JP2016004151A - 撮像ユニット用ミラー装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】画像の調整及び作成に特別の画像処理ユニットを必要とせずかつ機械的ユニットを必要としない撮像ユニット用ミラー装置を提供すること。
【解決手段】撮像ユニット11の撮影方向に傾斜したミラーデバイス121、122、123、124及び鏡125よりなるミラー装置12が配置されている。ミラーデバイス121、122、123、124はセル化構造であり、2つの透明基板、矩形状にパターン化された2つの透明電極層、透明シール部、及びエレクトロデポジション剤を含む電解液によって構成され、透明状態及び平面ミラー状態のいずれかになる。制御ユニット13は電圧x1、x2、x3、x4をミラーデバイス121、122、123、124の一方の透明電極層に印加し、電圧y1、y2、y3、y4をミラーデバイス121、122、123、124の他方の透明電極層に印加する。
【選択図】 図14

Description

本発明は監視カメラ、検査用モニタ等の撮像ユニットに用いられる撮像ユニット用ミラー装置に関する。
近年、金融機関の店舗等の業務用監視カメラ、医療現場での医療用監視カメラ、防犯のための家庭用監視カメラ、及び産業機器、生産設備、医療機器等の検査用モニタ等の撮像ユニットに用いられる撮像ユニット用ミラー装置は著しく発展している。
第1の従来の撮像ユニット用ミラー装置は、監視カメラのレンズ部に一端が取付けられた中空傾斜ボックスと、中空傾斜ボックスの他端に連結支承された中空ミラーボックスと、中空ミラーボックスの解放端側内面上部に取付けられた上下方向揺動可能な第1のミラーと、中空ミラーボックスの連結端側内面に設けられ、第1のミラーの鏡像を監視カメラのレンズ部に反射させる第2のミラーとを備えている。これにより、第1のミラーを上下方向に揺動させかつ中空ミラーボックス自体を周回動させることにより監視対象域を拡大する(参照:特許文献1)。
しかしながら、上述の第1の従来の撮像ユニット用ミラー装置においては、監視対象域は第1のミラーの揺動範囲及び中空ミラーボックスの周回動範囲に限定され、広くない。また、複数の監視対象域を同時に監視できない。さらに、第1のミラーの揺動速度及び中空ミラーボックスの周回動速度は共に比較的小さいので、長時間監視されない監視対象域が発生する。さらにまた、第1のミラーの揺動及び中空ミラーボックスの周回動には、ミラー回動機構部、モータ等の機械的ユニットを必要とし、従って、大型である。
第2の従来の撮像ユニット用ミラー装置は、監視カメラを旋回自在に保持する回転部と、回転部の回転方向を切換えて監視カメラの旋回範囲を規定するためのマイクロスイッチ及び突起と、回転部の回転が所定角度以上回転したときに押圧部によって破損される電源パターン突出部とを備えている。これにより、広い監視対象域を確保すると共に、旋回のオーバランを防止する(参照:特許文献2)。
しかしながら、上述の第2の従来の撮像ユニット用ミラー装置においては、監視対象域は旋回範囲に限定され、広くない。また、複数の監視対象域を同時に監視できない。さらに、監視カメラの旋回速度が比較的小さいので、長時間監視されない監視対象域が発生する。さらにまた、監視カメラの旋回には駆動モータ等の機械的ユニットを必要とし、従って、大型である。
第3の従来の撮像ユニット用ミラー装置は、回転軸に対して傾斜自在で回転する鏡面体を備えており、この鏡面体を一方向に高速に回転する鏡面体による反射光をビデオカメラで撮影し、特別の画像処理ユニットによって鏡面体の回転速度との同期信号を用いて画像のサンプリングをフレーム単位で調整しながら、複数のモニタで監視できる画像を作成する(参照:特許文献3)。
上述の第3の従来の撮像ユニット用ミラー装置によれば、監視対象域は傾斜角度自在の360°全周であり、広い。また、複数の監視対象域を同時に監視できる。さらに、鏡面体を高速回転しているので、長時間監視されない監視対象域の発生がなくなる。
特開昭60−169840号公報 特開平5−191946号公報 特開2008−263251号公報
しかしながら、上述の第3の従来の撮像ユニット用ミラー装置においては、複数の監視対象域を同時に監視することは可能であるが、画像の調整及び作成に特別の画像処理ユニットを必要とするという課題がある。
また、上述の第3の従来の撮像ユニット用ミラー装置においては、鏡面体の高速回転にはステッピングモータ等の機械的ユニットを必要とするので、大型であるという課題もある。
上述の課題を解決するために、本発明に係る撮像ユニット用ミラー装置は、撮像ユニット用ミラー装置であって、撮像ユニットの撮影方向に対して傾斜して設けられた少なくとも1つのミラーデバイスを具備し、ミラーデバイスは、互いに対向した第1、第2の透明基板と、各第1、第2の透明基板の内側に設けられた第1、第2の透明電極層と、第1、第2の透明電極層の間に封入されたエレクトロデポジション剤を含む電解液とを具備するものである。
本発明によれば、特別の画像処理装置を必要とすることなく、複数の対象域を同時に撮像することができる。また、各ミラーデバイスは、薄型であり、かつ機械的ユニット等の可動部もないので、小型化できる。
本発明に係る撮像ユニット用ミラー装置に適用されるミラーデバイスの第1の例を示し、(A)は断面図、(B)は透明電極層パターンの上面図である。 図1のミラーデバイスの作用を説明するための断面図であって、(A)は透明状態、(B)は平面ミラー状態を示す。 図1のミラーデバイスの特性を示し、(A)は反射率特性を示すグラフ、(B)は透過率特性を示すグラフである。 図1のミラーデバイスの製造方法を説明するためのフローチャートである。 本発明に係る撮像ユニット用ミラー装置に適用されるミラーデバイスの第2の例を示す断面図である。 図5の同心微小平面レンズの拡大図であって、(A)は斜視断面図、(B)は上面図である。 図5のミラーデバイスの作用を説明するための断面図であって、(A)は透明状態、(B)は凹面(凸面)ミラー状態、(C)は平面ミラー状態を示す。 図5のミラーデバイスの変更例を示す断面図である。 図5及び図8のミラーデバイスの製造方法を説明するためのフローチャートである。 本発明に係る撮像ユニット用ミラー装置に適用されるミラーデバイスの第3の例を示す断面図である。 図10の微小プリズムの拡大図であって、(A)は斜視断面図、(B)は上面図である。 図10のミラーデバイスの作用を説明するための断面図であって、(A)は透明状態、(B)は非正反射ミラー状態、(C)は正反射ミラー状態を示す。 