JP2015512563A - 背面接触型太陽光発電モジュールの半導体ウエハのセル及びモジュール処理 - Google Patents

Abstract

本発明は、高効率のシリコンベースの背面接触背面接合ソーラーパネルのコスト的に優位性のある製造方法、及び各セルの背面に多数の交互の長方形のエミッタ領域及びベース領域を有するソーラーパネルであって、各々が、対応するエミッタ及びベース領域に平行に走る共にその上にある長方形の金属フィンガー導電体、ウエハ及びフィンガー導電体の間にある第１の絶縁層、及び、フィンガー導電体及びセル相互接続の間にある第２の絶縁層を有するソーラーパネルに関する。

Description

本発明は、高効率のシリコンベースの背面接触背面接合ソーラーパネルの費用効率が高い製造方法及びその方法によって作られたソーラーパネルに関する。

化石エネルギーの使用が、危険になり得る程度まで地球温室効果を増加させていることについて多くの関心が生じている。そのため、化石燃料の現在の消費は、好ましくは、我々の気候及び環境に対して再生可能で維持可能なエネルギー源／キャリアによって置換されるべきである。

このようなエネルギー源の１つは、太陽光であり、それは、人類のエネルギー消費の現在の及びあらゆる予想可能な増加より非常に大きなエネルギーで地球に降り注ぐ。しかしながら、太陽電池の電気は、原子力発電、火力発電、水力発電等と競争的であるようになるには、これまで非常に高価であった。太陽電池の電気の莫大なポテンシャルが達成される場合、これは変化を必要とする。

ソーラーパネルからの電気のコストは、エネルギー変換効率及びソーラーパネルの製造コストに依存する。そのため、より安価なソーラー電気に対する研究は、費用効率が高い製造方法によって作られた高効率の太陽電池に焦点が当てられるべきである。

シリコンベースのソーラーパネルの現在優勢な処理ルートは、おおよそ以下のように記載され得る：高純度のシリコンの結晶性ブロックの形態のソーラーグレードの原料を製造し、ブロックを一組の薄いウエハに切断し、各ウエハをセル処理して太陽電池にし、次いで、ソーラーシステムとしてさらに取り付けられ集積されるソーラーパネルを形成するために太陽電池を載置する。

しかしながら、現在の優勢な処理ルートは、主に２つの要因によるシリコン原料の非常に低い利用度によって妨げられる：現在の切断処理が、１５０から２００μｍの最大厚さを必要とする一方で、ウエハの最も重要な光起電性の活性層がほんの約２０から３０μｍであり、切断によるウエハの形成が、切り口として失われるソーラーグレードのシリコンの原料の約半分である。従って、光起電性要求に従った厚さを有するウエハを形成し得、ウエハを切断する必要なくシリコンベースのソーラーパネルの処理ルートを見出すことが非常に望まれる。

さらに、ソーラーモジュールを生成するために、モジュールの正の電気出力部が第１の電池のアノード領域に接続され、モジュールの負の電気出力部が直列の最後の電池のカソード領域に接続されるように、電池は、典型的には直列電気回路に接続される。ｎ型のベース領域を有するセルにおいて、ｎ型のベース領域はカソードであり、ｐ型のエミッタ領域は、アノードを形成する。ｐ型のベース領域を有する電池において、ｐ型のベース領域はアノードであり、ｎ型のエミッタ領域は、カソードを形成する。第１の電池のエミッタ領域が第２の電池のベース領域に接続され、第２の電池のエミッタ領域が第３の電池のベース領域に接続され、全ての電池が一連に接続されるまで、間にある電池は接続される。この相互接続方法は、電池のこの直列電気接続がどのように実現できるかを開示している。より大きな導電体断面を必要とするより大きな総電流が生成されるので、交流回路トポロジーは一般的には好ましくないけれども、並列回路又は直列及び並列回路の組合せとして接続される電池等の交流回路トポロジーも、この相互接続方法を用いて可能である。

太陽電池のエミッタ及びベース半導体領域からエミッタ及びベース金属化領域に電流が流れることができるように、セル金属化層は、各太陽電池に配置されパターニングされた金属の層である。エミッタ金属及びベース金属が互いに直接電気接続を形成しないように、エミッタ及びベース金属化領域はパターニングされる。一般的に、より大きなフィンガー導電体領域がより低い抵抗損失のために好まれる一方で、低減した金属−半導体接触領域は、コンタクトにおけるキャリア再結合を低減するために好ましい。

（従来技術）
ウエハに切断され、ＢＣ−ＢＪセルに処理される高純度シリコンの結晶性ブロックの形態のソーラーグレードの原料に基づく背面接触背面接合太陽電池（ＢＳ−ＢＪセル）の製造方法は、米国特許第６３３７２８３号明細書から知られる。この文献は、ｎドーピング領域及びｐドーピング領域に開口窓を有するセルの表面に保護層を形成し、第１の金属層がｐドーピング領域及びｎドーピング領域に接触するような方法で、保護層上に第１の金属層を堆積し、パターニングし、絶縁層がｐドーピング領域及びｎドーピング領域の少なくとも１つに開口窓を有するような方法で、ポリイミドの第１の絶縁層をエッチングし、パターニングし、ポリイミドの第１の絶縁層に第２の絶縁層を堆積し、絶縁層がｐドーピング領域及びｎドーピング領域の少なくとも１つに開口窓を有するような方法で、ポリイミドの第２の絶縁層をエッチングし、パターニングし、所定の第２の時間にわたって所定の第２の温度で加熱することによってポリイミドの第１の絶縁層を硬化し、第２の金属層がｐドーピング領域及びｎドーピング領域の１つに接触するような方法で、ポリイミドの第２の絶縁層に第２の金属層を堆積することによって、同一側にｐドーピング領域及びｎドーピング領域を有する背表面点接触シリコン太陽電池を製造する方法を開示する。これに関して、金属化された基板に半田付けされるセル表面は、良好に平坦化され、ボイドがなく、半田疲労がなく、十分な導電性を保証するために均一である。

同様の手法は、背面接触太陽電池を製造する方法を開示する国際公開第２００８／０３９０７８号から知られており、ここで、この方法は、インターデジタル化されたパターンの交互のＰ型及びＮ型の導電性を有する背面にドーピングされた、シリコン基板、ウエハ又は薄膜、任意にＰ又はＮ型の何れかの層を、ウエハの前面に付けることを含み、
この方法は、さらに、
−基板の両側に１つ又はそれ以上の表面保護層を堆積し、
−基板の背面の表面保護層に開口を生成し、
−背面全体を覆い、表面保護層の開口を満たす金属層を堆積し、
−基板の背面のドーピング領域との電気絶縁的な接触が得られるように、堆積された金属層に開口を生成する、ことを含む。

ブロックから切り出されたウエハを適用する際におけるソーラーグレードの原料の低利用度の問題は、基板に堆積されたシリコン膜から太陽電池を作ることによって解決されている。この技術の例は、Keevers et al［１］に開示され、ここで、シリコンの多結晶性薄膜を含む光起電力パネルは、ガラス基板に堆積される。この技術は、ガラス上の結晶性シリコン、又はＣＳＧ技術として知られる。この製造方法は、０．５μｍのシリカビーズを用いたディップコーティングによってガラス基板の一表面のテクスチャリング加工で始まる。次いで、ＳｉＮ_ｘの層及びｐドーピングされた非晶質シリコンの層は、プラズマ化学気相堆積法（ＰＥＣＶＤ）の使用によってテクスチャリング加工された表面に堆積される。次いで、多結晶シリコンの薄膜は、固相結晶化の使用によって形成され、それに続いて急速熱処理及び急速直列水素化が行われる。次いで、堆積された半導体層は、樹脂層がローラーコーティングによって付けられる前に、レーザースクライビングの使用によって一組の個々のセルに分割される。次いで、相互接続を形成するためにスクライビングが続くスパッタリングによってＡｌ層を堆積することによってパネルが完成される前に、樹脂層の一組の接触開口は、エッチング剤のインクジェット印刷によって形成される。この技術の欠点は、ウエハベースの単結晶の太陽電池と比較してこの太陽電池の低い光起電効率である。

国際公開第２００９／１２８７２１号は、伝統的なウエハベースのアプローチ及びＣＳＧアプローチを組み合わせることによって低い光起電効率の問題に対する解決法を開示している。この文献は、取り付けられた膜のウエハ／シートの背面を含む前面ガラス全体を覆う少なくとも１つの金属層を堆積することを含む後続の処理の前に、それらの前面が前面ガラスの背面に面しながら、互いに隣接して配置され取り付けられる、背面金属化を準備するために多くの半導体ウエハ及び／又は予め製造された膜の半導体シートを使用することを含む、ソーラーパネルを製造する方法を開示している。次いで、金属層は、パターニングされ、各太陽電池における電気的に絶縁されたコンタクト及び隣接する太陽電池間の相互接続に分割される。本発明は、ウエハベースの太陽電池製造におけるＣＳＧ技術の適用を利用し、従って、ＣＧＳ技術に関連する作業負荷の低減及び単結晶又は多結晶ウエハの使用によって得られる高変換効率の利点を得る。

国際公開第２０１１／０３１７０７号から、複数のシリコンドナーウエハの各々が、その上部表面、例えば多孔性の陽極エッチングされたシリコンに形成された分離層を有する光起電（ＰＶ）セルパネルの製造方法が知られている。各ドナーウエハにおいて、次いで、ＰＶセルは、その複数のドナーウエハが背面基板又は前面に積層された後に、セル間の相互接続の少なくとも一部を含んで部分的に完成される。次いで、ドナーウエハの全ては、剥離処理中の部分的に完成されたＰＶセルから分離され、続いてＰＶセル上の残っているＰＶセル構造の同時完成が行われる。最後に、前面ガラス又は背面パネルに対する第２の積層は、ＰＶセルパネルを完成する。分離されたドナーウエハは、他のＰＶセルを形成する際に再利用され得る。ＰＶセルの層を形成するためのエピタキシャル堆積の使用は、改善されたセル効率のために、改善されたドーパント分布及び鋭い接合プロファイルを可能にする。

