JP2016045979A - 表示装置および電子機器 - Google Patents

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Abstract

【課題】高い輝度を有する表示装置および電子機器を提供する。【解決手段】第1電極、発光層を含む有機層および第2電極をこの順に有する発光素子が設けられた発光部と、前記発光部の周囲に設けられ、前記発光部からの光を反射するとともに前記発光素子の前記第2電極に電気的に接続された導電層を有するリフレクタとを備えた表示装置。【選択図】図3

Description

本技術は、有機層を有する発光素子を含む表示装置および電子機器に関する。
有機層を含む自発光型の発光素子を用いた有機EL(Electroluminescence)ディスプレイは、液晶などと比較して視野角が広く、また、高精細度の高速ビデオ信号に対応しても十分な応答性を有するものである。
有機ELディスプレイでは、光の取り出し効率を向上させる方法として、発光素子が設けられた発光部の周囲にリフレクタ構造を設ける方法が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
特開2011−23240号公報
このような有機ELディスプレイでは、光の取り出し効率とともに、発光素子に伝達される信号量(例えば電流量)を増加させ、より輝度を向上させることが望まれている。
本技術はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、高い輝度を有する表示装置および電子機器を提供することにある。
本技術による表示装置は、第1電極、発光層を含む有機層および第2電極をこの順に有する発光素子が設けられた発光部と、発光部の周囲に設けられ、発光部からの光を反射するとともに発光素子の第2電極に電気的に接続された導電層を有するリフレクタとを備えたものである。
本技術による電子機器は、上記表示装置を備えたものである。
本技術の表示装置または電子機器では、発光素子の第2電極にリフレクタの導電層が電気的に接続されているので、第2電極とともにリフレクタの導電層が利用され、発光素子に信号が伝達される。
本技術の表示装置および電子機器によれば、発光素子の第2電極にリフレクタの導電層を電気的に接続するようにしたので、発光素子に流れる信号量を増加させることができる。よって、輝度を向上させることができる。なお、ここに記載された効果は必ずしも限定されるものではなく、本開示中に記載されたいずれの効果であってもよい。
本技術の一実施の形態に係る表示装置の構成を表す平面図である。 図1に示した表示装置の一部を拡大した平面図である。 図2に示したIII−III線に沿った断面構成を表す図である。 図2に示したIV−IV線に沿った断面構成を表す図である。 図3および図4に示したリフレクタの導電層の構成を表す平面図である。 図3および図4に示したリフレクタの第1誘電体層の構成を表す平面図である。 図3および図4に示したリフレクタの第2誘電体層の構成を表す平面図である。 図6に示した第1誘電体層の他の構成を表す平面図である。 図7に示した第2誘電体層の他の構成を表す平面図である。 図1に示した表示装置の全体構成を表す模式図である。 図10に示した画素駆動回路の一例を表す図である。 図3に示した表示装置の製造工程の一例を表す断面図である。 図12に続く工程を表す断面図である。 図13に続く工程を表す断面図である。 図14に続く工程を表す断面図である。 変形例1に係る表示装置の構成を表す平面図である。 図16に示したXVII−XVII線に沿った断面構成を表す図である。 図16に示したXVIII−XVIII線に沿った断面構成を表す図である。 図17および図18に示したリフレクタの第1誘電体層の構成を表す平面図である。 図17および図18に示したリフレクタの第2誘電体層の構成を表す平面図である。 図19に示した第1誘電体層の構成の他の例を表す平面図である。 図20に示した第2誘電体層の構成の他の例を表す平面図である。 変形例2に係る表示装置の第1誘電体層の構成を表す平面図である。 変形例2に係る表示装置の第2誘電体層の構成を表す平面図である。 図23に示した第1誘電体層の構成の他の例を表す平面図である。 図24に示した第2誘電体層の構成の他の例を表す平面図である。 変形例3に係る表示装置の構成を表す断面図である。 変形例4に係る表示装置の構成を表す断面図である。 図1等に示した表示装置の適用例を表す斜視図である。 図8等に示した第1誘電体層の構成の他の例を表す平面図である。 図9等に示した第2誘電体層の構成の他の例を表す平面図である。
以下、本技術の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、説明は以下の順序で行う。
1.実施の形態(表示装置:リフレクタが支持体、導電層および2つの誘電体層により構成されている例)
2.変形例1(誘電体層の接続孔の配置例1)
3.変形例2(誘電体層の接続孔の配置例2)
4.変形例3(リフレクタが支持体、導電層および1つの誘電体層により構成されている例)
5.変形例4(リフレクタが導電層および1つの誘電体層により構成されている例)
6.適用例
<実施の形態>
[表示装置1の構成]
図1は、本技術の一実施の形態に係る有機EL表示装置(表示装置1)の平面構成を模式的に表したものである。この表示装置1は、中央部の表示領域110Aおよび表示領域11Aの外側の周辺領域110Bを有する基板11を含むものである。周辺領域110Bは、表示領域110Aを囲んでおり、この基板11上の周辺領域110Bには共通電極12Cが設けられている。共通電極12Cは例えば、矩形の表示領域110Aを囲む額縁状に設けられている。この共通電極12Cは、例えば共通電源供給線(GND)に接続されている。共通電極12Cは、周辺領域110Bに設けられていればよく、表示領域110Aを囲んでいなくてもよい。
図2は、図1の部分Pの拡大図である。基板11上の表示領域110Aには複数の発光部10が設けられている。発光部10は、例えば赤色の光を発する赤色発光部10R、緑色の光を発する緑色発光部10Gおよび青色の光を発する青色発光部10Bにより構成されている。赤色発光部10R,緑色発光部10G,青色発光部10Bは、例えば矩形状であり、行方向(X方向)および列方向(Y方向)にマトリクス状に配置されている。赤色発光部10R,緑色発光部10G,青色発光部10Bは、例えば円状であってもよい(図示せず)。
