JP4984439B2 - 発光装置およびその製造方法 - Google Patents
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Description
素子を用いた発光装置およびその製造方法に関する。
素子や発光ポリマー素子等と呼ばれる有機発光ダイオード(Organic Light Emitting
Diode、以下適宜「OLED素子」と略称する)素子が注目されている。このOLED素
子を含む単位回路を格子状に配列した発光装置が開発されている。OLED素子は陰極と
陽極との間に発光層を挟持して構成される。
この発光装置として、特許文献1には、走査線駆動回路の外に形成された電極用配線が
記載されている。この場合、ゲート電極層とソース電極層(あるいは、走査線の層と信号
線の層)の複数の配線層により、形成することが可能となる。したがって、電極用配線の
抵抗値をある程度、下げることができる。また、電極用配線の全面にて陰極とのコンタク
トを形成することができるため、陰極での電圧降下を低減させることができ、表示を均一
にすることができる。
また、特許文献2には、走査線駆動回路と有効領域の間に形成された電極用配線が記載
されている。
を配置するため、基板全体に占める発光領域の割合を大きくすることができない。この点
は、また、封止領域と陰極とが近いため、陰極が劣化する。一方、特許文献2に記載され
た技術では、走査線と電極用配線が近接して交差するため、その部分の寄生容量によって
信号波形が鈍るといった問題がある。
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、電源イン
ピーダンスを低減しつつ、小型化することことが可能な発光装置その製造方法を提供する
ことにある。
したので、発光素子を駆動するための電気的な要素と電極用配線とが交差するように配置
することができる。即ち、立体的な構造を採用することによって、基板の面積を小さくす
ることが可能となる。電気的な要素とは、例えば、積層することによって形成されるトラ
ンジスタが該当する。ここで、発光素子が形成される複数の層を第1層群とし、発光素子
を駆動する電気的な要素が形成される複数の層を第2層群としたとき、第1層群と第2層
群とは同じ層を含まないことが好ましい。第1層群と第2層群が分離されるから、第1層
群のうち第2の電極が形成される層を用いて電極用配線を形成すれば、第2層群の電気的
な要素と電極用配線とが重なるように配置することが可能となる。しかも、第2の電極と
同時に電極用配線は形成されるので、製造工程が増加することもない。なお、発光素子と
しては、有機発光ダイオードや無機発光ダイオード等が該当する。さらに、第1層群と第
2層群との間には層間絶縁層が設けられることが好ましい。このようにすると、発光素子
を駆動するための電気的な要素と電極用配線とが交差したとしても、層間絶縁膜を介して
いるため、発光素子を駆動するための電気的な要素にて伝播される信号を遅延させること
がない。
配置することが好ましい。この場合には、電源インピーダンスを大幅に低減することがで
き、発光装置内の輝度均一性を向上させることができる。
とが形成されており、前記電極用配線は、前記複数の走査線および前記複数のデータ線と
絶縁性を有する層を隔てて形成されることが好ましい。この場合には、絶縁性を有する層
を備えるので、電極用配線と複数の走査線および複数のデータ線の距離を長くすることが
できる。この結果、寄生容量が小さくなり、信号の遅延時間を縮小することができる。
ィスプレイ等の表示装置、これを用いた携帯電話機、パーソナルコンピュータ、あるいは
プリンタヘッド、これを用いたプリンタ等が該当する。
<1.第1実施形態>
図1(A)は、本発明の第1実施形態に係る発光装置1の構成を示すブロック図である
。この発光装置1は、パネル10とフレキシブル基板20とを備える。パネル10の端部
には接続端子が形成され、この接続端子とフレキシブル基板20に形成された接続端子と
が、ACF(Anisotropic conductive film:異方性導電膜)と呼ばれる導電粒子を含有し
たフィルム状の接着剤を介して圧着固定される。また、フレキシブル基板20には、デー
タ線駆動回路200が設けられており、さらに、フレキシブル基板20を介して各種の電
源電圧がパネル10に供給される。
ならびに発光領域Aが設けられている。ここで、プリチャージ回路120は書き込み動作
に先立って、データ線112の電位を所定の電位に設定するための回路である。なお、走
査線駆動回路100Aおよび100B、ならびにプリチャージ回路120は、周辺回路で
ある。周辺回路は、単位回路Pや配線の良否を検査する検査回路を含んでもよい。
差に対応して複数の単位回路Pが設けられている。単位回路PはOLED素子を含み、電
