JP2015531457A - ゲッターポンプ - Google Patents
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Abstract
Description
一式のゲッターカートリッジが準備され、各カートリッジは1.3mmの間隔で39枚のディスクを具備している。ディスクに使用されたゲッター材料は、Zr(82重量%)−V(14.8重量%)−Fe(3.2重量%)の合金であり、商品面「St172」として出願人によって販売されている。ディスクは厚さ1mmであり、直径25.4mmである。カートリッジのターミナル部において、24.8mmのゲッター要素の自由度が存在し、それによってリニアサポートの全長は140mmである。
実施例1と同じセットからの他のゲッターカートリッジは、先行技術によるゲッターポンプのポンピング速度を評価するために使用される。閉鎖されたゲッターポンプ筐体は、実施例1の筐体と同一の直径および高さを有するが、配置平面とリニア中心サポートとによって形成された角度は90°であるように、すなわちリニアサポートが筐体の壁に平行であり、カートリッジが筐体の周の周りに且つ互いの間で均等に離間されて配置されるように搭載されたカートリッジを備えている。この場合、評価の結果は、2200リットル/sよりも低いポンピング速度を提供した。
11 ・・・中心シャフト
12、12´、・・・、12n ・・・ゲッター要素
20 ・・・ゲッターポンプ部
21、21´ ・・・側壁
24 ・・・回転軸
30、300 ・・・ゲッターポンプ
31 ・・・
221、231 ・・・カートリッジサポート
222、232 ・・・配置平面
Claims (14)
- 回転軸(24)を備えた回転体の形状を有する筐体(21,21´;31)と、該ゲッターポンプ筐体(21,21´;31)内に搭載された複数のゲッターカートリッジ(10;22,23;32,33,34;320,330,340)であって、各カートリッジはリニア中心サポート(11;221,231)と、該リニア中心サポート(11;221,231)に搭載された、離間されたゲッター要素(12,12´,・・・,12n)と、を具備した複数のゲッターカートリッジと、を具備したゲッターポンプであって、
リニア中心サポート(11;221,231)を含み且つ前記回転軸(24)に平行な面が、ゲッターカートリッジ配向平面を形成し、前記回転軸(24)に直交し且つ前記リニア中心サポート(11;221,231)の中点と交差した面が、ゲッターカートリッジ配置平面(222,232)を形成したゲッターポンプにおいて、
前記配置平面(222,232)と前記リニア中心サポート(11;221,231)とによって形成された角度(α,α´)は30°以下、好適に10°以下であることを特徴とするゲッターポンプ。 - 前記回転体は、円筒、円錐、円錐台のグループから選択されていることを特徴とする請求項1に記載のゲッターポンプ。
- 前記離間されたゲッター要素(12,12´,・・・,12n)は、チタン、ジルコニウム、イットリウムの1つ以上を少なくとも30%含んだ金属または合金から形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載のゲッターポンプ。
- 前記リニア中心サポート(11;221,231)は、4cm〜30cmの間に含まれた長さを有し、好適に1cmあたり2〜7個の前記ゲッター要素(12,12´,・・・,12n)を担持していることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のゲッターポンプ。
- 前記筐体(31)は、ベースによって一端において閉鎖され、真空フランジによって反対端において閉鎖されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のゲッターポンプ。
- 前記筐体(21,21´;31)は開放端であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のゲッターポンプ。
- 少なくとも2つのゲッターカートリッジの前記配置平面は、1.5cmよりも小さい距離を有し、それによって前記2つのゲッターカートリッジは基本的に同一の配置平面内にあり、ゲッターサブアセンブリ平面として形成されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載のゲッターポンプ。
- 同一のゲッターサブアセンブリ平面内にあるゲッターカートリッジに関する配向平面によって形成された多面体の頂点における角度(β,β´,β´´)は、130°以下であり、好適に90°以下であることを特徴とする請求項7に記載のゲッターポンプ。
- 同一のゲッターサブアセンブリ平面は、三角形構造に配置された3つのゲッターカートリッジ(32,33,34)を含んでいることを特徴とする請求項8に記載のゲッターポンプ。
- 同一のゲッターサブアセンブリ平面は、正方形構造に配置された4つのゲッターカートリッジを含んでいることを特徴とする請求項8に記載のゲッターポンプ。
- 異なったゲッターサブアセンブリ平面内にある隣接した多角形の頂点を接続した線は、前記ゲッターサブアセンブリ平面自身とともに80°以下、好適に60°よりも小さい角度を形成していることを特徴とする請求項8〜10のいずれか一項に記載のゲッターポンプ。
- 前記ゲッターサブアセンブリ平面の数は、前記ポンプ筐体(31)の長さの1mあたり40〜80の間に含まれていることを特徴とする請求項7〜11のいずれか一項に記載のゲッターポンプ。
- 異なったタイプの真空ポンプを具備したポンプシステムにおける、請求項1に記載のゲッターポンプの使用。
- 前記真空ポンプは、スパッタイオンポンプ、ターボ分子ポンプ、低温ポンプ、NEGポンプのグループから選択された真空ポンプを具備していることと特徴とする、請求項13に記載のポンプシステムにおける請求項1に記載のゲッターポンプの使用。
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