JP2016036000A - 弾性緩衝機能を有する気密端子 - Google Patents

弾性緩衝機能を有する気密端子 Download PDF

Info

Publication number
JP2016036000A
JP2016036000A JP2014159154A JP2014159154A JP2016036000A JP 2016036000 A JP2016036000 A JP 2016036000A JP 2014159154 A JP2014159154 A JP 2014159154A JP 2014159154 A JP2014159154 A JP 2014159154A JP 2016036000 A JP2016036000 A JP 2016036000A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
outer ring
airtight terminal
metal outer
metal
sealed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2014159154A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6383213B2 (ja
Inventor
太郎 平井
Taro Hirai
太郎 平井
晃 奥野
Akira Okuno
晃 奥野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Schott Components Corp
Original Assignee
NEC Schott Components Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Schott Components Corp filed Critical NEC Schott Components Corp
Priority to JP2014159154A priority Critical patent/JP6383213B2/ja
Publication of JP2016036000A publication Critical patent/JP2016036000A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6383213B2 publication Critical patent/JP6383213B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Connections Arranged To Contact A Plurality Of Conductors (AREA)

Abstract

【課題】気密端子を取り付ける筐体の材質が、気密端子の材質よりも熱膨張の大きい場合にも、気密端子と筐体との間に生じる熱応力を緩和して、気密端子と筐体とのはんだ接合部や気密端子本体が容易に破損しない気密端子を提供する。【解決手段】気密端子10は、コバール、インバーなどの不変鋼の金属外環11と、金属外環11の内径に封着した絶縁ガラス12と、さらに絶縁ガラス12に貫通封着したコバール、インバーなどの不変鋼の導出リード13とを備え、金属外環11は、その外周を屈曲して形成した弾性緩衝手段14を設ける。【選択図】図1

