JP2016033465A - 物理量センサーの製造方法、物理量センサー、電子機器および移動体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の物理量センサーの製造方法は、加速度センサー素子4が配置された支持基板2と、凹部51を有するとともに、凹部51と連通する貫通孔52を有する封止基板5と、を用意する用意工程と、加速度センサー素子4が凹部51内に収納されるように支持基板2と封止基板5とを接合する接合工程と、貫通孔52に封止材3を充填して凹部51を封止する封止工程とを備えている。また、接合工程における支持基板2および封止基板5の温度Taは、封止材3の融点Tbよりも低い。そして、封止工程では、封止材3を融点Tb以上の温度Tcとして溶融することにより、凹部51を封止する。
【選択図】図5
Description
[適用例1]
本発明の物理量センサーの製造方法は、センサー素子が配置された支持基板と、凹部を有するとともに、前記凹部と連通する貫通孔を有する封止基板と、を用意する用意工程と、
前記センサー素子が前記凹部内に収納されるように前記支持基板と前記封止基板とを接合する接合工程と、
前記貫通孔に封止材を充填して前記凹部を封止する封止工程と、を備え、
前記接合工程における前記支持基板および前記封止基板の温度Taは、前記封止材の融点Tbよりも低く、
前記封止工程では、前記封止材を前記融点Tb以上の温度Tcとして溶融することにより、前記凹部を封止することを特徴とする。
本発明の物理量センサーの製造方法では、前記接合工程および前記封止工程は、同一のチャンバー内で行われるのが好ましい。
本発明の物理量センサーの製造方法では、前記接合工程後は、前記封止材が前記貫通孔に充填されるまで、前記チャンバー内の温度が前記温度Ta以上に維持されるのが好ましい。
本発明の物理量センサーの製造方法では、前記接合工程に先立って、前記貫通孔に前記封止材を配置する配置工程を有しているのが好ましい。
本発明の物理量センサーは、センサー素子と、
前記センサー素子が配置された支持基板と、
前記センサー素子を収納する凹部と、前記凹部と連通する貫通孔とを有し、前記支持基板に接合された封止基板と、
前記貫通孔に充填され、前記凹部を封止する封止材と、を備え、
前記封止材の融点は、前記支持基板および前記封止基板の接合に要する温度よりも高いことを特徴とする。
本発明の物理量センサーでは、前記貫通孔は、前記凹部に向って横断面積が減少している部分を有しているのが好ましい。
本発明の電子機器は、本発明の物理量センサーを備えることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い電子機器を得ることができる。
本発明の移動体は、本発明の物理量センサーを備えることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い移動体を得ることができる。
1.物理量センサー
<第1実施形態>
図1は、本発明の物理量センサーを示す断面図である。図2は、図1に示す物理量センサーが備える加速度センサー素子を示す平面図である。
(支持基板)
支持基板2は、加速度センサー素子4を支持する機能を有する。
加速度センサー素子4は、Y軸方向の加速度を検出するものである。加速度センサー素子4は、支持部41、42と、可動部43と、連結部44、45と、複数の第1固定電極指48と、複数の第2固定電極指49と、を有している。また、可動部43は、基部431と、基部431からX軸方向両側に突出している複数の可動電極指432と、を有している。
封止基板5は、加速度センサー素子4を封止して保護する機能を有する。この封止基板5は、板状をなし、支持基板2の上面に接合されている。また、封止基板5は、互いに異なる位置に設けられ、一方の面(下面)に開放する凹部51を有している。
次に、本発明の物理量センサーの製造方法について説明する。
まず、図3(a)に示すように、上面に加速度センサー素子4が設けられた支持基板2と、封止基板5とを用意する。
次いで、図3(b)に示すように、貫通孔52内に、溶融することにより封止材3となる球状の封止材3aを配置する。封止材3aの外径(最大外径)は、貫通孔52の下面開口の直径D2よりも大きく、かつ、貫通孔52の上面開口の直径D1よりも小さい。これにより、封止材3aを、貫通孔52内に配置することができる(以下、この状態を「配置状態」と言う)。