米国特許出願公開第２０１１／０３０３２８０号明細書から、基板の背面に第１のドーピングタイプの第１のドーピング層を提供し、その上に誘電性マスク層を提供することを含む、インターデジタル化された背面接触光起電セルの製造方法が知られている。溝は、誘電性マスク層及び第１のドーピング層を通して形成され、背面に実質的に垂直な方向において基板に延長し、溝の側部において第１のドーピング層の下の側方に延長する。方向性のあるドーピングは、背面に実質的に直交した方向に行われ、それによって、溝の底部において第２のドーパントタイプのドーパントをドーピング領域に提供する。ドーパント拡散は、基板の背面において溝の間のエミッタ領域及び背表面フィールド領域の一方及び溝の底部における他方を形成するように行われる。

米国特許出願公開第２０１１／０３１５１８６号明細書から、薄い単結晶シリコンフィルム太陽電池及びその製造方法が知られており、この方法は、シリコン成長基板に薄い単結晶シリコン層を形成し、それに続いて薄い単一の結晶シリコン膜上及び／又は内に前面又は背面太陽電池を形成することを含む。この方法はまた、薄い単結晶シリコン膜を機械的な支持体に取り付け、次いで、成長基板及び薄い単結晶シリコン膜の間に形成された劈開面に沿って成長基板を薄い単結晶シリコン薄膜から分離することを含む。次いで、前面又は背面太陽電池構造は、太陽電池の形成を完成するための機械的な支持体に対向する薄い単結晶シリコン膜上及び／又は内に形成される。

米国特許第６３３７２８３号明細書 国際公開第２００８／０３９０７８号 国際公開第２００９／１２８７２１号 国際公開第２０１１／０３１７０７号 米国特許出願公開第２０１１／０３０３２８０号明細書 米国特許出願公開第２０１１／０３１５１８６号明細書

Keevers et. al, "10% Efficient CSG Minimodules", 22nd European Photovoltaic Solar Energy Conference, Milan, September 2007 Beaucarne et al., "Etching, texturing and surface decoupling for the next generation of Si solar cells", Photovoltaics International, PV101-10_3, 2008. Le Quang et al, "Dry Plasma Texturing - An Alternative Technique for Industrial Production of Thin mc-Si Solar Cells", paper presented at 22nd European PV SEC, 3-7 September 2007 in Milan, Italy Kumaravelu et al. "Surface Texturing for Silicon Cells Using Reactive Ion Etching", Photovoltaic Specialists Conference, 2002. Conference Record of the Twenty-Ninth IEEE, 19-24 May 2002

本発明の主たる目的は、コスト優位性のある背面接触背面接合の高効率のソーラーモジュールを形成する方法を提供することである。

本発明のさらなる目的は、背面接触背面接合の高効率のソーラーモジュールを提供することである。

本発明の目的は、以下の詳細な説明並びに添付された特許請求の範囲及び添付の図面に記載された特徴によって実現され得る。添付の図面は、本発明の実施形態を示す。

本発明は、短い電流通路を可能にする比較的大きな数のフィンガー及びリボンによってシリコン太陽電池のエミッタ及びベース領域の間の接触面積が得られる背面電気接触を使用することによってシリコンベースの太陽電池の変換効率が増加されるという事実に基づき、ここで、各フィンガー又はリボンは、抵抗損失を最小化するために比較的大きな表面積を有し、同時に、電荷の再結合を最小化するために半導体との比較的小さな接触を有する。

従って、一側面において、本発明は、
背面接触背面接合シリコン太陽電池モジュールを製造する方法であって、
前記方法が、
（Ａ）連続して以下のウエハ処理段階の段階（ｉｉ）を少なくとも含む選択された数を行うことによって多数の半完成太陽電池を形成し、続いて以下の（Ｂ）段階に移る段階と、
（ｉ）少なくとも背面エミッタ層及び前記背面エミッタ層の下のベース層を含む、積層構造の層状のドーピングされた構造を有する結晶性シリコンウエハを使用する段階であって、前記ウエハが、前記背面に多数の交互の長方形のエミッタ領域及びベース領域を有する段階と、
（ｉｉ）テクスチャリングを形成し、前記ウエハの前面に少なくとも１つの表面保護膜を堆積する段階と、
（ｉｉｉ）前記ウエハの背面全体を覆う連続的な非晶質シリコン層を堆積することによって背表面保護層を形成する段階と、
（ｉｖ）前記多数の交互の長方形のエミッタ領域及びベース領域の各々の直上に多かれ少なかれ位置し平行に走る電気接触アクセス領域を画定する線形の開口を有する第１の絶縁層を前記背表面保護層に形成する段階と、
（ｖ）前記多数の交互の長方形のエミッタ領域及びベース領域の各々の直上に多かれ少なかれ位置し平行な長方形の金属電気フィンガー導電体を形成する段階と、
（ｖｉ）前記下層のフィンガー導電体との電気接触が意図される位置に一組のアクセス開口を有する前記フィンガー導電体に第２の絶縁層を形成する段階と、
（ｖｉｉ）前記アクセス開口の下に横たわる前記フィンガー導電体に電気的に接触する前記第２の絶縁層の各アクセス開口にビアコンタクトを形成する段階と、
（Ｂ）前記多数の半完成太陽電池をモジュール前面基板に積層する段階であって、前記多数の半完成太陽電池の前面が、長方形のモザイク式に似ているパターンで前記モジュール前面基板に面し、段階（ｖｉｉ）を含む全てのウエハ処理段階が行われるまで、前記積層された多数の半完成太陽電池に連続して段階（Ａ）の最終的に残っている処理段階を行う段階と、
（Ｃ）前記モジュールの半完成太陽電池の接続用の前記パターニングされた第２の絶縁層の上部に一組のリボンコンタクトを形成することによって、前記半完成太陽電池の機能的な太陽電池を形成するための前記処理を完了する段階と、
（Ｄ）前記多数の太陽電池を含む前記モジュール前面基板の背面に背面カバー基板を積層する段階と、
を連続して含む方法に関する。

本明細書で使用されるような“前面”及び“背面”とう用語は、通常動作中におけるソーラーモジュール又は太陽電池の配向に関連しており、前面が、太陽に面するモジュール又は太陽電池の側であり、背面が、ソーラーモジュールの通常動作中に太陽から離れて面する反対の側であるようなものである。

本明細書で使用されるような“多かれ少なかれ直上に”という用語は、上に配置される対象物が、特定の緩みを有することが許容されることを意味し、それが、この用語の数学的な意味において直上に位置する必要がないようなものである。

ここで使用されるような“シリコンウエハ”という用語は、少なくともＮ型又はＰ型の何れかのドーピング要素の１×１０^１６から１×１０^２０ｃｍ^−３の濃度までドーピングされた０．２から５μｍの厚さの第１の層、及び、第１の層の反対の導電性のドーピング要素の１×１０^１５から１×１０^１７ｃｍ^−３の濃度までドーピングされた１０から６５μｍの厚さの第２の層からなるドーピングされたシリコンの積層構造の層状の構造を有するあらゆる薄い平坦な結晶性シリコンの対象物を意味する。有利には、Ｐ型又はＮ型の何れかのドーピング要素の１×１０^１６から１×１０^２０ｃｍ^−３の濃度までドーピングされた０．２から５μｍの厚さの第３の層もあり得る。シリコンウエハの主要な表面は、以下の形状の１つを有し得る：正方形、疑似正方形、長方形、又は疑似長方形。ここで“疑似”とは、丸い角、面取りした角、又は曲がった角を意味する。ウエハの主要な表面の特徴寸法は、有利には、５０から４００ｍｍ、好ましくは１２５から３００ｍｍの範囲の長さｌ及び幅ｄであり得る。厚さ、すなわちシリコンウエハの対向する主要な表面の間の最短距離は、ソーラーウエハに関連したあらゆる周知の又は考えられる厚さであり得る。しかしながら、この厚さは、有利には、十分な光起電活量を得、シリコン原料の過剰な使用を避け、ウエハの十分な機械的強度を得ることの必要性の間のトレードオフである。そのため、第１の層の厚さは、有利には、以下の範囲の１つであり得る：０．２から５μｍ、０．３から３μｍ、０．３から２μｍ、又は０．４から１μｍ。第２の層の厚さは、有利には、以下の範囲の１つであり得る：１０から６５μｍ、２０から５０μｍ、又は３０から４０μｍ。第３の層の厚さは、有利には、以下の範囲の１つであり得る：０．５から２０μｍ、１から１０μｍ、１から５μｍ、又は１から３μｍ。