Description

本発明は電気・電子装置に用いられる気密端子に関し、特に金属外環に弾性緩衝手段を設けた気密端子に関する。
気密端子(フィード・スルーとも言う)は、金属外環または金属外環の挿通孔に絶縁材を介してリードを気密に封着したもので、気密容器内に収容された電気機器や素子に電流を供給したり、電気機器や素子から信号を外部に導出したりする場合に用いられる。特に金属外環とリードを絶縁ガラスで封着するGTMS(Glass−to−Metal−Seal)タイプの気密端子は、整合封止型と圧縮封止型の2種類に大別される。気密封止の信頼性を確保するには、外環およびリードの金属材と絶縁ガラスの熱膨張係数を適正に選択することが重要となる。封止用の絶縁ガラスは、金属外環とリードの素材、要求温度プロファイルおよびその熱膨張係数によって決定されている。整合封止の場合には、金属材と絶縁ガラスの熱膨張係数が可能な限り一致するように封止素材が選定される。整合封止型気密端子は、気密信頼性ならびに電気絶縁性を確保するため、金属外環およびリード材に広い温度範囲でガラス材と熱膨張係数が一致しているコバール合金(Fe54%、Ni28%、Co18%)を使用して、両者をホウケイ酸ガラスなどの絶縁ガラスで封着するのが一般的である。
これら気密端子は、パソコン等に搭載するハードディスク・ドライブ(以下、HDD)の接続端子にも適用されている。近年のHDDは、大記録容量、高記録密度かつ安定した高速アクセスに加えて静粛性や省電力などが要求されている。これら要求を満足させるため特許文献1に記載されるように、磁気ディスク(プラッタとも言う)を収める筐体にHeなどの低密度気体を充填することで、プラッタの高速回転にともなう風損を大幅に低減したHDDがある。Heや水素などの低密度気体は、分子サイズが極めて小さいため拡散リークしやすいので、これらの低密度気体を筐体内に保持し封入しておくために気密端子が用いられる。気密端子はアルミ合金製筐体の開口部周縁にはんだ接合されて筐体を密閉する。
特開2008−171482号公報
上述のように気密端子は、ガラス材と熱膨張係数を整合させたコバール合金の金属外環とリード材をガラスで絶縁封着して構成されるが、絶縁ガラスの熱膨張係数は、HDDの筐体に使用されるアルミ材と大きく異なるため、熱応力によって気密端子と筐体とを固定するはんだ接合部や気密端子本体が破損しやすいという欠点があった。
本発明の目的は、上記課題を解消するため提案するものであり、気密端子を取り付ける筐体の材質が、気密端子の材質よりも熱膨張が大きい場合または熱膨張が小さい場合であっても、気密端子の金属外環に弾性緩衝部を設けたことで気密端子に応力吸収機能を持たせて、気密端子と筐体との間に生じる熱応力を緩和して、気密端子と筐体との接合部が容易に破損しない気密端子を提供することにある。本発明により、気密端子と筐体とを気密封止するはんだ材などの接合部や気密端子本体が熱応力によって容易に破壊されないように保護することができる。
本発明によれば、金属外環と、この金属外環に封着した絶縁ガラスと、さらにこの絶縁ガラスに貫通封着した導出リードとを備え、金属外環は、周縁に金属外環の屈曲部からなる弾性緩衝手段を設けて、これにより筐体材料との熱膨張差を緩衝することで、気密端子に応力吸収機能を持たせたことを特徴とする気密端子が提供される。
本発明により気密端子を取り付ける筐体材料と気密端子の構成材料との間に大きな熱膨張差がある組み合わせであっても、金属外環の周縁に設けた屈曲部が両者の熱膨張差を緩衝するダンパーとして働くので、気密端子と筐体とを気密封止するはんだ接合部や気密端子の絶縁ガラスに掛る熱応力を緩和し、気密端子およびその接合部を応力破壊から保護する。金属外環に弾性緩衝手段を設けたことにより、多ピンタイプの整合封止型気密端子でありながら、高信頼性、高気密性の気密端子を実現することができ、これまでHDDなどに用いられていた多ピンタイプの圧縮封止型気密端子に要求されていた金属外環の形状に対する制限を大幅に軽減できる。すなわち、絶縁ガラスに圧縮応力を均等に荷重できるようリード毎に同心円状の貫通孔を用意したり、同一の開口部に多数のリードを植設する場合に、ガラス構造体の長手方向および横手方向に十分な圧縮応力を獲得できるよう開口面積に応じて開口部を小間に区切ったりする設計上の制約が無くなった。本発明によって、金属外環に複数の開口部を設ける必要がなくなったので、金属外環をより単純な構成にでき、より多数の導出リードをより狭ピッチで設けることが可能となる。なお、本発明は整合封止型気密端子を例示して説明するが、整合封止型気密端子のみならず圧縮封止型気密端子にも適用することができる。
本発明に係る気密端子10を示し、(a)は平面図を、(b)は正面断面図を、(c)は下面図を示す。 本発明に係る気密端子20を示し、(a)は平面図を、(b)は正面断面図を、(c)は下面図を示す。
本発明に係る気密端子は、金属外環と、この金属外環の内径に封着した絶縁ガラスと、さらにこの絶縁ガラスに貫通封着した導出リードとを備え、金属外環は、その外周を屈曲して形成した弾性緩衝手段を設けたことを特徴とする。弾性緩衝手段は、この気密端子を取り付ける筐体材料との熱膨張差を、屈曲部の弾性を利用して緩衝する。金属外環は、少なくとも外周端の断面がU字ないしJ字状となるように屈曲させて成形される。金属外環の断面をJ字状とする場合は、その方向性は特に限定されない。外径端を長尺側とするか、または内径端を長尺側とするか、何れか一方を自由に選択してよい。
例えば、図1に示す気密端子10は、コバール、インバーなどの不変鋼の金属外環11と、金属外環11の内径に封着した絶縁ガラス12と、さらに絶縁ガラス12に貫通封着したコバール、インバーなどの不変鋼の導出リード13とを備え、金属外環11は、その外周を屈曲して形成した弾性緩衝手段14を設けたことを特徴とする。弾性緩衝手段14は、この気密端子10を取り付ける筐体材料との熱膨張差を屈曲部の弾性を利用して緩衝する機能を有する。金属外環11は、断面がU字状に成形されており、その内径に導出リード13を貫通封設させた絶縁ガラス12を封着している。弾性緩衝手段14として機能する金属外環11の板厚15は、厚さ0.1mm以上0.5mm以下のものを用いると好ましい。厚さ0.1mm以下となると外力によって変形し易くなり、所定の寸法形状を維持し難くなる。厚さ0.5mm以上となると剛性過大となり、弾性緩衝効果を充分に発揮し難くなる。また、金属外環11は、特に好ましくは、金属外環11の板厚15を1とするとき屈曲部の間隔すなわち開溝幅16は2以上30以下とするのが良い。開溝幅16が30を超えるときには、金属外環11が必要な剛性を失い弾性緩衝手段として機能しなくなる。また、開溝幅16が2を下回るときには、板金加工が困難となり金属外環11に割れ等の不具合が発生するようになる。金属外環11および導出リード13は、はんだ付け性を向上させる目的で、少なくとも露出表面をNiめっき材やAuめっき材などで被覆してもよい。金属外環11は、円形以外にも楕円形ないし小判形のものに変形できる。例えば、図2に示す気密端子20ように、複数の導出リード23を貫通封設した絶縁ガラス22を、断面がU字状をした小判形の金属外環21の内径部に封着する形態に変形してもよい。
本発明に係る実施例1の気密端子10は、図1に示すように外径15mm、内径5mm、高さ5mmのコバール合金製金属外環11と、金属外環11の内径に封着したホウケイ酸ガラスからなる絶縁ガラス12と、さらに絶縁ガラス12に貫通封着した直径1mmのコバール合金製導出リード13とを備え、金属外環11は、板厚1mm、開溝幅3mmのU字断面を有する環状曲板からなり、金属外環11の断面をU字にすることで金属外環11に加わる応力に対する弾性緩衝手段とした整合封止型気密端子である。
本発明に係る実施例2の気密端子20は、図2に示すように、外径が長径23mm、短径10mm、高さ2.5mm、内径が長径19.2mm、短径6.2mm、高さ2.5mmのコバール合金の金属外環21と、金属外環21の内径に封着したホウケイ酸ガラスからなる絶縁ガラス22と、さらに絶縁ガラス22に貫通封着した複数の直径0.5mmのコバール合金製導出リード23とを備え、金属外環21は、板厚0.25mm、開溝幅1.4mmのU字断面を有する環状曲板からなる。金属外環21の断面をU字にすることにより、金属外環21に加わる応力に対する弾性緩衝手段とした整合封止型気密端子である。
実施例2の気密端子20と、比較例として金属外環、導出リード、絶縁ガラスのサイズが実施例2と同一であるが、金属外環に開溝部を有ない一様な矩形断面を持った比較例の気密端子とを、各50個用意し、これをHDD用Alダイキャスト筐体にはんだ付けして気密接合した後、常温雰囲気より−40℃に設定した恒温槽内に投入し、30分間保持する。後に常温雰囲気に取り出し、10秒以内に80℃に設定した恒温槽内に投入する。30分後に常温雰囲気に取り出し、10秒以内に再び−40℃の恒温槽内に投入する。これらを1サイクルとして、100サイクル、200サイクル、500サイクル、1000サイクル繰り返し行った後、接合部に割れの発生がないか確認した。その結果を表1に示す。
Figure 2016036000
比較例の気密端子は、サイクル数が増すにつれて接合部にクラックが生じた個数が増加したが、実施例1の気密端子10は、1000サイクル後も全数異常はなかった。
本発明はHDD用の気密端子に適用でき、特にHeガス等の低密度ガスを封入し筐体の高気密性が要求されるHDDに好適に利用できる。
10,20・・・気密端子、 11,21・・・金属外環、
12,22・・・絶縁ガラス、 13,23・・・導出リード、
14,24・・・弾性緩衝手段、 15,25・・・板厚、
16,26・・・開溝幅、 D・・・断面図の切断線の基点。

