JP2016021536A - 静電気保護回路 - Google Patents

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一洋 加藤
岳人 壱岐村
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Abstract

【課題】誤動作を抑え、ESDサージを十分に放電することが可能な静電気保護回路を提供することを目的とする。
【解決手段】一つの実施形態によれば、第1の時定数を有し、第1の電源ラインと第2の電源ラインの間に印加される電圧に応答して第1のトリガ信号を出力する第1のトリガ回路と、前記第1の時定数より大きい第2の時定数を有し、前記第1の電源ラインと前記第2の電源ラインの間に印加される電圧に応答して第2のトリガ信号を出力する第2のトリガ回路を有する。前記第1のトリガ信号に応答して保持状態となる保持回路を有する。前記第2のトリガ信号に応答して前記保持回路の保持状態をリセットするリセット回路を有する。前記第1の電源ラインと前記第2の電源ラインの間に接続され、前記保持回路からの信号によりオン/オフが制御されるシャント回路を具備する静電気保護回路が提供される。
【選択図】図1

Description

本実施形態は、静電気保護回路に関する。
従来、ESD (Electrostatic Discharge)に対する保護回路の提案が、種々行われている。ESDは、帯電した人間や機械からの半導体デバイスへの放電や、帯電した半導体デバイスからの接地電位への放電等を指す。半導体デバイスに対してESDが起こると、その端子から大量の電荷が電流となって半導体デバイスへ流入し、その電荷が半導体デバイス内部で高電圧を生成し、内部素子の絶縁破壊や半導体デバイスの故障を引き起こす。
静電気保護回路の代表例に、RCT(RC Triggered)MOS回路がある。電源端子間に抵抗とコンデンサの直列回路からなるトリガ回路を接続し、その抵抗とコンデンサの接続点の電圧をトリガ信号として、放電用のMOSトランジスタを駆動する構成となっている。放電用のMOSトランジスタのオン時間は、トリガ回路の時定数により定まる為、ESDサージを十分放電できる時定数とする必要がある。しかしながら、時定数が大きくなると、電源立上げ時の電圧変動や、内部回路の動作に伴う電源電圧の揺動にトリガ回路が応答し、ESDサージではないにも拘わらず放電用のMOSトランジスタが誤動作する可能性が有る。電源立上げ時に放電用のMOSトランジスタが誤動作すると、電源電圧が十分に立上らないといった不都合が生じ、内部回路の動作不良を引き起こす場合が有る。また、電源電圧の揺動にトリガ回路が応答することにより、放電用のMOSトランジスタが長時間に亘ってオンした場合には、放電用のMOSトランジスタ自体が破壊に至ると言った事態が生じる恐れがある。
特表2012−513121号公報 特許第5273604号公報 特開2009−21332号公報 特表2008−538259号公報
一つの実施形態は、誤動作を抑え、ESDサージを十分に放電することが可能な静電気保護回路を提供することを目的とする。
一つの実施形態によれば、第1の電源ラインと、第2の電源ラインを有する。第1の時定数を有し、前記第1の電源ラインと前記第2の電源ラインの間に印加される電圧に応答して第1のトリガ信号を出力する第1のトリガ回路と、前記第1の時定数より大きい第2の時定数を有し、前記第1の電源ラインと前記第2の電源ラインの間に印加される電圧に応答して第2のトリガ信号を出力する第2のトリガ回路を有する。前記第1のトリガ信号に応答して保持状態となる保持回路を有する。前記第2のトリガ信号に応答して前記保持回路の保持状態をリセットするリセット回路を有する。前記第1の電源ラインと前記第2の電源ラインの間に接続され、前記保持回路からの信号によりオン/オフが制御されるシャント回路を具備することを特徴とする静電気保護回路が提供される。
図1は、第1の実施形態の静電気保護回路を示す図である。 図2は、第2の実施形態の静電気保護回路を示す図である。 図3は、第2の実施形態の静電気保護回路の動作を説明する為の図である。 図4は、第3の実施形態の静電気保護回路を示す図である。
以下に添付図面を参照して、実施形態にかかる静電気保護回路を詳細に説明する。なお、これらの実施形態により本発明が限定されるものではない。
(第1の実施形態)
図1は、第1の実施形態の静電気保護回路を示す図である。本実施形態の静電気保護回路は、第1の電源端子1と第2の電源端子2を備える。第1の電源端子1には第1の電源ライン3が接続される。第2の電源端子2には、第2の電源ライン4が接続される。第1の電源ライン3と第2の電源ライン4の間には内部回路(図示せず)が接続されるが、省略している。
第1の電源ライン3と第2の電源ライン4の間には、第1の時定数τ1を有する第1のトリガ回路5が接続される。第1のトリガ回路5は、第1の電源ライン3と第2の電源ライン4の間に印加される電源電圧に応答して第1のトリガ信号を出力する。時定数τ1は、例えば、ESD試験規格の人体モデル(HBM)においてサージの立上り時間として規定される2nS(ナノ秒)から10nSの間の値に設定される。静電気保護回路をESDサージに応答させる為である。
第1のトリガ回路5は、保持回路6に接続される。保持回路6は、第1のトリガ信号の信号レベルを保持する。保持回路6の保持状態は、後述するリセット回路8からのリセット信号により所定時間後にリセットされる。
第1の電源ライン3と第2の電源ライン4の間に、第2の時定数τ2を有する第2のトリガ回路7が接続される。第2のトリガ回路7は、第1の電源ライン3と第2の電源ライン4の間に印加される電源電圧に応答して第2のトリガ信号を出力する。第2の時定数τ2は、第1の時定数τ1よりも大きい値に設定される。第2の時定数τ2は、例えば、ESD試験規格を考慮した値に設定される。ESD人体帯電モデル(HBM:Human Body Model)では、100pF(ピコファラッド)に充電した電荷を、1.5kΩ(キロオーム)の抵抗を介して放電させる試験を行う。この為、第2の時定数τ2は、このESD試験規格である100pFのコンデンサと1.5kΩの抵抗による時定数150nSを考慮して、例えば、150nSの6〜7倍の値である1μS(マイクロ秒)に設定される。ESDサージを十分に放電する為である。第2のトリガ信号は、リセット回路8に供給される。
第1の電源ライン3と第2の電源ライン4の間には、シャント回路9が接続される。シャント回路9には、保持回路6の出力信号が供給される。すなわち、シャント回路9のオン/オフは保持回路6の出力信号によって制御される。
本実施形態のESD保護動作は、以下の通りである。第1の電源端子1に、第2の電源端子2に対して正のESDサージが印加され、このESDサージの立上り時間が第1の時定数τ1よりも短い場合、第1のトリガ回路5が応答して第1のトリガ信号を出力する。保持回路6は第1のトリガ信号に応答して、第1のトリガ信号の信号レベル、例えばHレベルを保持する。保持回路6からのHレベルの出力信号によりシャント回路9がオンとなり、ESDサージが放電される。
第2の時定数τ2は、第1の時定数τ1よりも大きい値であるため、第2のトリガ回路7は印加されたESDサージに応答して第2のトリガ信号を出力する。
第2のトリガ信号の信号レベルが第2の時定数τ2に従って低下して所定の閾値に達すると、リセット回路8はリセット信号を出力する。リセット信号に応答して、保持回路6の保持状態はリセットされる。これにより、保持回路6の出力信号もリセットされる為、シャント回路9はオフになる。すなわち、シャント回路9が第1の時定数τ1を有した第1のトリガ回路によってオンしている時間を第2の時定数τ2を有した第2のトリガ回路7により調整することが出来る。第2の時定数τ2を、ESD試験規格である時定数150nSに対して6〜7倍の値である1μSに設定することによりESDサージを十分に放電できる構成とすることが可能である。
第1の時定数τ1よりも長い立上り時間を有する、すなわち遅い立上りの電源電圧の変動に対しては、第1のトリガ回路5は応答しない。この為、保持回路6からシャント回路9をオンさせる信号は供給されない。従って、第1の時定数τ1によって、静電気保護回路が動作しない電源電圧の立上り時間の範囲を設定することが可能である。
本実施形態によれば、電源電圧の変動に対して静電気保護回路が動作する範囲を第1のトリガ回路5の時定数、すなわち、第1の時定数τ1で設定することが出来る。従って、どの程度の立上り時間を有する電源電圧に対して動作させるかを、第1の時定数τ1で設定することが出来る。例えば、第1の時定数τ1を、ESD試験規格の人体モデル(HBM)においてサージの立上り時間として規定されている2nSから10nSの値に設定することにより、ESDサージに応答させる構成とすることが可能となる。この第1の時定数τ1よりも長い立上り時間を有する、すなわち遅い立上りの電源電圧変動に対しては第1のトリガ回路5は応答しない為、第1の時定数τ1の設定により静電気保護回路の動作範囲を制限することが出来る。一方、シャント回路9をオフさせるタイミングは、第2のトリガ回路7の時定数、すなわち、第2の時定数τ2で設定することが出来る。従って、第2の時定数τ2の設定によりESDサージを十分に放電できる構成とすることが出来る。第1の時定数τ1をESDサージに応答する短い時定数とすることにより静電気保護回路が動作する電源電圧の変動の範囲を制限し、一方、第2の時定数τ2を大きくすることで、ESDサージを十分に放電する構成とすることが可能となる。第1の時定数τ1を小さい値に設定しても、第2のトリガ回路7によって制御されるリセット回路8からのリセット信号によって保持回路6がリセットされるまでの間、シャント回路9をオン状態に維持させることが出来、また、その保持回路6の保持時間は第2の時定数τ2により調整することが出来る。従って、第1の時定数τ1と第2の時定数τ2の設定により、誤動作が抑制できると共にESDサージを十分に放電することが可能な静電気保護回路を提供することが可能である。
(第2の実施形態)
図2は、第2の実施形態の静電気保護回路の構成を示す図である。既述の実施形態に対応する構成要素には同一の符号を付し、重複した記載は必要な場合のみ行う。本実施形態においては、第1のトリガ回路5は、コンデンサ51と抵抗52の直列回路を有するCR回路で構成される。コンデンサ51と抵抗52は、共通接続ノード53で接続される。第1のトリガ回路5の第1の時定数τ1は、コンデンサ51と抵抗52により、例えば、2nSから10nSの間の値に設定されている。
保持回路6は、第1のインバータ61と第2のインバータ62を有するラッチ回路で構成される。第1のインバータ61の入力端は第1のトリガ回路5の共通接続ノード53に接続される。第2のインバータ62の入力端は第1のインバータ61の出力端に接続され、第2のインバータ62の出力端は第1のインバータ61の入力端に接続される。すなわち、第1のインバータ61の入力端は第1のトリガ回路5からの出力が供給され、第2のインバータ62の入力端は第1のインバータ61からの出力が供給される。第2のインバータ62の出力は、第1のインバータ61の入力端に供給される。
第2のトリガ回路7は、コンデンサ71と抵抗72の直列回路を有するCR回路で構成される。コンデンサ71と抵抗72は、共通接続ノード73で接続される。第2のトリガ回路7の第2の時定数τ2は、コンデンサ71と抵抗72により、例えば、1μSに設定されている。
リセット回路8は、インバータ81とNMOSトランジスタ82を有する。インバータ81の入力端には、第2のトリガ回路7の共通接続ノード73が接続される。NMOSトランジスタ82のゲート電極には、インバータ81の出力端が接続され、ソース電極は第2の電源ライン4に接続され、ドレイン電極は保持回路6の入力端に接続されている。ドレイン電極からリセット信号が出力される。
保持回路6の出力は、インバータ110を介してシャント回路9を構成するNMOSトランジスタ(以降、NMOSシャントトランジスタという)91のゲート電極に供給される。NMOSシャントトランジスタ91のソース電極は第2の電源ライン4に接続され、ドレイン電極は第1の電源ライン3に接続されている。
本実施形態は、第1の電源ライン3と第2の電源ライン4の間に接続されるバイアス回路10を備える。バイアス回路10は、第1の抵抗101と第2の抵抗102の直列回路を有する。第1の抵抗101と第2の抵抗102により抵抗分割されたバイアス電圧が、共通接続ノード103から出力され、電源ライン31に供給される。共通接続ノード103の電圧が、リセット回路8のインバータ81、保持回路6のインバータ(61、62)、及びインバータ110のバイアス電圧として用いられる。バイアス回路10により分圧された電源電圧をバイアス電圧とすることにより、リセット回路8のインバータ81、保持回路6のインバータ(61、62)、及びインバータ110を低耐圧の回路素子で構成することが出来る。
図2の実施形態の静電気保護回路の動作を、図3を用いて説明する。図3(A)は、第1のトリガ信号の出力を示している。図3(B)は、保持回路6の出力を示している。図3(C)は、第2のトリガ信号の出力を示している。図3(D)は、リセット回路8の出力を示している。図3(E)は、インバータ110の出力を示している。ESDサージが印加されると第1のトリガ回路5が応答して、第1のトリガ信号を出力する(図3(A))。第1のトリガ信号の信号レベルが保持回路6のインバータ61の回路閾値Vtを超えて上昇するタイミングt0で、保持回路6のインバータ61の出力はLレベルになる(同図(B))。インバータ61の出力がインバータ62で反転されてインバータ61の入力端に供給される。この動作により、保持回路6の入力端側はHレベルとなり、出力端からLレベルの信号が出力される保持状態となる。従って、第1のトリガ信号の信号レベルが第1の時定数τ1に従ってインバータ61の回路閾値Vtを超えて低下するタイミングt1では、保持回路6の出力のレベルは変化しない。保持回路6の出力がLレベルになるとインバータ110の出力信号(同図(E))のレベルがHレベルになり、NMOSシャントトランジスタ91がオンしてESDサージを放電する。
第2のトリガ回路7は、ESDサージに応答して、第2のトリガ信号を出力する(同図(C))。第2のトリガ信号の信号レベルが第2の時定数τ2に従って低下し、リセット回路8のインバータ81の回路閾値Vt以下になるタイミングt2で、インバータ81の出力信号はHレベルになる(同図(D))。インバータ81の出力信号がHレベルになるとNMOSトランジスタ82がオンとなり、保持回路6の入力端にLレベルの信号を供給し、保持回路6をリセットする。これにより、タイミングt2で保持回路6の出力がHレベルになり(同図(B))、インバータ110の出力がLレベルになる(同図(E))。すなわち、インバータ110の出力信号は、タイミングt0でHレベルになり、タイミングt2でLレベルになる(同図(E))。インバータ110の出力信号がHレベルの間、NMOSシャントトランジスタ91はオンとなり、ESDサージを放電する。
第2の実施形態によれば、NMOSシャントトランジスタ91のオンは、第1のトリガ回路5の第1の時定数τ1によって制御することが出来る。すなわち、シャント回路9が応答する電源電圧の範囲、すなわち、どの程度の立上りの早さを有する電源電圧の変動にまで応答させるかを第1の時定数τ1によって制限することが出来る。第1の時定数τ1を、例えば、ESD試験規格の人体モデル(HBM)においてサージの立上り時間として規定されている2nSから10nSの間の値に設定することにより、ESDサージに応答する構成とすることが可能である。第1の時定数τ1よりも長い立上り時間、すなわち、ESDサージよりも遅い立上りの電源電圧の変動に対しては、第1のトリガ回路5は応答しない為、ESDサージよりも遅い立上りの電源電圧の変動に対して動作しない静電気保護回路の構成とすることが出来る。また、NMOSシャントトランジスタ91のオフのタイミングt2は、第2のトリガ回路7の時定数、すなわち、第2の時定数τ2によって設定することが出来る。この為、第2の時定数τ2を、例えば、ESD試験規格である時定数150nSに対して6〜7倍の値である1μSに設定することにより、ESDサージを十分に放電可能な構成とすることが出来る。尚、第2の電源端子2に対して負のサージが第1の電源端子1に印加された場合には、NMOSシャントトランジスタ91の寄生ダイオード(図示せず)がオンとなり、ESDサージを放電する。
(第3の実施形態)
図4は、第3の実施形態の静電気保護回路の構成を示す図である。既述の実施形態に対応する構成要素には同一の符号を付し、重複した記載は必要な場合のみ行う。本実施形態においては、シャント回路9を制御する制御回路が追加されている。実施形態では制御回路はNOR回路111から構成されている。NOR回路111の第1の入力端には保持回路6の出力信号が供給され、第2の入力端にはリセット回路8を構成するインバータ81の出力信号が供給される。NOR回路111は、バイアス回路10によってバイアスされている。NOR回路111の出力信号がNMOSシャントトランジスタ91のゲート電極に供給される。
NOR回路111は、保持回路6からの出力信号とリセット回路8のインバータ81からの信号が共にLレベルの時にHレベルの信号を出力する。すなわち、第2の実施形態の場合と同様、タイミングt0とタイミングt2の間の期間、NOR回路111はHレベルの信号を出力し、NMOSシャントトランジスタ91をオンさせる。