図10のミラーデバイスの製造方法を説明するためのフローチャートである。 本発明に係る撮像ユニット用ミラー装置の第1の実施の形態を含む撮像装置を示す断面図である。 図1のミラーデバイスを用いた図14の撮像ユニット用ミラー装置の動作を説明するための断面図である。 図15の(A)の動作によって得られる画像を説明するための図である。 図15の(B)の動作によって得られる画像を説明するための図である。 図15の(C)の動作によって得られる画像を説明するための図である。 図15の(D)の動作によって得られる画像を説明するための図である。 図15の(E)の動作によって得られる画像を説明するための図である。 図5のミラーデバイスを用いた図14の撮像ユニット用ミラー装置の動作を説明するための断面図である。 図21の(A)の動作によって得られる画像を説明するための図である。 図21の(B)の動作によって得られる画像を説明するための図である。 図21の(C)の動作によって得られる画像を説明するための図である。 図21の(D)の動作によって得られる画像を説明するための図である。 図21の(E)の動作によって得られる画像を説明するための図である。 図10のミラーデバイスを用いた図14の撮像ユニット用ミラー装置の動作を説明するための断面図である。 本発明に係る撮像ユニット用ミラー装置の第2の実施の形態を含む撮像装置を示し、(A)は全体断面図、(B)はミラーデバイスの透明電極層パターンの上面図である。 4分割された図1のミラーデバイスを用いた図28の撮像ユニット用ミラー装置の動作を説明するための断面図である。 図29の動作によって得られる画像を説明するための図である。 4分割された図5のミラーデバイスを示し、(A)は貼り合せ前の一方の透明基板側、(B)は貼り合せ前の他方の透明基板側、(C)は貼り合せ後を示す。 図31のミラーデバイスを用いた図28の撮像装置の撮像ユニットに得られる画像を説明するための断面図であり、(A)はミラーデバイスの各領域が平面レンズ状態の場合、(B)はミラーデバイスの各領域が拡大縮小状態の場合を示す。 4分割された図10のミラーデバイスを示し、(A)は貼り合せ前の一方の透明基板側、(B)は貼り合せ前の他方の透明基板側、(C)は貼り合せ後を示す。 16分割された図1のミラーデバイスを示し、(A)は貼り合せ前の一方の透明基板側、(B)は貼り合せ前の他方の透明基板側、(C)は貼り合せ後を示す。 図28の(B)の透明電極層パターンの他の例を示し、(A)は貼り合せ前の一方の透明基板側、(B)は貼り合せ前の他方の透明基板側、(C)は貼り合せ後を示す。
図1は本発明に係る撮像ユニット用ミラー装置に適用されるミラーデバイスの第1の例を示し、(A)は断面図、(B)は透明電極層パターンの上面図である。
図1の(A)においては、ミラーデバイスM1はセル化されたエレクトロデポジション方式のデバイスであり、ガラスもしくはポリカーボネートよりなる平行な透明基板1、2と、透明基板1、2の内面に形成されたインジウム錫酸化物(ITO)よりなる透明電極層3、4と、透明シール部5と、透明電極層3、4間に封入され、透明シール部5によってシールされた電解液6とにより構成されている。図1の(B)に示すように、透明電極層3、4には、電圧xi、yiが印加される。
図2の(A)に示すごとく、透明電極層3、4間が電圧無印加状態では、透明状態となる。他方、図2の(B)に示すごとく、透明電極層3、4間に1.5〜8V程度の直流バイアス電圧Vを印加すると、負電位側の透明電極層4に還元によりAg層が表面に形成されて平面ミラー状態となる。つまり、ミラーデバイスM1は透明状態及び平面ミラー状態の2状態の切替可能なデバイスとなる。この場合、平面ミラー状態は電解液6中に含まれている銀イオンが負電位側の透明電極層4付近で金属の銀に変化して析出(エレクトロデポジション)することによって発生する。透明状態に戻すには、電圧無印加状態にするが、直流逆バイアス電圧たとえば−1Vを印加すれば、迅速に透明状態に戻る。
たとえば、図1のミラーデバイスM1をAgが析出する透明電極層4の反対の透明基板1からハロゲン光源による測定光を入射して分光器で反射光を測定した結果を図3の(A)に示す。他方、図1のミラーデバイスM1をAgが析出する透明電極層4側の透明基板2よりハロゲン光源による測定光を入射して分光器で透過光を測定した結果を図3の(B)に示す。図3によれば、電圧無印加状態では、反射率Rが低く透過率Tが高い透明状態となり、他方、たとえば2.5Vの電圧印加状態では、反射率Rが高く透過率Tが低い平面ミラー状態となる。
図1のミラーデバイスM1の製造方法を図4のフローチャートを参照して説明する。
始めに、透明電極層形成工程401にて、各透明基板1、2上にITOよりなる透明電極層3、4をマグネトロンスパッタリング法、化学的気相成長(CVD)法あるいは蒸着法により形成する。必要に応じて透明電極層3、4をSUSマスクを用いたエッチング法あるいはフォトリソグラフィ/エッチング法によりパターン化する。
次に、ギャップ制御剤散布工程402にて、一方の透明基板上に20μm〜数100μmたとえば100μmのギャップ制御剤を1〜3個/mm散布する。尚、ギャップ制御剤の代りに、リブ等の突起でもよい。また、小型のセルの場合、後述のシール部にフィルム状のスペーサを設けてもよい。
次に、シールパターン形成工程403にて、一方の透明基板上にシールパターンを形成する。シールパターンは、透明かつ光散乱しない紫外線及び熱硬化型樹脂、光硬化型樹脂もしくは熱硬化型樹脂よりなる。この場合、電解液に耐える樹脂が好ましい。
次に、電解液滴下工程404にて、シールパターンが形成された透明基板上に電解液を液晶滴下(ODF)法により滴下する。尚、滴下方法は、ディスペンサ、インクジェットを含む各種の印刷法を用いることができる。
電解液としては、溶媒中に50mMのAgNO等のAgを含むエレクトロデポジション剤を添加し、また、250mMのLiBr等の支持電解質を添加し、10mMのCuCl等のメディエータを添加する。
尚、溶媒は、エレクトロデポジション剤等を安定的に保持することができるものであれば限定されない。たとえば、水や炭酸プロピレン等の極性溶媒、極性のない有機溶媒、あるいはイオン性液体、イオン導電性高分子、高分子電解質等である。具体的には、炭酸プロピレン、ジメチルスルホキシド(DMSO)、N,N−ジメチルホルムアミド、テトラヒドロフラン、アセトニトリル、ポリビニル硫酸、ポリスチレンスルホン酸、ポリアクリル酸等を用いることができる。
また、支持電解質は、エレクトロデポジション剤のAgの酸化還元反応等を促進するものであれば限定されず、たとえば、LiCl、LiBr、LiI、LiBF、LiClO等のリチウム塩、KCl、KBr、KI等のカリウム塩、NaCl、NaBr、NaI等のナトリウム塩が好ましい。支持電解質の濃度は、たとえば10mM以上1M以下であることが好ましいが、これに限定されるものではない。
さらに、メディエータはAgよりも電気化学的に低いエネルギーで酸化還元を行う材料であって、メディエータの酸化体がAgから随時電子を授受することによって酸化による消色反応を補助する。メディエータの材料はこのような機能を発揮する材料であれば限定されないが、銅(Cu)イオンの塩が好ましい。メディエータの濃度はたとえば5mM以上20mM以下であることが好ましいが、これに限定されるものではない。CuイオンとAgイオンとの濃度比は0.1〜0.3が好ましいが、これに限定されるものではない。
電解質をゲル化する場合には、ビニルブキラール(PVB)等の10wt%ホストポリマを添加する。
次に、基板貼合せ工程405にて、真空中、大気中もしくは窒素雰囲気で電解液が滴下された一方の透明基板に他方の透明基板を貼合せる。
最後に、シールパターン硬化工程406にて、たとえばエネルギー6J/cmの紫外線を照射してシールパターンを硬化させて透明シール部5を形成する。この場合、シールパターンのみに紫外線が照射されるように、SUS等よりなるマスクを用いる。
図5は本発明に係る撮像ユニット用ミラー装置に適用されるミラーデバイスの第2の例を示す断面図である。図5のミラーデバイスM2においては、図1のミラーデバイスM1の透明基板2上に同心微小平面レンズ7を設けてある。
図6は図5の同心微小平面レンズ7の拡大図であって、(A)は斜視断面図、(B)は上面図である。図6の(A)に示すように、断面形状は中央に向って片鋸歯状になっており、図6の(B)に示すように、平面視では、同心円状(もしくは楕円状)になっている。また、同心微小平面レンズ7のプリズム状断面の高さは数10μmである。尚、同心微小平面レンズ7は必ずしも同心である必要はない。
図7の(A)に示すごとく、透明電極層3、4間が電圧無印加状態では透明状態となる。他方、図7の(B)、(C)に示すごとく、透明電極層3、4間に直流バイアス電圧Vを印加すると、負電位側の透明電極層に還元によりAg層が表面に形成されてミラー状態となる。図7の(B)の場合には、負電位側の透明電極層4上にAg層が形成され、下面視で拡大ミラーとしての凹面ミラー状態となり、他方、上面視で縮小ミラーとして凸面ミラー状態となる。また、図7の(C)の場合には、負電位側の透明電極層3上にAg層が形成され、平面ミラー状態となる。つまり、ミラーデバイスM2は、透明状態、凹面ミラー状態(もしくは凸面ミラー状態)及び平面ミラー状態の3状態の切替可能デバイスとなる。
尚、ミラーデバイスM2の同心微小平面レンズ7を、図8に示すごとく、断面形状を周辺に向って片鋸歯状にすることもできる。この場合、透明電極層4上のAg層により、下面視で凸面ミラー状態となり、他方、上面視で凹面ミラー状態となる。
図5及び図8のミラーデバイスM2の製造方法は図9に示され、図4に示す製造方法における透明電極層形成工程401の前に同心微小平面レンズ形成工程901が付加される。この同心微小平面レンズ形成工程901において、透明基板1に同心微小平面レンズ7を形成する。以下に、これを詳述する。
始めに、透明基板1上に紫外線硬化性樹脂を滴下する。次いで、透明基板1の裏側に厚い石英ガラス板で補強し、同心微小平面レンズ7の反転パターンを有する金型を用いてプレスし、1分間放置する。次いで、石英ガラス板の方から紫外線を5J/cmで照射して紫外線硬化性樹脂を硬化させる。次いで、金型及び石英ガラス板を外し、同心微小平面レンズ7が形成された透明基板1を洗浄機で洗浄する。洗浄方法は、アルカリ洗剤を用いたブラシ洗浄、純水洗浄、エアーブロー、UV照射、IR乾燥の順に行う。但し、洗浄方法はこれに限らない。高圧スプレー洗浄やプラズマ洗浄などを行ってもよい。そして、透明電極層形成工程401に進む。
図10は本発明に係る撮像ユニット用ミラー装置に適用されるミラーデバイスの第3の例を示す断面図である。図10のミラーデバイスM3においては、図1のミラーデバイスM1の透明基板2上に微小プリズム8を設けてある。
図11は図10の微小プリズム8の拡大図であって、(A)は斜視断面図、(B)は上面図である。図11の(A)に示すように、断面形状は片鋸歯状になっており、図11の(B)に示すように、平面視では、ライン状になっている。また、微小プリズム8のプリズム状断面の高さは数10μmである。
図12の(A)に示すごとく、透明電極層3、4間が電圧無印加状態では透明状態となる。他方、図12の(B)、(C)に示すごとく、透明電極層3、4間に直流バイアス電圧Vを印加すると、負電位側の透明電極層に還元によりAg層が表面に形成されてミラー状態となる。図12の(B)の場合には、負電位側の透明電極層4上にAg層が形成され、光をミラーデバイスM3の法線方向に入射した場合、入射方向と出射方向とが異なる非正反射ミラー状態となる。また、図12の(C)の場合には、負電位側の透明電極層3上にAg層が形成され、光をミラーデバイスM3の法線方向に入射した場合、入射方向と出射方向と同一となる正反射ミラー状態となる。つまり、ミラーデバイスM3は、透明状態、非正反射ミラー状態及び正反射ミラー状態の3状態の切替可能デバイスとなる。
図10のミラーデバイスM3の製造方法は図13に示され、図4に示す製造方法における透明電極層形成工程401の前に微小プリズム形成工程1301が付加される。この微小プリズム形成工程1301において、透明基板1に微小プリズム8を形成する。以下に、これを詳述する。
始めに、透明基板1上に紫外線硬化性樹脂を滴下する。次いで、透明基板1の裏側に厚い石英ガラス板で補強し、微小プリズム8の反転パターンを有する金型を用いてプレスし、1分間放置する。次いで、石英ガラス板の方から紫外線を5J/cmで照射して紫外線硬化性樹脂を硬化させる。次いで、金型及び石英ガラス板を外し、微小プリズム8が形成された透明基板1を洗浄機で洗浄する。洗浄方法は、アルカリ洗剤を用いたブラシ洗浄、純水洗浄、エアーブロー、UV照射、IR乾燥の順に行う。但し、洗浄方法はこれに限らない。高圧スプレー洗浄やプラズマ洗浄などを行ってもよい。そして、透明電極層形成工程401に進む。
図14は本発明に係る撮像ユニット用ミラー装置の第1の実施の形態を含む撮像装置を示す断面図である。
図14の撮像装置においては、電荷蓄積素子(CCD)等よりなる撮像ユニット11の撮影方向にたとえば45°で傾斜したミラーデバイス121、122、123、124及び常時平面ミラー状態の鏡125よりなるミラー装置12が配置されている。
ミラーデバイス121、122、123、124は図1のミラーデバイスM1と同一のセル化構造であり、つまり、透明基板1、2、矩形状にパターン化された透明電極層3、4、透明シール部5、及び電解液6によって構成され、透明状態及び平面ミラー状態の2状態のいずれかになる。他方、鏡125は平面ミラーであり、常時オンのミラーデバイスM1として作用する。
撮像ユニット11及びミラーデバイス121、122、123、124は制御ユニット13によって制御される。制御ユニット13はたとえばマイクロコンピュータにより構成される。制御ユニット13は電圧x1、x2、x3、x4をミラーデバイス121、122、123、124の透明電極層3に印加し、電圧y1、y2、y3、y4をミラーデバイス121、122、123、124の透明電極層4に印加する。つまり、制御ユニット13はミラーデバイス121、122、123、124をスタティック駆動する。
撮像ユニット11の周辺、ミラー装置12のミラーデバイス121、122、123、124及び鏡125の開口側の反対側には、光吸収板14、15が配置される。光吸収板14、15はたとえば設定場所の天井、壁等によって構成される。この場合、ミラーデバイス121、122、123、124及び鏡125は天井、壁等に対して同一傾斜角度で取り付けられている。また、ミラー装置12の開口部に透明板16を配置する。透明板16には、視野範囲をある程度調整するレンズカットを設けてもよい。但し、透明板16は存在しなくてもよい。
図15を参照して図1のミラーデバイスM1を用いた図14の撮像装置の動作を説明する。
始めに、図15の(A)に示す時刻t1において、制御ユニット13は、
x1=V、y1=0V
x2=x3=x4=0V(フローティングでもよい)
y2=y3=y4=0V(フローティングでもよい)
但し、Vは正の駆動電圧たとえば1.5〜8.0V
とし、ミラーデバイス121をオンにし、他方、ミラーデバイス122、123、124のオフを維持する。すなわち、ミラーデバイス121においては、透明電極層3、4間に直流バイアス電圧Vを印加し、透明電極層4上にAg膜が形成されて平面ミラー状態となる。従って、光L1は平面ミラー状態のミラーデバイス121の透明電極層4上のAg膜によって反射されて撮像ユニット11へ向う。このように、ミラーデバイス121は平面ミラー状態となるが、ミラーデバイス122、123、124は透明状態を維持する。この場合、鏡125は平面ミラー状態であり、鏡125によって反射された光L5は透明状態のミラーデバイス124、123、122を透過するが、平面ミラー状態のミラーデバイス121によって阻止されるので、全体の動作に関係しない。この結果、図16に示すように、ミラーデバイス121に入射した画像がそのまま撮像ユニット11によって撮像されることになる。
次に、図15の(B)に示す時刻t2において、制御ユニット13は、
x2=V、y2=0V
x1=x3=x4=0V(フローティングでもよい)
y1=y3=y4=0V(フローティングでもよい)
とし、ミラーデバイス122をオンにし、他方、ミラーデバイス121、123、124のオフを維持する。すなわち、ミラーデバイス122においては、透明電極層4上にAg膜が形成されて平面ミラー状態となる。従って、光L2は平面ミラー状態のミラーデバイス122の透明電極層4上のAg膜によって反射され、透明状態のミラーデバイス121を通過して撮像ユニット11へ向う。このように、ミラーデバイス122は平面ミラー状態となるが、ミラーデバイス121、123、124は透明状態を維持する。この場合、鏡125も平面ミラー状態であり、鏡125によって反射された光L5は透明状態のミラーデバイス124、123を透過するが、平面ミラー状態のミラーデバイス122によって阻止されるので、全体の動作に関係しない。この結果、図17に示すように、ミラーデバイス122に入射した画像がそのまま撮像ユニット11によって撮像されることになる。
次に、図15の(C)に示す時刻t3において、制御ユニット13は、
x3=V、y3=0V
x1=x2=x4=0V(フローティングでもよい)
y1=y2=y4=0V(フローティングでもよい)
とし、ミラーデバイス123をオンにし、他方、ミラーデバイス121、122、124のオフを維持する。すなわち、ミラーデバイス123においては、透明電極層4上にAg膜が形成されて平面ミラー状態となる。従って、光L3は平面ミラー状態のミラーデバイス123の透明電極層4上のAg膜によって反射され、透明状態のミラーデバイス122、121を通過して撮像ユニット11へ向う。このように、ミラーデバイス123は平面ミラー状態となるが、ミラーデバイス121、122、124は透明状態を維持する。この場合も、鏡125は平面ミラー状態であり、鏡125によって反射された光L5は透明状態のミラーデバイス124を透過するが、平面ミラー状態のミラーデバイス123によって阻止されるので、全体の動作に関係しない。この結果、図18に示すように、ミラーデバイス123に入射した画像がそのまま撮像ユニット11によって撮像されることになる。
次に、図15の(D)に示す時刻t4において、制御ユニット13は、
x4=V、y4=0V
x1=x2=x3=0V(フローティングでもよい)
y1=y2=y3=0V(フローティングでもよい)
とし、ミラーデバイス124をオンにし、他方、ミラーデバイス121、122、123のオフを維持する。すなわち、ミラーデバイス124においては、透明電極層4上にAg膜が形成されて平面ミラー状態となる。従って、光L4は平面ミラー状態のミラーデバイス124の透明電極層4上のAg膜によって反射され、透明状態のミラーデバイス123、122、121を通過して撮像ユニット11へ向う。このように、ミラーデバイス124は平面ミラー状態となるが、ミラーデバイス121、122、123は透明状態を維持する。この場合、鏡125も平面ミラー状態であり、鏡125によって反射された光L5は、平面ミラー状態のミラーデバイス124によって阻止されるので、全体の動作に関係しない。この結果、図19に示すように、ミラーデバイス124に入射した画像がそのまま撮像ユニット11によって撮像されることになる。
