JP2016008957A - 粒子検出装置及び粒子の検出方法 - Google Patents

粒子検出装置及び粒子の検出方法 Download PDF

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Abstract

【課題】生物粒子と非生物粒子を判別可能な粒子検出装置を提供する。【解決手段】被測定粒子で生じた第1ないし第3の光の強度の測定値を測定する光測定器20と、第1及び第2分類の粒子の識別境界における第3の光の強度を第1の範囲において記録した第1の境界情報と、識別境界における第3の光の強度を第2の範囲において記録した第2の境界情報と、識別境界で囲まれるセルに第1分類の粒子の識別子を記録し、識別境界で囲まれないセルに第2分類の粒子の識別子を記録した識別情報と、を保存する記憶装置350と、第1及び第2の光の強度の測定値に基づいて、第1分類の粒子の識別子が取得され、第3の光の強度の測定値が第1及び第2の境界値の間に入っている場合、被測定粒子が第1分類の粒子であると判定する粒子判定部302と、を備える、粒子検出装置。【選択図】図5

Description

本発明は検査技術に関し、粒子検出装置及び粒子の検出方法に関する。
バイオクリーンルーム等のクリーンルームにおいては、粒子検出装置を用いて、飛散している微生物粒子や非微生物粒子が検出され、記録される(例えば、特許文献1及び非特許文献1参照。)。粒子の検出結果から、クリーンルームの空調機器の劣化具合を把握可能である。また、クリーンルームで製造された製品に、参考資料として、クリーンルーム内の粒子の検出記録が添付されることもある。光学式の粒子検出装置は、例えば、クリーンルーム中の気体を吸引し、吸引した気体に光を照射する。気体に微生物粒子や非微生物粒子が含まれていると、光を照射された粒子が蛍光を発したり、粒子において散乱光が生じたりする。そのため、蛍光や散乱光を検出することにより、気体に含まれる微生物粒子や非微生物粒子の数や大きさ等を検出することが可能となる。また、クリーンルーム以外でも、流体中の粒子を正確に検出する技術が望まれている(例えば、特許文献2参照。)。
粒子が発する蛍光の強度は、粒子の種類によって異なる場合がある。また、粒子で生じる散乱光の強度も、粒子の種類によって異なる場合がある。そのため、蛍光の強度及び散乱光の強度に基づいて、粒子が生物粒子であるか、あるいは非生物粒子であるかを判別する方法が提案されている(例えば、特許文献3参照。)。
特開2011−83214号公報 特開平8−29331号公報 米国特許出願公開第2013/0077087号明細書
長谷川倫男他,「気中微生物リアルタイム検出技術とその応用」,株式会社山武,azbil Technical Review 2009年12月号,p.2-7,2009年
粒子が生物粒子であるか、あるいは非生物粒子であるかを判別する精度を上げるためには、判別の基準の精度を上げることが必要である。しかし、精度の高い判別基準は、コンピュータシステムにおいて必要とするメモリ容量の増大や、処理速度の低下をもたらしうる。そこで、本発明は、生物粒子と非生物粒子を判別可能である、コンピュータシステムに与える付加が低い粒子検出装置及び粒子の検出方法を提供することを目的の一つとする。
本発明の態様によれば、(a)被測定粒子で生じた、それぞれ波長が異なる第1、第2及び第3の光の強度の測定値を測定する光測定器と、(b)第1及び第2の光の強度の2次元テーブルに、第1分類の粒子と第2分類の粒子の識別境界における第3の光の強度を、第1の範囲において記録した第1の境界情報を保存する第1の境界情報保存部と、(c)2次元テーブルに、識別境界における第3の光の強度を、第2の範囲において記録した第2の境界情報を保存する第2の境界情報保存部と、(d)2次元テーブルの識別境界で囲まれるセルに第1分類の粒子の識別子を記録し、識別境界で囲まれないセルに第2分類の粒子の識別子を記録した識別情報を保存する識別情報保存部と、(e)第1及び第2の光の強度の測定値に基づいて、識別情報から、第1又は第2分類の粒子の識別子を取得し、第1及び第2の境界情報から、識別境界における第3の光の強度の第1及び第2の境界値を取得する情報取得部と、(f)第1分類の粒子の識別子が取得され、第3の光の強度の測定値が第1及び第2の境界値の間に入っている場合、被測定粒子が第1分類の粒子であり、第1分類の粒子の識別子が取得され、第3の光の強度の測定値が第1及び第2の境界値の間に入っていない、又は第2分類の粒子の識別子が取得された場合、被測定粒子が第2分類の粒子であると判定する粒子判定部と、を備える、粒子検出装置が提供される。
上記粒子検出装置において、第1及び第2の光が蛍光帯域の光であり、第3の光が散乱光であってもよい。あるいは、第1ないし第3の光が蛍光帯域の光であってもよい。また、第1分類の粒子が生物粒子であり、第2分類の粒子が非生物粒子であってもよい。あるいは、第1分類の粒子が非生物粒子であり、第2分類の粒子が生物粒子であってもよい。
上記粒子検出装置において、第1及び第2の境界情報が、第3の光の強度を階調で表した画像であってもよい。また、第1及び第2の境界情報が、グレースケール画像であってもよい。さらに、第3の光の強度の測定値が、階調における階調値に変換されてもよい。またさらに、第1の境界情報の画像が、識別境界を示す多変数関数を含む第1ないし第3の光の強度の3次元座標系を、第3の光の強度を示す座標の上方から観察した像に相当し、第2の境界情報の画像が、多変数関数を含む3次元座標系を、第3の光の強度を示す座標の下方から観察した像に相当するものであってもよい。
上記粒子検出装置において、識別情報が、識別境界を示す多変数関数を含む第1ないし第3の光の強度の3次元座標系を、第3の光の強度を示す座標の任意の値においてスライスした像に相当するものであってもよい。あるいは、識別情報が、識別境界を示す多変数関数を含む第1ないし第3の光の強度の3次元座標系を、多変数関数における第3の光の強度の最大値と、最小値と、の中間値においてスライスした像に相当するものであってもよい。また、識別情報が、二値画像であってもよい。
上記粒子検出装置は、光測定器の劣化情報を記録する劣化情報記録部と、劣化情報に基づいて、第1の光の強度、第2の光の強度、及び第3の光の強度の測定値の少なくとも一つを補正する補正部と、を更に備えていてもよい。あるいは、上記粒子検出装置は、光測定器の劣化情報を記録する劣化情報記録部と、劣化情報に基づいて、第1の境界情報及び第2の境界情報を補正する補正部と、を更に備えていてもよい。
また、本発明の態様によれば、(a)被測定粒子で生じた、それぞれ波長が異なる第1、第2及び第3の光の強度の測定値を測定することと、(b)第1及び第2の光の強度の2次元テーブルに、第1分類の粒子と第2分類の粒子の識別境界における第3の光の強度を、第1の範囲において記録した第1の境界情報を用意することと、(c)2次元テーブルに、識別境界における第3の光の強度を、第2の範囲において記録した第2の境界情報を用意することと、(d)2次元テーブルの識別境界で囲まれるセルに第1分類の粒子の識別子を記録し、識別境界で囲まれないセルに第2分類の粒子の識別子を記録した識別情報を用意することと、(e)第1及び第2の光の強度の測定値に基づいて、識別情報から、第1又は第2分類の粒子の識別子を取得し、第1及び第2の境界情報から、識別境界における第3の光の強度の第1及び第2の境界値を取得することと、(f)第1分類の粒子の識別子が取得され、第3の光の強度の測定値が第1及び第2の境界値の間に入っている場合、被測定粒子が第1分類の粒子であり、第1分類の粒子の識別子が取得され、第3の光の強度の測定値が第1及び第2の境界値の間に入っていない、又は第2分類の粒子の識別子が取得された場合、被測定粒子が第2分類の粒子であると判定することと、を含む、粒子の検出方法が提供される。
上記粒子の検出方法において、第1及び第2の光が蛍光帯域の光であり、第3の光が散乱光であってもよい。あるいは、第1ないし第3の光が蛍光帯域の光であってもよい。また、第1分類の粒子が生物粒子であり、第2分類の粒子が非生物粒子であってもよい。あるいは、第1分類の粒子が非生物粒子であり、第2分類の粒子が生物粒子であってもよい。
上記粒子の検出方法において、第1及び第2の境界情報が、第3の光の強度を階調で表した画像であってもよい。また、第1及び第2の境界情報がグレースケール画像であってもよい。さらに、第3の光の強度の測定値が、階調における階調値に変換されてもよい。またさらに、第1の境界情報の画像が、識別境界を示す多変数関数を含む第1ないし第3の光の強度の3次元座標系を、第3の光の強度を示す座標の上方から観察した像に相当し、第2の境界情報の画像が、多変数関数を含む3次元座標系を、第3の光の強度を示す座標の下方から観察した像に相当するものであってもよい。
上記粒子の検出方法において、識別情報が、識別境界を示す多変数関数を含む第1ないし第3の光の強度の3次元座標系を、第3の光の強度を示す座標の任意の値においてスライスした像に相当するものであってもよい。あるいは、識別情報が、識別境界を示す多変数関数を含む第1ないし第3の光の強度の3次元座標系を、多変数関数における第3の光の強度の最大値と、最小値と、の中間値においてスライスした像に相当するものであってもよい。また、識別情報が、二値画像であってもよい。
上記粒子の検出方法が、第1、第2及び第3の光の強度の測定値を測定する光測定器の劣化情報を記録することと、劣化情報に基づいて、第1の光の強度、第2の光の強度、及び第3の光の強度の測定値の少なくとも一つを補正することと、を更に含んでいてもよい。あるいは、上記粒子の検出方法が、第1、第2及び第3の光の強度の測定値を測定する光測定器の劣化情報を記録することと、劣化情報に基づいて、第1の境界情報及び第2の境界情報を補正することと、を更に含んでいてもよい。
本発明によれば、生物粒子と非生物粒子を判別可能である、コンピュータシステムに与える付加が低い粒子検出装置及び粒子の検出方法を提供可能である。
本発明の第1の実施の形態に係る微生物及び大気含有物質が発する光の530nm以上の帯域における強度に対する、440nm帯域における強度の関係を示すグラフである。 本発明の第1の実施の形態に係る微生物及び大気含有物質が発する光の530nm以上の帯域における強度に対する、440nm帯域における強度の関係と、識別境界と、を示すグラフである。 本発明の第1の実施の形態に係る任意のyの値におけるx−z2次元座標系における識別境界の模式的なグラフである。 本発明の第1の実施の形態に係る任意のyの値におけるx−z2次元座標系における識別境界の模式的なグラフである。 本発明の第1の実施の形態に係る検出装置の模式図である。 本発明の第1の実施の形態に係る第1の境界情報のグレースケール画像である。 本発明の第1の実施の形態に係る第1の境界情報の取得方法を示す模式図である。 本発明の第1の実施の形態に係る第2の境界情報のグレースケール画像である。 本発明の第1の実施の形態に係る第2の境界情報の取得方法を示す模式図である。 本発明の第1の実施の形態に係る識別情報の二値画像である。 本発明の第1の実施の形態に係る粒子の検出方法を示すフローチャートである。 本発明の第2の実施の形態に係る検出装置の模式図である。
以下に本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号で表している。但し、図面は模式的なものである。したがって、具体的な寸法等は以下の説明を照らし合わせて判断するべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。
(第1の実施の形態)
細菌等の生物粒子に光を照射すると、生物粒子において散乱光が発生する。また、金属又は樹脂からなる非生物粒子に光を照射しても、非生物粒子において散乱光が発生する。粒子で生じる散乱光の強度は、粒子の粒径に依存する傾向にある。生物粒子の粒径は、微生物の種類毎に異なる。また、非生物粒子の粒径も、種類毎に異なる。そのため、散乱光の強度から、流体に含まれる被測定粒子の種類を特定することが可能である。
また、生物粒子に励起光を照射すると、生物粒子に含まれるニコチンアミドアデニンジヌクレオチド(NADH)及びリボフラビン等が、蛍光を発する。非生物粒子に光を照射しても、非生物粒子が蛍光帯域の光を発する場合がある。例えばポリエステルからなるクリーニングしたガウンから飛散した蛍光粒子は、光を照射されると蛍光を発する。ポリスチレン粒子も蛍光を発し、その後退色する。
さらに、例えば、気体中に二酸化窒素(NO2)を含む窒素酸化物(NOX)、硫黄酸化物(SOX)、オゾンガス(O3)、酸化アルミ系のガス、アルミ合金、ガラス粉末、並びに大腸菌及びカビ等の異物を除染するための除染ガス等が含まれていると、これらのミー散乱を起こす粒子よりも小さいこともある気体含有物質が光を受けて蛍光帯域の光を発する。
