JP2020115940A - 超音波プローブ、及び超音波診断装置 - Google Patents
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Abstract
Description
回路基板と、
前記回路基板の上面における第1領域とは異なる第2領域上に、絶縁材料により形成されたバッファ層と、
前記回路基板の前記第1領域上に前記バッファ層を介さずに形成された超音波送信用の第1圧電素子、及び、前記バッファ層を介して前記回路基板の前記第2領域上に形成された超音波受信用の第2圧電素子を有する素子アレー層と、
を備え、
前記回路基板は、前記第1領域に対応する下面における領域に、凹部を有し、
前記第1圧電素子は、前記回路基板上において撓み振動モードで振動し、
前記第2圧電素子は、前記回路基板上において厚さ振動モードで振動する、
超音波プローブである。
回路基板と、
絶縁材料により、前記回路基板の上面における第1領域上には第1厚さで形成され、前記第1領域とは異なる第2領域上には前記第1厚さよりも厚い第2厚さで形成されたバッファ層と、
前記回路基板の前記第1領域上に前記バッファ層を介して形成された超音波送信用の第1圧電素子、及び、前記バッファ層を介して前記回路基板の前記第2領域上に形成された超音波受信用の第2圧電素子を有する素子アレー層と、
を備え、
前記回路基板は、前記第1領域に対応する下面における領域に、凹部を有し、
前記第1圧電素子は、前記回路基板上において撓み振動モードで振動し、
前記第2圧電素子は、前記回路基板上において厚さ振動モードで振動する、
超音波プローブである。
上記の超音波プローブを備える超音波診断装置である。
[超音波診断装置の構成]
以下、図1〜図2を参照して、本実施形態に係る超音波診断装置の構成の一例について説明する。
図3は、本実施形態に係る超音波プローブ20の構成を示す図である。
図5は、本実施形態に係る超音波プローブ20の構成を示す断面図である。尚、図5では、バッキング材24の図示を省略している。以下では、超音波プローブ20の超音波放射面側を上側と称し、超音波放射面と反対側を下側と称する。
g2/g1<10 …式(1)
(但し、g1は第2圧電体202の弾性率、g2はバッファ層400の弾性率)
Z2/Z1<1 …式(2)
(但し、Z1は第2圧電体202の音響インピーダンス、Z2はバッファ層400の音響インピーダンス)
Call=Cg+(Cpara×Cbuff)/(Cpara+Cbuff) …式(3)
t≦v/4fmax …式(4)
但し、上記式(4)において、tは受信素子200の厚さとバッファ層400の厚さの総厚を表す。vは受信素子200(即ち、第2圧電体202)内における音速とバッファ層400内における音速との平均音速を表す。fmaxは超音波の送受信に用いられる周波数帯域における最大周波数であり、例えば、超音波プローブ20が有する周波数帯域特性の中心周波数(送信周波数)の2倍の周波数を表す。
次に、図7A〜図7Fを参照して、本実施形態に係る超音波プローブ20の製造プロセスについて説明する。
このように、本実施形態に係る超音波プローブ20によれば、送信素子100を撓み振動モードで振動するように構成し、受信素子200を厚さ振動モードで振動するように構成する。これによって、広い周波数帯域に亘って、高い送受信感度を実現することができる。尚、かかる構成においては、受信素子200の形成領域においては、基板300に凹部(薄膜部300a)を形成する必要がないので、送信素子100を高密度に形成することができるという利点もある。
次に、図8を参照して、第2の実施形態に係る超音波プローブ20の構成について説明する。図8は、第2の実施形態に係る超音波プローブ20の構成を示す断面図である。
次に、図9を参照して、第3の実施形態に係る超音波プローブ20の構成について説明する。図9は、第3の実施形態に係る超音波プローブ20の構成を示す断面図である。
本発明は、上記実施形態に限らず、種々に変形態様が考えられる。
10 超音波診断装置本体
11 操作入力部
12 送信部
13 受信部
14 画像処理部
15 表示部
16 制御部
20 超音波プローブ
21 保護層
22 素子アレー層
22G 共通電極
23 回路基板
23A 絶縁層
24 バッキング材
30 ケーブル
100 送信素子(第1圧電素子)
101 第1下部電極
102 第1圧電体
103 第1上部電極
200 受信素子(第2圧電素子)
201 第2下部電極
202 第2圧電体
203 第2上部電極
300 基板
300a 薄膜部
300b 厚膜部