最後に、図15の(E)に示す時刻t5において、制御ユニット13は、
x1=x2=x3=x4=0V(フローティングでもよい)
y1=y2=y3=y4=0V(フローティングでもよい)
とし、すべてのミラーデバイス121、122、123、124のオフを維持する。従って、ミラーデバイス121、122、123、124は透明状態を維持する。この場合、鏡125は平面ミラー状態であり、鏡125によって反射された光L5は透明状態のミラーデバイス124、123、122、121を透過し、撮像ユニット11へ向う。この結果、図20に示すように、鏡125に入射した画像がそのまま撮像ユニット11によって撮像されることになる。
制御ユニット13は上述の時刻t1、t2、t3、t4、t5の動作を繰返して実行する。
図14のミラーデバイス121、122、123、124は図5のミラーデバイスM2と同一のセル化構造とすることもでき、つまり、透明基板1、2、矩形状にパターン化された透明電極層3、4、透明シール部5、電解液6及び同心微小平面レンズ7によって構成し、透明状態、凹面ミラー状態(もしくは凸面ミラー状態)及び平面ミラー状態の3状態とすることができる。この場合、1つのミラーデバイスの凹面ミラー(拡大ミラー)状態及び凸面ミラー(縮小ミラー)状態はいずれか一方のみ可能である。たとえば、ミラーデバイス121、122は、透明状態、凹面ミラー(拡大ミラー)状態及び平面ミラー状態の3状態のいずれかとし、ミラーデバイス123、124は、透明状態、凸面ミラー(縮小ミラー)状態及び平面ミラー状態の3状態のいずれかとする。
図21を参照して図5のミラーデバイスM2を用いた図14の撮像装置の動作を説明する。
始めに、図21の(A)に示す時刻t1において、制御ユニット13は、
x1=0V、y1=V
x2=x3=x4=0V(フローティングでもよい)
y2=y3=y4=0V(フローティングでもよい)
とし、ミラーデバイス121をオンにし、この場合、平面ミラー状態とする。他方、ミラーデバイス122、123、124のオフを維持する。従って、光L1は平面ミラー状態のミラーデバイス121によって反射されて撮像ユニット11へ向う。このように、ミラーデバイス121は平面ミラー状態となるが、ミラーデバイス122、123、124は透明状態を維持する。この場合、鏡125は平面ミラー状態であり、鏡125によって反射された光L5は透明状態のミラーデバイス124、123、122を透過するが、平面ミラー状態のミラーデバイス121によって阻止されるので、全体の動作に関係しない。この結果、図22に示すように、ミラーデバイス121に入射した画像がそのまま撮像ユニット11によって撮像されることになる。
次に、図21の(B)に示す時刻t2において、制御ユニット13は、
x2=V、y2=0V
x1=x3=x4=0V(フローティングでもよい)
y1=y3=y4=0V(フローティングでもよい)
とし、ミラーデバイス122をオンにし、この場合、拡大ミラー状態とする。他方、ミラーデバイス121、123、124のオフを維持する。従って、光L2の像は平面ミラー状態のミラーデバイス122によって反射され、透明状態のミラーデバイス121を通過して撮像ユニット11へ向う。このように、ミラーデバイス122は拡大ミラー状態となるが、ミラーデバイス121、123、124は透明状態を維持する。この場合、鏡125も平面ミラー状態であり、鏡125によって反射された光L5は透明状態のミラーデバイス124、123を透過するが、拡大ミラー状態のミラーデバイス122によって阻止されるので、全体の動作に関係しない。この結果、図23に示すように、ミラーデバイス122に入射した画像が拡大されて撮像ユニット11によって撮像されることになる。
次に、図15の(C)に示す時刻t3において、制御ユニット13は、
x3=0V、y3=V
x1=x2=x4=0V(フローティングでもよい)
y1=y2=y4=0V(フローティングでもよい)
とし、ミラーデバイス123をオンにし、この場合、平面ミラー状態とする。他方、ミラーデバイス121、122、124のオフを維持する。従って、光L3は平面ミラー状態のミラーデバイス123によって反射され、透明状態のミラーデバイス122、121を通過して撮像ユニット11へ向う。このように、ミラーデバイス123は平面ミラー状態となるが、ミラーデバイス121、122、124は透明状態を維持する。この場合も、鏡125は平面ミラー状態であり、鏡125によって反射された光L5は透明状態のミラーデバイス124を透過するが、平面ミラー状態のミラーデバイス123によって阻止されるので、全体の動作に関係しない。この結果、図24に示すように、ミラーデバイス123に入射した画像がそのまま撮像ユニット11によって撮像されることになる。
次に、図21の(D)に示す時刻t4において、制御ユニット13は、
x3=V、y3=0V
x1=x2=x4=0V(フローティングでもよい)
y1=y2=y4=0V(フローティングでもよい)
とし、ミラーデバイス124をオンにし、この場合、縮小ミラー状態とする。他方、ミラーデバイス121、122、123のオフを維持する。従って、光L4は縮小ミラー状態のミラーデバイス124によって反射され、透明状態のミラーデバイス123、122、121を通過して撮像ユニット11へ向う。このように、ミラーデバイス124は縮小ミラー状態となるが、ミラーデバイス121、122、123は透明状態を維持する。この場合、鏡125も平面ミラー状態であり、鏡125によって反射された光L5は、平面ミラー状態のミラーデバイス124によって阻止されるので、全体の動作に関係しない。この結果、図25に示すように、ミラーデバイス124に入射した画像が縮小されて撮像ユニット11によって撮像されることになる。
最後に、図21の(E)に示す時刻t5において、制御ユニット13は、
x1=x2=x3=x4=0V(フローティングでもよい)
y1=y2=y3=y4=0V(フローティングでもよい)
とし、すべてのミラーデバイス121、122、123、124のオフを維持する。従って、ミラーデバイス121、122、123、124は透明状態を維持する。この場合、鏡125は平面ミラー状態であり、鏡125によって反射された光L5は透明状態のミラーデバイス124、123、122、121を透過し、撮像ユニット11へ向う。この結果、図26に示すように、鏡125に入射した画像がそのまま撮像ユニット11によって撮像されることになる。
制御ユニット13は上述の時刻t1、t2、t3、t4、t5の動作を繰返して実行する。
また、ミラーデバイスM2では、図7にて説明したように、電圧の印加方法によって、凸面(凹面)ミラー状態と平面ミラー状態とを両方とも形成することもできる。そこで、さらに、時刻t6から時刻t10までの動作を時刻t1から時刻t5までの動作と異ならせてもよい。たとえば、時刻t6においては、ミラーデバイス121を拡大ミラー状態とし、他のミラーデバイス122、123、124をオフに維持する。時刻t7においては、ミラーデバイス122を平面ミラー状態とし、他のミラーデバイス121、123、124をオフに維持する。時刻t8においては、ミラーデバイス123を縮小ミラー状態とし、他のミラーデバイス121、122、124をオフに維持する。時刻t9においては、ミラーデバイス124を平面ミラー状態とし、他のミラーデバイス121、122、123をオフに維持する。時刻t10においては、すべてのミラーデバイス121、122、123、124をオフに維持し、鏡125による反射された映像を撮影する。従って、この場合、制御ユニット13は時刻t1、t2、t3、t4、t5、t6、t7、t8、t9、t10の動作を繰返して実行する。このように一連の動作において、同一ミラーデバイスでも対向する電極を夫々別のタイミングでミラー化することでより多様な画像を撮像可能となる。
図14のミラーデバイス121、122、123、124は図10のミラーデバイスM3と同一のセル化構造とすることもでき、つまり、透明基板1、2、矩形状にパターン化された透明電極層3、4、透明シール部5、電解液6及び微小プリズム8によって構成し、透明状態、非正反射ミラー状態及び正反射ミラー状態の3状態のいずれかとする。
図27を参照して図10のミラーデバイスM3を用いた図14の撮像装置の動作を説明する。
始めに、図27の(A)に示す時刻t1において、制御ユニット13は、
x1=V、y1=0V
x2=x3=x4=0V(フローティングでもよい)
y2=y3=y4=0V(フローティングでもよい)
とし、ミラーデバイス121をオンにし、この場合、非正反射ミラー状態とする。他方、ミラーデバイス122、123、124のオフを維持する。従って、ミラーデバイス121に対して垂直に入射する光L1’は非正反射ミラー状態のミラーデバイス121によって反射されて撮像ユニット11へ向う。このように、ミラーデバイス121は非正反射ミラー状態となるが、ミラーデバイス122、123、124は透明状態を維持する。この場合、鏡125は平面ミラー状態であり、鏡125によって反射された光L5は透明状態のミラーデバイス124、123、122を透過するが、非正反射ミラー状態のミラーデバイス121によって阻止されるので、全体の動作に関係しない。この結果、ミラーデバイス121に入射した画像がそのまま撮像ユニット11によって撮像されることになる。
次に、図27の(B)に示す時刻t2において、制御ユニット13は、
x2=V、y2=0V
x1=x3=x4=0V(フローティングでもよい)
y1=y3=y4=0V(フローティングでもよい)
とし、ミラーデバイス122をオンにし、この場合、非正反射ミラー状態とする。他方、ミラーデバイス121、123、124のオフを維持する。従って、ミラーデバイス122に対して垂直に入射する光L2’の像は非正反射ミラー状態のミラーデバイス122によって反射され、透明状態のミラーデバイス121を通過して撮像ユニット11へ向う。このように、ミラーデバイス122は非正反射ミラー状態となるが、ミラーデバイス121、123、124は透明状態を維持する。この場合、鏡125も平面ミラー状態であり、鏡125によって反射された光L5は透明状態のミラーデバイス124、123を透過するが、非正反射ミラー状態のミラーデバイス122によって阻止されるので、全体の動作に関係しない。この結果、ミラーデバイス122に入射した画像がそのまま撮像ユニット11によって撮像されることになる。
次に、図27の(C)に示す時刻t3において、制御ユニット13は、
x3=0V、y3=V
x1=x2=x4=0V(フローティングでもよい)
y1=y2=y4=0V(フローティングでもよい)
とし、ミラーデバイス123をオンにし、この場合、正反射ミラー状態とする。他方、ミラーデバイス121、122、124のオフを維持する。従って、光L3は正反射ミラー状態のミラーデバイス123によって反射され、透明状態のミラーデバイス122、121を通過して撮像ユニット11へ向う。このように、ミラーデバイス123は正反射ミラー状態となるが、ミラーデバイス121、122、124は透明状態を維持する。この場合も、鏡125は平面ミラー状態であり、鏡125によって反射された光L5は透明状態のミラーデバイス124を透過するが、正反射ミラー状態のミラーデバイス123によって阻止されるので、全体の動作に関係しない。この結果、ミラーデバイス123に入射した画像がそのまま撮像ユニット11によって撮像されることになる。
次に、図27の(D)に示す時刻t4において、制御ユニット13は、
x4=0V、y4=V
x1=x2=x3=0V(フローティングでもよい)
y1=y2=y3=0V(フローティングでもよい)
とし、ミラーデバイス124をオンにし、この場合、正反射ミラー状態とする。他方、ミラーデバイス121、122、123のオフを維持する。従って、光L4は正反射ミラー状態のミラーデバイス124によって反射され、透明状態のミラーデバイス123、122、121を通過して撮像ユニット11へ向う。このように、ミラーデバイス124は正反射ミラー状態となるが、ミラーデバイス121、122、123は透明状態を維持する。この場合、鏡125も平面ミラー状態であり、鏡125によって反射された光L5は、平面ミラー状態のミラーデバイス124によって阻止されるので、全体の動作に関係しない。この結果、ミラーデバイス124に入射した画像がそのまま撮像ユニット11によって撮像されることになる。
最後に、図27の(E)に示す時刻t5において、制御ユニット13は、
x1=x2=x3=x4=0V(フローティングでもよい)
y1=y2=y3=y4=0V(フローティングでもよい)
とし、すべてのミラーデバイス121、122、123、124のオフを維持する。従って、ミラーデバイス121、122、123、124は透明状態を維持する。この場合、鏡125は平面ミラー状態であり、鏡125によって反射された光L5は透明状態のミラーデバイス124、123、122、121を透過し、撮像ユニット11へ向う。この結果、鏡125に入射した画像がそのまま撮像ユニット11によって撮像されることになる。
制御ユニット13は上述の時刻t1、t2、t3、t4、t5の動作を繰返して実行する。
上述の第1の実施の形態によれば、特別の画像処理装置を用いずに、簡単な制御により、複数の対象域を同時に撮像することができる。また、各ミラーデバイス121、122、123、124及び鏡125は、薄型であり、かつ可動部もないので、小型化できる。さらに、撮像ユニット11もミラー装置12の各ミラーデバイス121、122、123、124、鏡125に近くある必要がないので、被監視者から目立たなくなる。特に、撮像ユニット11を暗所に配置すれば、被監視者から全く見えなくなり、たとえば、万引き防止用監視カメラに適し、また、犯罪抑止効果がある。本発明のミラー装置12を用いた撮像装置は患者が監視カメラを嫌う医療現場でも適する。
図28は本発明に係る撮像ユニット用ミラー装置の第2の実施の形態を含む撮像装置を示し、(A)は全体断面図、(B)はミラーデバイスの透明電極層パターンを示す上面図である。
図28の(A)においては、ミラー装置12’のミラーデバイス121’、122’、123’、124’は4ドット画素に分割されている。このため、図28の(B)に示すように、各ミラーデバイス121’、122’、123’、124’においては、図1の透明電極層3の代りに、2つのセグメント透明電極層3−1、3−2を設け、また、図1の透明電極層4の代りに、2つのコモン透明電極層4−1、4−2を設ける。
制御ユニット13はセグメント電圧xi1、xi2、コモン電圧yi1、yi2(i=1、2、3、4)をミラーデバイス121’、122’、123’、124’のセグメント透明電極層3−1、3−2、コモン透明電極層4−1、4−2に印加する。
尚、図28において、xi1=xi2=xi、yi1=yi2=yiとすれば、つまり、各ミラーデバイス121’、122’、123’、124’の画素に同電圧を印加すれば、各ミラーデバイス121’、122’、123’、124’全体はミラー状態もしくは透明状態のいずれかになるので、図28の撮像装置は1つのセグメント電極、1つのコモン電極となり、図14の撮像装置と同一となる。
図29を参照して4分割されたミラーデバイスM1を用いた図28の撮像装置の動作を説明する。
制御ユニット13は、ミラーデバイス121’に対し、
x11=V、y11=0V
x12、y12はフローティングにし、この結果、ミラーデバイス121’の左上方の1/4はオンとなり、残りはオフとなる。従って、ミラーデバイス121’の左上方の1/4は平面ミラーとなり、残りの3/4は透明状態となる。従って、図30に示すように、ミラーデバイス121’の左上方の1/4に入射した光L1はミラーデバイス121’によって反射されて撮像ユニット11へ向う。この結果、ミラーデバイス121’に入射した画像が撮像ユニット11の左上方の1/4に撮像されることになる。
また、制御ユニット13は、ミラーデバイス122’に対し、
x22=V、y21=0V
x21、y22はフローティングにし、この結果、ミラーデバイス122’の右上方の1/4はオンとなり、残りはオフとなる。従って、ミラーデバイス122’の右上方の1/4は平面ミラーとなり、残りの3/4は透明状態となる。従って、図30に示すように、ミラーデバイス122’の右上方の1/4に入射した光L2はミラーデバイス122’によって反射され、ミラーデバイス121’の透明状態の部分を通過して撮像ユニット11へ向う。この結果、ミラーデバイス122’に入射した画像が撮像ユニット11の右上方の1/4に撮像されることになる。
さらに、制御ユニット13は、ミラーデバイス123’に対し、
x31=V、y32=0V
x32、y31はフローティングにし、この結果、ミラーデバイス123’の左下方の1/4はオンとなり、残りはオフとなる。従って、ミラーデバイス123’の左下方の1/4は平面ミラーとなり、残りの3/4は透明状態となる。従って、図30に示すように、ミラーデバイス123’の左下方の1/4に入射した光L3はミラーデバイス123’によって反射され、ミラーデバイス122’、121’の透明状態の部分を通過して撮像ユニット11へ向う。この結果、ミラーデバイス123’に入射した画像が撮像ユニット11の左下方の1/4に撮像されることになる。
さらにまた、制御ユニット13は、ミラーデバイス124’に対し、
x42=V、y42=0V
x41、y41はフローティングにし、この結果、ミラーデバイス124’の右下方の1/4はオンとなり、残りはオフとなる。従って、ミラーデバイス124’の右下方の1/4は平面ミラーとなり、残りの3/4は透明状態となる。従って、図30に示すように、ミラーデバイス124’の右下方の1/4に入射した光L4はミラーデバイス124’によって反射され、ミラーデバイス123’、122’、121’の透明状態の部分を通過して撮像ユニット11へ向う。この結果、ミラーデバイス124’に入射した画像が撮像ユニット11の右下方の1/4に撮像されることになる。
尚、図30においては、鏡125によって反射された光L5はミラーデバイス121’、122’、123’、124’のオンとなった部分の平面ミラーによって阻止されるので、全体の動作に関係しない。しかし、鏡125によって反射された光L5の一部たとえば左下方の1/4を撮像ユニット11によって撮像したい場合、該当するミラーデバイスたとえば123’において、セグメント電圧x31、コモン電圧y32をフローティングし、ミラーデバイス123’全体を透明状態にすればよい。
図28のミラーデバイス121’、122’、123’、124’は図5のミラーデバイスM2と同一のセル化構造とすることもでき、つまり、各ミラーデバイス121’、122’、123’、124’は、図31に示すように、透明基板1、2、矩形状にパターン化された透明電極層3−1、3−2、4−1、4−2、透明シール部5、電解液6(図示省略)及び4つの同心微小平面レンズ7−1、7−2、7−3、7−4によって構成し、透明状態、凹面ミラー状態(もしくは凸面ミラー状態)及び平面ミラー状態の3状態のいずれかとすることができる。尚、図31において、(A)は貼り合せ前の透明基板1側、(B)は貼り合せ前の透明基板2側、(C)は貼り合せ後を示す。この場合、各同心微小平面レンズ7−1、7−2、7−3、7−4の各領域は1つのミラーデバイスの凹面ミラー(拡大ミラー)状態及び凸面ミラー(縮小ミラー)状態はいずれか一方のみ可能である。たとえば、同心微小平面レンズ7−1、7−3は、透明状態、凹面ミラー(拡大ミラー)状態及び平面ミラー状態の3状態とし、同心微小平面レンズ7−1の曲率は小さく、同心微小平面レンズ7−3の曲率は大きい。また、同心微小平面レンズ7−2、7−4は、透明状態、凸面ミラー(縮小ミラー)状態及び平面ミラー状態の3状態とし、同心微小平面レンズ7−2の曲率は大きく、同心微小平面レンズ7−4の曲率は小さい。
