JP2016030019A - 超音波トランスデューサ及び超音波診断装置 - Google Patents
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- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 title abstract description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 27
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 23
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 20
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims description 11
- 238000013016 damping Methods 0.000 claims description 8
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 claims description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 7
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 abstract description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 16
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 16
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 8
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 8
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 3
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 3
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 229920001774 Perfluoroether Polymers 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 238000005459 micromachining Methods 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
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- A61B8/4483—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device characterised by features of the ultrasound transducer
- A61B8/4494—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device characterised by features of the ultrasound transducer characterised by the arrangement of the transducer elements
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- A61B8/52—Devices using data or image processing specially adapted for diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
- A61B8/5207—Devices using data or image processing specially adapted for diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves involving processing of raw data to produce diagnostic data, e.g. for generating an image
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- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0607—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
- B06B1/0622—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements on one surface
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
- H10N30/2047—Membrane type
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- H—ELECTRICITY
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- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B8/00—Diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
- A61B8/13—Tomography
- A61B8/14—Echo-tomography
- A61B8/145—Echo-tomography characterised by scanning multiple planes
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- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B8/00—Diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
- A61B8/46—Ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic devices with special arrangements for interfacing with the operator or the patient
- A61B8/461—Displaying means of special interest
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- Health & Medical Sciences (AREA)
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- Biomedical Technology (AREA)
- Medical Informatics (AREA)
- Veterinary Medicine (AREA)
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- Pathology (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Public Health (AREA)
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Surgery (AREA)
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- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Gynecology & Obstetrics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