源供給線113から給電を受ける。この例の単位回路Pは、走査線駆動回路100Aおよ
び100Bが複数の走査線111を順次選択すると、データ線112を介して供給される
データ信号を内部に保持し、データ信号のレベルに応じた電流をOLED素子に供給する
。これにより、OLED素子は、データ信号のレベルに応じた輝度で発光する。
電極用配線150が形成されている。電極用配線150は、後述するようにOLED素子
の陰極(第1の電極)に電源電圧(この例では、Vss:グランドレベル)を供給するた
めの配線である。電極用配線150はフレキシブル基板20およびパネル10に形成され
た第1主電源配線140と接続される。さらに、フレキシブル基板20およびパネル10
には第2主電源配線130が設けられており、発光領域Aの外側において電源供給線11
3と接続されている。
方、領域Tには周辺回路たる走査線駆動回路100Aが形成されている。同図に示すよう
に、基板30の上に下地保護層31が形成され、その上にトランジスタ40、50、およ
び60が形成される。トランジスタ40はnチャネル型、トランジスタ50および60は
pチャネル型である。
て基板30の表面に設けられている。下地保護層31の上層にはシリコン層401、50
1および601が形成される。ゲート絶縁層32はシリコン層401、501および60
1を覆うように下地保護層31の上層に設けられる。ゲート絶縁層32の上面のうちシリ
コン層401、501および601に対向する部分にゲート電極42、52および62が
設けられる。トランジスタ40においてゲート電極42を介してシリコン層401にはV
族元素がドーピングされ、ドレイン領域40cおよびソース領域40aが形成される。こ
こで、V族元素がドーピングされていない領域がチャネル領域40bとなる。
01および601にはゲート電極52および62を介してIII族元素がドーピングされ、
ドレイン領域50aおよび60a、ならびにソース領域50cおよび60cが形成される
。ここで、III族元素がドーピングされていない領域がチャネル領域50bおよび60b
となる。なお、トランジスタ40、50、および60のゲート電極42、52、および6
2を形成するのと同時に走査線111が形成される。
の上層に形成される。第1層間絶縁層33にはSiO2等が用いられる。さらに、ソース
電極41、51、および63、ドレイン・ソース電極43、ならびにドレイン電極61が
、ゲート絶縁層32および第1層間絶縁層33にわたって開孔するコンタクトホールを介
してシリコン層401、501、および601と接続される。
ース電極43、ならびにドレイン電極61を覆うように第1層間絶縁層33の上層に設け
られる。パシベーション膜34は、例えば、窒化珪素を材料とする。これにより、トラン
ジスタ40、50、および60からの水素の離脱を防止する。なお、パシベーション膜3
4をソース電極やドレイン電極の下に形成してもよい。
層35は、例えば、アクリルもしくはポリイミド等の有機樹脂を材料とする。この場合、
有機樹脂にパターニングのための感光性材料を混合して、直接レジストと同様にパターニ
ングしても良い。第2層間絶縁層35の材料としては、パシベーション膜34と同様に酸
化珪素を用いても良い。あるいは、第1層間絶縁層33と同様にSiO2を用いても良い
。但し、酸化珪素やSiO2を用いた場合の膜厚は1μmにとどまるのに対し、有機樹脂
の場合には2〜3μm程度の膜厚にできる。したがって、有機樹脂の方が厚膜化に適して
いる。
の間に電極用配線150を形成する。即ち、画素電極76と電極用配線150とは同一の
層において、同一の材料を用いて同時に形成される。この例における、画素電極76はO
LED素子70の陽極であり、第2層間絶縁層35およびパシベーション膜34にわたっ
て開孔するコンタクトホールを介してトランジスタ60のドレイン電極61と接続される
。また、画素電極76および電極用配線150の材料としては、仕事関数が大きい材料が
望ましく、例えば、ニッケル、金、白金等やその合金が好適である。
111には走査信号が供給されるため、走査線111に付随する寄生容量は小さいことが
望ましい。この例においては、走査線111と電極用配線150との間に、第1層間絶縁
層33、パシベーション膜34および第2層間絶縁層35を設けた。特に、第2層間絶縁
層35は厚膜化が容易な有機樹脂を用いて構成したので、寄生容量の低減を図ることがで
きる。また、領域Tにおいて電極用配線150と周辺回路とが重なるが、第2層間絶縁層
35として厚膜化が容易な有機樹脂を用いたので、寄生容量の低減を図ることができる。
は、例えば、アクリルもしくはポリイミド等を用いる。この場合、パターニングのため感
光性材料を混合して、直接レジストと同様にパターニングしても良い。なお、隔壁37を
設けなくても良い。
