JP2016039268A - 薬液付与装置、薬液付与装置を用いた薬液付与方法及び薬液付与装置が直列に配列された薬液付与機構 - Google Patents

Abstract

【課題】フィルム状基板が皺になることを抑制すると共に、フィルム状基板の両面に薬液を同時且つ均一に付与することができる薬液付与装置及びその薬液付与方法を提供する。
【解決手段】長尺状のフィルム状基板１に対し、薬液Ｗを吹き付ける薬液付与装置１００であって、フィルム状基板１を案内する第１案内ロール１１、第２案内ロール１２、第３案内ロール１３、第４案内ロール１４、下方に搬送されるフィルム状基板１に対し、薬液Ｗを横方向から該フィルム状基板１の両面に吹き付ける一対の第１吹付手段２１、上方に搬送されるフィルム状基板１に対し、薬液Ｗを横方向から該フィルム状基板１の両面に吹き付ける一対の第２吹付手段２２、及び、これらを収容するハウジングＧ、を備え、ハウジングＧには薬液Ｗが貯留されており、貯留された薬液Ｗに第２案内ロール１２と第３案内ロール１３とが浸漬されている薬液付与装置１００である。
【選択図】図１

Description

本発明は、薬液付与装置、薬液付与装置を用いた薬液付与方法及び薬液付与装置が直列に配列された薬液付与機構に関し、更に詳しくは、フィルム状基板が皺になることを抑制すると共に、フィルム状基板の両面に薬液を同時且つ均一に付与することができる薬液付与装置及びその薬液付与方法並びに異なる薬液を連続してフィルム状基板の両面に付与することができる薬液付与機構に関する。

従来、基板上に配線パターンを形成した電子回路基板が知られている。
図６は、従来の電子回路基板の製造工程の概略を示す断面図である。
図６に示すように、電子回路基板Ｄの製造工程においては、まず、ベースフィルム５０に導電膜５１を積層した積層体Ｄ１の導電膜５１上にレジスト膜５２を積層する。
そして、レジスト膜５２の所定箇所にマスク５３を積層し露光する。そうすると、マスク５３が施されていない部分５２ａのレジスト膜が硬化する。
次に、現像液を付与することにより、硬化した部分５２ａとマスク５３が除去される。
次に、エッチング液を付与することにより、レジスト膜５２がない部分の導電膜５１が除去される。
最後に、レジスト剥離液を付与することにより、レジスト膜５２が除去され、電子回路基板Ｄが得られる。
こうして、電子回路基板Ｄが製造される。
このように、電子回路基板Ｄの製造工程においては、所定の状態の基板に対しエッチング液、現像液、レジスト剥離液等の薬液が付与され、化学処理が施される。

ここで、これらの薬液を付与する装置としては、一般に、基板を搬送する搬送手段と、基板の上方から薬液を付与するシャワー等とを備えたものが知られている（例えば、特許文献１〜３参照）。

ところで、近年、基板の両面に配線パターンを形成した電子回路基板等が注目されており、これに応じて、基板の両面に配線パターンを形成する装置が開発されている。
例えば、電子回路用の基板のエッチング加工を対象として、表裏に所望形状の開口を有するレジスト膜を配した板状の基材をコンベア搬送し、スプレーノズルからエッチング液を両面に吹きつけてエッチング処理を行い、その後に洗浄処理を行なうエッチング処理装置が知られている（例えば、特許文献４）。

特開２００９−１８３８４０号公報 特開２０１１−７１３８５号公報 特開２０１２−１８６１８７号公報 特開２０１２−２５３２０６号公報

しかしながら、上記特許文献４記載のエッチング処理装置は、フィルム状基板の上下方向からエッチング液を吹き付けているので、フィルム状基板の表面と裏面とではムラになりやすいという欠点がある。すなわち、上方から吹き付けるエッチング液は、重力により液圧が比較的強くなり、フィルム状基板上には液だまりも生じやすいので、エッチング処理が促進されてしまう傾向にある。一方、下方から吹き付けるエッチング液は、重力により液圧が比較的弱くなり、しかもエッチング液が下方に落下してしまうので、エッチング処理が抑制されてしまう。