本実施形態においても、NMOSシャントトランジスタ91のオン/オフを、第1のトリガ回路5の時定数τ1と第2のトリガ回路7の時定数τ2の設定で制御することが出来る。第1の時定数τ1によりどの程度の立上り時間を有する電源電圧に対して動作させるかの制限が可能となり、第2の時定数τ2の設定によりNMOSシャントトランジスタ91がオンする期間、すなわち、静電気保護回路の放電時間の制御が可能である。第2の時定数τ2を大きくすることにより、ESDサージを十分に放電可能な構成にすることが出来る。第2の時定数τ2を大きくしても、静電気保護回路が応答する電源電圧の範囲を第1の時定数τ1によって制限できる為、誤動作を抑制する構成とすることが出来る。
NMOSシャントトランジスタ91の前段に多入力の論理回路を設けることにより、静電気保護回路の制御性を高めることが出来る。例えば、NOR回路111への入力は、リセット回路8を構成するインバータ81からの信号に代えて、別途設けられた制御信号を供給する構成とすることも可能である。例えば、NMOSシャントトランジスタ91をオフさせる制御信号をNOR回路111に供給する構成とすることが出来る。
NMOSシャントトランジスタ91の導電型は、PMOSトランジスタに変更することが可能である。シャントトランジスタの導電型の変更に合わせ、例えば、NOR回路111をOR回路等に変更する。また、第1のトリガ回路5、及び第2のトリガ回路7を構成するコンデンサ(51、71)と抵抗(52、72)の接続関係を入れ替えて構成することも可能である。また、NMOSシャントトランジスタ91をバイポーラトランジスタに変更することも出来る。バイポーラトランジスタを用いた場合、バイアスの関係から、NMOSトランジスタに変えてNPNトランジスタを用いる構成とすることが出来る。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
3 第1の電源ライン、4 第2の電源ライン、5 第1のトリガ回路、6 保持回路、7 第2のトリガ回路、8 リセット回路、9 シャント回路。

Claims (5)

  1. 第1の電源ラインと、
    第2の電源ラインと、
    第1の時定数を有し、前記第1の電源ラインと前記第2の電源ラインの間に印加される電圧に応答して第1のトリガ信号を出力する第1のトリガ回路と、
    前記第1の時定数より大きい第2の時定数を有し、前記第1の電源ラインと前記第2の電源ラインの間に印加される電圧に応答して第2のトリガ信号を出力する第2のトリガ回路と、
    前記第1のトリガ信号に応答して保持状態となる保持回路と、
    前記第2のトリガ信号に応答して前記保持回路の保持状態をリセットするリセット回路と、
    前記第1の電源ラインと前記第2の電源ラインの間に接続され、前記保持回路からの信号によりオン/オフが制御されるシャント回路と、
    を具備することを特徴とする静電気保護回路。
  2. 前記第1のトリガ回路と前記第2のトリガ回路は、CR回路で構成されることを特徴とする請求項1に記載の静電気保護回路。
  3. 前記第2の時定数は、前記第1の時定数の6〜7倍の値であることを特徴とする請求項1または2に記載の静電気保護回路。
  4. 前記第1の時定数は、2nSから10nSの間の値に設定されることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の静電気保護回路。
  5. 第1の電源ラインと、
    第2の電源ラインと、
    第1の時定数を有し、前記第1の電源ラインと前記第2の電源ラインの間に印加される電圧に応答して第1のトリガ信号を出力する第1のトリガ回路と、
    前記第1の時定数より大きい第2の時定数を有し、前記第1の電源ラインと前記第2の電源ラインの間に印加される電圧に応答して第2のトリガ信号を出力する第2のトリガ回路と、
    前記第1のトリガ信号に応答するラッチ回路と、
    前記第2のトリガ信号に応答して前記ラッチ回路をリセットするリセット回路と、
    前記第2のトリガ信号と前記ラッチ回路の出力に応答して制御信号を出力する制御回路と、
    前記第1の電源ラインと前記第2の電源ラインの間に接続され、前記制御信号によりオン/オフが制御されるシャント回路と、
    を具備することを特徴とする静電気保護回路。
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