図32の(A)は図31のミラーデバイスの各領域が平面レンズ状態の場合の撮像ユニット11の撮像画面を示し、図32の(B)は図31のミラーデバイスの同心微小平面レンズ7−1、7−2、7−3、7−4の各領域が倍率が大きい拡大ミラー状態、縮小率が小さい縮小ミラー状態、倍率が小さい拡大ミラー状態、縮小率が大きい縮小ミラー状態の場合の撮像ユニット11の撮像画面を示す。このように、1つのミラーデバイスに入射した拡大縮小の4つの画像が撮像ユニット11に同時に撮像されることになる。
図28のミラーデバイス121’、122’、123’、124’は図10のミラーデバイスM3と同一のセル化構造とすることもでき、つまり、各ミラーデバイス121’、122’、123’、124’は、図33に示すように、透明基板1、2、矩形状にパターン化された透明電極層3−1、3−2、4−1、4−2、透明シール部5、電解液6(図示省略)及び4つの微小プリズム8−1、8−2、8−3、8−4によって構成し、透明状態、非正反射ミラー状態及び正反射ミラー状態の3状態のいずれかとすることができる。この場合、各微小プリズム8−1、8−2、8−3、8−4は同一の形状とすることもできるが、図33に示すごとく、各微小プリズム8−1、8−2、8−3、8−4の片鋸歯状の断面形状の傾きを相異ならせたり、及び/または、各微小プリズム8−1、8−2、8−3、8−4の平面視ライン状の傾きを相異ならせてもよい。
上述の第2の実施の形態においては、ミラー装置12’のミラーデバイス121’、122’、123’、124’を4(=2×2)ドット画素に分割しているが、他の分割数にもなし得る。たとえば、図34に示すごとく、16(=4×4)ドット画素に分割することができる。尚、図34において、(A)は貼り合せ前の透明基板1側、(B)は貼り合せ前の透明基板2側、(C)は貼り合せ後を示す。図34においては、4つのセグメント透明電極層3−1、3−2、3−3、3−4及び4つのコモン透明電極層4−1、4−2、4−3、4−4を設けてある。この場合、図35に示すごとく、セグメント透明電極層の数を増加させて8つのセグメント透明電極層3−1、3−2、3−3、3−4、3−5、3−6、3−7、3−8としてもよい。また、複数のセグメント透明電極層及び/または複数のコモン透明電極層に同時に電圧を印加してもよい。
上述の第2の実施の形態によれば、上述の第1の実施の形態の効果に加えて、ドット分割されたミラーデバイス121’、122’、123’、124’により複数の拡大縮小撮像及び/または複数の非正反射及び正反射撮像が可能となる。
尚、上述の第1、第2の実施の形態においては、ミラーデバイス121、122、123、124、121’、122’、123’、124’を撮像ユニット11に対して同一傾斜角度で傾斜させているが、異なる傾斜角度でもよい。また、ミラーデバイスの数は4つとしているが、他の数でもよく、また、特に、1つでもよい。
本発明は、上述の実施の形態の自明の範囲のいかなる変更も適用し得る。
1、2... 透明基板
3、4... 透明電極層
5... 透明シール部
6... 電解液
7−1、7−2、7−3、7−4... 同心微小平面レンズ
8−1、8−2、8−3、8−4... 微小プリズム
11... 撮像ユニット
12、12’ ... ミラー装置
13... 制御ユニット
14、15... 光吸収板
16... 透明板
121、122、123、124、121’、122’、123’、124’... ミラーデバイス
125... 鏡
M1、M2、M3... ミラーデバイス

Claims (9)

  1. 撮像ユニット用ミラー装置であって、
    前記撮像ユニットの撮影方向に対して傾斜して設けられた少なくとも1つのミラーデバイスを具備し、
    前記ミラーデバイスは、
    互いに対向した第1、第2の透明基板と、
    前記各第1、第2の透明基板の内側に設けられた第1、第2の透明電極層と、
    前記第1、第2の透明電極層の間に封入されたエレクトロデポジション剤を含む電解液と
    を具備する撮像ユニット用ミラー装置。
  2. 前記第1の透明電極層は複数のセグメント透明電極層よりなり、前記第2の透明電極層は複数のコモン透明電極層よりなり、前記ミラーデバイスは前記セグメント透明電極層及び前記コモン透明電極層によって複数のドットに分割された請求項1に記載の撮像ユニット用ミラー装置。
  3. 前記ミラーデバイスは、さらに、
    前記第2の透明基板と前記第2の透明電極層との間に微小平面レンズを具備する請求項1に記載の撮像ユニット用ミラー装置。
  4. 前記ミラーデバイスは、さらに、
    前記第2の透明基板と前記第2の透明電極層との間に微小プリズムを具備する請求項1に記載の撮像ユニット用ミラー装置。
  5. 前記ミラーデバイスは、さらに、
    前記第2の透明基板と前記第2の透明電極層との間に前記ドット毎に設けられた微小平面レンズを具備する請求項2に記載の撮像ユニット用ミラー装置。
  6. 前記ミラーデバイスは、さらに、
    前記第2の透明基板と前記第2の透明電極層との間に前記ドット毎に設けられた微小プリズムを具備する請求項2に記載の撮像ユニット用ミラー装置。
  7. さらに、
    前記ミラーデバイスの前記撮像ユニットと反対側に設けられた平面ミラーとして作用する鏡を具備する請求項1に記載の撮像ユニット用ミラー装置。
  8. 請求項1に記載の前記撮像ユニット用ミラー装置と、
    前記ミラーデバイスの前記第1、第2の透明電極層間に直流バイアス電圧を印加してスタティック駆動すると共に、前記撮像ユニットを制御する制御ユニットと
    を具備する撮像装置。
  9. 請求項2に記載の前記撮像ユニット用ミラー装置と、
    前記ミラーデバイスの前記セグメント透明電極層の少なくとも1つにセグメント電圧を印加しかつ前記コモン透明電極層の少なくとも1つにコモン電圧を印加してスタティック駆動すると共に、前記撮像ユニットを制御する制御ユニットと
    を具備する撮像装置。

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