光層には、発光能を有する有機EL物質が用いられる。有機EL物質は、低分子材料であ
っても良いし、高分子材料であっても良い。有機化合物層74を構成する他の層として、
正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、電子注入層、正孔ブロック層、および電子ブロッ
ク層の一部又は全部を備えていてもよい。
電極)が形成される。ここで、共通電極72は電極用配線150と発光領域Aの外側で接
続される。この例の共通電極72は、OLED素子70の陰極として機能する。共通電極
72は電子を注入しやすいように、仕事関数が低い材料によって形成される。例えば、ア
ルミ、カルシウム、マグネシウム、またはリチウム等やその合金である。また、合金は仕
事関数が低い材料とその材料を安定化される材料を用いることが望ましい。例えば、マグ
ネシウムと銀の合金が好適である。
に示すようになる。共通電極72たる陰極は、電極用配線150および発光領域Aを覆う
ように配置される。そして、電極用配線150と共通電極72とを接続する接続領域Yは
、発光領域Aを囲むように形成される。つまり、発光領域Aの辺に沿って電極用配線15
0が形成されており、接続領域Yも発光領域Aの辺に沿って形成される。この場合、共通
電極72として最上層の導電膜を用いるため、共通電極72と電極用配線150との接続
領域Yを電極用配線150の全面に形成することも可能である。いずれにしても、発光領
域Aを囲むように接続領域Yを形成することができるので、発光装置内の輝度均一性を大
幅に向上させることができる。なお、接続領域Yは、電極用配線150の全面になくても
よく、その一部に形成されていればよく、共通電極72と電極用配線150との接続抵抗
により、適宜設定されるものである。また、電極用配線150は、発光領域Aの少なくと
も一辺に設けられていれば良く、接続領域Yについても同様である。例えば、図10に示
すように、電極用配線150を発光領域Aの3辺に沿って設けてもよい。
等の周辺回路、走査線111、あるいはデータ線112があっても、その上に電極用配線
150を形成できるため、発光領域Aの外周からパネル10の外周までの額縁部分の面積
を小さくすることができ、パネル10ひいては発光装置1を小型化することができる。し
かも、電極用配線150と、走査線111やデータ線112等の配線との間には、第2層
間絶縁層35を有するので、信号遅延を起こさず電極用配線150を形成することができ
る。また、発光領域Aと電極用配線150とは近接して配置できるため、その間の電圧降
下を低減させることができる。
したように発光領域Aの外側において第2主電源配線130と接続されている(図1(A
)参照)。また、電極用配線150を画素電極76と同一の層で構成することによって、
第2主電源配線130と電極用配線150とを重なることができる。これにより、発光領
域と基板外周の間に形成される額縁の面積を小さくすることができる。
との2層で構成し、電極用配線150を画素電極76が形成される層で形成しても良い。
また、第2主電源配線130をゲート電極が形成される層で構成し、電極用配線150を
ソース電極が形成される層と画素電極76が形成される層との2層で形成しても良い。こ
のような2層構造を採用することによって電源インピーダンスを低減することができる。
但し、発光装置1がRGBに対応するものであって、R色、B色、G色の各々単位回路P
に異なる電源電圧を供給する場合には、第2主電源配線130を3本設ける必要がある。
この場合には、電源供給線113と各第2主電源配線130とを接続するために立体交差
を設ける。立体交差の部分については、ゲート電極が形成される層とソース電極が形成さ
る層とのうち一方の層を用いて第2主電源配線130を構成し、他方の層を用いて立体交
差の配線とすれば良い。
0、走査線駆動回路100Aおよび100Bへの信号入力端子、ならびにデータ信号の入
力端子が形成される。これらの端子群が形成される端子領域には、第2層間絶縁層35が
形成されていない。これは、電極用配線150が、第2層間絶縁層35の上層のまま端子
領域までくると、端子との間で段差が生じてしまう可能性があるからである。そこで、電
極用配線150と端子との間には、第2層間絶縁層35を形成しない領域を設け、当該領
域の電極用配線150を介して、電極用配線150と端子との間を電気的に接続する。
図4に、変形例に係る発光装置1の部分断面図を示す。この発光装置1は、電極用配線
150が、周辺回路において電源電圧Vssを供給する配線と接続される点を除いて、上
述した第1実施形態の発光装置と同様に構成されている。図4に示すように電極用配線1
50は、第2層間絶縁層35およびパシベーション膜34にわたって形成されたコンタク
トホールCHを介してトランジスタ40のソース電極41に接続されている。トランジス
