JP2015517021A - ブロックコポリマー薄膜においてドメインの配向性を制御するための化学蒸着された膜の使用 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、真空蒸着した薄膜材料を使用することによって、下位にあるブロックコポリマー膜の異なるドメインと非優先的に相互作用する界面を作る。非優先的な界面は、湿潤層の形成を防止し、ブロックコポリマーにおけるドメインの配向性に影響を与える。蒸着したポリマーの目的は、リソグラフィックパターンとして機能することができるブロックコポリマー膜の中にナノ構造化したフィーチャーを生成することである。
従来のマルチグレイン媒体を使用するハードディスクドライブにおける面密度の改善は、現在のところ超常磁性の限界により制約される[1]。ビットパターン媒体は、非磁気材料により分離された孤立磁気島を作ることによってこの限界を回避することができる。ナノインプリントリソグラフィは、25nm以下のフィーチャーを用いてテンプレートを作ることができるとすれば、ビットパターン媒体を生成するための興味深い解決策である[2]。光リソグラフィの解像限界および遅いスループットによる電子ビームリソグラフィの非常に高い価格[3]は、新規のテンプレートパターニングプロセスを必要とする。約5〜100nm程度の十分に定義された構造へのジブロックコポリマーの自己集合[4]により、ビットパターン媒体の生成に必要とされる長さスケールのフィーチャーが生成する。これは、インプリントリソグラフィ用のテンプレートを生成するためのブロックコポリマーを使用することによって最も効率的に遂行される[5]。適切なテンプレートが利用可能であれば、インプリントリソグラフィを採用することによって、ビットパターン媒体を効率的に生成することができる。これまでの研究は、後重合のSiO2成長[7]、超臨界CO2を使用するシリカの蒸着[8]、およびケイ素含有フェロセニルモノマー[9]を介して、エッチング耐性のために、1つのブロックの中に選択的にケイ素を組み込んだ六方充填円柱状の形態を生成するブロックコポリマーをターゲットにしてきた[6]。必要とされるのは、ケイ素が提供する良好な酸素エッチングコントラストでエッチングすることができるナノ構造の所望の構造的整列を有する100nm以下のフィーチャーを有するインプリントテンプレートを作る方法である。
一実施形態では、本発明は、a)ブロックコポリマー膜を基材上にコーティングするステップ、b)気相中で蒸着させることによって、トップコートをブロックコポリマーの上端に塗布するステップ、c)アニーリングステップにより、ブロックコポリマーのドメイン配向性を達成するための方法に関する。一実施形態では、前記アニーリングは、溶媒蒸気への曝露による。一実施形態では、前記アニーリングは加熱による。一実施形態では、前記基材はケイ素を含む。一実施形態では、前記基材はシリコンウェハーである。一実施形態では、前記基材はクオーツである。一実施形態では、前記基材はガラスである。一実施形態では、前記基材はプラスチックである。一実施形態では、前記基材は透明な基材である。一実施形態では、前記基材はロールツーロール基材である。一実施形態では、前記基材を2つのブロックのエネルギーの間の表面エネルギーを有する、基材表面エネルギー中和層でコーティングする。一実施形態では、前記基材表面エネルギー中和層は、以下からなる群から選択される:(a)高Tgポリマー、(b)架橋ポリマー、(c)蒸着した(vapor deposited)ポリマー、例えば、パリレンなど、(d)シリル化剤の小分子誘導体、および(e)ポリマーを基材に末端付加させることによるポリマーブラシ。一実施形態では、前記ブロックコポリマーは、少なくとも10重量%のケイ素を有するブロックを含有する。一実施形態では、前記トップコートは有機物である。一実施形態では、前記トップコートは無機酸化物である。一実施形態では、前記トップコートはパリレンである。一実施形態では、前記トップコートはパリレン誘導体である。一実施形態では、前記パリレンは以下からなる群から選択される:パリレンN、パリレンD、パリレンC、パリレンHT(登録商標)、およびパリレンX。一実施形態では、本方法は以下のステップをさらに含む:d)ナノ構造が形成するような条件下で前記層状構造を処理するステップ。