また、フィルム状基板がフィルムからなるフィルム状基板であると、液だまりにより撓み易く、その結果、フィルム状基板が延び、皺が形成されてしまう場合がある。

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、フィルム状基板が皺になることを極力抑制すると共に、フィルム状基板の両面に薬液を同時且つ均一に付与することができる薬液付与装置及びその薬液付与方法並びにこの薬液付与装置を直列に配列することで、異なる薬液を連続してフィルム状基板の両面に付与することができる薬液付与機構を提供することを目的とする。

本発明者は、上記課題を解決するため鋭意検討したところ、フィルム状基板を上方向又は下方向に搬送している際に、薬液を該フィルム状基板の両面に横方向から吹き付ける第１吹付手段及び第２吹付手段を備え、且つ、貯留された薬液に、フィルム状基板を案内する第２案内ロールと第３案内ロールとを浸漬させることにより、上記課題を解決し得ることを見出し、本発明を完成するに至った。

本発明は、（１）長尺状のフィルム状基板に対し、薬液を吹き付ける薬液付与装置であって、水平方向に搬送されるフィルム状基板を下方に案内する第１案内ロールと、下方向に搬送されるフィルム状基板を水平方向に案内する第２案内ロールと、水平方向に搬送されるフィルム状基板を上方に案内する第３案内ロールと、上方向に搬送されるフィルム状基板を水平方向に案内する第４案内ロールと、下方に搬送されるフィルム状基板に対し、薬液を横方向から該フィルム状基板の両面に吹き付ける一対の第１吹付手段と、上方に搬送されるフィルム状基板に対し、薬液を横方向から該フィルム状基板の両面に吹き付ける一対の第２吹付手段と、第１案内ロール、第２案内ロール、第３案内ロール、第４案内ロール、第１吹付手段及び第２吹付手段を収容するハウジングと、を備え、ハウジングには薬液が貯留されており、貯留された薬液に第２案内ロールと第３案内ロールとが浸漬されている薬液付与装置に存する。

本発明は、（２）第１案内ロール、第２案内ロール、第３案内ロール及び第４案内ロールが非接触型の案内ロールである上記（１）記載の薬液付与装置に存する。

本発明は、（３）第１吹付手段又は第２吹付手段が、水平方向に延びるシャワーパイプと、該シャワーパイプに取り付けられた複数のシャワーとからなる吹付ユニットを上下方向に複数備えたものであり、フィルム状基板に対し、シャワーから一定の圧力で薬液を吹き付ける上記（１）又は（２）に記載の液体付与装置に存する。

本発明は、（４）第１吹付手段又は第２吹付手段が、スリットノズルが設けられたシャワーパイプからなり、フィルム状基板に対し、スリットノズルから薬液を吹き掛ける上記（１）又は（２）に記載の液体付与装置に存する。

本発明は、（５）上記（１）〜（４）のいずれか１つに記載の薬液付与装置を用いた薬液付与方法であって、フィルム状基板を下方に搬送しながら、一対の第１吹付手段により、該フィルム状基板の両面に薬液を吹き付ける第１ステップと、フィルム状基板をハウジングに貯留された薬液に浸漬させた状態で、水平方向に搬送する第２ステップと、フィルム状基板を上方に搬送しながら、一対の第２吹付手段により、該フィルム状基板の両面に薬液を吹き付ける第３ステップと、を有する薬液付与方法に存する。

本発明は、（６）上記（１）〜（５）のいずれか１つに記載の薬液付与装置が直列に連続して複数配列されている薬液付与機構であって、フィルム状基板が搬送される上流側から順に、第１薬液付与装置、第２薬液付与装置、第３薬液付与装置が配列されており、第１薬液付与装置で付与される薬液が、エッチング液であり、第２薬液付与装置及び第３薬液付与装置で付与される薬液が、洗浄水である薬液付与機構に存する。

本発明の薬液付与装置においては、フィルム状基板を上方向又は下方向に搬送している際に、薬液を横方向から該フィルム状基板の両面に吹き付ける第１吹付手段及び第２吹付手段を備えることにより、フィルム状基板の両面に薬液を同時且つ均一に付与することができる。
また、貯留された薬液に、フィルム状基板を案内する第２案内ロールと第３案内ロールとを浸漬させることにより、フィルム状基板が薬液に浸漬された状態で第２案内ロール及び第３案内ロールにより案内されるので、フィルム状基板が皺になることを抑制することができる。すなわち、フィルム状基板が水平方向に搬送される際に、フィルム状基板上に液だまりが生じることを防止することができる。