タ40は走査線駆動回路100Aのバッファ103を構成する。このソース電極41は、
電源電圧Vssを供給する配線と接続されている。
00Aは、スタートパルスSPをクロック信号CKに従って順次シフトするシフトレジス
タ101、101…、と、レベル変換を行うレベルシフタ102、102…、と、バッフ
ァ103、103…とを備える。また、走査線駆動回路100Aには電源電圧として、V
ss、Vdd、Vhhが供給される。これらの電源電圧は、Vss<Vdd<Vhhとな
るように設定されている。シフトレジスタ101には電源電圧VssおよびVddが供給
され、レベルシフタ102およびバッファ103には電源電圧VssおよびVhhが供給
される。なお、バッファ103は、図2に示すトランジスタ40および50によって構成
される。以上の構成において、電極用配線150は、走査線駆動回路100Aを覆うよう
に配置される。
により、電源電圧Vssを供給する配線と電極用配線150を共通化すると共に多層化す
ることができる。この結果、配線の抵抗を下げ電源インピーダンスを低減することができ
る。加えて、多層化により配線占有面積を削減することができる。
また、クロック信号CKと電源電圧Vssとは交差しているため、クロック信号が劣化
する虞がある。電源電圧Vssを供給する配線を電極用配線150と同様に画素電極76
と同一層のみで構成することが好ましい。このようにすることにより、クロック信号CK
と電源電圧Vssとは交差したとしても、寄生容量によりクロック信号CKが劣化するこ
とを防止することができる。
上述した第1実施形態の発光装置1は、発光領域Aに複数の単位回路Pを配置したもの
であった。単位回路Pは、トランジスタ60やOLED素子70等によって構成される。
この場合、静電気が走査線111やデータ線112からトランジスタ60に入来すると、
トランジスタ60の耐圧を上回ることがある。第2実施形態の発光装置1は、発光領域A
に隣接するダミー画素領域A’にダミー単位回路Qを配置し、単位回路Pを静電破壊から
保護するものである。
すように、発光領域Aの周辺にはダミー画素領域A’が設けられている。ダミー画素領域
A’には、ダミー単位回路Qが設けられている。ダミー単位回路Qは、OLED素子70
を含むが、発光に寄与しない回路である。
80は、トランジスタ60と同様にpチャネル型で構成される。この図に示すように、ダ
ミー画素領域A’においては、トランジスタ80の上には、電極用配線150が設けられ
ている。ダミー単位回路Qは、発光に寄与しない。本実施形態では、ダミー画素領域A’
の全部に電極用配線150が重なるように配置される。これにより、電極用配線150の
抵抗を低減することができる。なお、ダミー画素領域A’の一部と重なるように電極用配
線150を配置しても良い。
トランジスタ80のドレイン電極81と電極用配線150が接続されている。この場合、
外部から流入した静電気を電極用配線150を介して放出することができる。したがって
、発光領域Aの単位回路Pが劣化するのを防止することができる。
、単位回路Pは、nチャネル型のトランジスタ68、pチャネル型のトランジスタ60、
容量素子69、およびOLED素子70を含む。一方、ダミー単位回路Qには、OLED
素子70が設けられていない。なお、ダミー単位回路Qにトランジスタ60と接続されな
いOLED素子70を設けてもよい。
して機能するダイオードD1およびD2が設けられている。ダイオードD1およびD2は
ロジック電源配線L1およびL2と接続されており、データ線112、走査線111、お
よび電源供給線113で発生した静電気をロジック電源配線L1又はL2に放出し、ダミ
ー単位回路Qおよび単位回路Pに含まれる各素子が静電気によって静電破壊されることを
抑制する。
介挿され、ダミー単位回路Qのみが接続されるデータ線112-2には抵抗R1およびR2
が介挿される。これは、ダミー単位回路Qのみが接続されるデータ線112-2においては
、信号波形の鈍りが問題とならないからである。同様に、ダミー単位回路Qと単位回路P
に接続される走査線112-1には抵抗R1が介挿され、ダミー単位回路Qのみが接続され
る走査線111-2には抵抗R1およびR2が介挿される。また、ダミー単位回路Qと単位
回路Pに接続される電源供給線113-1には抵抗が介挿されないが、ダミー単位回路Qの
みが接続される電源供給線113-2には抵抗R1およびR2が介挿される。これは、電源
電圧の降下が問題とならないからである。
配線150を配置することによって、抵抗を低減することが可能となる。ここで、端子C
1乃至C3のうち少なくとも一つを電極用配線150に接続し、電源電圧Vssを供給し
ても良い。この場合には、ダミー単位回路Qのみが接続される走査線111-2、データ線
112-2、および電源供給線113-2のインピーダンスを低減することができるので、静