一実施形態では、前記処理はアニーリングを含む。一実施形態では、前記アニーリングは加熱を含む。一実施形態では、本方法は以下のステップをさらに含む:e)トップコートおよびブロックコポリマーの一部が除去され、前記ナノ構造が露出するような条件下で前記層状構造をエッチングするステップ。一実施形態では、前記ブロックコポリマーは、リソグラフィックパターニングプロセスにおいてエッチングマスクとして使用することができるナノ構造材料を形成する。一実施形態では、第3のモノマーが準備され、前記ブロックコポリマーはトリブロックコポリマーである。一実施形態では、本発明は、上記に記載されているプロセスに従い作製された、エッチングされたナノ構造に関する。一実施形態では、前記エッチングは酸素エッチングを含む。一実施形態では、前記ナノ構造は、以下からなる群から選択される:ラメラ、シリンダー、垂直に整列しているシリンダー、水平に整列しているシリンダー、球、ジャイロイド、ネットワーク構造、および階層ナノ構造。一実施形態では、前記ナノ構造はシリンダー状構造を含み、前記シリンダー状構造は表面の面に対して実質的に垂直に整列している。一実施形態では、構成成分の比率は、層の表面エネルギーが変化するように変化させることができる。一実施形態では、処理組成物に熱的アニーリングを行うと表面エネルギーが切り替わる。一実施形態では、表面エネルギー中和層を塗布することは以下のステップを含む:i)前記表面エネルギー中和層ポリマーを溶媒中に溶解するステップ;ii)表面エネルギー中和層ポリマーを表面上にスピンコーティングするステップ;iii)250℃に5分間曝露することによって架橋するステップ;およびiv)続いて溶媒で洗浄するステップ。一実施形態では、前記溶媒はトルエンである。
本発明の理解を促進するため、いくつかの用語を以下で定義する。本明細書中で定義される用語は、本発明に関連する領域の当業者により一般的に理解されている意味を有する。「a」、「an」および「the」などの用語は、単数の実体のみを指すものではなく、そのクラスの具体例を例示のために使用することができる一般的なクラスを含むことを意図する。本明細書中の専門用語は、本発明の特定の実施形態を記載するために使用されるが、これらの使用は、特許請求の範囲において概要を示す以外は本発明の範囲を定めるものではない。
電子デバイスの分野では、ウェブ法、リールツーリール法またはR2Rとしても公知のロールツーロール法は、柔軟性のあるプラスチックまたは金属ホイルのロール上に電子デバイスを作るプロセスである。この使用よりも前に他の分野では、このロールツーロール法は、コーティングを塗布すること、印刷すること、または柔軟性のある材料のロールを用いて開始し、このプロセス後、再び巻き取ることによって出力ロールを作る他のプロセスを実施するといった、いかなるプロセスも指すことができる。薄膜太陽電池(TFPV)とも呼ばれる、薄膜の太陽電池(TFSC)は、光電性材料の1つまたは複数の薄層(薄膜)を基材または表面上に蒸着させることによって作製される太陽電池である。可能なロールツーロール基材として、これらに限定されないが金属化ポリエチレンテレフタレート(terphthalate)、金属膜(スチール)、ガラス膜(例えばCorning Gorilla Glass)、グラフェンコーティング膜、ポリエチレンナフタレート(Dupont Teonex)、およびKapton膜、ポリマー膜、金属化ポリマー膜、金属化ガラスもしくは金属化ケイ素、炭素化ポリマー膜、炭素化ガラスもしくは炭素化ケイ素が挙げられる。可能なポリマー膜として、ポリエチレンテレフタレート、kapton、マイラーなどが挙げられる。
そのポリマーバージョンは、
本発明は、真空蒸着した薄膜の材料を使用して、下位にあるブロックコポリマー膜の異なるドメインと非優先的に相互作用する界面を作る。非優先的界面は、湿潤層の形成を防止し、ブロックコポリマーのドメインの配向性に影響を与える。蒸着したポリマーの目的は、リソグラフィックパターンとして機能することができるブロックコポリマー膜の中にナノ構造化したフィーチャーを生成することである。
ブロックコポリマー薄膜におけるドメイン配向性を制御するための化学的蒸着した膜の使用
ブロックコポリマー薄膜におけるドメイン配向性を制御するために化学的蒸着した膜を使用する方法の一例:1)表面エネルギー中和層ポリマーをトルエン中に溶解し、スピンコーティングする、2)250℃で5分間架橋する、3)トルエンで2回洗浄する、4)ブロックコポリマーをトルエン中に溶解し、スピンコーティングする、5)塗布後のベーキングを110℃で1分間行う、6)パリレン含有処理組成物をほぼ150nmの厚さでブロックコポリマー上に真空蒸着させ、トップコートを形成する、7)薄膜を170℃で18時間アニーリングする、8)ブロックコポリマーを以下の条件で酸素プラズマエッチングする:圧力=90mTorr、RF電力=80W、ICP電力=100W、O2流速=5立方センチメートル毎分(SCCM)、温度=15℃、時間=35秒。
ブロックコポリマー薄膜におけるドメイン配向性を制御するための2つの化学的蒸着した層を使用する交互の手順
ブロックコポリマー薄膜におけるドメイン配向性を制御するための化学的蒸着した膜を使用する方法の一例:1)パリレン含有表面エネルギー中和層をウエハー上に真空蒸着する、2)ブロックコポリマーをトルエン中に溶解し、スピンコーティングする、3)塗布後のベーキングを110℃で1分間行う、4)パリレン含有処理組成物をほぼ150nmの厚さでブロックコポリマー上に真空蒸着させ、トップコートを形成する、5)薄膜を170℃で18時間アニーリングする、6)ブロックコポリマーを以下の条件で酸素プラズマエッチングする:圧力=90mTorr、RF電力=80W、ICP電力=100W、O2流速=5立方センチメートル毎分(SCCM)、温度=15℃、時間=35秒。
Claims (48)
- a)ブロックコポリマー膜を基材上にコーティングするステップ、
b)気相中で蒸着させることによって、トップコートを前記ブロックコポリマーの上端に塗布するステップ、および
c)アニーリングステップ
により、ブロックコポリマーのドメイン配向を達成するための方法。 - 前記アニーリングが溶媒蒸気への曝露による、請求項1に記載の方法。
- 前記アニーリングが加熱による、請求項1に記載の方法。
- 前記基材がケイ素を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記基材がシリコンウェハーである、請求項4に記載の方法。
- 前記基材がクオーツである、請求項1に記載の方法。
- 前記基材がガラスである、請求項1に記載の方法。
- 前記基材がプラスチックである、請求項1に記載の方法。
- 前記基材が透明な基材である、請求項1に記載の方法。
- 前記基材がロールツーロール基材である、請求項1に記載の方法。
- 前記基材が、2つのブロックの表面エネルギーの間の表面エネルギーを有する基材表面エネルギー中和層でコーティングされる、請求項1に記載の方法。
- 前記基材表面エネルギー中和層が、
(a)高Tgポリマー、(b)架橋ポリマー、(c)蒸着したポリマー、例えば、パリレン、(d)シリル化剤の小分子誘導体、および(e)ポリマーを基材に末端付加させることによるポリマーブラシ
からなる群から選択される、請求項11に記載の方法。 - 前記ブロックコポリマーが少なくとも10重量%のケイ素を有するブロックを含有する、請求項1に記載の方法。
- 前記トップコートが有機物である、請求項1に記載の方法。
- 前記トップコートが無機酸化物である、請求項1に記載の方法。
- 前記トップコートがパリレンである、請求項1に記載の方法。
- 前記トップコートがパリレン誘導体である、請求項1に記載の方法。
- 前記パリレンが、パリレンN、パリレンD、パリレンC、パリレンHT(登録商標)、およびパリレンXからなる群から選択される、請求項16に記載の方法。
- d.ナノ構造が形成するような条件下で前記層状構造を処理するステップ
をさらに含む、請求項1に記載の方法。 - 前記処理がアニーリングを含む、請求項19に記載の方法。
- 前記アニーリングが加熱を含む、請求項20に記載の方法。
- e.前記トップコートおよび前記ブロックコポリマーの一部が除去され、前記ナノ構造が露出するような条件下で前記層状構造をエッチングするステップ
をさらに含む、請求項19に記載の方法。 - 前記ブロックコポリマーが、リソグラフィックパターニングプロセスにおいてエッチングマスクとして使用することができるナノ構造材料を形成する、請求項1に記載の製品。
- 第3のモノマーが準備され、前記ブロックコポリマーがトリブロックコポリマーである、請求項1に記載の方法。
- 請求項22に記載のプロセスに従い作製された、エッチングされたナノ構造。
- 前記エッチングが酸素エッチングを含む、請求項22に記載の方法。
- 前記ナノ構造が、ラメラ、シリンダー、垂直に整列しているシリンダー、水平に整列しているシリンダー、球、ジャイロイド、ネットワーク構造、および階層ナノ構造からなる群から選択される、請求項22に記載の方法。
- 前記ナノ構造が、シリンダー状構造を含み、前記シリンダー状構造が前記表面の面に対して実質的に垂直に整列している、請求項22に記載の方法。
- 前記層の表面エネルギーが変化するように、構成成分の比率を変化させることができる、請求項1に記載の方法。
- 前記処理組成物に熱的アニーリングを行うと前記表面エネルギーが切り替わる、請求項1に記載の方法。
- 前記表面エネルギー中和層を塗布することが、
i)前記表面エネルギー中和層ポリマーを溶媒中に溶解するステップ;
ii)前記表面エネルギー中和層ポリマーを前記表面上にスピンコーティングするステップ;
iii)250℃に5分間曝露することによって架橋するステップ;および
iv)続いて溶媒で洗浄するステップ
を含む、請求項11に記載の方法。 - 前記溶媒がトルエンである、請求項31に記載の方法。
- 表面の上に第1の層、第2の層および第3の層を含む層状構造であって、前記第1の層が表面エネルギー中和層を含み、前記第2の層がブロックコポリマー膜を含み、前記第3の層がパリレンを含む、層状構造。
- 前記表面がケイ素を含む、層状構造。
- トップコートをブロックコポリマー膜に塗布することによって、層状構造を作る方法であって、
a.表面と、表面エネルギー中和層と、ブロックコポリマーと、パリレンを含む組成物とを準備するステップ;
b.前記表面上に第1の層が作られるような条件下で、前記表面を処理するステップであって、前記層が架橋ポリマーを含むステップ;
c.ブロックコポリマー膜を含む第2の層が前記表面上に作られるような条件下で、前記第1の層をブロックコポリマーでコーティングするステップ;ならびに
d.前記組成物を真空蒸着により前記第2の層上に蒸着させて、前記表面上に第3の層を作るステップであって、前記第3の層が前記ブロックコポリマー膜表面上にトップコートを含み、前記第1の層、第2の層および第3の層の層が層状構造を構成するステップ
を含む方法。 - e.ナノ構造が形成するような条件下で前記層状構造を処理するステップをさらに含む、請求項35に記載の方法。
- 前記処理がアニーリングを含む、請求項36に記載の方法。
- 前記アニーリングが加熱を含む、請求項37に記載の方法。
- f.前記トップコートおよび前記ブロックコポリマーの一部が除去され、前記ナノ構造が露出するような条件下で前記層状構造をエッチングするステップ
をさらに含む、請求項36に記載の方法。 - 前記エッチングが酸素エッチングを含む、請求項39に記載の方法。
- 前記ナノ構造がシリンダー状構造を含み、前記シリンダー状構造が前記表面の面に対して実質的に垂直に整列している、請求項36に記載の方法。
- 前記ブロックコポリマーが、少なくとも2種のモノマー由来のポリマーから作製される、請求項35に記載の方法。
- 前記ナノ構造がシリンダー状構造を含み、前記シリンダー状構造が前記表面の面に対して実質的に垂直に整列している、請求項36に記載の方法。
- 前記表面がシリコンウェハー上にある、請求項35に記載の方法。
- 表面エネルギー中和層ポリマーが、前記シリコンウェハーの表面上にスピンコーティング処理により蒸着される、請求項35に記載の方法。
- 前記ブロックコポリマーが、リソグラフィックパターニングプロセスにおいてエッチングマスクとして使用することができるナノ構造材料を形成する、請求項35に記載の製品。
- 第3のモノマーが準備され、前記ブロックコポリマーがトリブロックコポリマーである、請求項35に記載の方法。
- 請求項39に記載のプロセスに従い作製された、エッチングされたナノ構造。
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