JP2015520418A - リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2012年6月8日に出願された米国特許仮出願第61/657,267号の利益を主張し、その全体が本明細書に援用される。
Claims (15)
- 個別に制御可能な線量をターゲットに与えるために複数の放射ビームを生成するよう構成された複数の光源デバイスであって、前記放射ビームが互いに平行とならないように配置された複数の光源デバイスと、
前記放射ビームのそれぞれを前記ターゲットのそれぞれの位置上に投影するよう構成された投影系であって、前記放射ビームを受けてそれらを実質的に平行な経路上に方向転換するよう配置された方向転換素子を備える投影系と、
を備えることを特徴とする露光装置。 - 前記方向転換素子は、屈折レンズ群であることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記屈折レンズ群は、一つの屈折レンズ素子から成ることを特徴とする請求項2に記載の露光装置。
- 前記方向転換素子は、負のパワーを有することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の露光装置。
- 前記方向転換素子は、正のパワーを有することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の露光装置。
- 前記光源デバイスのそれぞれは、コリメートレンズを備えることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の露光装置。
- 前記光源デバイスは、生成される前記放射ビームが共通点に向かうよう配置されることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の露光装置。
- 前記投影系は、前記光源デバイスに数が一致し、前記放射ビームを集束させるよう配置された複数のレンズを備えることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の露光装置。
- 前記複数のレンズは、密に充填されたアレイ状であることを特徴とする請求項8に記載の露光装置。
- 前記方向転換素子は、方向転換された放射ビームを平行にするよう配置されることを特徴とする請求項1から9のいずれかに記載の露光装置。
- 前記放射ビームの経路に設けられた不透明部材をさらに備え、前記不透明部材は、前記光源デバイスのそれぞれに対応するピンホールを規定することを特徴とする請求項1から10のいずれかに記載の露光装置。
- 前記不透明部材は、前記光源デバイスと前記方向転換素子との間に位置することを特徴とする請求項11に記載の露光装置。
- 前記不透明部材は、前記投影系の瞳面に設けられることを特徴とする請求項11または12に記載の露光装置。
- 前記ターゲットは、デバイスが形成されるべき基板から間隔をおいたドナー物質層であることを特徴とする請求項1から13のいずれかに記載の露光装置。
- 前記投影系は、固定部および可動部を備えることを特徴とする請求項1から14のいずれかに記載の露光装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201261657267P | 2012-06-08 | 2012-06-08 | |
US61/657,267 | 2012-06-08 | ||
PCT/EP2013/059576 WO2013182367A1 (en) | 2012-06-08 | 2013-05-08 | Lithography apparatus and device manufacturing method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015520418A true JP2015520418A (ja) | 2015-07-16 |
JP6052931B2 JP6052931B2 (ja) | 2016-12-27 |
Family
ID=48325732
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015515443A Expired - Fee Related JP6052931B2 (ja) | 2012-06-08 | 2013-05-08 | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6052931B2 (ja) |
KR (1) | KR101680130B1 (ja) |
NL (1) | NL2010771A (ja) |
WO (1) | WO2013182367A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017530031A (ja) * | 2014-08-07 | 2017-10-12 | オルボテック リミテッド | Liftプリント・システム |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107111205B (zh) | 2014-11-12 | 2020-12-15 | 奥宝科技有限公司 | 具有多个输出光束的声光偏光器 |
KR20180030609A (ko) | 2015-07-09 | 2018-03-23 | 오르보테크 엘티디. | Lift 토출 각도의 제어 |
WO2020009764A1 (en) * | 2018-07-03 | 2020-01-09 | Applied Materials, Inc. | Pupil viewing with image projection systems |
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WO2013023874A1 (en) * | 2011-08-16 | 2013-02-21 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus, programmable patterning device and lithographic method |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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AU2002342349A1 (en) * | 2001-11-07 | 2003-05-19 | Applied Materials, Inc. | Maskless printer using photoelectric conversion of a light beam array |
WO2010032224A2 (en) | 2008-09-22 | 2010-03-25 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus, programmable patterning device and lithographic method |
-
2013
- 2013-05-08 KR KR1020147028931A patent/KR101680130B1/ko active IP Right Grant
- 2013-05-08 WO PCT/EP2013/059576 patent/WO2013182367A1/en active Application Filing
- 2013-05-08 NL NL2010771A patent/NL2010771A/en not_active Application Discontinuation
- 2013-05-08 JP JP2015515443A patent/JP6052931B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101680130B1 (ko) | 2016-12-12 |
JP6052931B2 (ja) | 2016-12-27 |
WO2013182367A1 (en) | 2013-12-12 |
KR20140141660A (ko) | 2014-12-10 |
NL2010771A (en) | 2013-12-10 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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