Claims (5)

  1. 金属外環と、この金属外環に封着した絶縁ガラスと、さらにこの絶縁ガラスに貫通封着した導出リードとを備え、金属外環は、周縁に金属外環の屈曲部からなる弾性緩衝手段を設けたことを特徴とする気密端子。
  2. 前記金属外環は、コバール、インバーなどの不変鋼からなることを特徴とする請求項1に記載の気密端子。
  3. 前記金属外環の板厚は、厚さ0.1mm以上0.5mm以下であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の気密端子。
  4. 前記金属外環は、この金属外環の板厚を1とするとき前記屈曲部の開溝幅が2以上30以下であることを特徴とする請求項1ないし請求項3の何れか一つに記載の気密端子。
  5. 請求項1ないし請求項4の何れか一つに記載の気密端子を電極端子に用いたハードディスク装置。
JP2014159154A 2014-08-05 2014-08-05 弾性緩衝機能を有する気密端子 Active JP6383213B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014159154A JP6383213B2 (ja) 2014-08-05 2014-08-05 弾性緩衝機能を有する気密端子

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014159154A JP6383213B2 (ja) 2014-08-05 2014-08-05 弾性緩衝機能を有する気密端子

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2016036000A true JP2016036000A (ja) 2016-03-17
JP6383213B2 JP6383213B2 (ja) 2018-08-29

Family

ID=55523688

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014159154A Active JP6383213B2 (ja) 2014-08-05 2014-08-05 弾性緩衝機能を有する気密端子

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6383213B2 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018003601A1 (ja) * 2016-07-01 2018-01-04 エヌイーシー ショット コンポーネンツ株式会社 Hdd装置用気密端子およびハードディスク装置
WO2018030423A1 (ja) * 2016-08-12 2018-02-15 ショット日本株式会社 端子、端子付き筐体および端子の取付方法
JP2019518299A (ja) * 2016-03-24 2019-06-27 ウェスタン デジタル テクノロジーズ インコーポレーテッド ハードディスク装置用の高速伝送の密封電気コネクタ
CN113471038A (zh) * 2021-07-27 2021-10-01 麦默真空技术无锡有限公司 一种多阴极的阴极装置及一种多阴极阵列源x射线管

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5123466U (ja) * 1974-08-09 1976-02-20
JPS5984771U (ja) * 1983-04-18 1984-06-08 株式会社 フジ電科 コ−ルドウエルドタイプフラツトパツケ−ジの端子構造
JPH0218879A (ja) * 1988-07-05 1990-01-23 Okazaki Seisakusho:Kk ハーメチック端子
JPH11303744A (ja) * 1998-04-20 1999-11-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd 密閉型圧縮機
JP2008171482A (ja) * 2007-01-09 2008-07-24 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv ディスク・ドライブ装置
JP2011511397A (ja) * 2007-12-28 2011-04-07 エマーソン エレクトリック カンパニー ハイブリッド密封構造を備えた密封フィードスルー
JP2013222955A (ja) * 2012-04-16 2013-10-28 Kiyoshi Nagai 気密容器