図2のIII-III線に沿った断面構成を図3に、図2のIV−IV線に沿った断面構成を図4にそれぞれ表す。
表示装置1は、基板11上にTFT(Thin Film Transistor)層12および層間絶縁膜13を有している。赤色発光部10R,緑色発光部10G,青色発光部10Bでは、層間絶縁膜13上にそれぞれ発光素子20が設けられ、赤色発光部10R,緑色発光部10G,青色発光部10Bの周囲には層間絶縁膜13上にリフレクタ30が設けられている。図3には、赤色発光部10Rを示していないが、赤色発光部10Rの発光素子20も緑色発光部10Gおよび青色発光部10Bの発光素子20と同様の構成を有している。発光素子20は、層間絶縁膜13に近い位置から順に第1電極21、発光層を含む有機層22および第2電極23を有している。隣り合う発光素子20の間には、画素間絶縁膜24が設けられている。リフレクタ30は、層間絶縁膜13に近い位置から順に支持体31、導電層32、第1誘電体層33および第2誘電体層34を有している。これら発光素子20およびリフレクタ30は充填層40で覆われており、基板11とCF(Color Filter)層50を有する封止基板60との間に封止されている。このような表示装置1は、例えばトップエミッション型の表示装置であり、発光素子20で発生した光は封止基板60から取り出されるようになっている。
基板11は、例えば、水分(水蒸気)および酸素の透過を遮断可能なガラスまたはプラスチック材料などにより形成されている。基板11は、その一主面に複数の画素5が配列形成される支持体である。基板11の構成材料としては、例えば高歪点ガラス、ソーダガラス(Na2O・CaO・SiO2)、硼珪酸ガラス(Na2O・B23・SiO2)、フォルステライト(2MgO・SiO2)および鉛ガラス(Na2O・PbO・SiO2)等のガラス基板、石英基板あるいはシリコン基板が挙げられる。このようなガラス基板、石英基板およびシリコン基板の表面に絶縁膜を設けて基板11を構成してもよい。基板11には、金属箔もしくは樹脂製のフィルムやシートなどを用いることも可能である。樹脂の材質としては、例えば、ポリメチルメタクリレート(ポリメタクリル酸メチル,PMMA)、ポリビニルアルコール(PVA)、ポリビニルフェノール(PVP)、ポリエーテルスルホン(PES)、ポリイミド、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート(PET)およびポリエチレンナフタレート(PEN)などの有機ポリマーが挙げられる。なお、トップエミッション型では後述の封止基板60から光が取り出されるため、基板11は、透過性材料または非透過性材料のいずれにより形成されていてもよい。封止基板60には基板11と同じ材料を用いるようにしてもよく、あるいは、異なる材料を用いるようにしてもよい。また、可撓性材料により基板11を構成してもよい。
TFT層12は、例えばゲート絶縁膜と平坦化層との積層構造を有している。TFT層12には、画素駆動回路(後述の図10の画素駆動回路140)を構成する駆動トランジスタTr1および書込トランジスタTr2が形成されており、さらに、信号線(後述の図10の信号線120A)、走査線(後述の図10の走査線130A)および共通電極12Cも埋設されている。詳細には、基板11の上に、駆動トランジスタTr1および書込トランジスタTr2のゲート電極がそれぞれ形成され、ゲート絶縁膜によって一括して覆われている。そのゲート絶縁膜の上には、駆動トランジスタTr1および書込トランジスタTr2における、半導体層、ソース電極およびドレイン電極がそれぞれ形成されている。
ゲート絶縁膜に積層された平坦化層は、主にTFT層12の表面を平坦化するために設けられるものであり、例えば、ポリイミドなどの絶縁性樹脂材料により形成されている。ゲート絶縁膜により十分な平坦性が得られていれば、平坦化層を省略することもできる。
第1電極21は、例えば反射層としての機能も兼ね備えたものであり、反射率が高く、かつ、正孔注入性も高い材料により構成されていることが望ましい。このような第1電極21としては、例えば厚みが100nm〜300nmの導電材料を用いることができる。第1電極21の構成材料としては、例えば、クロム(Cr),金(Au),白金(Pt),ニッケル(Ni),銅(Cu),モリブデン(Mo),タングステン(W),チタン(Ti),タンタル(Ta),アルミニウム(Al),鉄(Fe)あるいは銀(Ag)などの金属元素の単体または合金が挙げられる。第1電極21は、このような金属膜を複数積層したものであってもよい。光透過性の高い導電材料により第1電極21を構成し、基板11と第1電極21との間に反射層を設けるようにしてもよい。発光部10Bに設けられた第1電極21は、層間絶縁膜13に設けられた接続孔HBを介して、発光部10Gに設けられた第1電極21は、層間絶縁膜13に設けられた接続孔HGを介して、それぞれTFT層12の駆動トランジスタTr1に電気的に接続されている。
画素間絶縁膜24は第1電極21と第2電極23との間の絶縁性を確保すると共に各発光素子20の発光領域を区画分離するためのものである。この画素間絶縁膜24は例えば、ポリイミド,アクリル樹脂またはノボラック系樹脂などの樹脂材料により構成されている。酸化シリコン(SiO2)および窒化シリコン(Si34)等の無機絶縁材料と樹脂材料とを積層して画素間絶縁膜24を構成するようにしてもよい。
第1電極21と第2電極23との間には、有機層22が設けられている。この有機層22は、発光部10(赤色発光部10R,緑色発光部10G,青色発光部10B)の発光色にかかわらず同一の構造を有しており、例えば、第1電極21に近い位置から、正孔注入層,正孔輸送層,発光層,電子輸送層および電子注入層がこの順に積層されたものである。電界をかけることにより、第1電極21から正孔注入層および正孔輸送層を介して注入された正孔の一部と、第2電極23から電子注入層および電子輸送層を介して注入された電子の一部とが発光層で再結合して、光が発生する。有機層22は、例えば全ての発光素子20に共通しており、リフレクタ30を覆っている。
正孔注入層は、正孔(キャリア)を通過させて正孔注入効率を高めるためのものであると共に、リークを防止するためのバッファ層である。正孔注入層は、例えば、厚みが5nm以上300nm以下であり、化1または化2に示したヘキサアザトリフェニレン誘導体により構成されている。
Figure 2016045979
(化1において、R1〜R6それぞれ独立に、水素、ハロゲン、ヒドロキシル基、アミノ基、アルールアミノ基、炭素数20以下の置換あるいは無置換のカルボニル基、炭素数20以下の置換あるいは無置換のカルボニルエステル基、炭素数20以下の置換あるいは無置換のアルキル基、炭素数20以下の置換あるいは無置換のアルケニル基、炭素数20以下の置換あるいは無置換のアルコキシル基、炭素数30以下の置換あるいは無置換のアリール基、炭素数30以下の置換あるいは無置換の複素環基、ニトリル基、シアノ基、ニトロ基、またはシリル基から選ばれる置換基であり、隣接するRm(m=1〜6)は環状構造を通じて互いに結合してもよい。また、X1〜X6はそれぞれ独立に炭素もしくは窒素原子である。)
Figure 2016045979
正孔輸送層は、発光層への正孔輸送効率を高めるためのものである。正孔輸送層は、例えば、厚みが40nm程度であり、4,4′,4″−トリス(3−メチルフェニルフェニルアミノ)トリフェニルアミン(m−MTDATA)またはα−ナフチルフェニルジアミン(αNPD)により構成されている。正孔輸送機能を有する材料を正孔注入層として選択してもよい。
発光層は白色発光用の発光層であり、例えば第1電極21と第2電極23との間に互いに積層して設けられた赤色発光層,緑色発光層および青色発光層(いずれも図示せず)を有している。赤色発光層,緑色発光層および青色発光層は、正孔と電子との再結合により、それぞれ赤色,緑色および青色の光を発生するものである。
赤色発光層は、例えば、赤色発光材料,正孔輸送性材料,電子輸送性材料および両電荷輸送性材料のうち少なくとも1種を含んでいる。赤色発光材料は、蛍光性のものでも燐光性のものでもよい。赤色発光層は、例えば、厚みが5nm程度であり、4,4−ビス(2,2−ジフェニルビニル)ビフェニル(DPVBi)に2,6−ビス[(4’−メトキシジフェニルアミノ)スチリル]−1,5−ジシアノナフタレン(BSN)を30重量%混合したものにより構成されている。
緑色発光層は、例えば、緑色発光材料,正孔輸送性材料,電子輸送性材料および両電荷輸送性材料のうち少なくとも1種を含んでいる。緑色発光材料は、蛍光性のものでも燐光性のものでもよい。緑色発光層は、例えば、厚みが10nm程度であり、DPVBiにクマリン6を5重量%混合したものにより構成されている。
青色発光層は、例えば、青色発光材料,正孔輸送性材料,電子輸送性材料および両電荷輸送性材料のうち少なくとも1種を含んでいる。青色発光材料は、蛍光性のものでも燐光性のものでもよい。青色発光層は、例えば、厚みが30nm程度であり、DPVBiに4,4’−ビス[2−{4−(N,N−ジフェニルアミノ)フェニル}ビニル]ビフェニル(DPAVBi)を2.5重量%混合したものにより構成されている。
電子輸送層は、発光層への電子輸送効率を高めるためのものであり、例えば厚みが20nm程度の8−ヒドロキシキノリンアルミニウム(Alq3)により構成されている。電子注入層は、発光層16への電子注入効率を高めるためのものであり、例えば厚みが0.3nm程度のLiFあるいはLi2O等により構成されている。
第2電極23は、有機層22を間にして第1電極21と対をなし、第1電極21と絶縁された状態で電子注入層の上に全ての発光素子20に共通して設けられている。この第2電極23は、例えば光透過性の透明材料により構成されている。具体的には、第2電極23にはアルミニウム(Al),マグネシウム(Mg),銀(Ag),カルシウム(Ca)またはナトリウム(Na)の合金を用いることができる。中でも、マグネシウムと銀との合金(Mg−Ag合金)は、薄膜での導電性と吸収の小ささとを兼ね備えているので好ましい。Mg−Ag合金におけるマグネシウムと銀との比率は特に限定されないが、膜厚比でMg:Ag=20:1〜1:1の範囲であることが望ましい。また、第2電極23の材料には、アルミニウム(Al)とリチウム(Li)との合金(Al−Li合金)を用いるようにしてもよく、インジウム錫酸化物(ITO),酸化亜鉛(ZnO),アルミナドープ酸化亜鉛(AZO),ガリウムドープ酸化亜鉛(GZO),インジウム亜鉛酸化物(IZO),インジウムチタン酸化物(ITiO)またはインジウムタングステン酸化物(IWO)等を用いてもよい。具体的には第2電極23として、厚み10nm〜30nmのMg−Ag合金、または厚み20nm〜200nmのIZO等を用いることができる。第2電極23は例えば、有機層22と同様に、全ての発光素子20に共通しており、リフレクタ30を覆っている。
リフレクタ30は、発光部10の周囲を囲むように設けられており、発光素子20で発生した光を反射する。このようなリフレクタ30を設けることにより、発光素子20で発生した光の光取り出し効率が高まり、表示装置1の輝度が向上する。リフレクタ30の支持体31は、画素間絶縁膜24上に設けられている。この支持体31は、リフレクタ30の形状を所望の形状に成形するためのものであり、発光部10を囲む隔壁状に成形されている。支持体31の太さ(幅)は、例えば画素間絶縁膜24に近い位置で大きく、封止基板60に近づくにつれて小さくなっている。即ち、支持体31は、その断面形状がテーパ状になるように成形されている。このような断面がテーパ状の支持体31(リフレクタ30)を設けることにより、封止基板60側からの光取り出し効率を高めることができる。支持体31は、例えば紫外線硬化型または熱硬化型の樹脂により構成されている。支持体31には、上述の画素間絶縁膜24の構成材料と同じ材料を用いることも可能であり、支持体31と画素間絶縁膜24とが一体化されていてもよい。例えば、第1電極21が半径10μmの円状の形状を有するとき、支持体31の高さ(Z方向の距離)は、例えば10μmである。支持体31の高さは、第1電極21の大きさ、形状およびピッチ等に応じて適宜調整すればよい。
