JP2016004896A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】電源パッドから複数のデータ出力バッファまでの電源供給パスの抵抗差を縮小する。
【解決手段】互いに隣接して配置されるデータ入出力パッドDQ2,DQ3に其々接続され、互いに隣接して配置されるプルダウンユニットN2,N3と、電源パッドVSSQとプルダウンユニットN2,N3とを接続する電源供給パスとを備える。第1の電源供給パスは、電源パッドVSSQと同じ配線層M4に延在する電源配線SL4と、第3の配線層M3に延在する電源配線SL3と、電源配線SL4とSL3を接続するコンタクトプラグTHSとを含む。コンタクトプラグTHSは、プルダウンユニットN2,N3間に配置されている。本発明によれば、電源パッドから複数のデータ出力バッファまでの電源供給パスの抵抗差が縮小されることから、複数のデータ出力バッファ間における特性差を抑制することが可能となる。
【選択図】図9
【解決手段】互いに隣接して配置されるデータ入出力パッドDQ2,DQ3に其々接続され、互いに隣接して配置されるプルダウンユニットN2,N3と、電源パッドVSSQとプルダウンユニットN2,N3とを接続する電源供給パスとを備える。第1の電源供給パスは、電源パッドVSSQと同じ配線層M4に延在する電源配線SL4と、第3の配線層M3に延在する電源配線SL3と、電源配線SL4とSL3を接続するコンタクトプラグTHSとを含む。コンタクトプラグTHSは、プルダウンユニットN2,N3間に配置されている。本発明によれば、電源パッドから複数のデータ出力バッファまでの電源供給パスの抵抗差が縮小されることから、複数のデータ出力バッファ間における特性差を抑制することが可能となる。
【選択図】図9
Description
本発明は半導体装置に関し、特に、1つの電源パッドから複数のデータ出力バッファに電源供給される半導体装置に関する。
DRAM(Dynamic Random Access Memory)などの半導体装置は、チップの中央又はエッジに沿って一方向に配列された複数のパッド電極を備えていることが多い。例えば、特許文献1には、チップの中央において複数のパッド電極が一方向に配列された半導体装置が記載されている。これら複数のパッド電極には、電源電位が供給される電源パッドや、データの入出力を行うデータ入出力パッドなどが含まれる。データ入出力パッドには、データの出力を行うデータ出力バッファが接続される。
データ出力バッファは、データを外部に出力するための大きな駆動能力を備えているため、動作時においては他の内部回路に比べて大きな電流が流れる。このため、電源パッドからデータ出力バッファまでの電源供給パスは、より低抵抗であることが求められるだけでなく、複数の電流供給パス間における抵抗差をより小さくすることが望まれる。
本発明による半導体装置は、第1の電源パッドと、互いに隣接して配置される第1及び第2のデータ入出力パッドと、前記第1及び第2のデータ入出力パッドに其々接続され、互いに隣接して配置される第1及び第2のデータ出力バッファと、前記第1の電源パッドと前記第1及び第2のデータ出力バッファとを接続する第1の電源供給パスと、を備え、前記第1の電源供給パスは、前記第1の電源パッドと同じ第1の層に延在する第1の配線と、前記第1の層の下層である第2の層に延在する第2の配線と、前記第1及び第2の配線を接続する第1のコンタクトプラグと、を含み、前記第1のコンタクトプラグは、前記第1及び第2のデータ出力バッファの間に配置されていることを特徴とする。
本発明によれば、電源パッドから複数のデータ出力バッファまでの電源供給パスの抵抗差が縮小されることから、複数のデータ出力バッファ間における特性差を抑制することが可能となる。
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態について詳細に説明する。
図1は、本発明の好ましい実施形態による半導体装置10を備えた半導体システム1の構成を示すブロック図である。
図1に示す半導体システム1は、複数の半導体装置10及びこれを制御するコントローラ2を備えている。特に限定されるものではないが、各半導体装置10は単一の半導体チップに集積されたDRAMである。各半導体装置10は、互いに別個のパッド電極が割り当てられた2つのチャネルCHA,CHBを備えている。
各半導体装置10のチャネルCHAから読み出されたリードデータDQAは、データ入出力パッド11Aを介して出力される。データ入出力パッド11Aはデータバス3Aに接続されており、これにより、チャネルCHAから読み出されたリードデータDQAがコントローラ2に転送される。コントローラ2はチャネルCHA用の入力バッファ4Aを備えており、入力バッファ4Aを介してリードデータDQAの取り込みを行う。逆に、チャネルCHAに書き込むべきライトデータDQAは、コントローラ2に含まれる出力バッファ5Aによってデータバス3Aに転送され、半導体装置10のデータ入出力パッド11Aに入力される。
各半導体装置10のチャネルCHBから読み出されたリードデータDQBは、データ入出力パッド11Bを介して出力される。データ入出力パッド11Bはデータバス3Bに接続されており、これにより、チャネルCHBから読み出されたリードデータDQBがコントローラ2に転送される。コントローラ2はチャネルCHB用の入力バッファ4Bを備えており、入力バッファ4Bを介してリードデータDQBの取り込みを行う。逆に、チャネルCHBに書き込むべきライトデータDQBは、コントローラ2に含まれる出力バッファ5Bによってデータバス3Bに転送され、半導体装置10のデータ入出力パッド11Bに入力される。
尚、本発明における半導体装置がデータの入力(ライト動作)の可能な半導体装置である必要はなく、ROM系の半導体メモリデバイスのように、データの出力(リード動作)のみが可能であっても構わない。また、各チャネルにおける上記データ入出力パッド、データバス、入出力バッファによって定義されるデータ入出力経路は其々1つでなく、複数あるものも含まれる。
半導体装置10には、キャリブレーション端子ZQが設けられている。キャリブレーション端子ZQは、各半導体装置10に1つだけ設けられており、したがってチャネルCHA,CHBで共有される。キャリブレーション端子ZQは、メモリモジュール基板あるいはマザーボードに設けられたリファレンス抵抗素子RZQを介して電源電位VDDQに接続されている。リファレンス抵抗素子RZQは、キャリブレーション動作において参照される抵抗である。但し、本発明においてキャリブレーション端子ZQが1つだけであることは必須でなく、チャネル毎に設けられていても良い。
図2は、半導体装置10のレイアウトを説明するための模式的な平面図である。
図2に示すように、半導体装置10は平面形状が矩形である半導体基板6に集積されており、半導体基板6をY方向に区画する境界線Lを境界としてチャネルCHA,CHBが配置されている。また、半導体基板6は、Y方向における一方のエッジEG1に沿って設けられた周辺回路領域7Aと、Y方向における他方のエッジEG2に沿って設けられた周辺回路領域7Bと、これらに挟まれるように設けられたメモリセルアレイ領域ARYを有している。
そして、チャネルCHAに属するパッド列8A及び周辺回路9Aは、周辺回路領域7Aに配置され、チャネルCHBに属するパッド列8B及び周辺回路9Bは、周辺回路領域7Bに配置される。また、チャネルCHA,CHBに含まれるメモリセルアレイは、メモリセルアレイ領域ARYに配置される。尚、パッド列8Aには、キャリブレーション端子ZQが含まれる。キャリブレーション端子ZQは、チャネルCHA,CHBに共有される。
図3は、パッド列8A又は8Bの一部を拡大して示す図である。尚、特に区別する必要がない場合には、パッド列8A及び8Bを単に「パッド列8」と総称する。
パッド列8は、X方向に等間隔に配列された複数のパッド電極によって構成されており、図3には、データ入出力パッド11、電源パッド12,13、ストローブパッド14,15及びデータマスクパッド16が示されている。データ入出力パッド11は、図1に示すデータ入出力パッド11A又は11Bに対応するパッド電極であり、図3にはデータDQ0〜DQ7にそれぞれ対応する8つのデータ入出力パッド11が示されている。
電源パッド12,13は、それぞれ電源電位VDDQ及びVSSQが供給されるパッド電極である。本実施形態では、電源パッド12と電源パッド13との間に2つのデータ入出力パッド11が挟まれる構成を有している。ストローブパッド14,15は、それぞれデータストローブ信号DQS,DQSBに対応するパッド電極である。また、データマスクパッド16は、データマスク信号DMに対応するパッド電極である。
図3に示すように、データ入出力パッド11には、それぞれデータ出力バッファOBの出力ノード及びデータ入力バッファIBの入力ノードが接続されている。データ出力バッファOBの入力ノード及びデータ入力バッファIBの出力ノードは、図示しない内部回路に接続される。これにより、データ出力バッファOBによって出力されるデータDQ0〜DQ7は、それぞれ対応するデータ入出力パッド11を介して外部に出力される。また、外部からデータ入出力パッド11に入力されるデータDQ0〜DQ7は、データ入力バッファIBを介して内部回路に供給される。尚、ストローブパッド14,15及びデータマスクパッド16についても、同様のデータ出力バッファOB及びデータ入力バッファIBが接続されている。
図4は、データ出力バッファOB及びその周辺の回路を示す回路図である。
図4に示すように、データ出力バッファOBは、7つの出力ユニットUが1つのデータ入出力パッド11に並列接続された構成を有している。このうち、1つの出力ユニットUからなる出力ユニット21の前段には論理回路24及び選択回路27が設けられ、2つの出力ユニットUからなる出力ユニット22の前段には論理回路25及び選択回路28が設けられ、4つの出力ユニットUからなる出力ユニット23の前段には論理回路26及び選択回路29が設けられている。
選択回路27〜29には、内部データDATAが共通に入力される。内部データDATAは、パラレルな内部データDATAO,DATAEをラッチ回路LT1〜LT3によってシリアルに変換することによって得られる。ラッチ回路LT1〜LT3は、位相制御された内部クロック信号LCLKに同期して動作する。
選択回路27〜29は、それぞれ出力ユニット21〜23を活性化させるか否かを選択するための回路であり、その動作は選択信号ONA,ONB,ODTA,ODTB,ODTCによって制御される。ここで、選択信号ONA,ONBはそれぞれ出力ユニット21,22の活性化の有無を指定することでデータ出力バッファOB全体としてのインピーダンスを調整するために用いられる。一方、選択信号ODTA,ODTB,ODTCはデータ出力バッファOBを終端抵抗として動作させる終端動作時に使用される信号であり、それぞれ出力ユニット21〜23の活性化の有無を指定するために用いられる。
論理回路24〜26は、それぞれ出力ユニット21〜23に含まれる出力ユニットUのインピーダンスを調整する回路である。出力ユニットUのインピーダンスは、プルアップコードPCODE及びプルダウンコードNCODEによって指定される。本例では、プルアップコードPCODEが7ビットの信号PCODE0〜PCODE6からなり、プルダウンコードNCODEが7ビットの信号NCODE0〜NCODE6からなる。
図5は、出力ユニットUの回路図である。
図5に示すように、出力ユニットUはプルアップユニットPU及びプルダウンユニットPDからなる。プルアップユニットPUは、並列接続された7つのNチャンネル型MOSトランジスタTNU0〜TNU6からなるトランジスタ部TRUと、高抵抗配線部RWによって構成されている。トランジスタTNU0〜TNU6のドレインは、電源電位VDDQを供給する電源配線VLに共通に接続され、トランジスタTNU0〜TNU6のソースは、高抵抗配線部RWを介してデータ入出力パッド11に接続されている。高抵抗配線部RWはタングステン配線などからなる例えば40Ω程度の抵抗である。
トランジスタTNU0〜TNU6のゲート電極には、プルアップコードPCODEを構成するビットPCODE0〜PCODE6にそれぞれ対応する各ビットPOCODE0〜POCODE6がそれぞれ供給される。これにより、7つのトランジスタTNU0〜TNU6は、POCODEの値に基づいて個別にオン/オフ制御されることになる。尚、該POCODEはプルアップコードPCODE及び内部データDATAによる出力信号である。
プルダウンユニットPDは、並列接続された7つのNチャンネル型MOSトランジスタTND0〜TND6からなるトランジスタ部TRDと、高抵抗配線部RWによって構成されている。トランジスタTND0〜TND6のソースは、電源電位VSSQを供給する電源配線SLに共通に接続され、トランジスタTND0〜TND6のドレインは、高抵抗配線部RWを介してデータ入出力パッド11に接続されている。高抵抗配線部RWはタングステン配線などからなる例えば40Ω程度の抵抗である。
トランジスタTND0〜TND6のゲート電極には、プルダウンコードNCODEを構成するビットNCODE0〜NCODE6にそれぞれに対応する各ビットNOCODE0〜NOCODE6がそれぞれ供給される。これにより、7つのトランジスタTND0〜TND6は、NOCODEの値に基づいて個別にオン/オフ制御されることになる。尚、該NOCODEはプルダウンコードNCODE及び内部データDATAによる出力信号である。
このような構成を有する出力ユニットUは、1つのデータ入出力パッド11ごとに7つ設けられる。そして、7つの出力ユニットUに含まれるプルアップユニットPUは、プルアップ回路領域にまとめてレイアウトされ、電源配線VLを介して電源パッド12に接続される。以後、7つの出力ユニットUに含まれるプルアップユニットPUを「プルアップユニットP」と表記する。また、7つの出力ユニットUに含まれるプルダウンユニットPDは、プルダウン回路領域にまとめてレイアウトされ、電源配線SLを介して電源パッド13に接続される。以後、7つの出力ユニットUに含まれるプルダウンユニットPDを「プルダウンユニットN」と表記する。尚、出力ユニットUの数が7つであるのは一例であり、他の数、例えば15個の出力ユニットUを用いても構わない。
図6は、本発明を完成する課程で検討したプロトタイプによる電源配線VL,SLのレイアウト図である。
図6には、データDQ0〜DQ5にそれぞれ対応する6つのデータ入出力パッド11及びこれらに隣接して設けられた電源パッド12,13が示されている。また、図6においては、データDQ0〜DQ5に対応するプルアップユニットPをそれぞれP0〜P5と表記し、データDQ0〜DQ5に対応するプルダウンユニットNをそれぞれN0〜N5と表記している。
図6に示すプロトタイプでは、プルアップユニットP0〜P5の上方にはX方向に延在する電源配線VL3が設けられ、プルダウンユニットN0〜N5の上方にはX方向に延在する電源配線SL3が設けられる。そして、電源パッド12と電源配線VL3は、Y方向に延在する電源配線VL2を介して接続され、電源パッド13と電源配線SL3は、Y方向に延在する電源配線SL2を介して接続される。電源配線VL2と電源配線VL3は互いに異なる配線層に形成されており、両者が重なる部分においてコンタクトプラグTHを介して接続されている。同様に、電源配線SL2と電源配線SL3は互いに異なる配線層に形成されており、両者が重なる部分においてコンタクトプラグTHを介して接続されている。
そして、プルアップユニットP0〜P5に対する電源電位VDDQの供給は、その上方に位置する電源配線VL3から図示しないコンタクトプラグを介して行われる。同様に、プルダウンユニットN0〜N5に対する電源電位VSSQの供給は、その上方に位置する電源配線SL3から図示しないコンタクトプラグを介して行われる。
図7は電源配線VL3,SL3によって構成される電源供給パスの配線抵抗について説明するための図であり、(a)はデータDQ2に対応する出力バッファOBの配線抵抗を示し、(b)はデータDQ3に対応する出力バッファOBの配線抵抗を示している。
図7(a)に示すように、データDQ2に対応する出力バッファOBに着目すると、プルアップユニットP2に電源電位VDDQを供給する電源配線VL3の抵抗は、抵抗2Rと抵抗4Rの合成抵抗となる。これは、図6に示したとおり、プルアップユニットP2とその左右に位置するコンタクトプラグTHとの距離が互いに異なるからである。ここで、抵抗Rとは、隣接するプルアップユニットP又はプルダウンユニットN間の距離に対応する抵抗値である。
