JP2016039218A - 貫通電極基板の製造方法および貫通電極基板 - Google Patents
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上記構成をなす貫通電極付きガラス基板は、高気密性を特徴としているが、その製法上、基材となるガラスの溶融温度付近の高温まで加熱する必要がある。ゆえに、ガラスと電極材料との熱膨張係数の違いにより、ガラス基板が破損する虞があるため、熱膨張係数がガラスと近いタングステンなどの限られた金属が用いられている。つまり、上記製法により貫通電極を形成する場合には、電極材料の選択の幅が狭いという課題があった。
また、ナノサイズの粒径の粒径よりも大きな通常の導電性粒子、またはこれらを含むインク・ペーストの焼結温度は一般に500℃以上の高温が必要となり、ガラスとの熱膨張係数の違いによる問題が出てくる。
ゆえに、本発明よれば、「低温で溶融、拡散、合金化」を行うことによって、貫通電極やこれに接続された配線を形成することができるとともに、再溶解する温度を電極形成した温度よりも高い温度とすることが可能となる。換言すると、本発明は、このように低いプロセス温度で高温まで使用可能な貫通電極などの配線をもたらす。これにより、ガラスとの熱膨張係数の差の問題を解決できる。
図1は、本発明に係る貫通電極基板の製造方法を示すフローチャートであり、以下の5工程を含んでいる。
・基体の一面から他面に向けて貫通孔を形成する第一工程。
・基体の他面にフィルムを貼付し、他面側で貫通孔を封止する第二工程。
・基体の一面に金属または合金粒子が混入された流動体を導入し、貫通孔内において複数の種類の金属または合金粒子が混在した状態とする第三工程。
・基体を密閉容器に入れ、容器内を排気しながら焼成処理し、合金化された貫通電極を形成する第四工程。
・密閉容器から基体を取出し、加熱手段を外し、フィルム除去した後、基体を洗浄する第五工程。
以上の5工程を経ることにより、本発明に係る貫通電極基板が得られる。
なお、本発明では、流動体Aに混入され、その後の熱処理により、貫通電極(または配線パターン)の材料である、「複数(少なくとも2種類以上)の金属または合金粒子」のことを、出発材料とも呼ぶ。
第一実施形態:貫通孔へ充填する前に、2種類の金属または合金粒子が混在した流動体を用いる場合(平板状の基体に適用)。
第二実施形態:凹部を加工した基体に対して第一実施形態の製法を適用した場合。
第三実施形態:第一の金属または合金粒子が混在した流動体を貫通孔へ充填した後に、第二の金属または合金粒子をその融点以上に加熱し溶融した液体状の金属からなる流動体を充填する場合(平板状の基体に適用)。
第四実施形態:第三の金属または合金からなる材料をメッキ法により貫通孔へ充填した後に、第四の金属または合金をその融点以上に加熱して溶融状態にした液体状の金属からなる流動体を充填する場合(平板状の基体に適用)。
以下では、第一実施形態〜第四実施形態を順に説明する。
図2〜図4は、第一実施形態に係る図面であり、図2はフローチャートを、図3は図2に基づく製造方法の一例を工程順に示す模式断面図、図4は図3に続く各工程を順に示す模式断面図である。
その際、必要に応じて、基体10の一面にフィルム11を予め設ける。
・基体10の他面にフィルム13を貼付し、他面側で貫通孔12を封止する[SA2(第二工程):図3(b)]。
・基体10の一面に2種類の金属粒子M1、M2を含む流動体Aを塗布し、貫通孔12の内部に流動体Aを充填する[SA3(第三工程):図3(c)]。
・基体10を回転させて基体の一面上に付着した流動体Aを振り切る[SA4(第三工程):図3(d)]。
・基体10を密閉容器C1に入れ、容器内を排気(PA)しながら加熱手段16bを用いて焼成処理し、合金化された貫通電極MAを形成する[SA6(第四工程):図4(f)]。
・密閉容器C1から基体10を取出し、加熱手段16bを外し、フィルム11、13を除去した後、基体10を洗浄する[SA7(第五工程):図4(g)]。
以上の各工程を経ることにより、貫通電極14A(MA)を備えた貫通電極基板SAが得られる。
第一ステップ(SA3)では、まず、前工程(SA2)によりフィルム13を他面に設けた基体10の一面に、2種類の金属粒子M1、M2として、Ag(M1)とIn(M2)を含む流動体A14を塗布することにより、貫通孔12の内部に流動体A14を充填する。その際、基体10の一面上において、流動体A14がパドル状にディスペンスされた状態とする。その際、流動体A14は、高融点金属(合金)[本例ではAg(M1)]と低融点金属(合金)[本例ではIn(M2)]とが各々、個別の状態で存在して含まれた状態とされることが重要である。
流動体A14の充填方法は、ディスペンス法に限定されるものではなく、印刷法や吸引法などの他の方法で貫通穴に流動体A14を充填しても良い。
なお、貫通孔12の内部に対する流動体A14の充填が十分でない場合は、充填からプリベークまでの第三工程[(第一ステップ(SA3)、第二ステップ(SA4)、第三ステップ(SA5)]を、複数回繰り返しても良い。
ゆえに、本発明によれば、「低温で溶融、拡散、合金化」を行うことによって、貫通電極やこれに接続された配線を形成することができるとともに、再溶解する温度を電極形成した温度よりも高い温度とすることが可能となる。換言すると、本発明は、このように低いプロセス温度で高温まで使用可能な貫通電極などの配線をもたらす。これにより、ガラスとの熱膨張係数の差の問題を解決できる。
なお、材料である金属の酸化を防ぐ手法としては、上述した真空中に限定されるものではなく、不活性ガス(窒素、アルゴンなど)中、あるいは還元性ガス(ギ酸、水素、一酸化炭素、硫化水素、二酸化硫黄など)中において、焼成処理を行っても良い。
図16に示すように、4つの条件[Agの融点(962℃)、合金化後の融点(693℃)、封止材の耐熱温度、Inの融点(156℃)]を踏まえることにより、本発明に好適な「合金化プロセスの範囲(組成・温度):点線で囲んだ領域」が、適宜選定される。図16から、Ag粒子、In粒子を原子比(atm%)において、Ag:In=4:1以上のAg割合が好ましいことが分かる。
基体10からフィルム11、13を除去(剥離)する作業は、所望の温度以下に基体10が冷却された後に行われる。基体10の洗浄処理は、たとえば、ガラス基板用洗剤・純水を用いて行われる。その後に、IPAベーパー乾燥を行うことが好ましい。
作製した貫通電極基板SAを構成する貫通電極14A(MA)の気密性を、ヘリウム吹き付け法を用いて評価した。その結果、貫通電極14Aの気密性は、1×10−9[Pa・m3/sec]以下であり、良好な気密性を有することが確認された。
図5〜図7は、第二実施形態に係る図面であり、図5はフローチャートを、図6は図5に基づく製造方法の一例を工程順に示す模式断面図、図7は図6に続く各工程を順に示す模式断面図である。
第二実施形態の製造方法は、図5〜図7に示すように、凹部を加工した基体に対して第一実施形態の製法を適用した場合である。
・基体20の他面に凹部20Cを形成する[SB1(前工程):図5(a)]。
・基体20の一面から他面に向けて貫通孔22を形成する[SB2(第一工程):図5(b)]。その際、必要に応じて、基体20の一面にフィルム21を予め設ける。
・基体20の他面にフィルム23を貼付し、他面側で貫通孔22を封止する[SB3(第二工程):図5(c)]。
・基体20の一面に2種類の金属粒子M1、M2を含む流動体B24を塗布し、貫通孔12の内部に流動体B24を充填する[SB4(第三工程):図6(d)]。
・加熱手段26aを用いて基体20をプリベーク処理する[SB6(第三工程):図7(f)]。
・基体20を密閉容器C2に入れ、容器内を排気(PB)しながら加熱手段26bを用いて焼成処理し、合金化された貫通電極MAを形成する[SB7(第四工程):図7(g)]。
・密閉容器C2から基体20を取出し、加熱手段26bを外し、フィルム21、23を除去した後、基体20を洗浄する[SB8(第五工程):図7(h)]。
以上の各工程を経ることにより、貫通電極24A(MA)を備えた貫通電極基板SBが得られる。
作製した貫通電極基板SBを構成する貫通電極24Aの気密性を、ヘリウム吹き付け法を用いて評価した。その結果、貫通電極24A(MA)の気密性は、1×10−9[Pa・m3/sec]以下であり、良好な気密性を有することが確認された。
図8〜図10は、第三実施形態に係る図面であり、図8はフローチャートを、図9は図8に基づく製造方法の一例を工程順に示す模式断面図、図10は図9に続く各工程を順に示す模式断面図、図11は図10に続く各工程を順に示す模式断面図、である。
以下では、流動体Cに含まれる第一の金属または合金粒子M3の方が、流動体Dに含まれる第二の金属または合金粒子をその融点以上に加熱して溶融状態にした液体状の金属M4よりも、「融点が高い」と仮定して説明する。
・基体30の一面から他面に向けて貫通孔32を形成する[SC1(第一工程):図9(a)]。その際、必要に応じて、基体30の一面にフィルム31を予め設ける。
・基体30の他面にフィルム33を貼付し、他面側で貫通孔32を封止する[SC2(第二工程):図9(b)]。
