JP2016040521A5 - - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 13
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 3
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims 1
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014164066A JP6340985B2 (ja) | 2014-08-12 | 2014-08-12 | 物理量センサー、圧力センサー、高度計、電子機器および移動体 |
| TW104125832A TW201610405A (zh) | 2014-08-12 | 2015-08-07 | 物理量感測器、壓力感測器、高度計、電子機器及移動體 |
| US14/820,716 US9645027B2 (en) | 2014-08-12 | 2015-08-07 | Physical quantity sensor, pressure sensor, altimeter, electronic apparatus, and moving object |
| CN201510487846.7A CN105366623A (zh) | 2014-08-12 | 2015-08-10 | 物理量传感器、压力传感器、高度计、电子设备及移动体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014164066A JP6340985B2 (ja) | 2014-08-12 | 2014-08-12 | 物理量センサー、圧力センサー、高度計、電子機器および移動体 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2016040521A JP2016040521A (ja) | 2016-03-24 |
| JP2016040521A5 true JP2016040521A5 (enExample) | 2017-06-29 |
| JP6340985B2 JP6340985B2 (ja) | 2018-06-13 |
Family
ID=55301967
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2014164066A Active JP6340985B2 (ja) | 2014-08-12 | 2014-08-12 | 物理量センサー、圧力センサー、高度計、電子機器および移動体 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9645027B2 (enExample) |
| JP (1) | JP6340985B2 (enExample) |
| CN (1) | CN105366623A (enExample) |
| TW (1) | TW201610405A (enExample) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6340985B2 (ja) * | 2014-08-12 | 2018-06-13 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、圧力センサー、高度計、電子機器および移動体 |
| CN105698754A (zh) * | 2016-03-14 | 2016-06-22 | 上海电力学院 | 基于变电站沉降测量的光纤光栅传感器 |
| US10685944B2 (en) * | 2016-10-25 | 2020-06-16 | James Jen-Ho Wang | Film sensors array and method |
| JP6874463B2 (ja) * | 2017-03-27 | 2021-05-19 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電素子、圧電アクチュエーター、超音波探触子、超音波装置、電子機器、液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置 |
| US11408734B2 (en) * | 2019-01-03 | 2022-08-09 | Lam Research Corporation | Distance measurement between gas distribution device and substrate support at high temperatures |
| WO2022266811A1 (zh) * | 2021-06-21 | 2022-12-29 | 鹏鼎控股(深圳)股份有限公司 | 感压电路板及感压电路板的制作方法 |
Family Cites Families (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0714017B1 (de) | 1994-11-24 | 2000-07-12 | Siemens Aktiengesellschaft | Kapazitiver Drucksensor |
| JPH09329516A (ja) * | 1996-06-06 | 1997-12-22 | Hitachi Ltd | 半導体圧力センサ及びこれを用いた複合伝送器 |
| JP2004325361A (ja) | 2003-04-25 | 2004-11-18 | Fujikura Ltd | 静電容量型圧力センサ及びその製造方法 |
| JP2005037309A (ja) | 2003-07-18 | 2005-02-10 | Yokogawa Electric Corp | 振動式トランスデューサ |
| FR2881224B1 (fr) * | 2005-01-21 | 2007-11-23 | Auxitrol Sa Sa | Ensemble de detection de la pression absolue d'un fluide |
| JP4215076B2 (ja) | 2006-07-10 | 2009-01-28 | ヤマハ株式会社 | コンデンサマイクロホン及びその製造方法 |
| KR20080005854A (ko) | 2006-07-10 | 2008-01-15 | 야마하 가부시키가이샤 | 압력 센서 및 그의 제조 방법 |
| JP2008114354A (ja) * | 2006-11-08 | 2008-05-22 | Seiko Epson Corp | 電子装置及びその製造方法 |
| CN101960276B (zh) * | 2007-10-30 | 2013-07-03 | 阿自倍尔株式会社 | 压力传感器及其制造方法 |
| JP2010030020A (ja) * | 2008-07-31 | 2010-02-12 | Seiko Epson Corp | 電子装置 |
| CN101551284B (zh) * | 2009-04-22 | 2011-07-27 | 江苏英特神斯科技有限公司 | 基于硅硅直接键合的压力传感器及其制造方法 |
| CN103822749B (zh) * | 2009-07-24 | 2016-05-04 | 罗姆股份有限公司 | 压力传感器装置以及电子设备 |
| WO2011148973A1 (ja) * | 2010-05-25 | 2011-12-01 | ローム株式会社 | 圧力センサおよび圧力センサの製造方法 |
| CN103221795B (zh) * | 2010-09-20 | 2015-03-11 | 快捷半导体公司 | 包括参考电容器的微机电压力传感器 |
| JP2014115209A (ja) * | 2012-12-11 | 2014-06-26 | Seiko Epson Corp | Mems素子、電子デバイス、高度計、電子機器および移動体 |
| US20140157892A1 (en) * | 2012-12-11 | 2014-06-12 | Seiko Epson Corporation | Mems element, electronic device, altimeter, electronic apparatus, and moving object |
| CN103837289B (zh) * | 2013-11-22 | 2016-01-27 | 中航(重庆)微电子有限公司 | 压力传感器件及其制作方法 |
| JP2015184100A (ja) * | 2014-03-24 | 2015-10-22 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、物理量センサーの製造方法、圧力センサー、高度計、電子機器および移動体 |
| US9427967B2 (en) * | 2014-07-28 | 2016-08-30 | Rohm Co., Ltd. | Piezoelectric membrane, piezoelectric device, and inkjet head |
| CN105314586A (zh) * | 2014-07-29 | 2016-02-10 | 精工爱普生株式会社 | 物理量传感器、压力传感器、高度计、电子设备以及移动体 |
| JP6340985B2 (ja) * | 2014-08-12 | 2018-06-13 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、圧力センサー、高度計、電子機器および移動体 |
| JP2016095284A (ja) * | 2014-11-17 | 2016-05-26 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイス、物理量センサー、圧力センサー、高度計、電子機器および移動体 |
| JP2016095267A (ja) * | 2014-11-17 | 2016-05-26 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイス、物理量センサー、圧力センサー、高度計、電子機器および移動体 |
| JP2016099114A (ja) * | 2014-11-18 | 2016-05-30 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイス、物理量センサー、圧力センサー、高度計、電子機器および移動体 |
| US20160209285A1 (en) * | 2015-01-20 | 2016-07-21 | Seiko Epson Corporation | Pressure sensor, method of manufacturing pressure sensor, altimeter, electronic apparatus, and moving object |
-
2014
- 2014-08-12 JP JP2014164066A patent/JP6340985B2/ja active Active
-
2015
- 2015-08-07 TW TW104125832A patent/TW201610405A/zh unknown
- 2015-08-07 US US14/820,716 patent/US9645027B2/en active Active
- 2015-08-10 CN CN201510487846.7A patent/CN105366623A/zh active Pending
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