同様に、プルダウンユニットN2に電源電位VSSQを供給する電源配線SL3の抵抗は、抵抗Rと抵抗5Rの合成抵抗となる。これも、図6に示したとおり、プルダウンユニットN2とその左右に位置するコンタクトプラグTHとの距離が互いに異なるからである。
その結果、データDQ2に対応する出力バッファOBにおいては、電源配線VL3の合成抵抗はR×4/3となり、電源配線SL3の合成抵抗はR×5/6となる。
これに対し、図7(b)に示すように、データDQ3に対応する出力バッファOBに着目すると、プルアップユニットP3に電源電位VDDQを供給する電源配線VL3の抵抗は、抵抗Rと抵抗5Rの合成抵抗となる。同様に、プルダウンユニットN3に電源電位VSSQを供給する電源配線SL3の抵抗は、抵抗2Rと抵抗4Rの合成抵抗となる。
その結果、プルアップユニットP3においては、電源配線VL3の合成抵抗がR×5/6となり、プルアップユニットP2における抵抗値と相違する。また、プルダウンユニットN3においては、電源配線SL3の合成抵抗がR×4/3となり、プルダウンユニットN2における抵抗値と相違する。
図8は、プロトタイプによるレイアウトを採用した場合における出力バッファOBのインピーダンスを示すグラフである。
図8において、縦軸はインピーダンスであり、横軸はデータDQ0〜DQ7及びデータストローブ信号DQS,DQSBに対応する出力バッファOBを条件ごとに表示したものである。横軸に表記された「0.2×VDDQ」、「0.5×VDDQ」及び「0.8×VDDQ」はリファレンスレベルを示し、「1.38V」及び「1.62V」は電源電位VDDQのレベルを示している。また、線Aはスペック上のインピーダンス上限値を示し、線Bはスペック上のインピーダンス下限値を示している。
図8に示すように、プロトタイプによるレイアウトでは、どの条件下においても隣接する出力バッファOBのインピーダンスが相違している。具体的には、偶数番目のデータDQ0,DQ2,DQ4,DQ6に対応する出力バッファOBのインピーダンスが高く、奇数番目のデータDQ1,DQ3,DQ5,DQ7に対応する出力バッファOBのインピーダンスが低くなっており、このため、グラフ上の値がジグザグとなっている。
このような出力バッファOBごとのインピーダンスのばらつきは、インピーダンスマージンを減少させる原因となるため、できる限りフラットであることが望まれる。以下に説明するいくつかの実施形態によるレイアウトでは、このようなインピーダンスのばらつきが抑制され、よりフラットな特性を得ることが可能となる。
図9は、本発明の第1の実施形態による電源配線VL,SLのレイアウト図である。また、図10は、図9に示すC−C'線に沿った断面図である。
図9には、データDQ0〜DQ5にそれぞれ対応する6つのデータ入出力パッド11及びこれらに隣接して設けられた電源パッド12,13が示されており、図6における表記と同様、データDQ0〜DQ5に対応するプルアップユニットPをそれぞれP0〜P5と表記し、データDQ0〜DQ5に対応するプルダウンユニットNをそれぞれN0〜N5と表記している。
図9に示すように、第1の実施形態によるレイアウトでは、プルアップユニットP0〜P5の上方にはX方向に延在する電源配線VL3が設けられ、プルダウンユニットN0〜N5の上方にはX方向に延在する電源配線SL3が設けられる。そして、電源パッド12と電源配線VL3は、電源配線VL4を介して接続され、電源パッド13と電源配線SL4は、電源配線SL4を介して接続される。図10に示すように、電源配線VL4,SL4は第4の配線層M4に形成された配線であり、電源配線VL3,SL3は第3の配線層M3に形成された配線である。
第4の配線層M4は最上層に位置する配線層であり、データ入出力パッド11や電源パッド12,13についても第4の配線層M4が用いられる。したがって、電源パッド12に供給された電源電位VDDQは、コンタクトプラグTHを介することなく、そのまま第4の配線層M4に形成された電源配線VL4に供給される。同様に、電源パッド13に供給された電源電位VSSQは、コンタクトプラグTHを介することなく、そのまま第4の配線層M4に形成された電源配線SL4に供給される。
そして、電源配線VL4と電源配線VL3は、複数のコンタクトプラグTHVを介して接続される。コンタクトプラグTHVは、電源配線VL4のX方向における端部であって、隣接する2つのデータ入出力パッド11に対応する2つのプルアップユニットP(例えば、P2,P3)間に配置される。したがって、電源配線VL3のうち、コンタクトプラグTHVと一方のプルアップユニットP(例えばP2)とを接続する部分の距離は、コンタクトプラグTHVと他方のプルアップユニットP(例えばP3)とを接続する部分の距離と等しい。
同様に、電源配線SL4と電源配線SL3は、複数のコンタクトプラグTHSを介して接続される。コンタクトプラグTHSは、電源配線SL4のX方向における端部であって、隣接する2つのデータ入出力パッド11に対応する2つのプルダウンユニットN(例えば、N2,N3)間に配置される。したがって、電源配線SL3のうち、コンタクトプラグTHSと一方のプルダウンユニットN(例えばN2)とを接続する部分の距離は、コンタクトプラグTHSと他方のプルダウンユニットN(例えばN3)とを接続する部分の距離と等しい。ここで、隣接する2つのデータ入出力パッド11とは、電源パッド12,13に挟まれた2つのデータ入出力パッド11を意味する。
図9に示すように、コンタクトプラグTHVとコンタクトプラグTHSは、Y方向に配列される。そして、隣接する電源配線VL4と電源配線SL4は、第4の配線層M4に設けられたクランク状のスリットを介して分離される。かかるスリットは、電源配線VL3の上部においては平面視でプルアップユニットP2とコンタクトプラグTHVとの間に設けられ、電源配線SL3の上部においては平面視でプルダウンユニットN3とコンタクトプラグTHSとの間に設けられ、さらに、コンタクトプラグTHVとコンタクトプラグTHSとの間に設けられる。このように、コンタクトプラグTHVから見ればX方向における一方側(左側)で電源配線VL4と電源配線SL4が分離され、コンタクトプラグTHSから見ればX方向における他方側(右側)で電源配線VL4と電源配線SL4が分離される。
また、本実施形態では、全てのプルアップユニットP及びプルダウンユニットNが少なくとも部分的に電源配線VL4又はSL4で覆われている。例えば、プルアップユニットP3は電源配線VL4によって覆われ、プルダウンユニットN2は電源配線SL4によって覆われている。プルダウンユニットN3についても部分的に電源配線VL4によって覆われ、プルアップユニットP2についても部分的に電源配線SL4によって覆われている。
図10に示すように、第3の配線層M3に位置する電源配線SL3は、コンタクトプラグTH3を介して第2の配線層M2に位置する電源配線SL2に接続される。さらに、第2の配線層M2に位置する電源配線SL2は、コンタクトプラグTH2を介して第1の配線層M1に位置する電源配線SL1に接続される。そして、第1の配線層M1に位置する電源配線SL1は、コンタクトプラグTH1を介して、プルダウンユニットNを構成するトランジスタTNDのソースSに接続される。プルダウンユニットNを構成するトランジスタのドレインDは、コンタクトプラグTH1、信号配線SIG1、コンタクトプラグTH2及び信号配線SIG2などを介して、対応するデータ入出力パッド11に接続される。トランジスタのゲート電極Gには、プルダウンコードNCODEの対応するビットが入力される。
図示しないが、プルアップユニットPを構成するトランジスタTNUについても、同様の構成を有している。
以上の構成により、例えば、データDQ2,DQ3に対応する出力バッファOBに着目すると、プルアップユニットP2,P3とも、これらの間に位置するコンタクトプラグTHVから電源電位VDDQが供給されるとともに、プルアップユニットP0,P1間に位置するコンタクトプラグTHVからも電源電位VDDQが供給され、さらに、プルアップユニットP4,P5間に位置するコンタクトプラグTHVからも電源電位VDDQが供給される。同様に、プルダウンユニットN2,N3とも、これらの間に位置するコンタクトプラグTHSから電源電位VSSQが供給されるとともに、プルアップユニットN4,N5間に位置するコンタクトプラグTHSからも電源電位VSSQが供給され、さらに、プルダウンユニットN0,N1間に位置するコンタクトプラグTHSからも電源電位VSSQが供給される。
図11は、電源配線VL3,SL3によって構成される電源供給パスの配線抵抗について説明するための図であり、データDQ2,DQ3に対応する出力バッファOBに関する配線抵抗を示している。
図11に示すように、本実施形態においては、プルアップユニットP2,P3に電源電位VDDQを供給する電源配線VL3の抵抗は、抵抗0.5R、抵抗2.5R及び抵抗3.5Rの並列抵抗となる。これは、図9に示したとおり、プルアップユニットP2,P3とも、プルアップユニットPの配列ピッチの0.5ピッチ分離れた位置にコンタクトプラグTHVが設けられるとともに、2.5ピッチ分離れた位置にコンタクトプラグTHVが設けられ、さらに、3.5ピッチ分離れた位置にコンタクトプラグTHVが設けられるからである。
同様に、プルダウンユニットN2,N3に電源電位VSSQを供給する電源配線SL3の抵抗についても、抵抗0.5R、抵抗2.5R及び抵抗3.5Rの並列抵抗となる。これは、図9に示したとおり、プルダウンユニットN2,N3とも、プルダウンユニットNの配列ピッチの0.5ピッチ分離れた位置にコンタクトプラグTHSが設けられるとともに、2.5ピッチ分離れた位置にコンタクトプラグTHSが設けられ、さらに、3.5ピッチ分離れた位置にコンタクトプラグTHSが設けられるからである。
このように、本実施形態においては、隣接する2つのプルアップユニットPに関して電源配線VL3によって構成される電源供給パスの抵抗がほぼ一致し、且つ、隣接する2つのプルダウンユニットNに関して電源配線SL3によって構成される電源供給パスの抵抗がほぼ一致する。これにより、プロトタイプによるレイアウトを採用した場合と比べて、よりフラットな特性を得ることが可能となる。
しかも、本実施形態では、プルアップユニットPに接続される電源配線VL3の抵抗値と、プルダウンユニットNに接続される電源配線SL3の抵抗値もほぼ一致する。さらに、実際の合成抵抗の値についても、プロトタイプによるレイアウトに比べてより低い抵抗値をえることが可能となる。
尚、図9に示すレイアウトでは、電源配線SL3の上部を広く覆うように電源配線VL4のX方向の幅が拡大され、同様に、電源配線VL3の上部を広く覆うように電源配線SL4のX方向の幅が拡大されているが、この点は必須でなく、図12に示すように当該領域のX方向における幅を縮小或いは削除しても構わない。しかしながら、図9に示すレイアウトのように、電源配線VL4,SL4に上述した拡大部分を設けることにより、電源抵抗がより低抵抗化されるとともに、電源容量を増大させることが可能となる。
図13は、本発明の第2の実施形態による電源配線VL,SLのレイアウト図である。
図13に示すように、第2の実施形態によるレイアウトは、電源配線VL3,SL3がX方向に分断されている点において、図9に示した第1の実施形態と相違している。例えば、プルアップユニットP2,P3に接続された電源配線VL3は、第3の配線層M3において他の配線と接続されることなく、コンタクトプラグTHVを介して電源配線VL4に接続されている。同様に、プルダウンユニットN2,N3に接続された電源配線SL3は、第3の配線層M3において他の配線と接続されることなく、コンタクトプラグTHSを介して電源配線SL4に接続されている。
そして、X方向に分断された電源配線VL3,SL3の間には、第3の配線層M3においてパッド配線VLP又はSLPが配置され、コンタクトプラグTHV又はTHSを介して電源配線VL4又はSL4に接続されている。その他の点は、第1の実施形態と同一であることから、同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
このように、本実施形態においては、対を成す2つのプルアップユニットP(例えばP2,P3)に専用の電源配線VL3が用いられ、対を成す2つのプルダウンユニットN(例えばN2,N3)に専用の電源配線SL3が用いられる。このため、全てのプルアップユニットPにおける電源配線VL3の抵抗値が一致し、且つ、全てのプルダウンユニットNにおける電源配線SL3の抵抗値が一致する。
図14は、電源配線VL3,SL3によって構成される電源供給パスの配線抵抗について説明するための図であり、全てのデータDQ0〜DQ7に対応する出力バッファOBに関する配線抵抗を示している。
図14に示すように、本実施形態においては、プルアップユニットPに電源電位VDDQを供給する電源配線VL3の抵抗はいずれも抵抗0.5Rとなり、プルダウンユニットNに電源電位VSSQを供給する電源配線SL3の抵抗はいずれも抵抗0.5Rとなる。これにより、データDQ0〜DQ7に対応する出力バッファOBが全て同一条件となることから、よりフラットな特性を得ることが可能となる。
尚、本実施形態において、パッド配線VLP又はSLPを設けることは必須でないが、パッド配線VLP又はSLPを設ければ電源抵抗をより低抵抗化することが可能となる。
図15は、本発明の第3の実施形態による電源配線VL,SLのレイアウト図である。
図15に示すように、第3の実施形態によるレイアウトは、第2の配線層M2に設けられた電源配線VL2を介して電源パッド12と電源配線VL4が接続され、第2の配線層M2に設けられた電源配線SL2を介して電源パッド13と電源配線SL4が接続されている。これに伴い、パッド配線VLP,SLPも削除されている。その他の点は、第2の実施形態と同一であることから、同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
本実施形態においても、第2の実施形態と同様、全てのプルアップユニットPにおける電源配線VL3の抵抗値が一致し、且つ、全てのプルダウンユニットNにおける電源配線SL3の抵抗値が一致する。第3の実施形態によるレイアウトは、電源パッド12,13から第4の配線層M4を用いて電源配線を直接引き出すことができない場合に有効である。
図16は、本発明の第4の実施形態による電源配線VL,SLのレイアウト図である。
図16に示すように、第4の実施形態によるレイアウトでは、プルアップユニットPがデータ入出力パッド11のY方向における一方側に配置され、プルダウンユニットNがデータ入出力パッド11のY方向における他方側に配置されている。つまり、データ入出力パッド11がプルアップユニットPとプルダウンユニットNに挟まれた構成を有している。
そして、電源パッド12は、第4の配線層M4に設けられた電源配線VL4に接続され、コンタクトプラグTHVを介して第3の配線層M3に設けられた電源配線VL3に接続される。電源配線VL3,VL4は平面視で重なる位置に設けられており、コンタクトプラグTHVについては、第1〜第3の実施形態と同様、対を成す2つのプルアップユニットP(例えばP2,P3)の間に設けられる。
同様に、電源パッド13は、第4の配線層M4に設けられた電源配線SL4に接続され、コンタクトプラグTHSを介して第3の配線層M3に設けられた電源配線SL3に接続される。電源配線SL3,SL4は平面視で重なる位置に設けられており、コンタクトプラグTHSについては、第1〜第3の実施形態と同様、対を成す2つのプルダウンユニットN(例えばN2,N3)の間に設けられる。
このように、データ入出力パッド11がプルアップユニットPとプルダウンユニットNに挟まれた構成を有する場合であっても、図16に示すレイアウトを採用することにより、対を成す2つのプルアップユニットP(例えばP2,P3)や対を成す2つのプルダウンユニットN(例えばN2,N3)の特性を一致させることが可能となる。
図17は、本発明の第5の実施形態による電源配線VL,SLのレイアウト図である。図9に示す第1の実施形態においては、電源配線VL3が一本の太い配線によって構成されているが、本実施形態においては電源配線VL3が複数の細い配線に分けられ、その間を信号配線SIG3がX方向に延在している。信号配線SIG3は、例えばプルアップユニットPを形成するトランジスタのゲートに接続される信号配線である。図17には電源配線VL3を2分割した例が示されているが、電源配線SL3を2分割又はそれ以上に分割しても構わない。本実施形態によれば、配線レイアウトをより柔軟に構成することが可能となる。本実施形態における電源配線VL3,SL3及び信号配線SIG3の構成は、第2〜4の実施形態及び以下に説明する第6の実施形態にも適用されるものである。