次いで、図3(c)に示すように、貫通孔52に封止材3aが配置された状態で、凹部51に加速度センサー素子4が収納されるように、支持基板2の上面に封止基板5を配置する(この状態を以下、「物理量センサー1’」とも言う)。そして、物理量センサー1’をチャンバー100に入れる。なお、支持基板2の上面に封止基板5を配置した後に、貫通孔52に封止材3aを配置してもよい。
次いで、図4(b)に示すように、チャンバー100内を真空ポンプによって真空引きする。このとき、図4(b)中の矢印で示すように、凹部51の空気は、封止材3aと貫通孔52の内側面との間の微小な隙間を介して、凹部51の外側に排出される。これにより、凹部51内は真空状態となる。なお、本明細書中では、「真空状態」とは、気圧が10Pa以下の状態のことを言う。
次いで、図5(b)に示すように、チャンバー100内を加熱して、温度Taから封止材3aの融点T3以上の温度Tcとして封止材3aを溶融する。これにより、溶融により液状となった封止材3a(以下、この液状の封止材3aを「封止材3b」と言う)は、貫通孔52の内側面に全周にわたって密着する。よって、凹部51内と凹部51の外側の空間とは、封止材3bによって分離された状態となる。その結果、凹部51は、大気圧状態のまま気密封止される。
次いで、物理量センサー1を適用した電子機器について、図6〜図8に基づき、詳細に説明する。
次いで、図1に示す物理量センサーを適用した移動体について、図9に基づき、詳細に説明する。
2……支持基板
21……空洞部
3、3a、3b……封止材
4……加速度センサー素子
41……支持部
42……支持部
43……可動部
431……基部
432……可動電極指
44……連結部
45……連結部
48……第1固定電極指
49……第2固定電極指
5……封止基板
51……凹部
52……貫通孔
100……チャンバー
1100……パーソナルコンピューター
1102……キーボード
1104……本体部
1106……表示ユニット
1108……表示部
1200……携帯電話機
1202……操作ボタン
1204……受話口
1206……送話口
1208……表示部
1300……ディジタルスチルカメラ
1302……ケース
1304……受光ユニット
1306……シャッターボタン
1308……メモリー
1310……表示部
1312……ビデオ信号出力端子
1314……入出力端子
1430……テレビモニター
1440……パーソナルコンピューター
1500……自動車
1501……車体
1502……車体姿勢制御装置
1503……車輪
Claims (8)
- センサー素子が配置された支持基板と、凹部を有するとともに、前記凹部と連通する貫通孔を有する封止基板と、を用意する用意工程と、
前記センサー素子が前記凹部内に収納されるように前記支持基板と前記封止基板とを接合する接合工程と、
前記貫通孔に封止材を充填して前記凹部を封止する封止工程と、を備え、
前記接合工程における前記支持基板および前記封止基板の温度Taは、前記封止材の融点Tbよりも低く、
前記封止工程では、前記封止材を前記融点Tb以上の温度Tcとして溶融することにより、前記凹部を封止することを特徴とする物理量センサーの製造方法。 - 前記接合工程および前記封止工程は、同一のチャンバー内で行われる請求項1に記載の物理量センサーの製造方法。
- 前記接合工程後は、前記封止材が前記貫通孔に充填されるまで、前記チャンバー内の温度が前記温度Ta以上に維持される請求項2に記載の物理量センサーの製造方法。
- 前記接合工程に先立って、前記貫通孔に前記封止材を配置する配置工程を有している請求項1ないし3のいずれか1項に記載の物理量センサーの製造方法。
- センサー素子と、
前記センサー素子が配置された支持基板と、
前記センサー素子を収納する凹部と、前記凹部と連通する貫通孔とを有し、前記支持基板に接合された封止基板と、
前記貫通孔に充填され、前記凹部を封止する封止材と、を備え、
前記封止材の融点は、前記支持基板および前記封止基板の接合に要する温度よりも高いことを特徴とする物理量センサー。 - 前記貫通孔は、前記凹部に向って横断面積が減少している部分を有している請求項5に記載の物理量センサー。
- 請求項5または6に記載の物理量センサーを備えることを特徴とする電子機器。
- 請求項5または6に記載の物理量センサーを備えることを特徴とする移動体。
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2014
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