JP5708444B2 - 圧電デバイスおよび超音波探触子並びに圧電デバイスの製造方法 - Google Patents
圧電デバイスおよび超音波探触子並びに圧電デバイスの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5708444B2 JP5708444B2 JP2011239253A JP2011239253A JP5708444B2 JP 5708444 B2 JP5708444 B2 JP 5708444B2 JP 2011239253 A JP2011239253 A JP 2011239253A JP 2011239253 A JP2011239253 A JP 2011239253A JP 5708444 B2 JP5708444 B2 JP 5708444B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrodes
- piezoelectric
- membrane
- pair
- piezoelectric member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Description
又、メンブレンの撓み変形に伴い、より適正な応力状態にすることができ、メンブレンをより一層、効率良く大きく変形させることができる。
又、例えば超音波を受けてメンブレンが撓み変形した際の電荷を効率良く集めて取出すことが可能になり、超音波を、より一層正確に測定可能になる。
2 超音波探触子
5、205、305 超音波送受信部(圧電デバイス)
6、206、306 メンブレン
61、261、361 基板
62、262、362 圧電部材
63、65、263、265、363、365 プラス電極(第1電極)
64,264、364a、364b グランド電極(第2電極)
S 超音波診断装置
Claims (8)
- 圧電部材を積層した膜部材と、前記膜部材を保持する保持部材と、前記圧電部材に電圧を印加する一対の第1および第2電極とを備え、前記一対の第1および第2電極に給電することによって前記圧電部材に電圧を印加した場合に厚さ方向に撓み変形するように形成された前記膜部材の一部からなるメンブレンを有する圧電デバイスであって、
前記一対の第1および第2電極は、複数組であり、
前記複数組の前記一対の第1および第2電極は、前記メンブレンにおける前記圧電部材を複数の領域に分けるように配設されるとともに、前記複数組の一対の第1および第2電極にそれぞれ給電された場合に、前記複数の領域における互いに隣接する領域に互いに逆方向の応力が発生するように配線され、
前記複数組の一対の第1及び第2電極の一部は、前記圧電部材における前記メンブレンの撓み変形に伴う応力が生じない領域を含んで配設されていること
を特徴とする圧電デバイス。 - 前記複数組の一対の第1及び第2電極は、前記圧電部材における厚さ方向と略垂直な方向に沿って配設されていることを特徴とする請求項1記載の圧電デバイス。
- 前記メンブレンは、略円形状又は略四角形状の外周形状を有するものから構成され、
前記複数組の一対の第1及び第2電極は、前記メンブレンの外周と略同心相似形状に配設されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の圧電デバイス。 - 前記メンブレンは、略四角形状の外周形状を有するものから構成され、
前記複数組の一対の第1及び第2電極は、前記メンブレンの一方向の両端側の夫々に略平行に並べられるように配設されていることを特徴とする請求項1又は2記載の圧電デバイス。 - 前記複数組の第1電極同士が共通接続され、前記複数組の第2電極同士が共通接続されていることを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に圧電デバイス。
- 請求項1〜5の何れかに記載の圧電デバイスを備えていることを特徴とする超音波探触子。
- 圧電部材を積層した膜部材と、前記膜部材を保持する保持部材と、前記圧電部材に電圧を印加する一対の第1および第2電極とを備え、前記一対の第1および第2電極に給電することによって前記圧電部材に電圧を印加した場合に厚さ方向に撓み変形するように形成された前記膜部材の一部からなるメンブレンを有する圧電デバイスの製造方法であって、
前記一対の第1および第2電極を、複数組、前記メンブレンを複数の領域に分けるように、且つ前記複数組の一対の第1および第2電極の一部が前記圧電部材における前記メンブレンの撓み変形に伴う応力が生じない領域を含むように配設するとともに、前記複数組の一対の第1および第2電極にそれぞれ給電された場合に、前記複数の領域における互いに隣接する領域に互いに逆方向の応力を前記圧電部材によって発生するように配線することを特徴とする圧電デバイスの製造方法。 - 圧電部材を積層した膜部材と、前記膜部材を保持する保持部材と、前記圧電部材に電圧を印加する一対の第1および第2電極とを備え、前記一対の第1および第2電極に給電することによって前記圧電部材に電圧を印加した場合に厚さ方向に撓み変形するように形成された前記膜部材の一部からなるメンブレンを有する圧電デバイスの製造方法であって、
前記圧電部材に、前記一対の第1および第2電極を、複数組、前記メンブレンを複数の領域に分けるように配設し、
前記複数組の一対の第1及び第2電極の内で互いの距離が最大となる2つの電極に電圧を印加して前記圧電部材を分極処理し、
その後、前記複数組の一対の第1および第2電極にそれぞれ給電された場合に、前記複数の領域における互いに隣接する領域に互いに逆方向の応力を前記圧電部材によって発生するように、前記第1電極同士を共通接続するとともに、前記第2電極同士を共通接続することを特徴とする圧電デバイスの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011239253A JP5708444B2 (ja) | 2011-10-31 | 2011-10-31 | 圧電デバイスおよび超音波探触子並びに圧電デバイスの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011239253A JP5708444B2 (ja) | 2011-10-31 | 2011-10-31 | 圧電デバイスおよび超音波探触子並びに圧電デバイスの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013098724A JP2013098724A (ja) | 2013-05-20 |
JP5708444B2 true JP5708444B2 (ja) | 2015-04-30 |