電気がこれらの配線に入来してもダミー単位回路Qの破壊を防止することができ、ひいて
は単位回路Pを静電破壊から有効に保護することができる。
次に、本発明に係る発光装置を適用した電子機器について説明する。図11は、上記実
施形態に係る発光装置1を表示装置に適用したモバイル型のパーソナルコンピュータの構
成を示す斜視図である。パーソナルコンピュータ2000は、表示装置としての発光装置
1と本体部2010とを備える。本体部2010には、電源スイッチ2001およびキー
ボード2002が設けられている。この発光装置1はOLED素子70を用いるので、視
野角が広く見易い画面を表示できる。
話機3000は、複数の操作ボタン3001およびスクロールボタン3002、ならびに
表示装置としての発光装置1を備える。スクロールボタン3002を操作することによっ
て、発光装置1に表示される画面がスクロールされる。
Digital Assistants)の構成を示す。情報携帯端末4000は、複数の操作ボタン40
01および電源スイッチ4002、ならびに表示装置としての発光装置1を備える。電源
スイッチ4002を操作すると、住所録やスケジュール帳といった各種の情報が発光装置
1に表示される。
たもののほか、デジタルスチルカメラ、テレビ、ビデオカメラ、カーナビゲーション装置
、ページャ、電子手帳、電子ペーパー、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、
テレビ電話、POS端末、プリンタヘッドのような発光源、プリンタ、スキャナ、複写機
、ビデオプレーヤ、タッチパネルを備えた機器等等が挙げられる。
画素電極、100A,100B…走査線駆動回路、111…走査線、112…データ線、
113…電源供給線、130…第2主電源配線、140…第1主電源配線、150…電極
用配線、A…発光領域、A’…ダミー画素領域。
Claims (6)
- 基板上の発光領域に設けられた複数の単位回路を備え、前記複数の単位回路の各々は、第1の電極と第2の電極との間に挟まれた発光層を有する発光素子を有し、前記第1の電極は、複数の単位回路に共通に設けられた共通電極である発光装置であって、
前記発光領域の外側に設けられ、前記第1の電極に第1電源電圧を供給するための電極用配線と、
前記発光領域の外側に配置され、前記複数の単位回路を駆動又は検査する周辺回路と、
を備え、
前記周辺回路を動作させる複数の電源電圧のうち一つは、前記第1電源電圧であり、
前記電極用配線は、前記周辺回路の一部又は全部と重なるように、前記第2の電極と同一の層において同一の材料によって形成されるとともに、前記周辺回路に前記第1電源電圧を供給するための電源配線に接続され、
前記第1の電極は、前記発光領域からその外側にかけて前記電極用配線と交差するように配置されるとともに、当該交差する領域の一部又は全部で前記電極用配線に接続される
ことを特徴とする発光装置。 - 前記電極用配線を前記発光領域の全ての辺に沿って配置したことを特徴とする請求項1に記載の発光装置。
- 前記発光領域には、複数の走査線と複数のデータ線とが形成されており、
前記電極用配線は、前記複数の走査線および前記複数のデータ線と絶縁性を有する層を隔てて形成される、
請求項1または2に記載の発光装置。 - 前記発光領域の内側に設けられ、前記複数の単位回路に第2電源電圧を供給する複数の電源供給線と、
前記発光領域の外側に設けられ、前記複数の電源供給線と接続された電源配線とを備え、
前記電源配線の一部又は全部と前記電極用配線とを交差するように配置した、
ことを特徴とする請求項1乃至3のうちいずれか1項に記載の発光装置。 - 請求項1乃至4のうちいずれか1項に記載した発光装置を備えたことを特徴とする電子機器。
- 基板上の発光領域に設けられた複数の単位回路を備え、前記複数の単位回路の各々は、第1の電極と第2の電極との間に挟まれた発光層を有する発光素子を有し、前記第1の電極は、複数の単位回路に共通に設けられた共通電極であり、
前記発光領域の外側に設けられ、前記第1の電極に電源電圧を供給するための電極用配線と、
前記発光領域の外側に配置され、前記複数の単位回路を駆動又は検査する周辺回路と、
を備える発光装置の製造方法であって、
前記周辺回路を動作させる複数の電源電圧のうち一つは、前記第1電源電圧であり、
前記電極用配線を、前記周辺回路の一部又は全部と重なるように、前記第2の電極と同一の層において同一の材料によって形成するとともに、前記周辺回路に前記電源電圧を供給するための電源配線に接続し、
前記第1の電極を、前記発光領域からその外側にかけて前記電極用配線と交差するように配置させるとともに、当該交差する領域の一部又は全部で前記電極用配線に接続する
ことを特徴とする発光装置の製造方法。
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