12-10 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 점착 테이프 박리 방법 및 점착 테이프 박리 장치 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101982774B1 (ko) | 2016-11-29 | 2019-05-27 | 엘지전자 주식회사 | 자율 주행 차량 |
CN115380368A (zh) * | 2020-05-25 | 2022-11-22 | 恩基恩株式会社 | 半导体芯片分层装置及其控制方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009016438A (ja) * | 2007-07-02 | 2009-01-22 | Nitto Denko Corp | 半導体ウエハへの粘着テープ貼付け方法および保護テープの剥離方法 |
JP2011086772A (ja) * | 2009-10-15 | 2011-04-28 | Disco Abrasive Syst Ltd | 保護テープ剥離装置 |
JP2013131537A (ja) * | 2011-12-20 | 2013-07-04 | Disco Abrasive Syst Ltd | 板状ワークの割れ判断方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3488334B2 (ja) * | 1996-04-15 | 2004-01-19 | 京セラ株式会社 | 静電チャック |
JP3435380B2 (ja) * | 2000-02-21 | 2003-08-11 | 共進電機株式会社 | Siウエハ−検査装置およびSiウエハ−検査方法 |
JP4641984B2 (ja) * | 2006-07-31 | 2011-03-02 | 日東電工株式会社 | 半導体ウエハへの粘着テープ貼付け方法および半導体ウエハからの保護テープ剥離方法 |
CN201803915U (zh) * | 2010-06-22 | 2011-04-20 | 京东方科技集团股份有限公司 | 玻璃基板的检测设备和干法刻蚀设备 |
CN202814826U (zh) * | 2012-06-05 | 2013-03-20 | 震宇(芜湖)实业有限公司 | 一种塑料件裂纹缺陷检测装置 |
CN103018161B (zh) * | 2013-01-14 | 2014-09-03 | 江苏埃尔贝勒汽车电子有限公司 | 氧传感器用锆元件微裂纹检测装置和方法 |
-
2014
- 2014-08-25 JP JP2014170723A patent/JP6316706B2/ja active Active
-
2015
- 2015-07-30 KR KR1020150108032A patent/KR102378964B1/ko active IP Right Grant
- 2015-08-17 TW TW104126655A patent/TWI667704B/zh active
- 2015-08-25 CN CN201510527177.1A patent/CN105390428A/zh active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009016438A (ja) * | 2007-07-02 | 2009-01-22 | Nitto Denko Corp | 半導体ウエハへの粘着テープ貼付け方法および保護テープの剥離方法 |
JP2011086772A (ja) * | 2009-10-15 | 2011-04-28 | Disco Abrasive Syst Ltd | 保護テープ剥離装置 |
JP2013131537A (ja) * | 2011-12-20 | 2013-07-04 | Disco Abrasive Syst Ltd | 板状ワークの割れ判断方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106328553A (zh) * | 2016-08-19 | 2017-01-11 | 晶澳太阳能有限公司 | 一种全自动晶体硅太阳能电池质量测试机 |
CN106328553B (zh) * | 2016-08-19 | 2019-08-09 | 晶澳太阳能有限公司 | 一种全自动晶体硅太阳能电池质量测试机 |
KR20190136944A (ko) | 2018-05-31 | 2019-12-10 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 점착 테이프 박리 방법 및 점착 테이프 박리 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102378964B1 (ko) | 2022-03-24 |
CN105390428A (zh) | 2016-03-09 |
JP6316706B2 (ja) | 2018-04-25 |
TWI667704B (zh) | 2019-08-01 |
KR20160024752A (ko) | 2016-03-07 |
TW201616567A (zh) | 2016-05-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR20090026733A (ko) | 보호 테이프 박리 방법 및 보호 테이프 박리 장치 | |
US9601365B2 (en) | Peeling device, peeling system, and peeling method | |
JP6316706B2 (ja) | 粘着テープ剥離方法および粘着テープ剥離装置 | |
KR101458216B1 (ko) | 보호 테이프 박리 방법 및 이것을 사용한 장치 | |
TWI451502B (zh) | 半導體晶圓之保護帶貼附方法及其裝置 | |
TWI383440B (zh) | 保護膠帶剝離方法及使用此種方法的裝置 | |
JP6316705B2 (ja) | 粘着テープ剥離方法および粘着テープ剥離装置 | |
JP4995796B2 (ja) | 粘着テープ貼付け方法および粘着テープ貼付け装置 | |
JP6059921B2 (ja) | 粘着テープ貼付け方法および粘着テープ貼付け装置 | |
US9724906B2 (en) | Delamination method, delamination device, and delamination system | |
JP6122311B2 (ja) | 粘着テープ切断方法および粘着テープ片切断装置 | |
JP4407933B2 (ja) | 粘着テープ貼付方法およびこれを用いた装置 | |
JP4918539B2 (ja) | 保護テープ剥離装置 | |
TW201715635A (zh) | 半導體晶圓的搬送方法及半導體晶圓的搬送裝置 | |
JP2016039298A (ja) | 保護テープ貼付け方法および保護テープ貼付け装置 | |
JP5977024B2 (ja) | 保護テープ剥離方法および保護テープ剥離装置 | |
KR20140013990A (ko) | 반도체 웨이퍼의 마운트 방법 및 반도체 웨이퍼의 마운트 장치 | |
KR101581012B1 (ko) | 디바이스 웨이퍼 접착제 도포방법 | |
JP4549078B2 (ja) | 半導体ウエハの反り量測定方法および粘着シート貼付け装置調整用ワーク |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170726 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180109 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180305 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180320 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180328 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6316706 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |