JP2016015854A - ダイレクトドライブモータ、搬送装置、検査装置、工作機械、及び半導体製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ダイレクトドライブモータは、複数のティースを有するステータコアと複数の第1相コイルと複数の第2相コイルと複数の第3相コイルとを有するステータと、ステータに対して回転軸を中心に回転可能なロータと、コネクタを介して電力供給部と接続され、第1相コイルに電力を供給するための第1リード線と、第2相コイルに電力を供給するための第2リード線と、第3相コイルに電力を供給するための第3リード線と、を備える。第1リード線と接続される第1相コイルが、コネクタと対向するように配置される。第2リード線と接続される第2相コイルが、回転軸の回転方向に関して第1リード線と対向する第1相コイルの一方に配置され、第3リード線と接続される第3相コイルが、回転軸の回転方向に関して第1リード線と対向する第1相コイルの他方に配置される。
【選択図】図1
Description
第1実施形態について説明する。図1は、本実施形態に係るダイレクトドライブモータ1の一例を示す平面図である。図2は、本実施形態に係るダイレクトドライブモータ1の一例を示す断面図である。図3は、本実施形態に係るダイレクトドライブモータ1のステータ21の一例を示す平面図である。図4は、本実施形態に係るダイレクトドライブモータ1のステータ21の一例を示す平面図である。
第2実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。
第3実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。
第4実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。
2 モータ部
3 回転検出器
4 ハウジング
5 軸受
5A 内輪
5B 外輪
5C 転動体
6 第1カバー部材
8 第2カバー部材
9 制御装置
10 リード線
21 ステータ
22 ロータ
23 ティース
24 ヨーク
25 ステータコア
26 コイル
27 スロット
28 ボビン
30 コネクタ
31 電力供給部
32 中性点
41 第1ハウジング
42 第2ハウジング
200 搬送装置
251 内周コア
252 外周コア
300 検査装置
301 検査部
400 工作機械
401 加工部
500 半導体製造装置
501 処理部
AX 回転軸
Claims (10)
- 3相交流により作動するダイレクトドライブモータであって、
複数のティースを有するステータコアと、集中巻され前記ティースに支持される複数の第1相コイルと、集中巻され前記ティースに支持される複数の第2相コイルと、集中巻され前記ティースに支持される複数の第3相コイルと、を有するステータと、
前記ステータに対して回転軸を中心に回転可能なロータと、
コネクタを介して電力供給部と接続され、前記第1相コイルに電力を供給するための第1リード線と、
前記コネクタを介して前記電力供給部と接続され、前記第2相コイルに電力を供給するための第2リード線と、
前記コネクタを介して前記電力供給部と接続され、前記第3相コイルに電力を供給するための第3リード線と、
を備え、
前記第1相コイルと前記第2相コイルと前記第3相コイルとがスター結線され、
複数の前記第1相コイルのうち前記第1リード線と接続される第1相コイルが、前記コネクタと対向するように配置され、
複数の前記第2相コイルのうち前記第2リード線と接続される第2相コイルが、前記回転軸を中心とする回転方向に関して前記第1リード線と対向する前記第1相コイルの一方に配置され、
複数の前記第3相コイルのうち前記第3リード線と接続される第3相コイルが、前記回転軸を中心とする回転方向に関して前記第1リード線と対向する前記第1相コイルの他方に配置される、
ダイレクトドライブモータ。 - 前記回転方向に関して、前記第1リード線と接続される前記第1相コイルは、前記コネクタと実質的に同じ位置に配置され、
前記第1リード線と接続される前記第1相コイルと前記第2リード線と接続される前記第2相コイルとの距離と、前記第1リード線と接続される前記第1相コイルと前記第3リード線と接続される前記第3相コイルとの距離とは、等しい請求項1に記載のダイレクトドライブモータ。 - 前記ステータコアは、内周コアと、前記内周コアの周囲に配置され前記内周コアと接続される外周コアと、を含み、
前記第1相コイル、前記第2相コイル、及び前記第3相コイルは、前記内周コアと前記外周コアとの間に配置される請求項1又は請求項2に記載のダイレクトドライブモータ。 - 前記第1相コイル、前記第2相コイル、及び前記第3相コイルはそれぞれボビンに巻かれ、
前記ボビンが前記ティースに支持される請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のダイレクトドライブモータ。 - 前記ティースの間のスロットの数は偶数であり、
前記ステータは、分数スロット巻線を含む請求項1から請求項4のいずれか一項に記載のダイレクトドライブモータ。 - 前記ロータの回転を検出するアブソリュート方式のレゾルバを含む回転検出器を備える請求項1から請求項5のいずれか一項に記載のダイレクトドライブモータ。
- 請求項1から請求項6のいずれか一項に記載のダイレクトドライブモータと、
前記ダイレクトドライブモータの作動により物体を搬送する搬送部と、
を備える搬送装置。 - 請求項1から請求項6のいずれか一項に記載のダイレクトドライブモータと、
前記ダイレクトドライブモータの作動により移動する物体を検査する検査部と、
を備える検査装置。 - 請求項1から請求項6のいずれか一項に記載のダイレクトドライブモータと、
前記ダイレクトドライブモータの作動により移動する物体を加工する加工部と、
を備える工作機械。 - 請求項1から請求項6のいずれか一項に記載のダイレクトドライブモータと、
前記ダイレクトドライブモータの作動により移動する物体を処理する処理部と、
を備える半導体製造装置。
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