本発明の薬液付与装置においては、第１案内ロール、第２案内ロール、第３案内ロール及び第４案内ロールが非接触型の案内ロールであるので、フィルム状基板の両面にレジスト膜等が形成されている場合、案内ロールが当該フィルム状基板を案内する際に、レジスト膜が案内ロールに当たり、傷付くことを防止することができる。

本発明の薬液付与装置においては、第１吹付手段又は第２吹付手段が、水平方向に延びるシャワーパイプと、該シャワーパイプに取り付けられた複数のシャワーとからなる吹付ユニットを上下方向に複数備えたものである場合、フィルム状基板に対し、シャワーから一定の圧力で薬液を吹き付けることにより、薬液による処理をハードに行うことができる。
また、第１吹付手段又は第２吹付手段が、スリットノズルが設けられたシャワーパイプからなるものである場合、フィルム状基板に対し、スリットノズルから薬液を吹き掛けることにより、薬液による処理をソフトに行うことができる。

本発明の薬液付与方法においては、第１ステップと、第２ステップと、第３ステップと、を有することにより、フィルム状基板が皺になることを抑制すると共に、フィルム状基板の両面に薬液を同時且つ均一に付与することができる。
また、上述した薬液付与装置が直列に連続して複数配列されているので、異なる薬液を連続してフィルム状基板の両面に付与することができる。
例えば、フィルム状基板が搬送される上流側から順に、第１薬液付与装置、第２薬液付与装置、第３薬液付与装置が配列されており、第１薬液付与装置で付与される薬液が、エッチング液であり、第２薬液付与装置及び第３薬液付与装置で付与される薬液が、洗浄水である場合、フィルム状基板の両面に設けられたレジスト膜のエッチング加工を行うことができる。

図１は、本実施形態に係る薬液付与装置を模式的に示す正面図である。 図２の（ａ）は、本実施形態に係る薬液付与装置を模式的に示す上面図であり、（ｂ）は、その側面図である。 図３は、本実施形態に係る薬液付与装置の周辺装置を説明するための概略図である。 図４は、本実施形態に係る薬液付与方法を示すフローチャートである。 図５は、本実施形態に係る薬液付与機構を模式的に示す正面図である。 図６は、従来の電子回路基板の製造工程の概略を示す断面図である。

以下、必要に応じて図面を参照しつつ、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面中、同一要素には同一符号を付すこととし、重複する説明は省略する。また、上下左右等の位置関係は、特に断らない限り、図面に示す位置関係に基づくものとする。更に、図面の寸法比率は図示の比率に限られるものではない。

本発明に係る薬液付与装置は、長尺状のフィルム状基板を搬送しながら、該フィルム状基板に対し薬液を吹き付ける装置である。
上記薬液としては、公知のものを採用することができる。例えば、エッチング液、現像液、レジスト剥離液、水（洗浄水）等が挙げられる。

上記フィルム状基板は、ベースフィルム５０として柔軟性のあるフィルムが用いられる。
かかるフィルムとしては、特に限定されないが、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリイミドフィルム等を採用することができる。
また、フィルム状基板は、ベースフィルム５０の両面に、導電膜、レジスト膜、マスク等を有していてもよい。なお、これらの組成や付与方法は、従来公知の方法で行えばよい。

具体的には、薬液がエッチング液の場合、フィルム状基板は、エッチング液での処理が施される直前の形態であればよく、薬液によりエッチング処理が行われる（図６参照）。
また、薬液が現像液の場合、フィルム状基板は、現像液での処理が施される直前の形態であればよく、薬液により現像処理が行われる（図６参照）。
さらに、薬液がレジスト剥離液の場合、フィルム状基板は、レジスト剥離液での処理が施される直前の形態であればよく、薬液によりレジスト剥離処理が行われる（図６参照）。
なお、洗浄が必要な際には、薬液として水（洗浄水）が用いられ、薬液により洗浄処理が行われる。このときのフィルム状基板の形態は特に限定されない。

図１は、本実施形態に係る薬液付与装置を模式的に示す正面図である。
図１に示すように、本実施形態に係る薬液付与装置１００は、水平方向に搬送されるフィルム状基板１を、方向を変えて下方に案内する第１案内ロール１１と、下方向に搬送されるフィルム状基板１を、方向を変えて水平方向に案内する第２案内ロール１２と、水平方向に搬送されるフィルム状基板１を、方向を変えて上方に案内する第３案内ロール１３と、上方向に搬送されるフィルム状基板１を、方向を変えて水平方向に案内する第４案内ロール１４と、を備える。
すなわち、薬液付与装置１００においては、第１案内ロール１１、第２案内ロール１２、第３案内ロール１３及び第４案内ロール１４により、フィルム状基板１がＵ字状に搬送されるようになっている。

薬液付与装置１００において、第１案内ロール１１は、水平方向に搬送されるフィルム状基板１を鉛直下方に案内するものであることが好ましい。
また、第３案内ロール１３は、水平方向に搬送されるフィルム状基板１を鉛直上方に案内するものであることが好ましい。
これらの場合、後述するように、フィルム状基板１に対して、薬液１をより均一に付与することが可能となる。

薬液付与装置１００において、第１案内ロール１１、第２案内ロール１２、第３案内ロール１３及び第４案内ロール１４は、いずれも円柱状の非接触型の案内ロールとなっている。
ここで、案内ロール（第１案内ロール１１、第２案内ロール１２、第３案内ロール１３又は第４案内ロール１４）は、表面に図示しない孔が複数設けられており、該孔から連続してエアーを吹き出すことが可能となっている。このため、フィルム状基板１は、当該エアーにより案内ロールの表面から常に押し上げられた状態で、案内ロールに案内されることになる。これにより、フィルム状基板１の裏面にもレジスト膜等が形成されている場合、当該レジスト膜等が案内ロールに接触して、傷付いてしまうことを防止することができる。

薬液付与装置１００は、下方に搬送されるフィルム状基板１に対し、薬液Ｗを横方向から該フィルム状基板１の両面に吹き付ける一対の第１吹付手段２１と、上方に搬送されるフィルム状基板１に対し、薬液Ｗを横方向から該フィルム状基板１の両面に吹き付ける一対の第２吹付手段２２とを備える。
すなわち、第１吹付手段２１は、フィルム状基板１の両面に薬液Ｗが吹き付けられるように、フィルム状基板１の表側と、フィルム状基板１の裏側とに一対配置されている。なお、表側の第１吹付手段２１と裏側の第１吹付手段２１とは同じ構造である。
同様に、第２吹付手段２２も、フィルム状基板１の両面に薬液Ｗが吹き付けられるように、フィルム状基板１の表側と、フィルム状基板１の裏側とに一対配置されている。なお、表側の第２吹付手段２２と裏側の第２吹付手段２２とは同じ構造である。

図２の（ａ）は、本実施形態に係る薬液付与装置を模式的に示す上面図であり、（ｂ）は、その側面図である。
図２の（ａ）及び（ｂ）に示すように、第１吹付手段２１は、水平方向に延びる中空円柱状のシャワーパイプ５と、該シャワーパイプ５に取り付けられた６基のシャワー６とからなる吹付ユニットＦを上下方向に４か所備えている。
そして、第１吹付手段２１においては、シャワーパイプ５に流通させた薬液Ｗが、フィルム状基板１に対し、シャワー６から一定の圧力で薬液Ｗを吹き付け可能となっている。
なお、第２吹付手段２１は、吹付ユニットＦを上下方向に３か所備えていること以外は、第１吹付手段２１と同じ構造である。

薬液付与装置１００においては、フィルム状基板１を下方向に搬送している際に、第１吹付手段２１により、薬液Ｗを横方向から該フィルム状基板１の両面に吹き付けるので、フィルム状基板１の両面に同程度の薬液Ｗを同程度の圧力で同時且つ均一に付与することができる。
このとき、フィルム状基板１を鉛直下方向に搬送するものであると、フィルム状基板１の表面に沿って流れ落ちる薬液Ｗの量及びその落下速度もフィルム状基板１の表側と裏側とで同程度となるので、薬液Ｗをより均一に付与することが可能となる。