例えば、二酸化窒素は、光を吸収すると、赤方偏移した光を放出して基底状態に戻る。二酸化窒素の吸収スペクトルは、波長440nm付近にピークを有するが、100ないし200nm程度の広い帯域を有する。そのため、二酸化窒素の存在下、405nmの波長を有する光でNADH由来の蛍光及びフラビン由来の蛍光を励起しようとすると、NADH及びフラビンと励起光の吸収スペクトルが重なる二酸化窒素においても蛍光が励起されうる。また、二酸化窒素は、物質が燃焼するときに、気体中の窒素と酸素が反応して発生する。そのため、元々検査対象の気体中に二酸化窒素が含まれていなくても、検査対象の気体に励起光として高いビーム密度を有するレーザ光あるいは強力な電磁放射線を照射すると、気体中の物質が燃焼して二酸化窒素が生じ、二酸化窒素が蛍光を発することもある。さらに、一酸化窒素とオゾンが反応して二酸化窒素を形成し、蛍光を発することもある。
二酸化窒素については、特開2003−139707号公報、Joel A. Thorntonら著、「Atmospheric NO2: In Situ Laser-Induced Fluorescence Detection at Parts per Trillion Mixing Ratios」、Analytical Chemistry、Vol. 72、No. 3、February 1、2000、pp.528−539、及びS.A.Nizkorodovら著、「Time-resolved fluorescence of NO2 in a magnetic field」、Volume 215、number 6、CHEMICAL PHYSICS LETTERS、17 December 1993、pp. 662-667参照。硫黄酸化物については、特開2012−86105号公報参照。
本発明者らは鋭意研究の末、複数の波長において物質が発する蛍光帯域の光の強度を測定すると、ある波長の光の強度に対する他の波長の光の強度の相関が、物質毎に異なることを見出した。例えば、図1は、励起光を照射された表皮ブドウ球菌、枯草菌芽胞、大腸菌、ガラス、及びアルミニウムのそれぞれが発した蛍光帯域の光について、横軸に530nm以上の帯域における波長の光強度を、縦軸に440nm付近の帯域における波長の光強度をプロットしたグラフである。図1に示すように、440nm付近の帯域における波長の光強度に対する530nm以上の帯域における波長の光強度の比は、非生物において小さく、微生物粒子において大きくなる傾向にある。このように、本発明者らは、複数の波長毎に物質が発した蛍光帯域の光の強度を測定し、それらの相関をとることで、その物質が生物であるか非生物であるかを識別可能であることを見出した。
例えば、図2において、第1の蛍光帯域の光の強度を表す横軸をx軸、第2の蛍光帯域の光の強度を表す縦軸をy軸とすると、生物と非生物との識別境界を与える関数y=f(x)を画定することが可能である。図2の例においては、y>f(x)の領域にプロットされる光強度を与える粒子は、非生物のクラスに分類することが可能であり、y<f(x)の領域にプロットされる光強度を与える粒子は、生物のクラスに分類することが可能である。
さらに、上述したように、粒子で生じる散乱光の強度は、粒子の種類によって異なる。そのため、x軸、y軸、及び散乱光の強度を表すz軸を含む3次元座標系に、複数種類の既知の生物粒子及び非生物粒子のそれぞれについて、光を照射したときに生じる第1の波長を有する蛍光帯域の光の強度の測定値、第2の波長を有する蛍光帯域の光の強度の測定値、及び散乱光の強度の測定値をプロットし、生物と非生物との識別境界を与える関数f(x,y,z)を画定することが可能である。
生物と非生物との識別境界を与える関数f(x,y,z)は、学習データから、各データ点との距離が最大となるように識別境界を求めるサポートベクターマシン(SVM)のような非線形な識別器によって画定可能である。なお、識別器は、分類器や判別器とも呼ばれる。非線形的な識別器はサポートベクターマシンに限られない。例えば、識別器を多数組み合わせることにより精度を高めたブースティング、脳機能に見られる特性を計算機上にシミュレートしたニューラルネットワーク、その他、決定木、最近傍探索、及び事例ベース推論等の手法を用いる識別器が使用可能である。
例えば、光を照射される粒子に、微生物粒子、微生物粒子よりも粒径の大きい非微生物粒子、及び微生物粒子よりも粒径の小さい非微生物粒子が含まれていると、3次元座標系において、例えば図3に示すように、識別境界を与える関数f(x,y,z)で囲まれる空間にプロットされる光強度を与える粒子は、生物のクラスに分類することが可能であり、例えば図4に示すように、関数f(x,y,z)で囲まれる空間の外側にプロットされる光強度を与える粒子は、非生物のクラスに分類することが可能である。
この場合、予め、3次元座標系に、生物と非生物との識別境界を与える関数f(x,y,z)を画定し、その後、未知の粒子に検査光を照射したときに生じる第1の波長を有する蛍光帯域の光、第2の波長を有する蛍光帯域の光、及び散乱光の強度を測定して、測定値が関数f(x,y,z)で囲まれる空間にプロットされる場合は、測定された粒子は生物であると判定し、測定値が関数f(x,y,z)で囲まれる空間の外側にプロットされる場合は、測定された粒子は非生物であると判定することが可能である。
しかし、3次元座標系の情報はデータ容量が大きいため、コンピュータシステムへの実装が困難であったり、コストがかかったりする場合がある。また、3次元座標系の情報はデータ容量が大きいため、未知の粒子が生物粒子であるか、非生物粒子であるかをリアルタイムに判定する際に、コンピュータシステムの処理速度の低下をもたらしうる場合がある。
これに対し、本発明の第1の実施の形態に係る粒子検出装置は、図5に示すように、被測定粒子で生じた第1の波長を有する第1の光の強度、第2の波長を有する第2の光の強度、及び第3の波長を有する第3の光の強度の測定値を測定する光測定器20と、光測定器20に電気的に接続された中央演算処理装置(CPU)300と、を備える。第1の波長と、第2の波長と、第3の波長と、は異なる。
CPU300には、記憶装置350が接続されている。記憶装置350は、第1及び第2の光の強度の2次元テーブルに、予め取得された、第1分類の粒子と第2分類の粒子の識別境界における第3の光の強度を、第3の光の強度の第1の範囲において記録した第1の境界情報を保存する第1の境界情報保存部351と、第1及び第2の光の強度の2次元テーブルに、予め取得された、第1分類の粒子と第2分類の粒子の識別境界における第3の光の強度を、第3の光の強度の第2の範囲において記録した第2の境界情報を保存する第2の境界情報保存部352と、を含む。
記憶装置350は、さらに、第3の光の強度の第1の範囲と第2の範囲との間の1点において、2次元テーブルの識別境界で囲まれるセルに第1分類の粒子の識別子を記録し、識別境界で囲まれないセルに前記第2分類の粒子の識別子を記録した識別情報を保存する識別情報保存部353を含む。
CPU300は、第1及び第2の光の強度の測定値に基づいて、識別情報から、第1分類の粒子の識別子又は第2分類の粒子の識別子を取得し、第1の境界情報から識別境界における第3の光の強度の第1の境界値を、第2の境界情報から識別境界における第3の光の強度の第2の境界値を読み出す情報取得部301と、第1分類の粒子の識別子が取得され、第3の光の強度の測定値が第1の境界値と第2の境界値の間に入っている場合、被測定粒子が第1分類の粒子であり、第1分類の粒子の識別子が取得され、第3の光の強度の測定値が第1の境界値と第2の境界値の間に入っていない、又は第2分類の粒子の識別子が取得された場合、被測定粒子が第2分類の粒子であると判定する粒子判定部302と、を含む。
以下、第1及び第2の光が蛍光帯域の光であり、第3の光が散乱光である例を説明する。なお、「蛍光帯域の光」とは、蛍光、自家蛍光、及び必ずしも蛍光ではないが、波長帯域が蛍光と重なる光を含む。また、以下、第1分類の粒子が生物粒子であり、第2分類の粒子が非生物粒子である例を説明する。
粒子検出装置によって粒子を含むか否かが検査される気体は、ノズル40から噴出される。ノズル40から噴出された流体に向けて、光源10から広帯域波長の検査光が照射される。なお、液体が検査される場合は、液体が流れるフローセル等に向けて、光源10から広帯域波長の検査光が照射される。以下、流体が気体である例を説明する。光源10としては、例えば、発光ダイオード(LED)及びレーザが使用可能である。検査光の波長は、例えば250ないし550nmである。検査光は、可視光であっても、紫外光であってもよい。検査光が可視光である場合、検査光の波長は、例えば400ないし550nmの範囲内であり、例えば405nmである。検査光が紫外光である場合、検査光の波長は、例えば300ないし380nmの範囲内であり、例えば340nmである。ただし、検査光の波長は、これらに限定されない。光源10には、光源10に電力を供給する光源駆動電源11が接続されている。光源駆動電源11には、光源10に供給される電力を制御する電源制御装置12が接続されている。
光測定器20は、ノズル40から噴出された流体に含まれ、検査光を照射された被測定粒子で生じる第1の蛍光帯域の光の強度及び第2の蛍光帯域の光の強度を測定する蛍光強度測定器102と、検査光を照射された被測定粒子で生じる散乱光を測定する散乱光測定器105と、を備える。光源10と、蛍光強度測定器102と、散乱光測定器105と、は、筐体30に設けられている。また、電源制御装置12、蛍光強度測定器102及び散乱光測定器105は、CPU300に電気的に接続されている。
蛍光強度測定器102は、被測定粒子が発する蛍光帯域の光を検出する。蛍光強度測定器102は、第1の波長における蛍光帯域の光を受光する第1の受光素子20Aと、第1の波長とは異なる第2の波長における蛍光帯域の光を受光する第2の受光素子20Bと、を備える。なお、第1の波長とは、帯域を有していてもよい。第2の波長についても同様である。第1の受光素子20A及び第2の受光素子20Bとしては、フォトダイオード及び光電管等が使用可能であり、光を受光すると、光エネルギーを電気エネルギーに変換する。
第1の受光素子20Aには、第1の受光素子20Aで生じた電流を増幅する増幅器21Aが接続されている。増幅器21Aには、増幅器21Aに電力を供給する増幅器電源22Aが接続されている。また、増幅器21Aには、増幅器21Aで増幅された電流を受け取り、第1の受光素子20Aが受光した光の強度を算出する光強度算出装置23Aが接続されている。光強度算出装置23Aには、光強度算出装置23Aが算出した光の強度を保存する光強度記憶装置24Aが接続されている。
第2の受光素子20Bには、第2の受光素子20Bで生じた電流を増幅する増幅器21Bが接続されている。増幅器21Bには、増幅器21Bに電力を供給する増幅器電源22Bが接続されている。また、増幅器21Bには、増幅器21Bで増幅された電流を受け取り、第2の受光素子20Bが受光した光の強度を算出する光強度算出装置23Bが接続されている。光強度算出装置23Bには、光強度算出装置23Bが算出した光の強度を保存する光強度記憶装置24Bが接続されている。
散乱光測定器105は、検査光を照射された被測定粒子で生じる散乱光を検出する。散乱光測定器105は、散乱光を受光する散乱光受光素子50を備える。散乱光受光素子50としては、フォトダイオード等が使用可能であり、光を受光すると、光エネルギーを電気エネルギーに変換する。
散乱光受光素子50には、散乱光受光素子50で生じた電流を増幅する増幅器51が接続されている。増幅器51には、増幅器51に電力を供給する増幅器電源52が接続されている。また、増幅器51には、増幅器51で増幅された電流を受け取り、散乱光受光素子50が受光した散乱光の強度を算出する光強度算出装置53が接続されている。光強度算出装置53には、光強度算出装置53が算出した散乱光の強度を保存する光強度記憶装置54が接続されている。
第1の境界情報保存部351に保存されている第1の境界情報は、例えば図6に示すように、第1の蛍光帯域の光の強度を示すx座標と、第2の蛍光帯域の光の強度を示すy座標と、を含む2次元テーブルの各セルに、予め取得された、生物粒子と非生物粒子の識別境界における散乱光の強度を、散乱光の強度の第1の範囲において記録している。2次元テーブルは、例えば、256×256個のセルからなる。この場合、例えば、x方向のセルには0番から255番までのインデックスが付されており、y方向のセルにも0番から255番までのインデックスが付されている。
光の強度は、例えば0から5V等の範囲内の電圧信号で表される。光の強度を、離散的なインデックスIに変換するには、例えば以下の(1)式を用いる。
I=[NI*(SD/SM)] (1)
ここで、NIはインデックス数であり、例えば256である。SDは電圧信号で表された光の強度の測定値である。SMは電圧信号で表された光の強度がとりうる最大値である。(1)式で算出されるインデックスIは、0から255までの整数となる。