Family
ID=48620242
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011239253A Expired - Fee Related JP5708444B2 (ja) | 2011-10-31 | 2011-10-31 | 圧電デバイスおよび超音波探触子並びに圧電デバイスの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5708444B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101483209B1 (ko) * | 2013-06-25 | 2015-01-22 | 한빛이디에스(주) | 압전신물질을 적용한 음향방출센서 기반 변압기 안전 진단 시스템 |
JP6613628B2 (ja) | 2015-05-28 | 2019-12-04 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電デバイスおよびプローブ並びに電子機器および超音波画像装置 |
JP6559365B2 (ja) | 2016-09-29 | 2019-08-14 | 富士フイルム株式会社 | 圧電式マイクロフォン |
CN111830295B (zh) * | 2019-04-18 | 2023-04-21 | 成都辰显光电有限公司 | 一种测试微元件电气性能的装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60197099A (ja) * | 1985-01-30 | 1985-10-05 | Hitachi Ltd | 超音波探触子 |
JPH0880302A (ja) * | 1994-09-13 | 1996-03-26 | Hitachi Medical Corp | 超音波探触子およびこれを用いた超音波診断装置 |
JP2001183142A (ja) * | 1999-12-24 | 2001-07-06 | Kyocera Corp | 圧電センサ |
WO2006126401A1 (ja) * | 2005-05-25 | 2006-11-30 | Osaka University | 圧電共振型センサ素子の振動制御装置 |
-
2011
- 2011-10-31 JP JP2011239253A patent/JP5708444B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013098724A (ja) | 2013-05-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5935870B2 (ja) | 圧電デバイス、超音波探触子、液滴吐出装置および圧電デバイスの製造方法 | |
JP5659564B2 (ja) | 超音波探触子および超音波診断装置 | |
JP4625145B2 (ja) | 音響振動子及び画像生成装置 | |
JP2013123150A (ja) | 圧電デバイスおよび超音波探触子 | |
JP4524719B2 (ja) | アレイ型超音波振動子 | |
JP5560928B2 (ja) | 超音波探触子および超音波診断装置 | |
JP6102284B2 (ja) | 超音波測定装置、超音波ヘッドユニット、超音波プローブ及び超音波画像装置 | |
KR100916029B1 (ko) | 초음파 프로브와 그 제조 방법 | |
JP5708444B2 (ja) | 圧電デバイスおよび超音波探触子並びに圧電デバイスの製造方法 | |
Liu et al. | Fabrication and characterization of row-column addressed pMUT array with monocrystalline PZT thin film toward creating ultrasonic imager | |
US20120220872A1 (en) | Ultrasound probe and ultrasound diagnostic apparatus | |
JP7028013B2 (ja) | 超音波プローブ及び超音波診断装置 | |
JP5682762B2 (ja) | 圧電デバイスおよび超音波探触子 | |
JP2013146478A (ja) | 超音波探触子および超音波診断装置 | |
JP5776542B2 (ja) | 超音波プローブおよび超音波検査装置 | |
JP5794114B2 (ja) | 圧電素子およびその製造方法と、超音波送受信プローブ | |
JP5637960B2 (ja) | 超音波診断装置および超音波画像生成方法 | |
JP5842533B2 (ja) | 超音波プローブおよび超音波検査装置 | |
JP7127554B2 (ja) | 超音波プローブ、及び超音波診断装置 | |
JP5692042B2 (ja) | 圧電セル、圧電素子、超音波探触子および超音波診断装置 | |
JP2007288397A (ja) | 超音波用探触子 | |
JP2005110792A (ja) | 超音波トランスデューサアレイ及び超音波送受信装置 | |
JP2007289283A (ja) | 超音波用探触子 | |
US20200246829A1 (en) | Ultrasound transducer device and method for controlling the same | |
JP5530994B2 (ja) | 超音波探触子およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140312 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140724 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140805 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141003 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150203 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150216 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5708444 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |