JP2016016370A - 塗布装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この塗布装置110は、塗布剤300を塗布する塗布部71a〜71cを含むヘッド部7と、塗布部71a〜71cにより塗布剤300が基板200に塗布される前に塗布剤300の試し打ちが行われる試し打ちステーション8と、ヘッド部7とは異なる位置に固定され、試し打ちステーション8に塗布された塗布剤300を撮像する撮像部9とを備える。
【選択図】図1
Description
まず、図1〜図3を参照して、本発明の第1実施形態における塗布装置(ディスペンサ)110の構造について説明する。
以下、図4および図5を参照して、本発明の第2実施形態による塗布装置120の構成について説明する。
以下、図6〜図9を参照して、本発明の第3実施形態による塗布装置130の構成について説明する。
8、18、28 試し打ちステーション
9 撮像部
11、111、211 CPU(制御部)
71a〜71c 塗布部
72a〜72c、813 照明部
81、181 試し打ち部
109a 第1撮像部(撮像部)
109b 第2撮像部(撮像部)
110、120、130、140 塗布装置
200 基板
300 塗布剤
811 巻取部
812、912 試し打ち面
812a シート部材
814a〜814c 反射部
910 画像
913 塗布剤除去部
920 画像
h1 高さ
R1 回転方向
S1 面積
V1 体積
Claims (13)
- 塗布剤を塗布する塗布部を含むヘッド部と、
前記塗布部により塗布剤が基板に塗布される前に塗布剤の試し打ちが行われる試し打ちステーションと、
前記ヘッド部とは異なる位置に固定され、前記試し打ちステーションに塗布された塗布剤を撮像する撮像部とを備えた、塗布装置。 - 前記撮像部は、前記試し打ちステーションの下部または側部に固定されている、請求項1に記載の塗布装置。
- 前記試し打ちステーションは、塗布剤の試し打ちが行われる試し打ち面を含むとともに、前記試し打ち面が移動可能に構成され、
前記撮像部は、移動可能な前記試し打ち面の下方または側方に固定されている、請求項2に記載の塗布装置。 - 制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記塗布部による1回の試し打ちによって塗布された塗布剤を前記撮像部に撮像させ、前記撮像部により撮像された画像の解析結果に基づいて、前記塗布条件を変更するとともに、前記試し打ち面を移動させて再度塗布剤の試し打ちをする制御を行った後、再度試し打ちされた塗布剤を前記撮像部により撮像する制御を行うように構成されている、請求項3に記載の塗布装置。 - 前記撮像部は、前記試し打ち面の下方に固定され、
前記試し打ち面は、シート部材の表面であって、所定の張力が加えられた状態で配置され、
前記試し打ちステーションは、試し打ちが行われた前記試し打ち面を巻き取ることにより移動させることが可能な巻取部を含み、
前記撮像部は、前記巻取部により移動可能な前記試し打ち面の塗布剤を下方から撮像するように構成されている、請求項3または4に記載の塗布装置。 - 前記撮像部は、前記試し打ち面の下方に固定され、
前記試し打ち面は、光を透過可能に構成され、
前記塗布部は、透明または半透明ではない塗布剤を塗布するように構成され、
前記撮像部は、前記試し打ち面の下方から塗布剤を撮像するように構成されている、請求項3〜5のいずれか1項に記載の塗布装置。 - 前記試し打ち面よりも上方に配置される照明部をさらに備え、
前記撮像部は、前記照明部から照明光が照射された状態で前記試し打ち面の下方から塗布剤を撮像するように構成されている、請求項6に記載の塗布装置。 - 前記試し打ちステーションは、塗布剤の試し打ちが行われる前記試し打ち面を外表面に有するとともに回転することにより前記試し打ち面が回転方向に移動する試し打ち部を含み、
前記撮像部は、前記試し打ち部の回転により回転方向に移動される前記試し打ち面の塗布剤を塗布剤が位置する前記試し打ち面と対向する方向から撮像するように構成されている、請求項3または4に記載の塗布装置。 - 塗布剤を除去する塗布剤除去部をさらに備え、
前記塗布剤除去部は、前記撮像部により前記試し打ち面の塗布剤が撮像された後、前記試し打ち部の回転により回転方向に移動される前記試し打ち面の塗布剤を除去する位置に配置されている、請求項8に記載の塗布装置。 - 前記撮像部は、前記試し打ち部の回転により回転方向に移動される前記試し打ち面の塗布剤を撮像するように前記試し打ち面の側方に固定されている、請求項8または9に記載の塗布装置。
- 制御部をさらに備え、
前記撮像部は、塗布剤の試し打ちが行われる試し打ち面に対して略垂直な方向と前記試し打ち面に対して略平行な方向とから、それぞれ、前記試し打ち面に試し打ちされた塗布剤を撮像可能に構成され、
前記制御部は、前記試し打ち面に対して略垂直な方向から撮像された画像に基づいて、塗布剤の前記試し打ち面と接触している部分の面積を取得するとともに、前記試し打ち面に対して略平行な方向から撮像された画像に基づいて、塗布剤の前記試し打ち面からの高さを取得し、前記面積と前記高さとから塗布剤の体積を取得するように構成されている、請求項1〜3のいずれか1項に記載の塗布装置。 - 光を反射する反射部をさらに備え、
前記撮像部は、前記試し打ち面の下方または側方から塗布剤を撮像するとともに、前記試し打ち面の下方および側方に設けられた前記反射部によって前記撮像部に導かれた光により塗布剤の側部または下部を撮像するように構成されている、請求項11に記載の塗布装置。 - 前記撮像部は、第1撮像部と第2撮像部とを含み、
前記第1撮像部は、前記試し打ち面の下方に固定され、前記試し打ち面の下方から塗布剤を撮像し、
前記第2撮像部は、前記試し打ち面の側方に固定され、前記試し打ち面の側方から塗布剤を撮像するように構成されている、請求項11に記載の塗布装置。
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