ウエハの第１の層のドーピング要素の濃度は、有利には、以下の範囲の１つであり得る：１×１０^１６から１×１０^２０ｃｍ^−３、１×１０^１７から１×１０^２０ｃｍ^−３、１×１０^１８から５×１０^１９ｃｍ^−３、又は、１×１０^１９から５×１０^１９ｃｍ^−３。ウエハの第２の層のドーピング要素の濃度は、有利には、以下の範囲の１つであり得る：１×１０^１５から１×１０^１７ｃｍ^−３、５×１０^１５から５×１０^１６ｃｍ^−３、又は１×１０^１６から５×１０^１６ｃｍ^−３。ウエハの第３の層のドーピング要素の濃度は、有利には、以下の範囲の１つであり得る：１×１０^１７から１×１０^２０ｃｍ^−３、５×１０^１７から５×１０^１９ｃｍ^−３、又は１×１０^１８から１×１０^１９ｃｍ^−３。太陽電池の背面接合形状を形成するために、第１及び第２の堆積された層の反対の導電性を有することが必須である。すなわち、第１の層にＮ型の導電性が与えられる場合、第２の層にＰ型の導電性が与えられなければならず、また逆も真であり、第１の層にＰ型の導電性が与えられる場合、第２の層にＮ型の導電性が与えられなければならない。上記の特定された濃度レベルのために、第１の層は、比較的多くドーピングされ、そのため、太陽電池のエミッタ層を形成し、第２の層は、太陽電池のベース層を形成する。従って、本発明は、Ｐ又はＮ型の何れかのエミッタ層を有する太陽電池を形成し得る。第３の層は、太陽電池の前表面フィールド層又は浮遊接合の何れかを形成し得、ベース層の導電性の導電性独立を有し得る。すなわち、第３の層は、ベース層がＰ又はＮ型であるかにかかわらず、Ｎ又はＰ型の導電性の何れかを有し得る。本発明による太陽電池の積層された３つの層のウエハの可能な構成は、表１に与えられる。

本明細書で使用されるような“Ｐ型ドーピング”という用語は、Ｐ型の導電性を有するウエハの領域を形成する増加した数の正電荷をドーピング材料がもたらすシリコンウエハのバルク領域を意味する。本明細書で使用されるような“Ｎ型ドーピング”という用語は、Ｎ型の導電性を有するウエハの領域を形成する増加した数の負電荷（可動電子）をドーピング材料がもたらすシリコンウエハのバルク領域を意味する。

（インターデジタルなエミッタ領域及びベース領域）
本明細書で使用される“多数の交互の長方形のエミッタベース領域”という用語は、積層構造の層状のソーラーシリコンウエハの各々の背面において、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示されるようなウエハの下層のベース層を露出するために除去されたエミッタ層の一組の長方形の部分があることを意味する。図１（ａ）から明らかなように、シリコンウエハは、前面フィールド層４、ベース層５及び、ベース層５が露出される背面領域７から規則的な部分が除去されているエミッタ層６である３つの層を有する。図１（ｂ）から、エミッタ層６の除去された部分が、等距離で長方形であり、シリコンウエハの背面に等しい数の等しい大きさのエミッタ及びベース領域が形成されるようになることが分かる。図面は、合計で４つのエミッタ領域６及び４つのベース領域７を示している。４という数字は、単に例示目的で選択されたものであり、実際の太陽電池は、非常に多くのこれらの領域を有し得る。図１（ｂ）から、第３の層６の除去された部分が、長方形であり、ウエハ１の幅全体にわたって延長し、各太陽電池の背面に、多数の等しい数の、等距離で平行でインターデジタルな長方形のＰ及びＮ型ドーピングシリコン領域が形成されるようなものであることが分かる。太陽電池に多数の等しい数のＰ型及びＮ型ドーピング領域を形成することが有利であるが、必須ではなく、等しくない数のこの多数のＰ型及びＮ型ドーピング領域を有する太陽電池を適用することもできる。しかしながら、等しい数の多数の数ｎのＰ型及び数ｎのＮ型ドーピング領域を有するウエハを適用することが有利であり、ここで、ｎは、ピッチ（２つの隣接するエミッタ領域又は２つの隣接するベース領域間の距離）をもたらす数であり、以下の範囲の１つである：０．１から５ｍｍ、０．２から４ｍｍ、０．３から３ｍｍ又は０．５から２ｍｍ。数ｎは、多数のうちの１つの型の極性の領域の数に相当し、典型的には７５から５００の範囲である。図面からは、多数の交互の長方形のエミッタ及びベース領域の幅が等しいという印象が与えられる。これは、本発明の限定として解釈されるべきものではない。実際、そのピッチの７０から８０％をカバーするエミッタ領域を有すること、すなわちエミッタ領域がベース領域より幅が広いことが有利であり得る。本発明は、周知の又は考えられる割合のピッチをカバーするエミッタ領域を適用し得る。

製造スラックを許容するために、各ウエハは、多数のものを形成するために必要とされるよりも幾分幅広く形成されることが有利であり、各半完成太陽電池の一側端部に沿って形成される第３の層の１つの周辺の残部があるようになる。この残部は、図面に参照符号８で示され、各太陽電池のデッド領域を構成する。この領域の幅は、本来、実際に可能な限り／望まれる限り短いものであるべきである。

本発明は、多数の交互の長方形のエミッタ及びベース領域を形成するためのエミッタ層の選択的除去のためのあらゆる特定の方法に縛られないが、結晶性シリコンの除去に関連するあらゆる周知の又は考えられる方法をソーラーウエハに適用し得る。相応しい方法の一例は、エッチングマスクを適用するか、エッチング剤のインクジェット印刷による、エミッタ層の選択的化学エッチングである。化学エッチングによる結晶性シリコンの選択的除去の処理は、当業者に周知であり、さらなる説明の必要はない。

（ウエハの前面処理）
本発明は、前面テクスチャリング、表面保護及び最終的に反射防止コーティングの堆積のためのあらゆる周知の又は考えられる処理を適用し得る。本発明は、あらゆる周知の表面テクスチャリング（１つ又はそれ以上の誘電膜）及び最終的な反射防止膜を適用し得る。これらの処理段階を得るために必要な技術は、太陽電池産業において十分に確立されており、さらなる説明の必要はない。

（背表面保護）
しかしながら、ウエハの背面は、ウエハの背面全体を覆う１から５０ｎｍの厚さの連続的な非晶質シリコン層の堆積によって表面保護されるべきである。シリコン半導体表面に非晶質シリコンの薄層を堆積するあらゆる周知の及び考えられる方法が適用され得る。これらの処理段階を得るために必要な技術は、太陽電池産業において十分に確立されており、さらなる説明の必要はない。

非晶質シリコン層は、有利には１から５０ｎｍの厚さを有し得る。シリコンウエハ上に非晶質シリコンの薄層を堆積するあらゆる周知の又は考えられる方法が適用され得る。ＣＶＤによるα−Ｓｉ膜の堆積は、当業者に周知であり、さらなる説明の必要はない。

有利には、非晶質シリコンに堆積されるＳｉＮ_ｘの第２の表面保護層が適用され得る。ＣＶＤによるＳｉＮ_ｘ膜の堆積は、当業者に周知であり、さらなる説明の必要はない。

（第１の絶縁層）
背表面保護層の形成後、第１の絶縁層は、非晶質シリコン層、あるいはＳｉＮ_ｘ層に堆積される。この第１の絶縁層の機能は、続いて堆積される金属層が太陽電池を短絡させることを防止する電気絶縁であり、続いて堆積される金属層が、太陽電池のＰ及びＮ型領域（ベース及びエミッタ領域）、すなわち各太陽電池の接点又はフィンガーとの電気接点を得るための領域を画定する“印刷マスク”として作用することである。シリコンウエハのエミッタ及びベース領域の接点領域は、有利には、電荷キャリアの再結合を低減するために小さな表面積を有し、同時に、太陽電池内に短い電流通路を得、それによって低抵抗電流損失を得るために、フィンガー及びモジュール集電体（リボン）の間の多数の電気接触点の形成を可能にする。

これは、規則的な長方形のグリッドの長方形の半完成太陽電池をモジュール前面基板に位置合わせして取り付けることによって単純に効果的に得られ、隣接するセルのＰ型領域及びＮ型領域の両方が、モジュール前面基板の主要面の横断方向に線形のセグメントを画定するようなものであり、第１の絶縁層をパターニングすることによって、それは、ソーラーモジュールの各太陽電池の各Ｐ及びＮ型領域の中心に位置合わせされ平行に走る、比較的薄い細長い長方形のボイドを得るようになる。これは、図１（ａ）及び（ｂ）に示されるものと同一の実施形態を示す図２（ａ）及び（ｂ）に概略的に示されるが、それは、非晶質シリコンの連続的な薄層９及び各ベース領域７及びエミッタ領域６の中心上にボイド１１を有するパターニングされた層１０を与えており、両方の層は、層１０内のボイド１１を除いてウエハ１の背面全体を覆うように形成される。連続層９は、非晶質シリコンであり、パターニングされた層１０は、第１の絶縁層である。図２（ｂ）は、以上に見られるように図２（ａ）の実施形態であり、細長い長方形の形態のボイド１１が、ウエハの一側端から他端まで延長することが見られる。各ボイド１１は、非晶質層９が露出される領域を形成する。

第１の絶縁層１０は、有利には、半導体のバルク相に戻って吸収されることなく半導体シリコンウエハを通って移動した光子を反射することによって太陽電池の光トラッピング効果を高めるために光反射性であり得る。この特徴は、約３０μｍ以下の非常に薄い半導体ウエハを適用する際に際立った効果を有し得る。

本発明は、太陽電池の使用に関連する又は適合するあらゆる周知の又は考えられる第１の絶縁層の電気絶縁性材料を適用し得る。適切な分類の材料の一例は、電気絶縁性（１０^１６程度以上の抵抗率を有する（ρ（Ω・ｍ））であり、ソーラーモジュールの動作温度において熱抵抗性であるポリマーである。第１の絶縁層は、有利には、１から１０μｍの範囲の厚さを有し得、線形の電気接点アクセス領域の幅は、下層のベース又はエミッタ領域の幅の０．５から０．０５倍、又は０．２５から０．１倍であり得、実際には５０から２００μｍの線形の接触領域の幅である。第１の絶縁層のポリマーは、約３００℃までの温度でおいて熱硬化性であり得る。