第1の境界情報は、例えば、予め取得された、生物粒子と非生物粒子との識別境界を与える多変数関数f(x,y,z)を含む、x座標、y座標、及び散乱光の強度を示すz座標を含む3次元座標系を、図7に示すように、z座標の上方から観察した像に相当する。例えば、識別境界を与える多変数関数f(x,y,z)は、一組の独立変数(x,y)に対し、従属変数zの値を2つ出力する多価関数であり得る。したがって、第1の境界情報は、一組の独立変数(x,y)に対して多変数関数f(x,y,z)から出力される2つの従属変数zの値のうち、大きいほうの値の分布を示している。そのため、第1の境界情報における散乱光の強度の第1の範囲は、一組の独立変数(x,y)に対して出力される2つの従属変数zの値のうち、大きいほうの値の分布に従って任意に設定される。
例えば、図6に示すように、第1の境界情報は、2次元テーブルの各セルにおいて、生物粒子と非生物粒子の識別境界における散乱光の強度を階調で表したグレースケール画像である。各セルにおいて、生物粒子と非生物粒子の識別境界における散乱光の強度が、例えば256階調のグレースケールで記録される。例えば、グレースケールにおいて、散乱光の強度が高い方が淡く表現され、散乱光の強度が低い方が、濃く表現される。ただし、第1の境界情報は、カラー画像であってもよい。散乱光の強度を、離散的な階調値(画素値)Gに変換するには、例えば以下の(2)式を用いる。
G=[NG*(SD/SM)] (2)
ここで、NGは階調数であり、例えば256である。SDは電圧信号で表された光の強度の測定値である。SMは電圧信号で表された光の強度がとりうる最大値である。(2)式で算出される階調値(画素値)Gは、0から255までの整数となる。
3次元座標系において識別境界を示す多変数関数f(x,y,z)が存在しなかった部分の座標は、第1の境界情報の画像においては、例えば最も淡くされる。ただし、当該部分の座標の階調は、最も濃くされてもよい。例えば、第1の境界情報の画像が256階調であれば、当該部分の階調値(画素値)は、0か255にされるとよい。
図5に示す第2の境界情報保存部352に保存されている第2の境界情報は、例えば図8に示すように、第1の蛍光帯域の光の強度を示すx座標と、第2の蛍光帯域の光の強度を示すy座標と、を含む2次元テーブルの各セルに、予め取得された、生物粒子と非生物粒子の識別境界における散乱光の強度の分布を、散乱光の強度の第2の範囲において記録している。第2の境界情報における2次元テーブルは、例えば、256×256個のセルからなる。また、第2の境界情報におけるx座標及びy座標の範囲は、第1の境界情報におけるx座標及びy座標の範囲と、同じである。
第2の境界情報は、例えば、予め取得された、識別境界を与える多変数関数f(x,y,z)を含む、x座標、y座標、及びz座標を含む3次元座標系を、図9に示すように、z座標の下方から観察した像に相当する。したがって、第2の境界情報は、一組の独立変数(x,y)に対して出力される2つの従属変数zの値のうち、小さいほうの値の分布を示している。そのため、第2の境界情報における散乱光の強度の第2の範囲は、一組の独立変数(x,y)に対して多変数関数f(x,y,z)から出力される2つの従属変数zの値のうち、小さいほうの値の分布に従って任意に設定される。また、散乱光の強度の第1の範囲と、第2の範囲とは、部分的に重なっていてもよいが、第1の範囲のほうが、第2の範囲よりも大きな値を含んでおり、第2の範囲のほうが、第1の範囲よりも小さな値を含んでいる。
例えば、第2の境界情報は、2次元テーブルの各セルにおいて、生物粒子と非生物粒子の識別境界における散乱光の強度を階調で表したグレースケール画像である。各セルにおいて、生物粒子と非生物粒子の識別境界における散乱光の強度が、例えば256階調のグレースケールで記録される。例えば、グレースケールにおいて、散乱光の強度が高い方が淡く表現され、散乱光の強度が低い方が、濃く表現される。ただし、第2の境界情報は、カラー画像であってもよい。
3次元座標系において識別境界を示す多変数関数f(x,y,z)が存在しなかった部分の座標は、第2の境界情報の画像においては、例えば最も濃くされる。ただし、当該部分の座標の階調は、最も淡くされてもよい。例えば、第2の境界情報の画像が256階調であれば、当該部分の階調値(画素値)は、0か255にされるとよい。
例えば、図7及び図9を参照して、一組の(x,y)の値の第1及び第2の蛍光帯域の光の強度を与え、かつ、第1の境界情報に記録された識別境界における散乱光の強度の第1の境界値よりも大きい散乱光の強度を与える粒子は非生物粒子である。また、一組の(x,y)の値の第1及び第2の蛍光帯域の光の強度を与え、かつ、散乱光の強度の第1の境界値よりも小さい散乱光の強度を与え、さらに、第2の境界情報に記録された識別境界における散乱光の強度の第2の境界値よりも大きい散乱光の強度を与える粒子は生物粒子である。また、一組の(x,y)の値の第1及び第2の蛍光帯域の光の強度を与え、かつ、第2の境界情報に記録された識別境界における散乱光の強度の第2の境界値よりも小さい散乱光の強度を与える粒子は非生物粒子である。
図5に示す識別情報保存部353に保存されている識別情報は、例えば、3次元座標系のz座標の第1の範囲と第2の範囲との間の任意の1点の値において、生物と非生物との識別境界を与える多変数関数f(x,y,z)をスライスして取られた、2次元テーブルである。z座標の任意の値とは、例えば、多変数関数f(x,y,z)における散乱光の強度の最大値と、最小値と、の中間値である。
識別情報における2次元テーブルは、例えば、256×256個のセルからなる。また、識別情報におけるx座標及びy座標の範囲は、第1及び第2の境界情報におけるx座標及びy座標の範囲と同じである。識別情報における2次元テーブルは、多変数関数f(x,y,z)で囲まれていた領域の各セルに生物粒子の識別子を記録し、多変数関数f(x,y,z)で囲まれていなかった領域の各セルに非生物粒子の識別子を記録している。
識別情報は、例えば図10に示すような白黒の二値画像であり、多変数関数f(x,y,z)で囲まれていた領域の各セルが、生物粒子の識別子として黒で表されており、多変数関数f(x,y,z)で囲まれていなかった領域の各セルが、非生物粒子の識別子として白で表されている。なお、生物粒子の識別子と、非生物粒子の識別子と、に割り当てられる色は、異なっていれば何色でもよい。
図5に示す情報取得部301は、例えば上記(1)式を用いて、被測定粒子が発した第1の蛍光帯域の光の強度の測定値と、第2の蛍光帯域の光の強度の測定値と、に対応する、図10に示す識別情報の2次元テーブルにおける座標(x,y)のセルを特定する。さらに、情報取得部301は、特定された座標(x,y)のセルにおける二値画像の色のデータを取得する。例えば、特定された座標(x,y)のセルが黒色である場合は、情報取得部301は、識別情報から、生物粒子の識別子として黒を取得する。また、特定された座標(x,y)のセルが白色である場合は、情報取得部301は、識別情報から、非生物粒子の識別子としての白を取得する。
図5に示す情報取得部301は、被測定粒子が発した第1の蛍光帯域の光の強度の測定値と、第2の蛍光帯域の光の強度の測定値と、に対応する、図6に示す第1の境界情報の2次元テーブルにおける座標(x,y)のセルを特定する。さらに、情報取得部301は、特定された座標(x,y)のセルにおける、生物と非生物との識別境界における散乱光の強度の第1の境界値を取得する。
さらに情報取得部301は、被測定粒子が発した第1の蛍光帯域の光の強度の測定値と、第2の蛍光帯域の光の強度の測定値と、に対応する、図8に示す第2の境界情報の2次元テーブルにおける座標(x,y)のセルを特定する。さらに、情報取得部301は、特定された座標(x,y)のセルにおける、生物と非生物との識別境界における散乱光の強度の第2の境界値を取得する。
図5に示す粒子判定部302は、第1及び第2の蛍光帯域の光を発した被測定粒子で生じた散乱光の強度の測定値が、情報取得部301が取得した散乱光の強度の第1の境界値と第2の境界値との間に入っているか否かを判定する。例えば、第1及び第2の境界値が階調値(画素値)で表されている場合、粒子判定部302は、上記(2)式を用いて、散乱光の強度の測定値を階調における階調値(画素値)に変換してから、第1及び第2の境界値と比較する。
生物粒子の識別子が取得され、散乱光の強度の測定値が第1の境界値と第2の境界値との間に入っている場合、粒子判定部302は、被測定粒子が生物粒子であると判定する。また、生物粒子の識別子が取得されたが、散乱光の強度の測定値が第1の境界値と第2の境界値との間に入っていない場合、粒子判定部302は、被測定粒子が非生物粒子であると判定する。さらに、非生物粒子の識別子が取得された場合、粒子判定部302は、被測定粒子が非生物粒子であると判定する。
CPU300には、出力装置401が接続されている。出力装置401は、粒子判定部302による判定結果を出力する。出力装置401としては、ディスプレイ、プリンタ、及び音響装置等が使用可能である。
次に、図11に示すフローチャートを参照して、第1の実施の形態に係る粒子の検出方法を説明する。
ステップS101で、ノズル40から気流を噴出する。また、光源10から気流に向けて検査光を照射する。気流に粒子が含まれていると、検査光を照射された粒子において散乱光が生じる。また、検査光を照射された粒子が、第1及び第2の蛍光帯域の光を発する。散乱光は、散乱光受光素子50で受光される。第1の蛍光帯域の光は、第1の受光素子20Aで受光され、第2の蛍光帯域の光は、第2の受光素子20Bで受光される。
ステップS102で、情報取得部301は、第1の蛍光帯域の光の強度の測定値を、上記(1)式を用いてインデックスに変換する。第1の蛍光帯域の光の強度の測定値を示すインデックスは、2次元テーブルのx座標に該当する。ステップS103で、情報取得部301は、第2の蛍光帯域の光の強度の測定値を、上記(1)式を用いてインデックスに変換する。第2の蛍光帯域の光の強度の測定値を示すインデックスは、2次元テーブルのy座標に該当する。ステップS104で、情報取得部301は、散乱光の強度の測定値を、上記(2)式を用いて階調値に変換する。
ステップS105で、情報取得部301は、識別情報保存部353から識別情報を読み出す。次に、情報取得部301は、第1及び第2の蛍光帯域の光の強度の測定値に対応する座標(x,y)における識別子を、識別情報の2次元テーブルから読み出す。
ステップS106で、情報取得部301は、第1の境界情報保存部351から第1の境界情報を読み出す。次に、情報取得部301は、第1及び第2の蛍光帯域の光の強度の測定値に対応する座標(x,y)における階調値を、散乱光の強度の第1の境界値として、第1の境界情報の2次元テーブルから読み出す。また、情報取得部301は、第2の境界情報保存部351から第2の境界情報を読み出す。次に、情報取得部301は、第1及び第2の蛍光帯域の光の強度の測定値に対応する座標(x,y)における階調値を、散乱光の強度の第2の境界値として、第2の境界情報の2次元テーブルから読み出す。
ステップS107で、粒子判定部302は、情報取得部301が取得した識別子が、生物粒子の識別子であるか、あるいは非生物粒子の識別子であるかを判定する。生物粒子の識別子であると判定された場合、ステップS108に進む。また、非生物粒子の識別子であると判定された場合、ステップS110に進む。
ステップS108で、粒子判定部302は、散乱光の強度の測定値を示す階調値が、散乱光の強度の第1の境界値を示す階調値と、散乱光の強度の第2の境界値を示す階調値と、の間に入っているか否かを判定する。散乱光の強度の測定値が、散乱光の強度の第1の境界値と、散乱光の強度の第2の境界値と、の間に入っている場合、ステップS109に進む。散乱光の強度の測定値が、散乱光の強度の第1の境界値と、散乱光の強度の第2の境界値と、の間に入っていない場合、ステップS110に進む。
生物粒子の識別子が取得され、散乱光の強度の測定値が、散乱光の強度の第1の境界値と、散乱光の強度の第2の境界値と、の間に入っていた場合、ステップS109で、粒子判定部302は、粒子が生物粒子であると判定する。生物粒子の識別子が取得されたが、散乱光の強度の測定値が、散乱光の強度の第1の境界値と、散乱光の強度の第2の境界値と、の間に入っていなかった場合、ステップS110で、粒子判定部302は、粒子が非生物粒子であると判定する。また、非生物粒子の識別子が取得された場合も、ステップS110で、粒子判定部302は、粒子が生物粒子であると判定する。ステップS109及びステップS110において、粒子判定部302は、粒子の分類の判定結果を出力装置401に出力する。