導電層32は、例えばその厚みが50nm〜200nmであり、支持体31の形状に沿うように支持体31を覆っている。この導電層32は、発光部10からの光を表示面側に効率よく反射させるためのものであり、発光素子20で発生した光に対して高い反射率を有する金属材料により構成することが好ましい。具体的には、導電層32の構成材料は銀(Ag)およびアルミニウム(Al)の少なくとも一方を含むことが好ましい。銀またはアルミニウムの単体により導電層32を構成するようにしてもよく、あるいは、銀およびアルミニウムの混合物を主成分とした合金により導電層32を構成するようにしてもよい。本実施の形態では、この導電層32が発光素子20の第2電極23に電気的に接続されている。詳細は後述するが、これにより、発光素子20に流れる信号量を増加させ、発光素子20の輝度を向上させることができる。
図5は、導電層32の平面形状を表したものである。表示装置1には、1つの導電層32が連続して設けられている。基板11の表示領域110A上では、導電層32に複数の開口32Eが設けられている。この開口32Eは例えば矩形状であり、発光部10に重なる位置に設けられている。開口32Eでは、導電層32の端面が第1誘電体層33、第2誘電体層34および画素間絶縁膜24に覆われており、導電層32は第1電極21と絶縁されている。この導電層32は、基板11上の周辺領域110Bまで延在しており、周辺領域110Bの層間絶縁膜13に設けられた接続孔HCを介して、共通電極12Cに電気的に接続されている(図3)。即ち、発光素子20の第2電極23は、導電層32を介して共通電極12Cに電気的に接続されている。
導電層32に積層された第1誘電体層33および第2誘電体層34には、接続孔30Hが設けられており、リフレクタ30を覆う第2電極23は、この接続孔30Hを介して導電層32に電気的に接続されている。有機層22は接続孔30H近傍で分断され、例えば、有機層22の一部は接続孔30Hの底部で局所的に導電層32に付着している。第2電極23は、有機層22の分断面(端面)とともに、接続孔30Hの壁面を覆い、接続孔30Hの底部まで連続して設けられている。この第2電極23が、接続孔30Hの底部全体にまわり込み、導電層32に接している。第1誘電体層33および第2誘電体層34は、接続孔30Hの近傍にオーバーハング構造を有しており、接続孔30Hの底部(導電層32近傍)はその入口(第1誘電体層33近傍)よりも大きくなっている。
図6は第1誘電体層33の平面構成、図7は第2誘電体層34の平面構成をそれぞれ表したものである。接続孔30Hは、第1誘電体層33の接続孔33Hおよび第2誘電体層34の接続孔34Hにより構成されている。接続孔33H,34Hは例えば円状であり、第1誘電体層33の接続孔33Hの方が第2誘電体層34の接続孔34Hよりも大きくなっている。基板11上の表示領域110Aでは、この接続孔33H,34Hとともに、第1誘電体層33に複数の開口33Eが、第2誘電体層34に複数の開口34Eが設けられている。この開口33E,34Eは例えば矩形状であり、導電層32の開口32E、即ち発光部10に重なる位置に設けられている。接続孔33H,34Hは、例えば行方向に隣り合う発光部10の間に設けられている。
接続孔33H,34Hは、行方向に隣り合う発光部10の間全てに設けられていてもよく(図6,図7)、図8および図9に示したように、行方向に隣り合う発光部10の間の一部に設けられていてもよい。
第1誘電体層33および第2誘電体層34は、例えば酸化シリコン(SiO2),窒化シリコン(Si34),酸化チタン(TiO2),酸化ジルコニウム,酸化アルミニウム,酸化亜鉛および酸化インジウム等の無機材料により構成されている。第1誘電体層33および第2誘電体層34には、透明な(光透過性の高い)絶縁物を用いることが好ましい。第1誘電体層33および第2誘電体層34の構成材料は、所定条件下でのドライエッチングに対して互いにエッチング速度が異なることが好ましい。詳細には、第1誘電体層33の構成材料の方が、第2誘電体層34の構成材料よりも早くエッチングされることが好ましい。これにより、互いに大きさの異なる接続孔33Hおよび接続孔34Hを形成することが可能となる。第2誘電体層34の屈折率(n34)は、第1誘電体層33の屈折率(n33)よりも大きいことが好ましい(n34>n33)。例えば、第1誘電体層33は酸化シリコン、第2誘電体層34は窒化シリコンにより構成されている。
基板11と封止基板60との間の充填層40は、有機層22への水分の侵入を防ぐと共に、表示装置1の機械的強度を高めるためのものである。この充填層40の光透過率は80%程度であり、その厚みは例えば3μm〜20μmである。充填層40には例えば、エポキシ樹脂あるいはアクリル樹脂等を用いることができる。充填層40の屈折率(n40)は、第2誘電体層34の屈折率n34よりも大きいことが好ましい(n40>n34)。
封止基板60の基板11との対向面には、CF層50が設けられている。このCF層50は、例えば赤色カラーフィルタ(図示せず)、緑色カラーフィルタ50Gおよび青色カラーフィルタ50Bを含んでおり、これらがそれぞれ赤色発光部10R,緑色発光部10G,青色発光部10Bに対応して配置されている。赤色カラーフィルタ,緑色カラーフィルタ50G,青色カラーフィルタ50Bは、顔料を混入した樹脂によりそれぞれ構成されており、顔料を選択することにより、目的とする赤,緑あるいは青の波長域における光透過率が高く、他の波長域における光透過率が低くなるように調整されている。
CF層50には例えば、各色カラーフィルタ(赤色カラーフィルタ,緑色カラーフィルタ50G,青色カラーフィルタ50B)の間を埋める遮光膜が設けられている。この遮光膜は、例えば黒色の着色剤を混入した光学濃度が1以上の黒色の樹脂膜、または薄膜の干渉を利用した薄膜フィルタにより構成されている。このうち黒色の樹脂膜により構成するようにすれば、安価で容易に形成することができるので好ましい。薄膜フィルタは、例えば、金属,金属窒化物あるいは金属酸化物よりなる薄膜を1層以上積層し、薄膜の干渉を利用して光を減衰させるものである。薄膜フィルタとしては、具体的には、Crと酸化クロム(III)(Cr23)とを交互に積層したものが挙げられる。
封止基板60は、発光素子20の第2電極23の側に位置しており、接着層(図示せず)と共に発光素子20を封止するものである。封止基板60は、発光素子20で発生した光に対して透明なガラスなどの材料により構成されている。