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5123466U (ja) * 1974-08-09 1976-02-20
JPS5984771U (ja) * 1983-04-18 1984-06-08 株式会社 フジ電科 コ−ルドウエルドタイプフラツトパツケ−ジの端子構造
JPH0218879A (ja) * 1988-07-05 1990-01-23 Okazaki Seisakusho:Kk ハーメチック端子
JPH11303744A (ja) * 1998-04-20 1999-11-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd 密閉型圧縮機
JP2008171482A (ja) * 2007-01-09 2008-07-24 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv ディスク・ドライブ装置
JP2011511397A (ja) * 2007-12-28 2011-04-07 エマーソン エレクトリック カンパニー ハイブリッド密封構造を備えた密封フィードスルー
JP2013222955A (ja) * 2012-04-16 2013-10-28 Kiyoshi Nagai 気密容器

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019518299A (ja) * 2016-03-24 2019-06-27 ウェスタン デジタル テクノロジーズ インコーポレーテッド ハードディスク装置用の高速伝送の密封電気コネクタ
JP2020129426A (ja) * 2016-03-24 2020-08-27 ウェスタン デジタル テクノロジーズ インコーポレーテッド ハードディスク装置用の高速伝送の密封電気コネクタ
WO2018003601A1 (ja) * 2016-07-01 2018-01-04 エヌイーシー ショット コンポーネンツ株式会社 Hdd装置用気密端子およびハードディスク装置
US20190313539A1 (en) * 2016-07-01 2019-10-10 Schott Japan Corporation Hermetic Terminal for HDD Device and Hard Disk Device
US10834835B2 (en) 2016-07-01 2020-11-10 Schott Japan Corporation Hermetic terminal for HDD device and hard disk device
WO2018030423A1 (ja) * 2016-08-12 2018-02-15 ショット日本株式会社 端子、端子付き筐体および端子の取付方法
CN108604744A (zh) * 2016-08-12 2018-09-28 肖特(日本)株式会社 端子、带有端子的框体以及端子的安装方法
US10468801B2 (en) 2016-08-12 2019-11-05 Schott Japan Corporation Terminal, terminal-equipped housing, and terminal attaching method
CN108604744B (zh) * 2016-08-12 2020-12-01 肖特(日本)株式会社 端子、带有端子的框体以及端子的安装方法
CN113471038A (zh) * 2021-07-27 2021-10-01 麦默真空技术无锡有限公司 一种多阴极的阴极装置及一种多阴极阵列源x射线管

Also Published As

Publication number Publication date
JP6383213B2 (ja) 2018-08-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6383213B2 (ja) 弾性緩衝機能を有する気密端子
US10834835B2 (en) Hermetic terminal for HDD device and hard disk device
US2577576A (en) Hermetic crystal holder
US9557238B2 (en) Pressure sensor with geter embedded in membrane
CN104465539B (zh) 金属封接用玻璃‑陶瓷复合密封结构及密封方法
JP2019149304A (ja) 密封端子
RU2538093C1 (ru) Гермоввод
JP2016099184A (ja) ガスセンサ
CN203277796U (zh) 一种气密封连接器
CN204315551U (zh) 金属封接用玻璃-陶瓷复合密封结构
US2599212A (en) Case for electrical measuring instruments
JP2005353291A (ja) 気密端子及びその製造方法
JP2007250340A (ja) 気密端子
JP2008204808A (ja) 半導体装置用気密端子
JP2011163915A (ja) 圧力センサ
JP4851287B2 (ja) 半導体装置用気密端子
JP2001326002A (ja) 気密端子
JPH08162188A (ja) 気密端子
CN213546300U (zh) 一种水冷式气密性玻璃-金属封接结构
JP7282059B2 (ja) 気密端子
JP7552967B2 (ja) 半導体パッケージ用ステム
US20110037162A1 (en) Hermetic packaging and method of forming the same
CN107424959B (zh) 陶瓷针栅阵列外壳针引线保护垫片
JP6674815B2 (ja) 二重封止型ターミナルヘッダの製造方法
CN106548834A (zh) 一种提高玻璃封接金属外壳气密性的方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20160330

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20170227

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20170314

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20170426

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20170705

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20180130

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180227

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20180720

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20180803

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6383213

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250