3次元座標系のデータは容量が大きくなる傾向にある。例えば、x方向、y方向、及びz方向のそれぞれに256のインデックスを割り当てると、3次元座標系は、256×256×256個のセルで構成されるテーブルで与えられる。これに対し、第1の実施の形態に係る粒子検出装置においては、第1の境界情報、第2の境界情報、及び識別情報のそれぞれは、2次元座標系であり、例えば256×256個のセルで構成されるテーブルで与えられる。そのため、例えば少なくとも256×256個のセルを3つ用いることにより、3次元座標系よりもデータの容量を抑制することを可能とする。ただし、セルの個数は、これらに限定されない。
(第2の実施の形態)
本発明の第2の実施の形態に係る粒子検出装置は、図12に示すように、光測定器20の劣化情報を記録する劣化情報記録部303と、劣化情報に基づいて、第1の波長を有する第1の光の強度の測定値、第2の波長を有する第2の光の強度の測定値、及び第3の波長を有する第3の光の強度の測定値の少なくとも一つを補正する補正部304と、をさらに備える。
例えば、光測定器20の散乱光受光素子50、第1の受光素子20A、及び第2の受光素子20Bは、経年劣化し、受光感度が低下する場合がある。劣化情報記録部303は、粒子検出装置の工場出荷時からの経過時間、粒子検出装置の稼働時間の合計、あるいは第1の受光素子20A、及び第2の受光素子20Bのそれぞれが光を受光した時間の合計等を、劣化情報として記録し、記憶装置350の劣化情報保存部354に保存する。
補正部304は、劣化情報保存部354から劣化情報を読み出す。例えば、劣化情報が、散乱光受光素子50、第1の受光素子20A、及び第2の受光素子20Bのそれぞれが光を受光した時間の合計を記録している場合、補正部304は、それぞれが受光した合計時間に応じて、第1の蛍光帯域の光の強度の測定値、第2の蛍光帯域の光の強度の測定値、及び散乱光の強度の測定値に係数を乗じて、これらの値を大きくする。
あるいは、補正部304は、劣化情報に基づいて、第1の境界情報、第2の境界情報、及び識別情報を補正してもよい。具体的には、補正部304は、第1の受光素子20Aの受光感度の低下にあわせて、第1の境界情報、第2の境界情報及び識別情報のx座標に係数を乗じて小さくする。あるいは、補正部304は、第2の受光素子20Bの受光感度の低下にあわせて、第1の境界情報、第2の境界情報及び識別情報のy座標に係数を乗じて小さくする。またあるいは、補正部304は、散乱光受光素子50の受光感度の低下にあわせて、第1の境界情報及び第2の境界情報の階調値(画素値)に係数を乗じて小さくする等する。
第2の実施の形態に係る粒子検出装置によれば、光測定器20に劣化が生じても、粒子の精度の高い判別を継続することが可能となる。
(その他の実施の形態)
上記のように本発明を実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす記述及び図面はこの発明を限定するものであると理解するべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかになるはずである。
例えば、実施の形態においては、第1及び第2の光が蛍光帯域の光であり、第3の光が散乱光である例を説明したが、第1ないし第3の光は、波長が異なっていれば、任意である。例えば、第1ないし第3の光が蛍光帯域の光であってもよい。
また、実施の形態においては、第1分類の粒子が生物粒子であり、第2分類の粒子が非生物粒子である例を説明したが、第1分類の粒子と第2分類の粒子の識別境界を示す多変数関数の形状によっては、第1分類の粒子が非生物粒子であり、第2分類の粒子が生物粒子である場合がある。さらには、第1分類の粒子がある種の生物粒子であり、第2分類の粒子が他種の生物粒子であってもよいし、あるいは、第1分類の粒子がある種の非生物粒子であり、第2分類の粒子が他種の非生物粒子であってもよい。粒子の分類の仕方は任意である。
さらに、実施の形態においては、第1及び第2の境界情報、並びに識別情報における2次元テーブルが画像である例を示したが、2次元テーブルのセルのそれぞれに、散乱光の強度の値や、識別子を、文字列で記録してもよい。
このように、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を包含するということを理解すべきである。
10 光源
11 光源駆動電源
12 電源制御装置
20 光測定器
20A 第1の受光素子
20B 第2の受光素子
21A、21B、51 増幅器
22A、22B、52 増幅器電源
23A、23B、53 光強度算出装置
24A、24B、54 光強度記憶装置
30 筐体
40 ノズル
50 散乱光受光素子
102 蛍光強度測定器
105 散乱光測定器
300 中央演算処理装置
301 情報取得部
302 粒子判定部
303 劣化情報記録部
304 補正部
350 記憶装置
351 第1の境界情報保存部
352 第2の境界情報保存部
353 識別情報保存部
354 劣化情報保存部
401 出力装置

Claims (26)

  1. 被測定粒子で生じた、それぞれ波長が異なる第1、第2及び第3の光の強度の測定値を測定する光測定器と、
    前記第1及び第2の光の強度の2次元テーブルに、第1分類の粒子と第2分類の粒子の識別境界における前記第3の光の強度を、第1の範囲において記録した第1の境界情報を保存する第1の境界情報保存部と、
    前記2次元テーブルに、前記識別境界における前記第3の光の強度を、第2の範囲において記録した第2の境界情報を保存する第2の境界情報保存部と、
    前記2次元テーブルの前記識別境界で囲まれるセルに前記第1分類の粒子の識別子を記録し、前記識別境界で囲まれないセルに前記第2分類の粒子の識別子を記録した識別情報を保存する識別情報保存部と、
    前記第1及び第2の光の強度の測定値に基づいて、前記識別情報から、前記第1又は第2分類の粒子の識別子を取得し、前記第1及び第2の境界情報から、前記識別境界における前記第3の光の強度の第1及び第2の境界値を取得する情報取得部と、
    前記第1分類の粒子の識別子が取得され、前記第3の光の強度の測定値が前記第1及び第2の境界値の間に入っている場合、前記被測定粒子が前記第1分類の粒子であり、前記第1分類の粒子の識別子が取得され、前記第3の光の強度の測定値が前記第1及び第2の境界値の間に入っていない、又は前記第2分類の粒子の識別子が取得された場合、前記被測定粒子が前記第2分類の粒子であると判定する粒子判定部と、
    を備える、粒子検出装置。
  2. 前記第1及び第2の光が蛍光帯域の光であり、前記第3の光が散乱光である、請求項1に記載の粒子検出装置。