図18は、本発明の第6の実施形態による電源配線VL,SLのレイアウト図である。図9に示す第1の実施形態においては電源配線VL3,SL3はプルアップユニットP,プルダウンユニットNの直上を延在しているが、本実施形態においては、電源配線VL3がプルアップユニットPの直上からずれた位置に延在しており、図10に示した配線層M2に形成される電源配線VL2を用いて各プルアップユニットPに電源を供給する構成である。図18には電源配線VL3の位置をずらした例が示されているが、電源配線SL3の位置をずらしても構わない。本実施形態によれば、プルアップユニットPやプルダウンユニットNの直上により多くの信号配線SIG3を配置することができる。この様な構成においても、対を成す2つのプルアップ(プルダウン)ユニット間のインピーダンスを揃える事が出来る。他の信号配線との関連において柔軟にレイアウトを構成することが可能となるが、データ出力バッファOB自身の特性は第1の実施形態の方が優れる。
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は、上記の実施形態に限定されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。
例えば、上記の実施形態では、本発明をDRAMに適用した場合を例に説明したが、本発明の対象がこれに限定されないことは言うまでもない。したがって、図1に示したコントローラ2に含まれる出力バッファ5A,5Bに本発明の特徴を適用することも可能である。更に、DRAM以外の半導体装置であるフラッシュメモリや、SRAM、ReRAM、MRAM(STT−RAM)等においても適用されるものである。
1 半導体システム
2 コントローラ
3A,3B データバス
4A,4B 入力バッファ
5A,5B 出力バッファ
6 半導体基板
7A,7B 周辺回路領域
8,8A,8B パッド列
9A,9B 周辺回路
10 半導体装置
11,11A,11B データ入出力パッド
12,13 電源パッド
14,15 ストローブパッド
16 データマスクパッド
21〜23 出力ユニット
24〜26 論理回路
27〜29 選択回路
ARY メモリセルアレイ領域
CHA,CHB チャネル
D ドレイン
EG1,EG2 エッジ
G ゲート電極
IB データ入力バッファ
L 境界線
LT1〜LT3 ラッチ回路
M1〜M4 配線層
PD,N,N0〜N5 プルダウンユニット
OB データ出力バッファ
PU,P,P0〜P5 プルアップユニット
RW 高抵抗配線部
RZQ リファレンス抵抗素子
S ソース
SIG1〜SIG3 信号配線
SL,SL1〜SL4 電源配線
TH,TH1〜TH3,THS,THV コンタクトプラグ
TND0〜TND6,TNU0〜TNU6 トランジスタ
U 出力ユニット
VL,VL2〜VL4 電源配線
VLP,SLP パッド配線
ZQ キャリブレーション端子
2 コントローラ
3A,3B データバス
4A,4B 入力バッファ
5A,5B 出力バッファ
6 半導体基板
7A,7B 周辺回路領域
8,8A,8B パッド列
9A,9B 周辺回路
10 半導体装置
11,11A,11B データ入出力パッド
12,13 電源パッド
14,15 ストローブパッド
16 データマスクパッド
21〜23 出力ユニット
24〜26 論理回路
27〜29 選択回路
ARY メモリセルアレイ領域
CHA,CHB チャネル
D ドレイン
EG1,EG2 エッジ
G ゲート電極
IB データ入力バッファ
L 境界線
LT1〜LT3 ラッチ回路
M1〜M4 配線層
PD,N,N0〜N5 プルダウンユニット
OB データ出力バッファ
PU,P,P0〜P5 プルアップユニット
RW 高抵抗配線部
RZQ リファレンス抵抗素子
S ソース
SIG1〜SIG3 信号配線
SL,SL1〜SL4 電源配線
TH,TH1〜TH3,THS,THV コンタクトプラグ
TND0〜TND6,TNU0〜TNU6 トランジスタ
U 出力ユニット
VL,VL2〜VL4 電源配線
VLP,SLP パッド配線
ZQ キャリブレーション端子
Claims (18)
- 第1の電源パッドと、
互いに隣接して配置される第1及び第2のデータ入出力パッドと、
前記第1及び第2のデータ入出力パッドに其々接続され、互いに隣接して配置される第1及び第2のデータ出力バッファと、
前記第1の電源パッドと前記第1及び第2のデータ出力バッファとを接続する第1の電源供給パスと、を備え、
前記第1の電源供給パスは、前記第1の電源パッドと同じ第1の層に延在する第1の配線と、前記第1の層の下層である第2の層に延在する第2の配線と、前記第1及び第2の配線を接続する第1のコンタクトプラグとを含み、前記第1のコンタクトプラグは、前記第1及び第2のデータ出力バッファの間に配置されていることを特徴とする半導体装置。 - 前記第2の配線のうち、前記第1のコンタクトプラグと前記第1のデータ出力バッファとを接続する部分の距離は、前記第1のコンタクトプラグと前記第2のデータ出力バッファとを接続する部分の距離と等しいことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第1のデータ入出力パッドと前記第2のデータ入出力パッドは、第1の方向に配列され、
前記第1のデータ入出力パッドと前記第1のデータ出力バッファは、前記第1の方向と交差する第2の方向に配列され、