第１の絶縁層１０の形成後に、非晶質シリコン層９の露出された領域は、有利には、Ｏ_２／Ｎ_２Ｏ中でプラズマアッシングすること、又は、最終的な自然酸化物又は非晶質シリコン層を覆うＳｉＯ_２／ＳｉＮ_ｘを除去するためにフッ化水素のエッチングによって洗浄され得る。この特徴は、線形の接触領域のＳｉＮ_ｘ層をエッチング除去するために、半完成太陽電池の背面にＳｉＮ_ｘの第２の表面保護層が提供される場合に必須であり、後続の堆積される金属相が非晶質シリコンと接触することを可能にする。半完成太陽電池は、ここで金属化、すなわち太陽電池内に生成する電流を集めるための電気端子と機能するフィンガー導電体の形成のために用意される。

（フィンガー導電体）
フィンガー導電体は、ウエハの背面全体に金属相（層）を堆積することによって形成され、セルのエミッタ及びベース領域からの電流を集める細長い長方形のフィンガーを画定するようにパターニングされ得る。あるいは、フィンガー導電体は、パターニングされた金属相を堆積することによって直接形成され得る。

金属相を長方形のフィンガー導電体にパターニングすることは、有利には、それが、ウエハの深さ全体にわたって延長し、下層の半導体ウエハのそれらの対応するエミッタ又はベース領域の中心軸の直上に多かれ少なかれ平行に位置するフィンガー導電体を画定するようなものである。この特徴は、フィンガー導電体を製造するために単純でコスト的に効果がある方法であるという利点を与える。他の利点は、各エミッタ及びベース領域の直上に多かれ少なかれ平行に位置し、第１の絶縁層１０によってそれらから分離されるフィンガー導電体を形成するために、フィンガー導電体は、空間的に散在しており、モジュールの各太陽電池の背表面領域全体をほとんど覆うことが許容される。これは、相対的に短い長さを有する太陽電池の電流通路の形成を可能にするという利点及びそれによって低抵抗損失を与える。フィンガー導電体の比較的大きな表面領域は、金属化処理中における金属消費を大幅に低減する、比較的薄い金属相を使用することを可能にするという利点を与えると共に、低抵抗損失を有する。そのため、金属層の相応しいパターニングは、太陽電池の長さ全体又は幅全体にわたって延長し、対応するエミッタ又はベース領域の背表面の長手方向の中心軸上に位置し、下層のエミッタ又はベース領域の幅の０．８から１．０倍の間の幅を有する、１つのフィンガー導電体を各ベース及びエミッタ領域上に画定することである。

本発明は、第１の絶縁層上に薄い金属相を堆積するためのあらゆる周知の又は考えられる方法を使用し得る。金属相は、過剰な低抵抗を避けるために２０μｍ以上の厚さを有する導電体フィンガーをしばしば必要とする従来文献の太陽電池の金属化方法とは対照的に、数百ナノメートルから数マイクロメートルの厚さを有し得、従って、本発明は、ソーラーモジュールの背面全体に一操作で金属相を形成するためのプラズマ気相堆積（ＰＶＤ）技術し使用する。適切なＰＶＤ技術の例には、ＤＣマグネトロンスパッタリング及び熱蒸着が含まれるが、これらに限定されるものではない。これらの小さな厚さの金属相は、フィンガー導電体を形成するためにほとんど材料（金属／合金）を必要としないことによって、かなり大きなコスト及びエネルギー節約をもたらす。金属相の厚さは、有利には、以下の範囲の１つであり得る：２００ｎｍから２０μｍ、２００ｎｍから１０μｍ、３００ｎｍから５μｍ、３００ｎｍから２μｍ、３５０ｎｍから１μｍ又は３５０ｎｍから８００ｎｍ。金属相の厚さは、相のバルク相、すなわち、金属相が第１の絶縁層１０に堆積され、ボイド１１を充填しない領域を横切って測定される。

金属相は、単一の金属層又は合金であり得、あるいは、２つ又はそれ以上の異なる金属及び／又は合金で構成される金属積層体（積層構造の層状の構造体）であり得る。金属相は、連続的な膜として堆積され、続いてレーザーアブレーション、機械的なスクライビング又は他の手段を用いてパターニングされ得る。あるいは、ワックス又はポリマー等の犠牲的なリフトオフ材料は、リフトオフ材料に横たわる金属の選択的な除去を可能にするために金属堆積の前に背表面に堆積され得る。あるいは、機械的なシャドーマスクは、セルの背面に対する金属のパターニングされた堆積を可能にするために堆積の前に半完成太陽電池の背面上で調整される。本発明は、金属相を端子及びフィンガー導電体にパターニングするためのあらゆる周知の又は考えられる方法を適用し、又は、パターニング堆積を行い得る。

金属積層体は、金属相の特性を調整するために２つ又はそれ以上の異なる金属及び／又は合金を使用することを可能にするという利点を与える。例えば、シリコン半導体（すなわち、第１の絶縁層１０のボイド１１の下部にある非晶質シリコン層９）、１つの中間半田障壁層及び１つの上部接触層を接触させるための付着層を含む金属積層体を使用することによって、金属相は、セル金属化層及びリボンと電気接触する半田又は導電性材料の間の低抵抗接触の組み合わされた効果を与え得、セル金属化層及び半導体セル材料の間の低抵抗接触は、半田が金属−半導体接触を損傷することを避け、セル金属化構造の腐食抵抗を改善する。例えば、Ａｌ及びＡｌ−Ｓｉ合金は、シリコンベースの太陽電池に低抵抗金属−半導体接触を与えるために知られており、これらは、有利には、付着層として適用され得るようなものである。一方、Ａｌは、空気に曝すことによって非導電性表面酸化物を形成し、低電気抵抗接触を形成する能力を制限し、上部の接触層にほとんど相応しくないＡｌを形成する。上部の接触層に対してより相応しい金属は、Ｓｎ又はＡｇ及びそれらの合金など、又は、Ｃｕなどのゆっくり酸化する金属、又は、酸化しないＡｕ又はＰｔなどの貴金属などの、導電性表面酸化物を有するものである。半田障壁金属は、周期表の第１の列の遷移金属、すなわちＶ、Ｃｒ、Ｎｉ等又はこれらの金属の合金等であり得る。典型的な実施形態において、半導体に接触するこの層は、Ａｌであり、半導体障壁層は、Ｎｉ−Ｃｒ合金であり、上部接触層は、Ｓｎ−Ｃｕ合金である。

フィンガー及びリボンの間の電気接触を形成するために半田が使用される実施形態において、金属積層体の上部接触層は、半田層によって破壊され得る。これは、半田が半導体接触層と合金化することを妨げる上部接触層の下に半田障壁層を有することによって妨げられ得る。半導体接触層が、Ａｌ又はＡｌ合金などの反応性の金属である場合、半田障壁層は、ソーラーモジュールの寿命にわたって半導体接触層の腐食を低減するように作用し得る。この場合、上部接触層は、有利には、Ｃｕ、Ｓｎ及びＡｇ含有合金から選択され得、この合金は、上部金属化層が半田障壁層からディウェットしないように、有利には半田の融点を超える融点を有する。上部接触金属は、導電性接着剤又は導電性膜が使用される場合、同様であり得る。最適な上部金属接触防腐層は、上部接触層の酸化を妨げるために使用される薄い表面層である。これは、有利には、Ｃｕ−Ｓｎ−Ａｇ含有合金又はＣｕ−Ｓｎ合金又はＳｎであり得、半田の融点未満の融点を有し得る。Ａｕ、Ａｇ又はＰｄなどの貴金属も使用され得る。アゾール誘導体有機金属ポリマーなどのプリフラックス（ＯＳＰ：organic solderabilty preservative）材料も、上部接触防腐層として使用され得る。本発明に相応しい金属積層体の例には、Ａｌ／ＮｉＣｒ／Ｃｕ、Ａｌ／ＮｉＣｒ／ＳｎＣｕ又はＡｌＳｉ／ＮｉＶ／ＳｎＣｕの連続膜が含まれるが、これに限定されるものではなく、Ａｌ又はＡｌ含有合金は、非晶質シリコン層９に接触する付着層である。金属化層の典型的な例は、半導体接触層としての３００ｎｍのＡｌ、それに続く５０ｎｍのＮｉ_０．８Ｃｒ_０．２、それに続く５０ｎｍのＣｕであり、全ては、平坦なターゲット及びスパッタリングガスとしてのＡｒを用いてマルチチャンバーツール内でＤＣマグネトロンスパッタリングすることによって堆積される。

金属積層体の付着層としてＡｌ又はＡｌＳｉ合金を適用するとき、半導体ウエハとの電気接触は、単に非晶質シリコン層に付着層を堆積することによって得られ、次いでシリコン半導体及び導電性の結晶シリコンに対するＡｌ又はＡｌＳｉ合金含有付着層の間のシリコン層の非晶質構造を変態する穏やかな熱処理を行う。

金属化段階又は端子／フィンガー導電体の形成は、図３（ａ）及び（ｂ）に概略的に示される構造体をもたらす。図３（ａ）は、図１（ａ）及び図２（ａ）と同一の実施形態の側面図であるが、フィンガー導電体を形成した後のものである。図３（ｂ）は、図３（ａ）と同一の実施形態であるが、上から見たものである。

図３（ａ）から、多かれ少なかれ半完成太陽電池１のベース領域７及びエミッタ領域６の全ての直上に、第１の絶縁層１０のボイド１１を充填し、それによってボイド１１の下部において非晶質シリコン膜９との直接的な接触を得る端子又はフィンガー導電体１４があり、ボイド１３の位置を除いて第１の絶縁層１０を覆うことによって端子が広がることが見られ得る。従って、太陽電池の半導体ウエハの各ベース及びエミッタ領域は、半導体（この領域において結晶化され導電性である非晶質シリコン９）に対する小さな接触領域、及び、対応するベース又はエミッタ領域が覆うのと略同一の面積を覆う大きな表面積を有する１つのフィンガー導電体によって電気的に接触される。不活性な、すなわち半導体ウエハの電気的に接続されていない、堆積された金属相の電気絶縁性領域１２も各太陽電池の周辺領域に形成される。図３（ｂ）から、フィンガー導電体１４が、半完成太陽電池の背面の一側端から対向する他側端まで延長し、それらがボイド１３によって分離されることが見られる。各ボイド１３は、第１の絶縁層１０が露出される領域を形成する。フィンガー導電体１４の組み合わされる表面が、ほぼ太陽電池１の利用可能な背面表面の全体を覆い、それによってフィンガー導電体の抵抗損失が最小限に低減されることがこの図から明らかに示される。

（第２の絶縁層）
フィンガー導電体の形成後、第２の絶縁層は、金属相に堆積される。第２の絶縁層は、第１の絶縁層の機能と類似している、フィンガー導電体及びリボンの間の電気接触が意図される特定の接触領域を除いてモジュール相互接続又はリボンからフィンガー導電体を電気絶縁する機能を有する。従って、第２の絶縁層の使用は、以上に記載されたものと同一の利点を与えるが、ソーラーモジュールの相互接続又はリボンを対象とするものである。すなわち、第２の絶縁層のために、リボンは、リボンの抵抗損失を最小値に減らすために大きな表面積を有する導電性材料の薄層から作られ得る。

本発明は、周知の又は考えられる導電性材料を、太陽電池の使用に関連する又は適合する第２の絶縁層に適用し得る。適切な材料の例には、第１の絶縁層に対して上記されたポリマー又は印刷可能な絶縁インク等が含まれるが、これらに限定されない。第２の絶縁層は、有利には１から１０μｍの範囲の厚さを有し得るが、他の厚さを有してもよい。

第２の絶縁層は、接触アクセス領域を除いて半完成太陽電池の背面全体を覆う単一の連続層であり得る。あるいは、第２の絶縁層は、多数の積層された太陽電池のセルを覆うように形成され、又は、フィンガー導電体及びリボンの間の電気絶縁性が要求される特定の領域を絶縁するためだけにパターニングされ又は堆積され得る。第２の絶縁層のような絶縁性材料の接着性のストリップを堆積することも可能性として考えられる。これは、金属相（フィンガー導電体）に、パターニングされた接着剤、又は、印刷可能なインク、すなわち印刷回路基板（ＰＣＢ）を製造する際に典型的に使用されるような半田マスクを適用することによって得られ得る。

一代替案において、それは、パターニングされていない連続的な第２の絶縁層が堆積され得、選択された領域の第２の絶縁層を選択的にエッチングし、貫通し、溶融し又は溶解するために導電材料の後続のパターニングされた印刷を使用し得る。パターニングされた導電層はまた、下層の絶縁体のＵＶ硬化を避けるためにシャドーマスクとして作用し得、それによって選択された領域の絶縁体を導電体が貫通することを可能にする。これらの技術は、第２の絶縁層をパターニングする必要性を排除し、そのため潜在的には低コストの手法である。

第２の絶縁層を堆積するための他の可能性は、セル金属化層の直上にビア導電体パッドを印刷し、次いで第２の絶縁層を形成するために導電パッドの周辺に自己平坦化絶縁層を流すことである。これは、第２の絶縁層をパターニングする必要性を排除するという利点を有する。典型的な実施形態において、金属フィンガーの直上の半田マスクに孔が形成されるように、紫外（ＵＶ）光硬化半田マスクは、セル金属化層上にスクリーン印刷される。半田マスクは、ＵＶ光への露出によって硬化され、次いで更なる処理のために準備される。他の半田マスクの代替物は、熱硬化半田マスク又はパターニングされた接着フィルム等として使用され得る。

第２の絶縁層のデザインは、第２の絶縁層の単純化された製造を可能にし得、第２の絶縁層として絶縁性材料の接着性のストリップの使用を可能にする。これは、ソーラーモジュールの金属相（フィンガー導電体）に、パターニングされた接着剤、又は、印刷可能なインク、すなわち印刷回路基板（ＰＣＢ）を製造する際に典型的に使用されるような半田マスクを適用することによって得られ得る。パターニングされていない連続的な第２の絶縁層を堆積し、選択された領域の第２の絶縁層を選択的にエッチングし、貫通し、溶融し又は溶解するために導電材料の後続のパターニングを使用することも可能である。パターニングされた導電層はまた、下層の絶縁層のＵＶ硬化を避けるためのシャドーマスクとして作用し得、それによって、選択された領域の絶縁体を導電体が貫通することができる。これらに技術は、第２の絶縁層をパターニングする必要性を排除し、それによって潜在的に低コストの手法である。

第２の絶縁層を堆積するための他の可能性は、セル金属化層の直上にビア導電パッドを印刷し、次いで、第２の絶縁層を形成するために導電パッドの周囲に自己平坦化絶縁層を流すことである。これは、第２の絶縁層をパターニングする必要性を排除するという利点を有する。典型的な実施形態において、金属フィンガーの直上の半田マスクに孔が形成されるように、紫外（ＵＶ）光硬化半田マスクは、セル金属化層上にスクリーン印刷される。半田マスクの孔は、チェックボードパターンに似ている。半田マスクは、ＵＶ光への露出によって硬化され、次いで、更なる処理のために用意される。熱硬化半田マスク又はパターニングされた接着フィルム等の他の半田マスクの代替物が使用され得る。

（アクセス開口及び電気ビアコンタクト）
第２の絶縁層のアクセス開口は、下層の端子又はフィンガー導電体及びモジュール相互接続の間の電気接触が意図される領域において第２の絶縁層を横切って電気貫通導電層を形成することを可能にするために、絶縁層の貫通開口を画定する。そのため、ここに使用される“ビアコンタクト”という用語は、下層のフィンガー導電体及び横たわるリボンを電気的に接続する第２の絶縁層を貫通する導電性のゲートを意味する。

ビアコンタクトは、有利には、アクセス開口を導電性材料で充填することによって形成され得る。本発明は、アクセス開口に堆積され、下層のフィンガー導電体との接触を得ることができる周知の又は考えられる導電材料を適用し得る。適切な材料の例には、導電性フィルム、導電性接着剤又は半田を含むが、これらに限定されない。導電性フィルムは、リボン及びセル金属化層の間に適用される導電性接着フィルムである。このフィルムは、典型的には、熱及び圧力によって活性化される。導電性フィルムは、リボン又はセルの何れか、及び積層体を形成するために共に加圧され加熱される積層体に適用され得る。導電性接着剤は、典型的には、接着ポリマー中に懸濁される金属粒子を含む。このような材料は、ニードルディスペンシング、インクジェット印刷、スクリーン印刷、ステンシル印刷、又は他の適切な印刷方法によって第２の絶縁層のアクセス開口に堆積され得る。典型的には、接着剤は、リボン及びセル金属化層の間に強い導電性結合を形成するために加熱硬化される。半田ペーストは、ステンシル印刷又は他の適切な方法によってアクセル開口に堆積され得る。半田ペーストは、印刷回路基板製造で使用される通常のタイプ、又は、低温タイプであり得、フラックス及び強化エポキシを含み得る。半田ペーストは、アクセス開口内に中実半田パッドを形成するために高温空気ブロワ−又は他のシステムによって、オーブン内にリボンが取り付けられる前に溶解され得、又は、半田ペーストは、リボンが第２の絶縁層に配置された後に溶解され得る。

半田ペーストを用いることに対する代替案は、ウェーブソルダリング又は半田浴にモジュールを含浸することによってアクセス開口に半田パッドを形成することである。アクセス開口によって露出されるセル金属化領域に半田が付着だけするように、第２の絶縁層は、この場合、半田マスクとして作用する。半田ペーストを用いることに対する他の代替案は、半田が、ビアホールに加圧され、セル金属化層及びリボン表面の両方を濡らすことができるように、リボンが上部に配置される前に、充填されていないアクセス開口を満たされない状態にし、次いで、リボンの半田コーティングを溶融することである。

１つのソーラーセルの１つ又はそれ以上のリボンが、同一のセルにベースフィンガー導電体を接触させることなく多数のエミッタフィンガー導電体との電気接触を得ることができ、同様に、太陽電池の１つ又はそれ以上のリボンが、同一のセルにエミッタフィンガー導電体を接触させることなく多数のベースフィンガー導電体に接触し得るように、アクセス開口は、有利にはパターニングされ得る。リボンが、ソーラーモジュールの列の２つの隣接するセルを横切って広がり、セルの直接接続を可能にするために、エミッタフィンガー導電体をセル及び隣接するセルのベースフィンガー導電体に接触させ得るように、このパターンは、有利には設計され得る。

第２の絶縁層の適切な設計の一例は、図４ａ、図４ｂ及び図４ｃに概略的に示される。図４ａ及び図４ｂは、図１ａ及び図２ａと同一の実施形態の側面図であるが、フィンガー導電体及び第２の絶縁層１６の形成後のものである。図面は、それぞれ図４ｃに点線Ａ−Ａ及び点線Ｂ−Ｂによって示される２つの交差平面に沿ったソーラーモジュールの断面を示す。図４ｃは、以上に見られる図４ａ及び図４ｂに示されるものと同一の実施形態である。図４ａ及び図４ｂから、第２の絶縁層１６が、フィンガー導電体に堆積され、第２の絶縁層の多くのアクセス開口１７又は１８を除いて、ボイド１３を含む積層された多数の太陽電池の背表面を覆うことが見られる。各アクセス開口１７又は１８は、下層のフィンガー導電体１４との電気接触を可能にするために導電性材料で満たされる。図４ｃを図３ｂと比較すると、点線Ａ−Ａ及びＢ−Ｂが、下層のフィンガー導電体１４に対して垂直に配向し、アクセス開口１７、１８が、各太陽電池１の４列の接触点を画定するようにパターニングされ、点線Ａ−Ａによって画定される列に沿ってアクセス開口１７、１８が、各太陽電池１のエミッタタイプのフィンガー導電体１４又はベースタイプのフィンガー導電体１４の何れかに接触して形成されることが見られる。ベースタイプのフィンガー導電体との電気ビアコンタクトを形成するアクセス開口は、参照符号１７によって示され、エミッタタイプのフィンガー導電体との電気接触ビア点を形成するアクセス開口は、参照符号１８によって示される。

ソーラーモジュールの規則的な長方形に横たわるＭ＝ｋ・ｌの多数の太陽電池を適用する一実施形態において、対応するフィンガー導電体を有する上記の多数の集積されたエミッタ及びベース領域を有する半完成太陽電池の使用は、アクセス点が各太陽電池のｎ行及びｍ列の長方形のパターンを画定するようにアクセル点を形成することを可能にする。ここで、各行は、太陽電池のエミッタ又はベースタイプのフィンガー導電体の何れか１つの上の線形の組のｍ個のアクセス点であり、各列は、フィンガー導電体に対して垂直に配向されるリボンに対する線形のｎ個のアクセス点を画定し、ソーラーモジュールＭ＝ｋ・ｌの多数の太陽電池の各列の全ての奇数の太陽電池において、ｍ・ｎアクセス点の長方形パターンは、ｍ列の組の全ての奇数の列の各アクセス点が、太陽電池のエミッタタイプの領域にフィンガー導電体を電気接触するように形成され、ｍ列の組の全ての奇数の列が、太陽電池のベースタイプの領域に電気的に接触するフィンガー導電体を接触させるように形成されるように形成され、ソーラーモジュールＭ＝ｋ・ｌの多数の太陽電池の各列の全ての奇数の太陽電池において、ｍ・ｎアクセス点の長方形パターンは、ｍ列の組の全ての奇数の列の各アクセス点が、太陽電池のベースタイプの領域にフィンガー導電体を電気接触するように形成され、ｍ列の組の全ての奇数の列が、太陽電池のエミッタタイプの領域に電気的に接触するフィンガー導電体を接触させるように形成されるように形成される。しかしながら、本発明は、モジュールの太陽電池の下層のエミッタタイプ及びベースタイプのフィンガー導電体を直列に電気的に接続するリボンを形成することを可能にする、周知の又は考えられるパターンのアクセス開口を適用し得る。

（多数の半完成太陽電池の積層）
本発明は、シリコンウエハの背面のインターデジタルな多数の交互の長方形のエミッタ及びベース領域を少なくとも形成している半完成太陽電池に当て嵌まり、ここで、前面は、半完成太陽電池がモジュール前面基板に積層され得る点まで処理される。セルの相互接続の形成までの半完成ソーラーの背面における残りの処理段階は、積層前に別個に各ウエハで行われ、又は、モジュール前面基板への積層後に同時にモジュールの多数のソーラーセルの全てのセルで行われる。積層は、すなわち、本発明の第１の側面の段階（ｉｉｉ）から（ｖｉｉ）まで、すなわち、セル相互接続を形成する段階を含まないが、セル相互接続を形成する段階まで背表面保護層を形成する段階までで定義されるようなあらゆる背面処理段階後に行われ得る。積層後に第２の絶縁層にビア導電体を含み、半完成太陽電池を完成するために残っている最終的な背面処理段階は。勿論、積層された多くの半完成太陽電池で行われる必要がある。

多数のＭ個の半完成の太陽電池は、ｋ列及びｌ行の長方形のモザイク式に似ているパターンでモジュール前面基板に取り付けられる。モジュール前面基板は、太陽電池の前面保護カバーとして機能することができるあらゆる平坦な透明基板であり得る。太陽電池は、モジュール前面基板に面する前面を有する、長方形のモザイク式に似ているパターンでモジュール前面基板の背面に取り付けられるべきであり、そのため、モジュール前面基板の背面の表面領域をできるだけ多く覆う。モジュール前面基板に対する半完成太陽電池の取付は、有利には、モジュール前面基板の背面の透明な接着剤を用いた積層によって得られ得る。本発明は、モジュール前面基板に太陽電池を積層するためのあらゆる周知の又は考えられる方法及び透明な接着剤を適用し得る。適切な積層接着剤の一例は、あらゆる適切な厚さ、すなわち１ｍｍ以下、１００μｍ以下、又は３０から５０μｍなどの厚さでモジュール前面基板の背面に付けら得るエチレンビニルアセテート（ＥＶＡ）である。積層体は、モジュール前面基板に面するそれらの前面を有する意図されたモザイク式のパターンの積層板に半完成太陽電池を広げ、ＥＶＡを硬化し、半完成太陽電池をモジュール前面基板に取り付けるために熱及び圧力を加えることによって得られ得る。半完成太陽電池が処理されて完全に機能的な太陽電池になり、電気的に相互接続された後、モジュール背面基板は、同様の方法で積層され得る。半完成太陽電池が処理されて完全に機能的な太陽電池になり、電気的に相互接続された後、モジュール背面基板は、同様の方法で積層され得る。

そのため、本明細書で使用されている“長方形のモザイク式に似ているパターン”という用語は、意図されている数、すなわち多数Ｍの正方形、疑似正方形、長方形又は疑似長方形の半導体ウエハが、全てがモジュール前面基板に面するそれらの前面を有するｋ列及びｌ行のソーラーセルを画定する規則的なパターンで位置合わせされることを意味する。規則的な長方形のパターンは、同一の行の太陽電池のエミッタ及びベース領域が、互いに真上に位置する、すなわち４つの長方形の半導体ウエハの実施形態を示す図５に示されるように位置することを保証する。図に示されるように、上部ウエハのベース領域（アクセス開口１７によって示される）は、点線Ｃ−Ｃによって示されるような下部ウエハのベース領域７の直上にあり、上部ウエハのエミッタ領域６（アクセス開口１８によって示される）は、点線Ｄ−Ｄによって示される下部ウエハのエミッタ領域６の直上にある。モジュール前面基板の表面領域全体のほとんどが太陽電池によって覆われるように、ウエハは、互いに離隔して比較的短い距離で配置される。

（リボン）
下層のフィンガー導電体に電気的に接触することを可能とするアクセス開口及び第２の絶縁層の形成後に、ソーラーセルプロセキューションは、相互接続及びリボンを形成することによって完成される。モジュールのリボンは、モジュールの個々のセルの内外に電流を導き、そのため、意図する相互接続を得るために絶縁層の特定のビアコンタクトとの電気接触を得るように形成されなければならない。ソーラーモジュールの太陽電池のエミッタ及びベース領域を相互接続するために知られている幾つかの方法がある。本発明は、何らかの特定の方法の相互接続に縛られるものではないが、以上に記載されるインターデジタルのパターンの長方形のフィンガー導電体に適合できるあらゆる周知の又は考えられる方法を適用し得る。そのため、本明細書で使用される“ビアコンタクトの意図される選択”という用語は、リボンが、適用されるセル相互接続のための実際の方法を得るために所望のビアコンタクトに接続するように形成されることを意味する。

背面接触セル構造のために、リボンは、セルを光学的に遮断せず、それによって、より広いリボンが遮断損失の不利益なしに使用されることを可能にする。例えば、６ｍｍ×５０μｍのリボンは、２ｍｍ×１５０μｍのリボンと同一の断面積及び単位長さあたりの抵抗損失を有する。フィンガー導電体を画定する金属相に関して、中間絶縁層（第２の絶縁層）の使用は、フィンガー導電体に対して小接触面積を有するリボンの形成、短い電流通路を可能にする比較的多くの接触点の形成を可能にし、材料費用を抑えるために金属の薄層を有するリボンの形成を可能にし、それは、比較的大きな表面のリボンを有し、抵抗損失を最小化するものである。リボンの厚さは、有利には以下の範囲の１つであり得る；１０から３００μｍ、２０から２００μｍ、３０から１００μｍ、３０から６０μｍ又は３５から５０μｍ。リボンの幅は、有利には以下の範囲の１つであり得る；０．１から２０ｍｍ、０．３から１５ｍｍ、０．５から１０ｍｍ、１から８ｍｍ又は３から６ｍｍ。

リボンは、金属リボン、ワイヤ、フォイル又は他のタイプの導電体であり得る。相応しいリボンの例には、純粋なＳｎ又はＳｎ半田合金でコーティングされた中実の銅コアの金属ストリップ又はバンドが含まれるが、これらに限定されるものではない。他の例は、溶融鍍金又は鍍金によって付けられる、印刷され又はディスペンスされた金属ペーストによって形成されるリボンである。リボン接続を形成する典型的な方法は、適切な長さのリボン、すなわちスプールからの純粋なＳｎ又はＳｎ半田合金でコーティングされた中実の銅コアの金属ストリップ又はバンドを広げ、延ばし、リボンを切断して適切なサイズにし、張力緩和形状を形成し、次いで、正しい方向で第２の絶縁層上にリボンを配置することである。次いで、リボンは、アクセス開口を満たす導電性接着剤又は半田ペーストに加圧される。半田ペーストは溶融され得、接着剤は、高温バー又はレーザー加熱システムを用いてリボンを直接加熱することによって硬化される。あるいは、積層体は、高温空気、加熱された気体又は赤外光によって加熱され得、半田を溶融し及び／又は接着剤を硬化させる。半田又は接着剤が絶縁層のアクセス開口に加圧されることを保証するために加熱段階中にリボンに圧力が加えられ得る。半田ペースト又は接着剤が使用されない場合、リボン上の半田コーティングは、接続を形成するために使用され得る。この場合、溶融された半田が第２の絶縁層のアクセス開口に加圧されるように、リボンは、加熱され絶縁層上に加圧される。本発明は、この方法が３００℃を超える温度までソーラーモジュールを加熱することを含む限りにおいて、リボンを形成するためのあらゆる周知の又は考えられる方法を適用し得る。

リボン接続を形成する典型的な方法は、適切な長さのリボン、すなわちスプールからの純粋なＳｎ又はＳｎ半田合金でコーティングされた中実の銅コアの金属ストリップ又はバンドを広げ、延ばし、リボンを切断して適切なサイズにし、張力緩和形状を形成し、次いで、正しい方向で第２の絶縁層上にリボンを配置することである。次いで、リボンは、アクセス開口の導電性接着剤又は半田ペーストに加圧される。半田ペーストは溶融され得、接着剤は、高温バー又はレーザー加熱システムを用いてリボンを直接加熱することによって硬化される。あるいは、積層体は、高温空気、加熱された気体又は赤外光によって加熱され得、半田を溶融し及び／又は接着剤を硬化させる。半田又は接着剤が絶縁層のアクセス開口に加圧されることを保証するために加熱段階中にリボンに圧力が加えられ得る。半田ペースト又は接着剤が使用されない場合、リボン上の半田コーティングは、接続を形成するために使用され得る。この場合、溶融された半田が第２の絶縁層のアクセス開口に加圧されるように、リボンは、加熱され絶縁層上に加圧される。

あるいは、リボンは、下層のフィンガー導電体に多かれ少なかれ垂直に配向される長方形のリボンを画定するためにパターニングされる第２の絶縁層上に第２の金属相を堆積することによって形成され得る。第２の金属相の堆積及びリボンへのパターニングは、フィンガー導電体の形成における第１の金属相において上記されたものと同一の方法で行われ得る。

周知の又は考えらえるリボンは、本発明において適用され得る。ソーラーモジュールにおいて有利に又は典型的に使用される構成は、１つのセルのエミッタ領域が、直列回路の隣接するセルのベース領域に接続されるように、セルを電気的な直列回路で接続することである。直列の第１のセルのベース領域は、モジュールの正極出力部に接続され、直列の最終的なセルのエミッタ領域は、モジュールの負極出力部に接続される。この極性は、セルがＮ型のベース領域を有する場合反転される。

図４（ａ）から（ｃ）及び図５に示されるような特定のパターニングのアクセス開口１７、１８を有する実施形態は、下層のフィンガー導電体に多かれ少なかれ垂直に配向される長方形のリボンを画定するようにパターニングされる第２の絶縁層に第２の金属相を単純に堆積することによって、ソーラーモジュールの相互接続又はリボンを形成することを可能にする。

各リボンが、各セルのエミッタ又はベースフィンガー導電体領域に排他的に電気的に接触するように、リボンの一実施形態は、フィンガー導電体に対して約９０℃で配向され、絶縁層の開口に位置合わせされた、上記の範囲に与えられるような幅の長方形のリボンである。この原理は、図６に示されており、それは、規則的な長方形の断面を有するリボンの形成後において図５に示されるものと同一の実施形態を示す。リボン１９は、第２の絶縁層の上部に形成され、フィンガー導電体１４の向きに略垂直に配向される金属層の長方形のシート／バンドである（図３（ｂ）と比較して）。この図は、直列接続を示すためにアクセス開口１７、１８の位置を示す。実際には、アクセス開口１７、１８の位置が不可視であるように、リボン１９は、透明ではない。この実施形態は、全てのウエハベースの段階、すなわち本発明の第１の側面の段階（Ａ）における段階（ｉ）から（ｖｉｉ）が積層前にウエハ上で行われる、単純なウエハベースの製造工程を可能にする。これは、もし有利であれば、加熱から透明な接着剤を保護する必要がないので、より高い温度を使用することを可能にする利点を与え、それは、モジュールの多数の太陽電池の全ての半完成ソーラーにおけるビア導電体の同一のパターニングを有する第２の絶縁層を形成する利点を与える。次いで、セル相互接続の要求される直列接続は、図５に示されるようなビア導電体のパターニングに達するためにその前面に垂直である中心軸上の長方形のモザイク式に似ている多数の各列における単純な一巻きの全ての半完成太陽電池によって得られ得る。

しかしながら、本発明は、図４（ａ）から（ｃ）及び図５に示される実施形態に縛られるものではない。リボン及び下層の第２の絶縁層のあらゆる周知の又は考えらえる形状及びパターニングは、アクセス開口１７、１８のパターニングに適合される限りにおいて適用され得る。例えば、相互接続リボンは、通常のシリコンセル相互接続に使用されるような一定の長方形の断面を有し得（図６に示されるような）、又は、リボンは、一定ではない断面及び具体化された張力緩和形状を有する。すなわち、リボンの幅はリボンの長さに沿って一定である必要はなく、すなわち、リボンに対して全体的に平坦化された菱形形状を使用することができ、リボンの最も幅が広い部分は、リボンの中心において電流が最大である場所であり、リボンの最も幅が狭い部分は、同様に電流が最も小さい端部であるようなものである。リボンの単位長さあたり一定に近い抵抗損失を達成するために、電流が増加するにつれてリボンの断面が増加する場合、これは、材料の最適な利用を実現する。

ソーラーモジュールが通常の動作で温度サイクルに曝されるので、モジュールの種々の構成要素（ガラス、封止材、シリコン等）の不適合な熱膨張のために、互いに対して個々のセルのいくらかの動きがあることが一般的である。熱膨張及び収縮は、相互接続リボンに応力を生成する。この応力がモジュールの破砕を引き起こすことを避けるために、リボンは、有利には、屈曲部におけるリボンの小さな変形によって応力が緩和され得るような方法で曲げられ又は形成され得る。屈曲部は、リボンに沿った１つ又はそれ以上の点に配置され得るが、典型的には、リボンが隣接するセル間の間隔を広げる領域で形成される。

ソーラーモジュールが環境に曝されると、ソーラーモジュールのセルは、典型的には、周囲温度の変化、並びに、カバーガラス、封止材、バックシート及びセルの不適合な熱膨張の結果として互いに対して少量だけ動く。そのため、モジュール内のセルの動きがセルの相互接続又はリボンに応力を与えず又は破砕しないように、リボンの軸上の膨張及び収縮を可能にするように設計されたリボンに歪緩和構造を適用することが有利であり得る。リボンの応力緩和構造の一実施形態は、リボンのＺ屈曲の形態であり、それは、リボンの平面外に形成される。本発明のようなより薄いリボンの形状を用いることの利点は、穴あけ、レーザー切断又は他の方法によって薄いリボンの面内歪緩和構造を形成することが容易であるということである。考えられる面内歪緩和構造の１つは、リボンの連続的な金属構造体の１つ又はそれ以上の破壊点を横切ることなく、直線がリボンの一端から他端まで引かれ得ないようなものである。考えられる面内歪緩和構造の他の１つは、リボンの連続的な金属構造体の１つ又はそれ以上の破壊点を横切ることなく、直線がリボンの各端の中間点間に引かれ得ないようなものである。

（封止）
セル相互接続が形成される場合、最終的な処理段階は、モジュール前面基板及びモジュール背面基板の間の太陽電池の封止である。これは、有利には、第２の金属層、すなわちリボン１９に背面基板を積層することによって得られ得る。側面から見られる以上に与えられる実施形態によるソーラーモジュールの結果として得られる構造は、Ａ−Ａ線に沿った断面を示す図７（ａ）及びＢ−Ｂ線に沿った断面を示す図７（ｂ）に概略的に示されている。積層接着剤は、透明な積層接着剤３、又は、ソーラーモジュールに関連するあらゆる他の周知の又は考えられる積層体と同一であり得、モジュール背面基板２１は、ソーラーモジュールに関連するあらゆる周知の又は考えられる材料であり得る。