  3. 前記第1分類の粒子が生物粒子であり、前記第2分類の粒子が非生物粒子である、請求項1又は2に記載の粒子検出装置。
  4. 前記第1分類の粒子が非生物粒子であり、前記第2分類の粒子が生物粒子である、請求項1又は2に記載の粒子検出装置。
  5. 前記第1及び第2の境界情報が、前記第3の光の強度を階調で表した画像である、請求項1ないし4のいずれか1項に記載の粒子検出装置。
  6. 前記第1及び第2の境界情報がグレースケール画像である、請求項5に記載の粒子検出装置。
  7. 前記第3の光の強度の測定値を、前記階調における階調値に変換する、請求項5又は6に記載の粒子検出装置。
  8. 前記第1の境界情報の画像が、前記識別境界を示す多変数関数を含む前記第1ないし第3の光の強度の3次元座標系を、前記第3の光の強度を示す座標の上方から観察した像に相当し、前記第2の境界情報の画像が、前記多変数関数を含む前記3次元座標系を、前記第3の光の強度を示す座標の下方から観察した像に相当する、請求項5ないし7のいずれか1項に記載の粒子検出装置。
  9. 前記識別情報が、前記識別境界を示す多変数関数を含む前記第1ないし第3の光の強度の3次元座標系を、前記第3の光の強度を示す座標の任意の値においてスライスした像に相当する、請求項1ないし8のいずれか1項に記載の粒子検出装置。
  10. 前記識別情報が、前記識別境界を示す多変数関数を含む前記第1ないし第3の光の強度の3次元座標系を、前記多変数関数における前記第3の光の強度の最大値と、最小値と、の中間値においてスライスした像に相当する、請求項1ないし8のいずれか1項に記載の粒子検出装置。
  11. 前記識別情報が二値画像である、請求項1ないし10のいずれか1項に記載の粒子検出装置。
  12. 前記光測定器の劣化情報を記録する劣化情報記録部と、
    前記劣化情報に基づいて、前記第1の光の強度、前記第2の光の強度、及び前記第3の光の強度の測定値の少なくとも一つを補正する補正部と、
    を更に備える、請求項1ないし11のいずれか1項に記載の粒子検出装置。
  13. 前記光測定器の劣化情報を記録する劣化情報記録部と、
    前記劣化情報に基づいて、前記第1の境界情報及び前記第2の境界情報を補正する補正部と、
    を更に備える、請求項1ないし11のいずれか1項に記載の粒子検出装置。
  14. 被測定粒子で生じた、それぞれ波長が異なる第1、第2及び第3の光の強度の測定値を測定することと、
    前記第1及び第2の光の強度の2次元テーブルに、第1分類の粒子と第2分類の粒子の識別境界における前記第3の光の強度を、第1の範囲において記録した第1の境界情報を用意することと、
    前記2次元テーブルに、前記識別境界における前記第3の光の強度を、第2の範囲において記録した第2の境界情報を用意することと、
    前記2次元テーブルの前記識別境界で囲まれるセルに前記第1分類の粒子の識別子を記録し、前記識別境界で囲まれないセルに前記第2分類の粒子の識別子を記録した識別情報を用意することと、
    前記第1及び第2の光の強度の測定値に基づいて、前記識別情報から、前記第1又は第2分類の粒子の識別子を取得し、前記第1及び第2の境界情報から、前記識別境界における前記第3の光の強度の第1及び第2の境界値を取得することと、
    前記第1分類の粒子の識別子が取得され、前記第3の光の強度の測定値が前記第1及び第2の境界値の間に入っている場合、前記被測定粒子が前記第1分類の粒子であり、前記第1分類の粒子の識別子が取得され、前記第3の光の強度の測定値が前記第1及び第2の境界値の間に入っていない、又は前記第2分類の粒子の識別子が取得された場合、前記被測定粒子が前記第2分類の粒子であると判定することと、
    を含む、粒子の検出方法。
  15. 前記第1及び第2の光が蛍光帯域の光であり、前記第3の光が散乱光である、請求項14に記載の粒子の検出方法。
  16. 前記第1分類の粒子が生物粒子であり、前記第2分類の粒子が非生物粒子である、請求項14又は15に記載の粒子の検出方法。
  17. 前記第1分類の粒子が非生物粒子であり、前記第2分類の粒子が生物粒子である、請求項14又は15に記載の粒子の検出方法。
  18. 前記第1及び第2の境界情報が、前記第3の光の強度を階調で表した画像である、請求項14ないし17のいずれか1項に記載の粒子の検出方法。
  19. 前記第1及び第2の境界情報がグレースケール画像である、請求項18に記載の粒子の検出方法。
  20. 前記第3の光の強度の測定値を、前記階調における階調値に変換することを更に含む、請求項18又は19に記載の粒子の検出方法。
  21. 前記第1の境界情報の画像が、前記識別境界を示す多変数関数を含む前記第1ないし第3の光の強度の3次元座標系を、前記第3の光の強度を示す座標の上方から観察した像に相当し、前記第2の境界情報の画像が、前記多変数関数を含む前記3次元座標系を、前記第3の光の強度を示す座標の下方から観察した像に相当する、請求項18ないし20のいずれか1項に記載の粒子の検出方法。
  22. 前記識別情報が、前記識別境界を示す多変数関数を含む前記第1ないし第3の光の強度の3次元座標系を、前記第3の光の強度を示す座標の任意の値においてスライスした像に相当する、請求項14ないし21のいずれか1項に記載の粒子の検出方法。
  23. 前記識別情報が、前記識別境界を示す多変数関数を含む前記第1ないし第3の光の強度の3次元座標系を、前記多変数関数における前記第3の光の強度の最大値と、最小値と、の中間値においてスライスした像に相当する、請求項14ないし21のいずれか1項に記載の粒子の検出方法。
  24. 前記識別情報が二値画像である、請求項14ないし23のいずれか1項に記載の粒子の検出方法。
  25. 前記第1、第2及び第3の光の強度の測定値を測定する光測定器の劣化情報を記録することと、
    前記劣化情報に基づいて、前記第1の光の強度、前記第2の光の強度、及び前記第3の光の強度の測定値の少なくとも一つを補正することと、
    を更に含む、請求項14ないし24のいずれか1項に記載の粒子の検出方法。
  26. 前記第1、第2及び第3の光の強度の測定値を測定する光測定器の劣化情報を記録することと、
    前記劣化情報に基づいて、前記第1の境界情報及び前記第2の境界情報を補正することと、
    を更に含む、請求項14ないし24のいずれか1項に記載の粒子の検出方法。
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