・基体30の一面に、融点の高い金属粒子M3を含む流動体C34aを塗布し、貫通孔32の内部に流動体C34a(M3)を充填する[SC3(第三工程):図9(c)]。
・基体30を回転させて基体の一面上に付着した流動体C34a(M3)を振り切る[SC4(第三工程):図9(d)]。これにより、充填された流動体C34a(M3)の上面(貫通孔の開口部側)の平坦化を図る。
・貫通孔32の内部に流動体C34aが充填された基体30を密閉容器C3に入れて、この密閉容器の内部を排気(PC1)する[SC6(第三工程):図10(f)]。これにより、流動体C34a(M3)に内在する微細孔(空孔P)の内部を脱気する。
その際、液体状の金属M4としては、流動体C34aに含まれる金属または合金粒子M3よりも、融点の低い金属または合金をその融点以上に加熱して溶融状態にしたものが用いられる。
上述したSC6〜SC8が、「前記流動体として前記第一の金属または合金粒子M3よりも融点の低い第二の金属または合金粒子をその融点以上に加熱して溶融状態にした液体状の金属M4からなる流動体Dを用い、前記貫通孔内の流動体Cに生じた空孔(微細孔)に該液体状の金属M4を充填するステップ」に相当する。
第三実施形態では、上述したSC6〜SC8に示す「真空加圧含浸法」を用いたが、この手法に限定されるものではなく、たとえばIMA(Injection Molded Solder)法を用いてもよい。IMA法とは、溶融した金属をインジェクションでハンダバンプを形成する方法である。
なお、材料である金属の酸化を防ぐ手法としては、上述した真空中に限定されるものではなく、不活性ガス(窒素、アルゴンなど)中、あるいは還元性ガス(ギ酸、水素、一酸化炭素、硫化水素、二酸化硫黄など)中において、焼成処理を行っても良い。
以上の各工程を経ることにより、貫通電極34A(MA)を備えた貫通電極基板SCが得られる。
図12〜図15は、第四実施形態に係る図面であり、図12はフローチャートを、図13は図12に基づく製造方法の一例を工程順に示す模式断面図、図14は図13に続く各工程を順に示す模式断面図、図15は図14に続く各工程を順に示す模式断面図である。
第四実施形態は、「メッキ法により形成した貫通電極(メッキ部)の内部に、空孔(微細孔)を残存させずに、貫通孔を完全に充填することは難しい」という問題を解決するための手法を提供するものである。すなわち、第四実施形態は、貫通電極(メッキ部)の内部に残存する空孔(微細孔)に対して、溶融金属を充填し、合金化を図ることにより、貫通電極の気密性を高めることを目的とする。
以下では、メッキ法により充填された第三の金属または合金M5の方が、流動体Eに含まれる第四の金属または合金をその融点以上に加熱して溶融状態にした液体状の金属M6よりも、「融点が高い」と仮定して説明する。
・基体40の一面から他面に向けて貫通孔42を形成する[SD1(第一工程):図13(a)]。その際、必要に応じて、基体40の一面にフィルム41を予め設ける。
・基体40の他面にフィルム43を貼付し、他面側で貫通孔42を封止する[SD2(第二工程):図13(b)]。
その際、液体状の金属M6としては、メッキ部C44a(M5)に含まれる第三の金属または合金M5よりも、融点の低い金属または合金をその融点以上に加熱して溶融状態にしたものが用いられる。
第四実施形態では、上述したSD4〜SD6に示す「真空加圧含浸法」を用いたが、この手法に限定されるものではなく、たとえばIMA(Injection Molded Solder)法を用いてもよい。IMA法とは、溶融した金属をインジェクションでハンダバンプを形成する方法である。
なお、材料である金属の酸化を防ぐ手法としては、上述した真空中に限定されるものではなく、不活性ガス(窒素、アルゴンなど)中、あるいは還元性ガス(ギ酸、水素、一酸化炭素、硫化水素、二酸化硫黄など)中において、焼成処理を行っても良い。
以上の各工程を経ることにより、貫通電極44A(MA)を備えた貫通電極基板SDが得られる。
(1)ガラスからなる基板と、その内部に形成される貫通電極材料との熱膨張差が小さくて済むため、タングステン以外の多様な材料を選択することが可能となる。
(2)ポリイミドなどの耐熱性樹脂によりガラス基板表面を保護・マスキングしながら、電極・配線の形成を行う事が出来る。これにより、貫通電極形成に研磨を行わなくても平坦で清浄な表面を得ることができる効果を有する。
(4)半導体素子やMEMS素子が形成され、高温プロセスが採用できない基板においても、貫通電極等の配線を形成することができる。
さらに、本発明によれば、形成された電極・配線にはバインダーが残らず、かつ、空孔が存在しないために、比抵抗の小さい電極・配線を作製することができる。