図10は、発光素子20と発光素子20に接続された各回路の構成を模式的に表したものである。基板11上の周辺領域110Bには、共通電極12C(図1)とともに、例えば、映像表示用のドライバである信号線駆動回路120および走査線駆動回路130が設けられており、これらが表示領域110Aの発光素子20に接続されている。
表示領域110Aには、複数の発光素子20と共に、それらを駆動するための画素駆動回路140が形成されている。画素駆動回路140において、列方向には複数の信号線120Aが配置され、行方向には複数の走査線130Aが配置されている。発光素子20は、信号線120Aと走査線130Aとの交差点にそれぞれ設けられている。信号線120Aはその両端が信号線駆動回路120に接続され、走査線130Aはその両端が走査線駆動回路130に接続されている。
信号線駆動回路120は、信号供給源(図示せず)から供給される輝度情報に応じた映像信号の信号電圧を、信号線120Aを介して選択された発光素子20に供給する。走査線駆動回路130は、入力されるクロックパルスに同期してスタートパルスを順にシフト(転送)するシフトレジスタなどを含む。走査線駆動回路130は、各発光素子20への映像信号の書き込みに際し、行単位でそれらを走査し各走査線130Aに走査信号を順次供給する。信号線120Aには信号線駆動回路120からの信号電圧が、走査線130Aには走査線駆動回路130からの走査信号がそれぞれ供給される。
図11は、画素駆動回路140の一例を表したものである。画素駆動回路140は、例えばアクティブ型の駆動回路である。具体的には、画素駆動回路140には、駆動トランジスタTr1および書き込みトランジスタTr2と、これらトランジスタTr1,Tr2の間のキャパシタ(保持容量)Csと、第1の電源ライン(Vcc)および第2の電源ライン(GND)の間において駆動トランジスタTr1に直列に接続された発光素子20とが設けられている。発光素子20の第1電極21は駆動トランジスタTr1のソース電極に接続され、発光素子20の第2電極22は共通電源供給線(GND)に接続されている。駆動トランジスタTr1および書き込みトランジスタTr2は、一般的な薄膜トランジスタにより構成され、その構成は、例えば逆スタガ構造(いわゆるボトムゲート型)でもよいしスタガ構造(トップゲート型)でもよく特に限定されない。
[表示装置1の製造方法]
上記のような表示装置1は、例えば次のようにして製造することができる。
(TFT層12および層間絶縁膜13の形成工程)
まず、基板11上に、所定の薄膜プロセスを経てTFT層12を形成する。このとき、基板11上の表示領域110Aには駆動トランジスタTr1および書き込みトランジスタTr2を、周辺領域110Bには共通電極12Cを形成しておく。次いで、基板11の全面にわたって層間絶縁膜13を、例えばスピンコート法またはスリットコート法により成膜する。続いて、成膜した層間絶縁膜13を、例えばフォトリソグラフィ法により、所定の形状にパターニングして接続孔HG,HB,HCを形成する。
(第1電極21の形成工程)
TFT20を設けた後、発光部10毎に第1電極21を形成する。第1電極21は、例えばAlNd合金をスパッタ法により基板11全面にわたって成膜した後、例えばフォトリソグラフィ法を用いてパターニングすることにより形成される。
(画素間絶縁膜24の形成工程)
次いで、基板11全面にわたって例えばポリイミド系樹脂を成膜した後、これを所望の形状にパターニングすることにより、表示領域110Aに画素間絶縁膜24を形成する。
(リフレクタ30の形成工程)
続いて、図12に示したように、画素間絶縁膜24上にリフレクタ30を形成する。具体的には、まず、例えば基板11全面に樹脂材料を成膜した後、これをパターニングすることにより、表示領域110Aに支持体31を形成する。その後、支持体31を覆うようにして例えば、銀を成膜した後、これをパターニングして開口(図5の開口32E)を形成する。これにより導電層32が形成される。このとき、銀は周辺領域110Bまで延在させて、接続孔HCに接続しておく。次いで、導電層32上に第1誘電体層33および第2誘電体層34の構成材料を成膜した後、これをパターニングして開口(図6および図7の開口33E,34E)を形成する。これにより、リフレクタ30が形成される。第1誘電体層33および第2誘電体層34は、所定条件下でのドライエッチングに対して、よりエッチング速度の速い材料を第1誘電体層33に、よりエッチング速度の遅い材料を第2誘電体層34に用いて形成しておく。
リフレクタ30を設けた後、図13に示したように、リフレクタ30の第2誘電体層34および第1誘電体層33に接続孔30Hを形成する。接続孔30Hは、例えば、フォトリソグラフィ法およびドライエッチングを用いてパターニングすることにより形成する。このドライエッチングの工程では、上記のように、所定条件下でのドライエッチングに対して、互いにエッチング速度の異なる材料を用いて第1誘電体層33および第2誘電体層34を形成しておくことにより、第1誘電体層33により大きな開口(図6の開口33E)が、第2誘電体層34により小さな開口(図7の開口34E)が形成される。
(有機層22の形成工程)
リフレクタ30の第2誘電体層34および第1誘電体層33に接続孔30Hを形成した後、図14に示したように、基板11上の表示領域110Aに有機層22を形成する。有機層22は、例えば真空蒸着法により形成する。真空蒸着法は、蒸着源から基板11に種々の材料を蒸着させる方法である。成膜時の圧力は、5×10-4Pa以下であることが好ましい。有機層22は、第1電極21上に形成されるとともに、リフレクタ30上にも形成される。リフレクタ30の接続孔30H内に、有機層22の一部が入り込み、導電層32に有機層22が付着していてもよい。
(第2電極23の形成工程)
有機層22を設けた後、図15に示したように、例えば真空蒸着法またはスパッタ法を用いて厚み200nmの第2電極23を形成する。成膜時の圧力は、1×10-3Pa以上であることが好ましく、例えば0.3Paである。このとき、リフレクタ30の接続孔30H内で、有機層22よりも第2電極23が広い範囲に回りこむようにすることで、第2電極23が導電層32に接し、これらが電気的に接続される。第2電極23は、CVD(Chemical vapor deposition)法またはALD(Atomic layer deposition)法等を用いて形成するようにしてもよい。