前記第2のデータ入出力パッドと前記第2のデータ出力バッファは、前記第2の方向に配列されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置。 - 前記第1のデータ出力バッファと前記第2のデータ出力バッファは、前記第1の方向に配列されていることを特徴とする請求項3に記載の半導体装置。
- 前記第1の電源パッドに供給される電位とは異なる電位が供給される第2の電源パッドと、
前記第1及び第2のデータ入出力パッドに其々接続され、互いに隣接して配置される第3及び第4のデータ出力バッファと、
前記第2の電源パッドと前記第3及び第4のデータ出力バッファとを接続する第2の電源供給パスと、をさらに備え、
前記第2の電源供給パスは、前記第1の層に延在する第3の配線と、前記第2の層に延在する第4の配線と、前記第3及び第4の配線を接続する第2のコンタクトプラグとを含み、前記第2のコンタクトプラグは、前記第3及び第4のデータ出力バッファの間に配置されていることを特徴とする請求項3又は4に記載の半導体装置。 - 前記第4の配線のうち、前記第2のコンタクトプラグと前記第3のデータ出力バッファとを接続する部分の距離は、前記第2のコンタクトプラグと前記第4のデータ出力バッファとを接続する部分の距離と等しいことを特徴とする請求項5に記載の半導体装置。
- 前記第1のデータ出力バッファと前記第2のデータ出力バッファは、前記第1の方向に配列されていることを特徴とする請求項6に記載の半導体装置。
- 前記第1及び第2のデータ入出力パッドは、前記第1の電源パッドと前記第2の電源パッドとの間に配置されていることを特徴とする請求項5乃至7のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記第1の電源パッド、前記第1のデータ入出力パッド、前記第2のデータ入出力パッド及び前記第2の電源パッドは、前記第1の方向において等間隔に配列されていることを特徴とする請求項8に記載の半導体装置。
- 前記第1のデータ出力バッファは前記第1の配線に覆われており、前記第4のデータ出力バッファは前記第3の配線に覆われていることを特徴とする請求項5乃至9のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記第3のデータ出力バッファは前記第1の配線に覆われており、前記第2のデータ出力バッファは前記第3の配線に覆われていることを特徴とする請求項10に記載の半導体装置。
- 前記第1の配線と前記第3の配線は、平面視で第1のコンタクトプラグから見て前記第1の方向における一方側で分離されているとともに、平面視で第2のコンタクトプラグから見て前記第1の方向における他方側で分離されている請求項10又は11に記載の半導体装置。
- 前記第2の電源パッドに隣接して配置された第3のデータ入出力パッドと、
前記第3のデータ入出力パッドに接続された第5のデータ出力バッファと、をさらに備え、
前記第2の電源パッドと前記第5のデータ出力バッファは、少なくとも前記第3の配線を介して接続されていることを特徴とする請求項5乃至12のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記第3のデータ入出力パッドに隣接して配置された第4のデータ入出力パッドと、
前記第4のデータ入出力パッドに隣接して配置され、前記第1の電源パッドに供給される電位と同じ電位が供給される第3の電源パッドと、
前記第5のデータ出力バッファに隣接して設けられ、前記第4のデータ入出力パッドに接続された第6のデータ出力バッファと、
前記第3及び第4のデータ入出力パッドに其々接続され、互いに隣接して配置される第7及び第8のデータ出力バッファと、
前記第2の電源パッドと前記第5及び第6のデータ出力バッファとを接続する第3の電源供給パスと、
前記第3の電源パッドと前記第7及び第8のデータ出力バッファとを接続する第4の電源供給パスと、をさらに備え、
前記第3の電源供給パスは、前記第3の配線と、前記第2の層に延在する第5の配線と、前記第3及び第5の配線を接続する第3のコンタクトプラグとを含み、
前記第4の電源供給パスは、前記第1の層に延在する第6の配線と、前記第2の層に延在する第7の配線と、前記第6及び第7の配線を接続する第4のコンタクトプラグとを含み、
前記第3のコンタクトプラグは、前記第5及び第6のデータ出力バッファの間に配置され、
前記第4のコンタクトプラグは、前記第7及び第8のデータ出力バッファの間に配置されていることを特徴とする請求項13に記載の半導体装置。 - 前記第4の配線と前記第5の配線は前記第2の層において短絡され、前記第2の配線と前記第7の配線は前記第2の層において短絡されていることを特徴とする請求項14に記載の半導体装置。
- 前記第4の配線と前記第5の配線は前記第2の層において互いに分離され、前記第2の配線と前記第7の配線は前記第2の層において互いに分離されていることを特徴とする請求項14に記載の半導体装置。
- 前記第2の配線層において前記第4の配線と前記第5の配線との間に設けられた第8の配線と、
前記第3の配線と前記第8の配線を接続する第5のコンタクトプラグと、をさらに備えることを特徴とする請求項16に記載の半導体装置。 - 前記第4の配線と前記第8の配線は前記第2の層において互いに分離され、前記第4の配線と前記第8の配線は前記第2の層において互いに分離されていることを特徴とする請求項17に記載の半導体装置。
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