310 送信用トランジスタ
320 受信用トランジスタ
330 配線層
331a 貫通電極
332a 貫通電極
332b 配線部
400 バッファ層
400a 貫通電極
Claims (16)
- 回路基板と、
前記回路基板の上面における第1領域とは異なる第2領域上に、絶縁材料により形成されたバッファ層と、
前記回路基板の前記第1領域上に前記バッファ層を介さずに形成された超音波送信用の第1圧電素子、及び、前記バッファ層を介して前記回路基板の前記第2領域上に形成された超音波受信用の第2圧電素子を有する素子アレー層と、
を備え、
前記回路基板は、前記第1領域に対応する下面における領域に、凹部を有し、
前記第1圧電素子は、前記回路基板上において撓み振動モードで振動し、
前記第2圧電素子は、前記回路基板上において厚さ振動モードで振動する、
超音波プローブ。 - 回路基板と、
絶縁材料により、前記回路基板の上面における第1領域上には第1厚さで形成され、前記第1領域とは異なる第2領域上には前記第1厚さよりも厚い第2厚さで形成されたバッファ層と、
前記回路基板の前記第1領域上に前記バッファ層を介して形成された超音波送信用の第1圧電素子、及び、前記バッファ層を介して前記回路基板の前記第2領域上に形成された超音波受信用の第2圧電素子を有する素子アレー層と、
を備え、
前記回路基板は、前記第1領域に対応する下面における領域に、凹部を有し、
前記第1圧電素子は、前記回路基板上において撓み振動モードで振動し、
前記第2圧電素子は、前記回路基板上において厚さ振動モードで振動する、
超音波プローブ。 - 前記バッファ層は、比誘電率が4以下の絶縁材料である、
請求項1又は2に記載の超音波プローブ。 - 前記バッファ層は、有機材料によって形成されている、
請求項1〜3のいずれか一項に記載の超音波プローブ。 - 前記バッファ層は、パリレン、ポリイミド、ポリエチレン、又は、シリコンゴムによって形成されている、
請求項4に記載の超音波プローブ。 - 前記バッファ層は、以下の式(1)を充足する材料によって形成されている、
g2/g1<10 …式(1)
(但し、g1は前記第2圧電素子の圧電体の弾性率、g2は前記バッファ層の弾性率)
請求項1乃至5のいずれか一項に記載の超音波プローブ。 - 前記バッファ層は、以下の式(2)を充足する材料によって形成されている、
Z2/Z1<1 …式(2)
(但し、Z1は前記第2圧電素子の圧電体の音響インピーダンス、Z2は前記バッファ層の音響インピーダンス)
請求項1乃至6のいずれか一項に記載の超音波プローブ。 - 前記第2圧電素子の厚さと前記バッファ層の厚さの総厚は、以下の式(3)を充足する
t≦v/4fmax …式(3)
(但し、tは前記第2圧電素子の厚さと前記バッファ層の厚さの総厚、fmaxは超音波の送受信に用いられる周波数帯域における最大周波数、vは前記第2圧電素子内における音速と前記バッファ層内における音速との平均音速)
請求項1乃至7のいずれか一項に記載の超音波プローブ。 - 前記バッファ層は、前記第1圧電素子の周囲を囲繞し、且つ、当該バッファ層の上端の位置が前記第1圧電素子の上端の位置よりも高くなるように形成されている、
請求項1乃至8のいずれか一項に記載の超音波プローブ。 - 前記第1圧電素子は、前記バッファ層と非接触状態である、
請求項9に記載の超音波プローブ。 - 前記バッファ層の厚さは、2μm以上で且つ30μm以下である、
請求項1乃至10のいずれか一項に記載の超音波プローブ。 - 前記第1圧電素子は、前記回路基板側から、第1下部電極、第1圧電体、及び第1上部電極が順に積層された構造を有し、
前記第2圧電素子は、前記回路基板側から、第2下部電極、第2圧電体、及び第2上部電極が順に積層された構造を有し、
前記第1圧電体と前記第2圧電体とは、異なる材料で形成されている、
請求項1乃至11のいずれか一項に記載の超音波プローブ。 - 前記第1圧電体は、無機圧電材料で形成され、
前記第2圧電体は、有機圧電材料で形成されている、
請求項12に記載の超音波プローブ。 - 前記第1圧電体は、PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)で形成されている
請求項13に記載の超音波プローブ。 - 前記第2圧電体は、PVDF(ポリフッ化ビニリデン)樹脂で形成されている
請求項13又は14に記載の超音波プローブ。 - 請求項1乃至15のいずれか一項に記載の超音波プローブを備える超音波診断装置。
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