また、フィルム状基板１を上方向に搬送している際に、第２吹付手段２２により、薬液Ｗを横方向から該フィルム状基板１の両面に吹き付けるので、フィルム状基板１の両面に同程度の薬液Ｗを同程度の圧力で同時且つ均一に付与することができる。
このとき、フィルム状基板１を鉛直上方向に搬送するものであると、フィルム状基板１の表面に沿って流れ落ちる薬液Ｗの量及びその落下速度もフィルム状基板１の表側と裏側とで同程度となるので、薬液Ｗをより均一に付与することが可能となる。

図１に戻り、薬液付与装置１００は、第１案内ロール１１、第２案内ロール１２、第３案内ロール１３、第４案内ロール１４、第１吹付手段２１及び第２吹付手段２２を収容するハウジングＧを備える。

薬液付与装置１００において、ハウジングＧには、薬液Ｗが貯留されており、貯留された薬液Ｗに第２案内ロール１２と第３案内ロール１３とが浸漬されている。このため、フィルム状基板１は、薬液Ｗに浸漬された状態で第２案内ロール１２及び第３案内ロール１３により案内されることになる。
これにより、例えば、フィルム状基板１の表側の第１吹付手段２１により吹き付けられた薬液Ｗは、フィルム状基板１上に液だまりとならず、フィルム状基板１の表面に沿って、貯留された薬液Ｗに流れ落ちる。その結果、フィルム状基板１が皺になることを抑制することができる。なお、裏側の第１吹付手段２１についても同様であり、表側及び裏側の第２吹付手段２２についても同様である。
また、薬液Ｗ中で水平方向に搬送されるフィルム状基板１に対して、浮力が作用するため、フィルム状基板１を引っ張る張力が比較的弱い場合であっても、フィルム状基板１が下方に弛むことを抑制することができる。

図３は、本実施形態に係る薬液付与装置の周辺装置を説明するための概略図である。
図３に示すように、薬液付与装置１００は、薬液Ｗが貯留されたタンク３０と、該タンク３０とそれぞれのシャワーパイプ５とを連通する複数の流通経路３１と、該流通経路３１それぞれに設けられた流量調整弁３２及び圧力計３３と、ハウジングＧ内に貯留された薬液Ｗのうち一定量を超えた薬液Ｗをタンク３０に回帰させるための回収経路３４とを備える。

薬液付与装置１００においては、タンク３０の貯留された薬液ＷがポンプＰにより圧力を加えられ流通経路３１を介して、シャワーパイプ５に送られる。
このとき、各シャワーパイプ５に繋がる流通経路３１には、それぞれ流量調整弁３２及び圧力計３３が設けられているので、薬液Ｗの流量を調整することにより、シャワー６から吹き付けられる薬液Ｗの圧力を変えることができる。これにより、必要な薬液処理の程度に応じて、それぞれのシャワーパイプ５内の圧力を調整することができる。

また、薬液付与装置１００においては、回収経路３４を備えるので、ハウジングＧ内に貯留された薬液Ｗが一定量を超えた場合、超えた分の薬液Ｗをタンク３０に回帰させることができる。これにより、薬液Ｗを循環させることができるので効率が良い。
なお、上記一定量の程度は、特に限定されないが、上述したように、少なくとも第２案内ロール１２と第３案内ロール１３とが薬液Ｗに浸漬される量である。

次に、本実施形態に係る薬液付与装置１００を用いた薬液付与方法について説明する。
図４は、本実施形態に係る薬液付与方法を示すフローチャートである。
図４に示すように、本実施形態に係る薬液付与方法においては、フィルム状基板１に対して、第１ステップＳ１、第２ステップＳ２及び第３ステップＳ３の３段階のステップで薬液Ｗを付与する。

第１ステップにおいては、フィルム状基板１を下方に搬送しながら、一対の第１吹付手段２１により、該フィルム状基板１の両面に薬液Ｗを吹き付ける。
これにより、フィルム状基板１の両面は、吹き付けられた薬液Ｗにより処理されると共に、当該薬液Ｗがフィルム状基板１の表面及び裏面に沿って流れ落ちる際にも処理される。

第２ステップＳ２においては、フィルム状基板１をハウジングＧに貯留された薬液Ｗに浸漬させた状態で、水平方向に搬送する。
これにより、フィルム状基板１の両面は、貯留された薬液Ｗにより処理される。
また、このとき、上述したように、第１ステップＳ１で吹き付けられた薬液Ｗは、落下して、貯留された薬液Ｗに混入されるので、フィルム状基板１上に液だまりとはならない。