Claims (11)
- 平板状のガラスからなる基体の一面に対して、貫通孔を前記基体の内部に形成する第一工程と、
前記第一工程を経た基体の他面に対してフィルム状の封止材を貼付することにより、該他面側において前記貫通孔を封止する第二工程と、
前記第二工程を経た基体の一面側から前記貫通孔の内部に、金属または合金粒子が混入された流動体を導入し、該貫通孔内において融点の異なる金属または合金粒子が混在した状態とし、前記封止材の耐熱温度より低い温度で(、前記融点の異なる金属または合金粒子を)焼結させることにより、貫通電極を形成する第三工程と、
を含むことを特徴とする貫通電極基板の製造方法。 - 前記第三工程は、前記融点の異なる金属または合金粒子のうち、最も融点の低い金属または合金粒子として、前記封止材の耐熱温度より低いものを用いることを特徴とする請求項1に記載の貫通電極基板の製造方法。
- 前記第三工程は、前記融点の異なる金属または合金粒子のうち、最も融点の低い金属または合金粒子の融点より、焼結後に得られる合金の融点が高くなるように、該融点の異なる金属または合金粒子の混合割合を設定することを特徴とする請求項1又は2に記載の貫通電極基板の製造方法。
- 前記第一工程において、前記基体の他面に対して凹部が予め形成された基体を用いることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の貫通電極基板の製造方法。
- 前記第三工程は、前記流動体として、融点の異なる複数の金属または合金粒子が混入された流動体Aを用い、前記貫通孔の内部に該流動体Aを充填するステップ、を含むことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の貫通電極基板の製造方法。
- 前記第三工程は、前記流動体として第一の金属または合金粒子M3が混入された流動体Cを用い、前記貫通孔の内部に該流動体Cを充填するステップと、前記流動体として前記第一の金属または合金粒子M3よりも融点の低い第二の金属または合金をその融点以上に加熱して溶融状態にした液体状の金属M4からなる流動体Dを用い、前記貫通孔内の流動体Cに生じた空孔(微細孔)に該液体状の金属M4を充填するステップと、を含むことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の貫通電極基板の製造方法。
- 前記第三工程は、第三の金属または合金M5をメッキ法により前記貫通孔内部に充填しメッキ部を形成するステップと、前記流動体として前記第三の金属または合金M5よりも融点の低い第四の金属または合金をその融点以上に加熱して溶融状態にした液体状の金属M6からなる流動体Eを用い、前記貫通孔のメッキ部に生じた空孔(微細孔)内に該液体状の金属を充填するステップと、を含むことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の貫通電極基板の製造方法。
- 請求項6又は7において、前記流動体をなす前記液体状の金属M4又は前記液体状の金属M6を充填するステップが、真空加圧含浸法を用いることを特徴とする貫通電極基板の製造方法。
- 基体に貫通電極を備えてなる貫通電極基板であって、
前記貫通電極は、前記基体の貫通孔内において、融点の異なる複数の金属または合金粒子から構成されていることを特徴とする貫通電極基板。 - 基体に貫通電極を備えてなる貫通電極基板であって、
前記貫通電極は、前記基体の貫通孔内において、複数の第一の金属または合金粒子M3、及び、前記第一の金属または合金粒子M3よりも融点の低い複数の第二の金属または合金粒子をその融点以上に加熱して溶融状態にした液体状の金属M4が冷却された部位、から構成されており、前記液体状の金属M4が冷却された部位は、前記第一の金属または合金粒子M3間に生じた空孔(微細孔)内に配されていることを特徴とする貫通電極基板。 - 基体に貫通電極を備えてなる貫通電極基板であって、
前記貫通電極は、前記基体の貫通孔内において、第三の金属または合金粒子M5からなるメッキ部と、前記メッキ部を構成する第三の金属または合金粒子M5よりも融点の低い第四の金属または合金粒子をその融点以上に加熱して溶融状態にした液体状の金属M6が冷却された部位、から構成されており、前記液体状の金属M6が冷却された部位は、前記メッキ部に生じた空孔(微細孔)内に配されていることを特徴とする貫通電極基板。
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