(封止基板60の形成工程)
封止基板60上には、例えば以下のようにしてCF層50を形成する。まず、封止基板60の全面に遮光膜の構成材料を成膜したのち、これを例えばフォトリソグラフィ工程を用いてマトリクス状にパターニングし、発光部10の配置に合わせた開口を複数形成する。これにより遮光膜が形成される。次いで、遮光膜の開口に赤色カラーフィルタ、緑色カラーフィルタ50Gおよび青色カラーフィルタ50Bを順次パターニングして設ける。これによりCF層50が形成される。
(基板11と封止基板60との貼り合わせ工程)
上記のようにして形成した封止基板60は、例えばODF(One Drop Fill)工程により発光素子20、リフレクタ30および充填層40を間にして、基板11に貼り合わされる。以上により、表示装置1が完成する。
[表示装置1の動作]
表示装置1では、各発光素子20に、各色の映像信号に応じた駆動電流が印加されると、第1電極21および第2電極23を通じて、有機層22に電子および正孔が注入される。これらの電子および正孔は、有機層22に含まれる発光層においてそれぞれ再結合され、発光を生じる。この光の少なくとも一部はリフレクタ30で反射され、CF層50および封止基板60を透過して外部へ取り出される。このようにして、表示装置1では、例えばR,G,Bのフルカラーの映像表示がなされる。
[表示装置1の作用・効果]
ここで、表示装置1では、発光素子20の第2電極23にリフレクタ30の導電層32が電気的に接続されているので、発光素子20に流れる信号量を増加させることができる。以下、これについて説明する。
上面発光型(トップエミッション方式)の有機ELディスプレイでは、発光素子の第2電極を透明導電材料により構成し、第1電極と第2電極との間で有機層からの光を多重反射させ、第1基板と反対側の第2基板(上面)から光を取り出すようになっている。第2電極として用いる透明導電材料は、一般に、金属材料よりも高い抵抗値を有するものである。したがって、発光素子の配置場所によって、発光素子を流れる信号量に差が生じ、表示性能が低下してしまう虞がある。第2電極の膜厚を厚くすると、その抵抗値は下がるものの、第2電極の可視光透過率が低下し、発光素子の光取出し効率を低下させてしまうことになる。
このような第2電極の高い抵抗値の影響を抑えるため、補助配線を用いる方法が考えられる。補助配線は、例えば隣り合う発光部の間に形成する。低抵抗の金属により構成された補助配線を介して第2電極を共通電極に接続することにより、第2電極により多くの信号を流すことが可能となり、表示性能が改善される。
しかしながら、補助配線を設けると発光部(開孔部)が狭くなる。即ち、補助配線が光取り出しを阻害して、輝度を低下させる虞がある。特に、リフレクタとともに補助配線を用いると、開孔率が大きく低下する。
これに対し、表示装置1では、発光素子20の第2電極23にリフレクタ30の導電層32が電気的に接続されているので、第2電極23とともに導電層32が利用され、発光素子20に例えば電流等の信号が流れる。導電層32は、共通電極12Cに電気的に接続されており、第2電極23から導電層32を介して共通電極12Cに電流が流れるようになっている。換言すれば、表示装置1のリフレクタ30は、リフレクタとしてだけでなく、補助配線としても機能するようになっている。このように表示装置1では、リフレクタ30とは別に補助配線を設ける必要がないので、開孔率を低下させることなく、発光素子20に流れる信号量を増加させることができる。よって、表示装置1では、リフレクタ30により、発光素子20で発生した光の取り出し効率を向上させ、かつ、発光素子20の発光量を増加させることができる。即ち、表示装置1では大出力の光を発生させることが可能となる。
また、表示装置1では、リフレクタ30とは別に補助配線を設ける必要がないので、製造工程を簡略化し、コストを抑えることができる。
以上のように本実施の形態では、発光素子20の第2電極23にリフレクタ30の導電層32を電気的に接続するようにしたので、光の取り出し効率を向上させるとともに、発光素子20に大容量の信号を流すことができる。よって、輝度を向上させることができる。
また、表示装置1では、上記のように開孔率の低下が抑えられるので、発光部10の微細化を行うことが可能となる。マイクロディスプレイでは、パネルサイズの縮小化が可能となり、製造効率を向上させることが可能となる。
更に、発光素子20からリフレクタ30の導電層32を介して共通電極12Cに電流が流れるので、この電流量が大きい場合にも、駆動回路には影響を及ぼすことない。このため、表示領域110A内で均一な発光を得ることができる。
加えて、第2誘電体層34の屈折率n34を第1誘電体層33の屈折率n33よりも大きく、充填層40の屈折率n40を第2誘電体層34の屈折率n34よりも大きく(n33<n34<n40)することにより、発光素子20で発生した光は第2誘電体層34の表面で全反射するようになる。よって、発光素子20で発生した光の取り出し効率を更に向上させることが可能となる。
以下、上記実施の形態の変形例について説明するが、上記実施の形態における構成要素と同一のものには同一の符号を付し、適宜説明を省略する。
<変形例1>
図16は、変形例1に係る表示装置(表示装置1A)の平面構成を表したものである。図16のXVII−XVII線に沿った断面構成を図17に、XVIII−XVIII線に沿った断面構成を図18にそれぞれ表している。この表示装置1Aは、上記表示装置1とは異なる位置に接続孔30Hが設けられている。この点を除き、表示装置1Aは表示装置1と同様の構成を有し、その作用および効果も同様である。
図19は、リフレクタ30の第1誘電体層33の平面構成を表したものであり、図20はリフレクタ30の第2誘電体層34の平面構成を表したものである。接続孔33H,34Hは、行方向および列方向のいずれの方向においても開口33E,34Eとずれた位置に設けられている。即ち、接続孔33H,34Hからなる接続孔30Hは、行方向および列方向のいずれの方向においても発光部10とずれた位置に配置されている。
図21および図22に示したように、行方向に隣り合う開口33E,34Eの間に接続孔33H,34Hを設けるととともに、行方向および列方向のいずれの方向においても開口33E,34Eとずれた位置に接続孔33H,34Hを設けるようにしてもよい。
<変形例2>
変形例2に係る表示装置(表示装置1B)は、リフレクタ30の導電層32と発光素子20の第2電極23とを接続するための接続孔30Hが、列方向に隣り合う発光部10の間に設けられたものである。この点を除き、表示装置1Bは表示装置1と同様の構成を有し、その作用および効果も同様である。
図23は、この表示装置1Bの第1誘電体層33の平面構成を表したものであり、図24は第2誘電体層34の平面構成を表したものである。接続孔33H,34Hは、列方向に隣り合う開口33E,34Eの間に設けられている。即ち、接続孔33H,34Hからなる接続孔30Hは、列方向に隣り合う発光部10の間に配置されている。
接続孔33H,34Hは、列方向に隣り合う発光部10の間全てに設けられていてもよく(図23,図24)、図25および図26に示したように、行方向に隣り合う発光部10の間の一部に設けられていてもよい。列方向に隣り合う発光部10の間と、行方向に隣り合う発光部10の間とに接続孔33H,34Hが設けられていてもよい。
<変形例3>
図27は、変形例3に係る表示装置(表示装置1C)の要部の断面構成を表したものである。この表示装置1Cでは、リフレクタ30が支持体31、導電層32および第1誘電体層32の積層構造により構成されており、第2誘電体層(例えば、図3の第2誘電体層33)が設けられていない。この点を除き、表示装置1Cは表示装置1と同様の構成を有し、その作用および効果も同様である。
表示装置1Cでは、リフレクタ30の導電層32と発光素子20の第2電極23とを接続する接続孔30Hは、第1誘電体層32に設けられている。接続孔30Hは、表示装置1で説明したのと同様に、その入口よりも底部が大きくなっていることが好ましい。
<変形例4>
図28は、変形例4に係る表示装置(表示装置1D)の要部の断面構成を表したものである。この表示装置1Dでは、リフレクタ30が導電層32および第1誘電体層33の積層構造により構成されており、支持体(例えば、図3の支持体31)および第2誘電体層(例えば、図3の第2誘電体層33)が設けられていない。この点を除き、表示装置1Dは表示装置1と同様の構成を有し、その作用および効果も同様である。
この表示装置1Dのリフレクタ30では、導電層32の断面形状がテーパ状になるように成形されており、導電層32の太さ(幅)が、例えば画素間絶縁膜24に近い位置で大きく、封止基板60に近づくにつれて小さくなっている。第1誘電体層33に設けられた接続孔30Hは、表示装置1で説明したのと同様に、その入口よりも底部が大きくなっていることが好ましい。断面形状がテーパ状の導電層32に、第1誘電体層33および第2誘電体層を積層してリフレクタ30を構成するようにしてもよい(図示せず)。
(適用例)
上記実施の形態および変形例に係る表示装置の適用例について説明する。上記実施の形態等の表示装置(表示装置1,1A,1B,1C,1D)は、テレビジョン装置,デジタルカメラ,ノート型パーソナルコンピュータ、携帯電話やスマートフォン等の携帯端末装置あるいはビデオカメラなどのあらゆる分野の電子機器に適用することが可能である。言い換えると、この表示装置は、外部から入力された映像信号あるいは内部で生成した映像信号を、画像あるいは映像として表示するあらゆる分野の電子機器に適用することが可能である。
例えば、図29は、上記実施の形態等の表示装置が適用されるテレビジョン装置の外観を表したものである。このテレビジョン装置は、例えば、フロントパネル310およびフィルターガラス320を含む映像表示画面部300を有している。映像表示画面部300が上記実施の形態等の表示装置により構成されている。
以上、実施の形態および変形例を挙げて本技術を説明したが、本技術はこれら実施の形態に限定されるものではなく、種々変形が可能である。
例えば、上記実施の形態等では、表示装置1,1A,1B,1C,1Dの構成を具体的に挙げて説明したが、表示装置1,1A,1B,1C,1Dは、図示した構成要素を全て備えるものに限定されるものではなく、また他の構成要素を備えていてもよい。一部の構成要素を他の構成要素に置換することもできる。
また、上記実施の形態等において説明した各層の材料および厚み、または成膜方法および成膜条件等は限定されるものではなく、他の材料および厚みとしてもよく、または他の成膜方法および成膜条件としてもよい。
更に、上記実施の形態等では、リフレクタ30の第1誘電体層33および第2誘電体層34に接続孔33H,34Hを設ける場合について説明したが、図30および図31に示したように、第1誘電体層33および第2誘電体層34に列方向に延在する接続溝33S,34Sを設けるようにしてもよい。接続溝33S,34Sは、行方向に延在していてもよい(図示せず)。接続溝33S,34Sを設けた場合には、リフレクタ30の導電層32と発光素子20の第2電極23とは、接続溝で接続される。
加えて、上記実施の形態等では、有機層22が全ての発光素子20に共通して設けられている場合について説明したが、有機層22の一部あるいは全部が発光素子20毎に設けられていてもよい。
なお、本明細書に記載された効果はあくまで例示であってこれに限定されるものではなく、また他の効果があってもよい。
なお、本技術は以下のような構成も取ることができる。
(1)第1電極、発光層を含む有機層および第2電極をこの順に有する発光素子が設けられた発光部と、前記発光部の周囲に設けられ、前記発光部からの光を反射するとともに前記発光素子の前記第2電極に電気的に接続された導電層を有するリフレクタとを備えた表示装置。
(2)更に、前記発光素子および前記リフレクタが設けられた表示領域と、前記表示領域の外側の周辺領域とを有する基板と、前記基板上の前記周辺領域に設けられた共通電極とを有し、前記リフレクタの前記導電層は、前記周辺領域に延在して前記共通電極に電気的に接続されている前記(1)に記載の表示装置。
(3)前記リフレクタは、前記導電層に積層された誘電体層を含む前記(1)または(2)に記載の表示装置。
(4)複数の前記発光素子を有し、前記発光素子の前記発光層および前記第2電極は、複数の前記発光素子に共通して設けられ、前記リフレクタを覆っている前記(3)に記載の表示装置。
(5)前記誘電体層に設けられた接続孔を介して、前記発光素子の前記第2電極は前記導電層に電気的に接続されている前記(4)に記載の表示装置。
(6)前記接続孔の底部は、入口よりも大きくなっている前記(5)に記載の表示装置。
(7)前記誘電体層は、所定条件下でのドライエッチングに対して互いにエッチング速度の異なる第1誘電体層および第2誘電体層を含む前記(6)に記載の表示装置。
(8)前記リフレクタは前記発光部を囲む隔壁状の支持体を有し、前記支持体に前記導電層、第1誘電体層および第2誘電体層がこの順に積層されている前記(7)に記載の表示装置。
(9)前記接続孔は、前記第1誘電体層に設けられた第1接続孔と、前記第2誘電体層に設けられるとともに前記第1接続孔よりも小さい第2接続孔とにより構成されている前記(8)に記載の表示装置。
(10)前記接続孔では、前記有機層が前記導電層に付着するとともに前記導電層に付着した前記有機層の周囲で前記第2電極が前記導電層に接している前記(6)乃至(9)のうちいずれか1つに記載の表示装置。
(11)複数の前記発光部が行列状に配置され、前記誘電体層の前記接続孔は、行方向または列方向の少なくともいずれか一方において隣り合う前記発光部の間に設けられている前記(5)乃至(10)のうちいずれか1つに記載の表示装置。
(12)複数の前記発光部が行列状に配置され、前記誘電体層の前記接続孔は、行方向および列方向のいずれにおいても前記発光部とずれた位置に設けられている前記(5)乃至(10)のうちいずれか1つに記載の表示装置。
(13)前記発光部および前記リフレクタは、充填剤により覆われている前記(7)に記載の表示装置。
(14)前記充填剤の屈折率は前記第2誘電体層の屈折率よりも大きく、前記第2誘電体層の屈折率は前記第1誘電体層の屈折率よりも大きい前記(13)に記載の表示装置。
(15)前記導電層は、銀およびアルミニウムの少なくとも一方を含んでいる前記(1)乃至(14)のうちいずれか1つに記載の表示装置。
(16)表示装置を備え、前記表示装置は、第1電極、発光層を含む有機層および第2電極をこの順に有する発光素子が設けられた発光部と、前記発光部の周囲に設けられ、前記発光部からの光を反射するとともに前記発光素子の前記第2電極に電気的に接続された導電層を有するリフレクタとを含む電子機器。
1,1A,1B,1C,1D・・・表示装置、10・・・発光部、10R・・・赤色発光部、10G・・・緑色発光部、10B・・・青色発光部、11・・・基板、110A・・・表示領域、110B・・・周辺領域、12・・・TFT層、12C・・・共通電極、13・・・層間絶縁膜、20・・・発光素子、21・・・第1電極、22・・・有機層、23・・・第2電極、24・・・画素間絶縁膜、30・・・リフレクタ、30H,HG,HB,HC・・・接続孔、31・・・支持体、32・・・導電層、33・・・第1誘電体層、34・・・第2誘電体層、40・・・充填層、50・・・CF層、60・・・封止基板。

Claims (16)

  1. 第1電極、発光層を含む有機層および第2電極をこの順に有する発光素子が設けられた発光部と、
    前記発光部の周囲に設けられ、前記発光部からの光を反射するとともに前記発光素子の前記第2電極に電気的に接続された導電層を有するリフレクタと
    を備えた表示装置。
  2. 更に、前記発光素子および前記リフレクタが設けられた表示領域と、前記表示領域の外側の周辺領域とを有する基板と、
    前記基板上の前記周辺領域に設けられた共通電極とを有し、
    前記リフレクタの前記導電層は、前記周辺領域に延在して前記共通電極に電気的に接続されている
    請求項1に記載の表示装置。
  3. 前記リフレクタは、前記導電層に積層された誘電体層を含む
    請求項1に記載の表示装置。
  4. 複数の前記発光素子を有し、
    前記発光素子の前記発光層および前記第2電極は、複数の前記発光素子に共通して設けられ、前記リフレクタを覆っている
    請求項3に記載の表示装置。
  5. 前記誘電体層に設けられた接続孔を介して、前記発光素子の前記第2電極は前記導電層に電気的に接続されている
    請求項4に記載の表示装置。
  6. 前記接続孔の底部は、入口よりも大きくなっている
    請求項5に記載の表示装置。
  7. 前記誘電体層は、所定条件下でのドライエッチングに対して互いにエッチング速度の異なる第1誘電体層および第2誘電体層を含む
    請求項6に記載の表示装置。
  8. 前記リフレクタは前記発光部を囲む隔壁状の支持体を有し、前記支持体に前記導電層、第1誘電体層および第2誘電体層がこの順に積層されている
    請求項7に記載の表示装置。
  9. 前記接続孔は、前記第1誘電体層に設けられた第1接続孔と、前記第2誘電体層に設けられるとともに前記第1接続孔よりも小さい第2接続孔とにより構成されている
    請求項8に記載の表示装置。
  10. 前記接続孔では、前記有機層が前記導電層に付着するとともに前記導電層に付着した前記有機層の周囲で前記第2電極が前記導電層に接している
    請求項6に記載の表示装置。
  11. 複数の前記発光部が行列状に配置され、
    前記誘電体層の前記接続孔は、行方向または列方向の少なくともいずれか一方において隣り合う前記発光部の間に設けられている
    請求項5に記載の表示装置。
  12. 複数の前記発光部が行列状に配置され、
    前記誘電体層の前記接続孔は、行方向および列方向のいずれにおいても前記発光部とずれた位置に設けられている
    請求項5に記載の表示装置。
  13. 前記発光部および前記リフレクタは、充填剤により覆われている
    請求項7に記載の表示装置。
  14. 前記充填剤の屈折率は前記第2誘電体層の屈折率よりも大きく、前記第2誘電体層の屈折率は前記第1誘電体層の屈折率よりも大きい
    請求項13に記載の表示装置。
  15. 前記導電層は、銀およびアルミニウムの少なくとも一方を含んでいる
    請求項1に記載の表示装置。
  16. 表示装置を備え、
    前記表示装置は、
    第1電極、発光層を含む有機層および第2電極をこの順に有する発光素子が設けられた発光部と、
    前記発光部の周囲に設けられ、前記発光部からの光を反射するとともに前記発光素子の前記第2電極に電気的に接続された導電層を有するリフレクタとを含む
    電子機器。
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