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Abstract
【解決手段】圧電素子202は、圧電薄膜203と、圧電薄膜203の厚さ方向の一方の面に配設され、基板201上に接合された第1の電極204と、圧電薄膜203の厚さ方向の他方の面に配設され、第1の電極204とで一対となって圧電薄膜203に電圧を印加する第2の電極205と、を有し、圧電セル200によって形成されるダイアフラムにおける駆動振動数比と位相との関係が複数の圧電セル200間において略同一となるように、ダイアフラムの構造を表す等価単減衰振動モデルにおけるばね定数、粘性係数、質量のうち少なくとも2つ以上のパラメータには複数の圧電セル200間において異なる値が設定されている。
【選択図】図5
Description
図1は、本実施の形態に係る超音波トランスデューサを有する超音波診断装置の概観構成を示す図である。図2は、本実施の形態に係る超音波診断装置の電気的な構成を示すブロック図である。
図3は、本実施の形態に係る超音波トランスデューサ20の基本構成の一例を示す図である。図3に示す超音波トランスデューサ20は、保護層21と、超音波送受信部22と、バッキング材23と、信号処理回路24と、を含む構成を採る。
以下、図3に示す超音波送受信部22が備えるpMUTセルの構成について詳細に説明する。
図7は、本実施の形態に係るばね定数kを調整する場合のpMUTセル200の構造を示す。図7AはpMUTセル200の平面図を示し、図7Bは、図7AのB−B’線断面図を示す。なお、図7A及び図7Bでは、電極配線を省略している。
図9A及び図9Bは、本実施の形態に係る粘性係数cを調整する場合のpMUTセル200の構造を示す。なお、図9A及び図9Bでは、電極配線を省略している。
図10A及び図10Bは、本実施の形態に係る質量mを調整する場合のpMUTセル200の構造を示す。なお、図10A及び図10Bでは、電極配線を省略している。
10 超音波診断装置本体
11 操作入力部
12 送信部
13 受信部
14 画像処理部
15 表示部
16 制御部
20 超音波トランスデューサ
21 保護層
22 超音波送受信部
23 バッキング材
24 信号処理回路24
30 ケーブル
200 pMUTセル
201,201a 基板
202 圧電素子
203 圧電薄膜
204 下部電極
205,205a,205b 上部電極
206 充填材
207 樹脂材
Claims (11)
- 互いに異なる共振周波数を有する複数の圧電セルが配列された超音波トランスデューサであって、
前記複数の圧電セルの各々は、
圧電素子と、
前記圧電素子を支持する基板と、を有し、
前記圧電素子は、
圧電薄膜と、
前記圧電薄膜の厚さ方向の一方の面に配設され、前記基板上に接合された第1の電極と、
前記圧電薄膜の厚さ方向の他方の面に配設され、前記第1の電極とで一対となって前記圧電薄膜に電圧を印加する第2の電極と、を有し、
前記圧電セルによって形成されるダイアフラムにおける駆動振動数比と位相との関係が前記複数の圧電セル間において略同一となるように、前記ダイアフラムの構造を表す等価単減衰振動モデルにおけるばね定数、粘性係数、質量のうち少なくとも2つ以上のパラメータには前記複数の圧電セル間において異なる値が設定されている、
超音波トランスデューサ。 - 前記基板の前記圧電素子に接する面において、前記圧電素子の外周部分に穴が部分的に形成され、
前記複数の圧電セルでは、前記穴の大きさに応じて前記ばね定数がそれぞれ異なる、
請求項1に記載の超音波トランスデューサ。 - 前記基板は、前記圧電素子の厚み方向に向かって前記圧電素子を前記基板へ投影した部分に中空部を有し、
前記複数の圧電セルでは、前記中空部に充填材が封入されるか否か又は前記充填材の材料に応じて、前記粘性係数がそれぞれ異なる、
請求項1に記載の超音波トランスデューサ。 - 前記圧電素子を覆うように形成される絶縁層を、更に有し、
前記複数の圧電セルでは、前記絶縁層の材料に応じて前記粘性係数がそれぞれ異なる、
請求項1に記載の超音波トランスデューサ。 - 前記複数の圧電セルでは、前記第2の電極の厚みに応じて前記質量がそれぞれ異なる、
請求項1に記載の超音波トランスデューサ。 - 前記複数の圧電セルでは、前記第2の電極の径に応じて前記質量がそれぞれ異なる、
請求項1に記載の超音波トランスデューサ。 - 前記複数の圧電セルでは、前記第2の電極の材料に応じて前記質量がそれぞれ異なる、
請求項1に記載の超音波トランスデューサ。 - 互いに異なる共振周波数を有する複数の圧電セルが配列された超音波トランスデューサと、
前記超音波トランスデューサを駆動させて、被検体への第1の超音波信号を送信する送信部と、
前記超音波トランスデューサを駆動させて、前記第1の超音波信号に対する前記被検体からの第2の超音波信号を受信する受信部と、
前記第2の超音波信号を用いて、超音波診断用の画像を生成する画像処理部と、
前記生成された画像を表示する表示部と、
を具備し、
前記複数の圧電セルの各々は、
圧電素子と、
前記圧電素子を支持する基板と、を有し、
前記圧電素子は、
圧電薄膜と、
前記圧電薄膜の厚さ方向の一方の面に配設され、前記基板上に接合された第1の電極と、
前記圧電薄膜の厚さ方向の他方の面に配設され、前記第1の電極とで一対となって前記圧電薄膜に電圧を印加する第2の電極と、を有し、
前記圧電セルによって形成されるダイアフラムにおける駆動振動数比と位相との関係が前記複数の圧電セル間において略同一となるように、前記ダイアフラムの構造を表す等価単減衰振動モデルにおけるばね定数、粘性係数、質量のうち少なくとも2つ以上のパラメータには前記複数の圧電セル間において異なる値が設定されている、
超音波診断装置。 - 前記超音波トランスデューサの駆動時における前記複数の圧電セルの各々の前記駆動振動比は同一である、
請求項8に記載の超音波診断装置。 - 前記駆動振動比の値は、1未満又は1より大きい、
請求項9に記載の超音波診断装置。 - 前記超音波トランスデューサの駆動時における前記複数の圧電セルの各々の前記駆動振動比は異なり、
前記複数の圧電セルにおける最大位相と最小位相との差が所定の閾値未満である、
請求項8に記載の超音波診断装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014153018A JP6424507B2 (ja) | 2014-07-28 | 2014-07-28 | 超音波トランスデューサ及び超音波診断装置 |
US14/801,349 US10231708B2 (en) | 2014-07-28 | 2015-07-16 | Ultrasound transducer and ultrasound diagnostic apparatus |
CN201510446675.3A CN105310717B (zh) | 2014-07-28 | 2015-07-27 | 超声波换能器以及超声波诊断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014153018A JP6424507B2 (ja) | 2014-07-28 | 2014-07-28 | 超音波トランスデューサ及び超音波診断装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016030019A true JP2016030019A (ja) | 2016-03-07 |
JP6424507B2 JP6424507B2 (ja) | 2018-11-21 |
Family
ID=55167393
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014153018A Active JP6424507B2 (ja) | 2014-07-28 | 2014-07-28 | 超音波トランスデューサ及び超音波診断装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10231708B2 (ja) |
JP (1) | JP6424507B2 (ja) |
CN (1) | CN105310717B (ja) |
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