第３ステップＳ３においては、フィルム状基板１を上方に搬送しながら、一対の第２吹付手段２２により、該フィルム状基板１の両面に薬液を吹き付ける。
これにより、フィルム状基板１の両面は、吹き付けられた薬液Ｗにより処理されると共に、当該薬液Ｗがフィルム状基板１の表面及び裏面に沿って流れ落ちる際にも処理される。

これらのことにより、本実施形態に係る薬液付与方法においては、第１ステップＳ１と、第２ステップＳ２と、第３ステップＳ３と、を有することにより、フィルム状基板１が皺になることを抑制すると共に、基板の両面に薬液を同時且つ均一に付与することができる。

次に、本実施形態に係る薬液付与機構について説明する。
図５は、本実施形態に係る薬液付与機構を模式的に示す正面図である。
図５に示すように、本実施形態に係る薬液付与機構Ａは、薬液付与装置１００が直列に連続して３機配列されている。このため、異なる薬液を連続してフィルム状基板１の両面に付与することができる。

例えば、薬液付与機構Ａにおいて、フィルム状基板１が搬送される上流側から順に、第１薬液付与装置１００、第２薬液付与装置１００、第３薬液付与装置１００が配列されており、第１薬液付与装置１００で付与される薬液が、エッチング液であり、第２薬液付与装置１００及び第３薬液付与装置１００で付与される薬液が、洗浄水となっている場合、フィルム状基板１の両面に設けられたレジスト膜のエッチング加工を行うことができる。

また、薬液付与機構Ａにおいては、第１薬液付与装置１００、第２薬液付与装置１００及び第３薬液付与装置１００の下流側に、一対のエアーナイフＸが設けられている。
このため、エッチング加工が施されたフィルム状基板１は、エアーナイフＸからエアーを吹き付けられることにより、乾燥されることになる。

以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。

例えば、本実施形態に係る薬液付与装置１００においては、第１案内ロール１１、第２案内ロール１２、第３案内ロール１３及び第４案内ロール１４を備えているが、更に案内ロールを備えていてもよい。

本実施形態に係る薬液付与装置１００においては、第１案内ロール１１、第２案内ロール１２、第３案内ロール１３及び第４案内ロール１４は、いずれも円柱状の非接触型の案内ロールとなっているが、必ずしも非接触型の案内ロールである必要はない。なお、少なくとも第１案内ロール１１及び第４案内ロール１４が非接触型の案内ロールであることが好ましい。

本実施形態に係る薬液付与装置１００において、第１吹付手段２１は、シャワーパイプ５と、該シャワーパイプ５に取り付けられた６基のシャワー６とからなる吹付ユニットＦを上下方向に４か所備えているが、シャワーの数は特に限定されず、吹付ユニットＦの数も特に限定されない。
同様に、第２吹付手段２２は、シャワーパイプ５と、該シャワーパイプ５に取り付けられた６基のシャワー６とからなる吹付ユニットＦを上下方向に３か所備えているが、シャワーの数は特に限定されず、吹付ユニットＦの数も特に限定されない。

また、第１吹付手段２１及び第２吹付手段２２は、シャワーパイプ５と、該シャワーパイプ５に取り付けられた複数のシャワー６とからなる吹付ユニットＦを上下方向に複数か所備えているが、吹付手段の構造はこれに限定されない。
例えば、吹付手段は、シャワー６を有さず、複数のスリットノズルが設けられたシャワーパイプ５からなるものであってもよい。
この場合、フィルム状基板１に対し、スリットノズルから薬液Ｗを弱い圧力で吹き掛けることになるので、シャワーパイプは、可及的上方の位置に少なくとも１基備えていればよい。
したがって、シャワーパイプ５と、該シャワーパイプ５に取り付けられた複数のシャワー６とからなる吹付ユニットを用いる場合は、薬液Ｗによる処理をハードに行うことができ、スリットノズルが設けられたシャワーパイプを用いる場合は、薬液Ｗによる処理をソフトに行うことができる。

本発明に係る薬液付与装置、それを用いた薬液付与方法及び薬液付与機構は、フィルム状基板の両面に、エッチング液、現像液、レジスト剥離液等の薬液を付与し、化学処理を施す装置として用いられる。
本発明によれば、フィルム状基板が皺になることを抑制すると共に、フィルム状基板の両面に薬液を同時且つ均一に付与することができる。

１・・・フィルム状基板
５・・・シャワーパイプ
６・・・シャワー
１１・・・第１案内ロール
１２・・・第２案内ロール
１３・・・第３案内ロール
１４・・・第４案内ロール
２１・・・第１吹付手段
２２・・・第２吹付手段
３０・・・タンク
３１・・・流通経路
３２・・・流量調整弁
３３・・・圧力計
３４・・・回収経路
５０・・・ベースフィルム
５１・・・導電膜
５２・・・レジスト膜
５２ａ・・・部分
５３・・・マスク
１００・・・薬液付与装置
Ａ・・・薬液付与機構
Ｄ・・・電子回路基板
Ｄ１・・・積層体
Ｆ・・・吹付ユニット
Ｇ・・・ハウジング
Ｐ・・・ポンプ
Ｓ１・・・第１ステップ
Ｓ２・・・第２ステップ
Ｓ３・・・第３ステップ
Ｗ・・・薬液
Ｘ・・・エアーナイフ

Claims (6)

1. 長尺状のフィルム状基板に対し、薬液を吹き付ける薬液付与装置であって、
   水平方向に搬送される前記フィルム状基板を下方に案内する第１案内ロールと、
   下方向に搬送される前記フィルム状基板を水平方向に案内する第２案内ロールと、
   水平方向に搬送される前記フィルム状基板を上方に案内する第３案内ロールと、
   上方向に搬送される前記フィルム状基板を水平方向に案内する第４案内ロールと、
   下方に搬送される前記フィルム状基板に対し、薬液を横方向から該フィルム状基板の両面に吹き付ける一対の第１吹付手段と、
   上方に搬送される前記フィルム状基板に対し、薬液を横方向から該フィルム状基板の両面に吹き付ける一対の第２吹付手段と、
   前記第１案内ロール、前記第２案内ロール、前記第３案内ロール、前記第４案内ロール、前記第１吹付手段及び前記第２吹付手段を収容するハウジングと、
   を備え、
   前記ハウジングには薬液が貯留されており、
   貯留された前記薬液に前記第２案内ロールと前記第３案内ロールとが浸漬されている薬液付与装置。
2. 前記第１案内ロール、前記第２案内ロール、前記第３案内ロール及び前記第４案内ロールが非接触型の案内ロールである請求項１記載の薬液付与装置。
3. 前記第１吹付手段又は前記第２吹付手段が、水平方向に延びるシャワーパイプと、該シャワーパイプに取り付けられた複数のシャワーとからなる吹付ユニットを上下方向に複数備えたものであり、
   前記フィルム状基板に対し、前記シャワーから一定の圧力で前記薬液を吹き付ける請求項１又は２に記載の液体付与装置。
4. 前記第１吹付手段又は前記第２吹付手段が、スリットノズルが設けられたシャワーパイプからなり、
   前記フィルム状基板に対し、前記スリットノズルから薬液を吹き掛ける請求項１又は２に記載の液体付与装置。
5. 請求項１〜４のいずれか１項に記載の薬液付与装置を用いた薬液付与方法であって、
   前記フィルム状基板を下方に搬送しながら、一対の前記第１吹付手段により、該フィルム状基板の両面に薬液を吹き付ける第１ステップと、
   前記フィルム状基板を前記ハウジングに貯留された薬液に浸漬させた状態で、水平方向に搬送する第２ステップと、
   前記フィルム状基板を上方に搬送しながら、一対の前記第２吹付手段により、該フィルム状基板の両面に薬液を吹き付ける第３ステップと、
   を有する薬液付与方法。
6. 請求項１〜５のいずれか１項に記載の薬液付与装置が直列に連続して複数配列されている薬液付与機構であって、
   前記フィルム状基板が搬送される上流側から順に、第１薬液付与装置、第２薬液付与装置、第３薬液付与装置が配列されており、
   前記第１薬液付与装置で付与される薬液が、エッチング液であり、
   前記第２薬液付与装置及び前記第３薬液付与装置で付与される薬液が、洗浄水である薬液付与機構。

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