背面に４つのエミッタ及び４つのベース領域のインターデジタルなパターンを有するシリコンウエハの実施形態の側面から見られるような概略図である。 背面から見られる、図１（ａ）に示されるものと同一の実施形態の概略図である。 非晶質のシリコン層及びパターニングされた絶縁層の堆積後における、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示されるものと同一の実施形態の側面から見られるような概略図である。 背面から見られる、図２（ａ）に示されるものと同一の実施形態の概略図である。 フィンガー導電体を形成するために第１の金属相の堆積及びパターニング後における、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示されるものと同一の実施形態の側面から見た概略図である。 背面から見られる、図３（ａ）に示されるものと同一の実施形態の概略図である。 第２の絶縁層を通って導電体を形成する第２の絶縁層の堆積及びアクセス開口の形成後における、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示されるものと同一の実施形態の側面から見た概略図であり、図４（ｃ）のＡ−Ａ線に沿って取られた断面図を示す。 図４（ｃ）に示されるＢ−Ｂ線に沿って取られた、図４（ａ）と同様の断面図である。 背面から見られる、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示されるのと同一の実施形態の概略図である。 背面から見られる、モジュール前面基板の長方形のモザイク式に似ているパターンに積層された図４（ｃ）に示されるような４つの半完成太陽電池の概略図である。 セル相互接続又はリボンの形成後における図５に示されるような実施形態の概略図である。 モジュール背面基板の積層による太陽電池の封止後における、前述の図面に示されるものと同一の実施形態の側面から見られるような概略図であり、図５に示されるＡ−Ａ線に沿った断面図を示す。 図５に示されるＢ−Ｂ線に沿って取られた図７（ａ）と同様の断面図である。 本発明による製造工程の実施形態の種々の段階を示す概略図である。 本発明による製造工程の実施形態の種々の段階を示す概略図である。 本発明による製造工程の実施形態の種々の段階を示す概略図である。 本発明による製造工程の実施形態の種々の段階を示す概略図である。 本発明による製造工程の実施形態の種々の段階を示す概略図である。 本発明による製造工程の実施形態の種々の段階を示す概略図である。 本発明による製造工程の実施形態の種々の段階を示す概略図である。 本発明による製造工程の実施形態の種々の段階を示す概略図である。 本発明による製造工程の実施形態の種々の段階を示す概略図である。 本発明による製造工程の実施形態の種々の段階を示す概略図である。 本発明による製造工程の実施形態の種々の段階を示す概略図である。 本発明による製造工程の実施形態の種々の段階を示す概略図である。 本発明による製造工程の実施形態の種々の段階を示す概略図である。 本発明による製造工程の実施形態の種々の段階を示す概略図である。 図８（ｎ）のＡ−Ａ線に沿って取られる断面の側面から見られる概略図である。 図８（ｎ）のＢ−Ｂ線に沿って取られる断面の側面から見られる概略図である。 図８（ｎ）のＣ−Ｃ線に沿って取られる断面の側面から見られる概略図である。 図８（ｎ）のＤ−Ｄ線に沿って取られる断面の側面から見られる概略図である。

これらの図面は、明確性のために実際の寸法で記載されていない。ソーラーモジュールの種々の構成の寸法の実際の比は、図面に示された比からかなり外れている。

本発明は、実施形態によってより詳細に説明される。これらの実施例は、本発明の限定として解釈されるべきではなく、本発明によるソーラーモジュールは、以上に説明されたソーラーモジュールを他の構成及び数を採用し得る。

（第１の実施形態）
第１の実施形態は、ｋ行及びｌ列の長方形のパターンで配置されるＭ個のソーラーセルの組を使用し、すなわち、モジュールのソーラーセルの数ｎは、ｎ＝ｋ・ｌとなる。この実施形態は、ｋ＝ｌ＝２で示されるが、偶数の数ｎのセルを有し得る。

モジュールの各太陽電池は、長さ及び幅が１２５ｍｍの二次のシリコンウエハから作られ、それは、約０．２ｍｍのそれぞれの側方端部間の間隙又は相対的な距離を有して前面モジュール前面ガラスに積層される。各ウエハは、シリコンドナーウエハの多孔性の剥離層上における３つの単結晶シリコン層のエピタキシャル成長によって形成される。エピタキシャル堆積された第１の層は、エミッタ層であり、０．８μｍの厚さで形成され、１×１０^１９ｃｍ^−３のリン原子の濃度までドーピングされ（Ｎ型ドーピング）、エピタキシャル堆積された第２の層は、ベース層であり、４０μｍの厚さで形成され、３×１０^１６ｃｍ^−３のホウ素原子の濃度までドーピングされ（Ｐ型ドーピング）、一方で、エピタキシャル堆積された第３の層は、前表面フィールド層であり、１．５μｍの厚さで形成され、５×１０^１７ｃｍ^−３のホウ素原子の濃度までドーピングされる（Ｐ型ドーピング元素）。

エピタキシャル成長は、前駆体ガスとして、ベース又は前表面フィールド層（Ｐ型にドーピングされる）を堆積する際には適切な量のジボランＢ_２Ｈ_６が混ぜられ、エミッタ層（Ｎ型にドーピングされる）を堆積する際には適切な量のホスフィンＰＨ_３が混ぜられたテトラクロロシランを使用する高速熱ＣＶＤによって得られる。ドナーウエハは、１２６ｍｍの幅及び長さ並びに５００μｍの厚さを有する長方形の単結晶シリコンウエハであった。ドナーウエハの堆積表面は、通常の電気化学エッチング技術を用いて、二層化された多孔性構造体を形成することによって解放層に形成され、ここで、最大の層は、０．７μｍの厚さ及び２５％の多孔性を有し、第２の層は、０．３μｍの厚さ及び４５％の多孔性を有した。

インターデジタル化された多数のエミッタ及びベース領域は、周知の方法において結晶性シリコンを除去することができる化学エッチング試薬及びエッチングマスクを適用することによって選択的化学エッチングによって形成された。

エピタキシャル成長された三層化されたシリコンウエハの自由表面、すなわち前表面領域は、すなわちプラズマガスとしてＳＦ_６及びＯ_２を用いた反応性イオンエッチングなどのプラズマエッチングによって保護された表面である。次いで、表面保護膜、すなわち４２５℃において前駆体ガスとしてＳｉＨ_４及びＮＨ_３を使用した化学気相堆積によってα−ＳｉＮ_ｘ：Ｈの連続層が堆積される。任意に、表面保護層の上部に堆積される反射防止膜が堆積され得る。これらの動作は、エピタキシャル成長されたウエハがそれらのドナーウエハに取り付けられる間に行われ、その処理は、テンポラリーチャックの使用によって機械的なせん断応力を適用することによってそれらのドナーウエハに開放される半完成太陽電池をもたらす。

次の段階は、ＥＶＡを排気するために約３０分間真空中で１７５℃までモジュールを加熱し、次いで表面が疎水性になるまで６０秒間にわたってフッ化水素酸溶液（２．５％の濃度）にモジュールを浸漬し、それに続いて、α−Ｓｉ：Ｈの直近の堆積のために、脱イオン水で洗浄し、乾燥し、次いでモジュールを非晶質シリコン堆積チャンバーに載置することによって、モジュールの背面全体における２０ｎｍの厚さの連続的なα−Ｓｉ：Ｈ層の化学気相堆積である。

第１の絶縁層は、５μｍの厚さのポリイミドの層を堆積し、１８０から２００℃で硬化される。線形的な接触領域の幅は、５０μｍであり、接触領域／フィンガー導電体領域の約１５０のアスペクト比をもたらす。次いで、非晶質シリコン層の露出された領域、すなわち接触アクセス領域は、Ｏ_２／Ｎ_２Ｏ中でのプラズマアッシング及びフッ酸エッチングによって洗浄される。

フィンガー導電体となることを意図される金属層は、スパッタリングガスとしてのＡｒ及び平坦なターゲットを用いて、半導体接触層として３００ｎｍの厚さのＡｌ層、次いで５０ｎｍのＮｉ_０．８Ｃｒ_０．２、及びそれに続いて５０ｎｍのＣｕをマルチチャンバーツール内でＤＣマグネトロンスパッタリングによって形成される。金属層のパターニングは、金属層内に線形の溝を形成するレーザーアブレーションによって得られる。次いで、エミッタ及びベース領域との電気接触は、接触アクセス領域に横たわる、すなわちフィンガー導電体のＡｌ金属及びシリコンウエハの間の非晶質シリコン層の部分を結晶化するために約２２５℃の温度までの穏やかな加熱処理によって得られる。

第２の絶縁層は、ソーラーモジュールの背面全体を覆う５μｍの厚さの紫外線（ＵＶ）光硬化可能な半田マスクをスクリーン印刷することによって形成される。スクリーン印刷は、アクセス開口１７、１８を直接形成するために反転され、それは、２μｍの長さ及び幅を有する長方形の断面を有し、以上に記載されたパターンで形成され、図７ａの底部に示される。ここで、アクセス開口１７、１８のための孔を有する半田マスクは、明確性のために別個に示される。

アクセス開口１７、１８は、半田ペーストをステンシル印刷することによって形成され、次いで加熱硬化される。あるいは、アクセス開口は、導電性接着剤、すなわち懸濁された金属粒子を含む接着材ポリマーをニードルディスペンスすることによって形成され得、続いて、リボンが堆積されてリボンにしっかりと取り付けられた後に熱硬化される。

モジュール前面ガラスへの半完成太陽電池の積層は、ウエハの前面が表面テクスチャリング、表面保護及び任意に反射防止コーティングを含む処理に曝されるとすぐに、以上に記載された処理段階の何れかの後に行われ得る。次いで、ウエハの背面における最終的な処理段階は、積層された多数の太陽電池に必ずしも採用されない。積層体は、それらの背面が積層板に向かう以上に記載された２×２のパターンで４つの半完成太陽電池を堆積し、次いで半完成太陽電池に対して１５０から３００μｍの厚さのエチレンビニルアセテート（ＥＶＡ）を有するモジュール前面ガラスを加圧し、ＥＶＡが硬化するまで約１７５℃まで積層体を加熱することによって得られる。次いで、積層された半完成太陽電池を含む前面モジュールガラスは、積層板から分離され、多孔性の解放層の残部は、水酸化カリウム水溶液中での化学エッチングによって全ての半完成太陽電池から除去される。

第１の実施形態は、図６に示されるようにリボン形状で与えられ、それは、上部部分において、２つの任意に選択される太陽電池１（ソーラーモジュールの１列の数ｎ及びｎ＋１）を示す。明確性のために、この列の（他の列のではない）他の太陽電池１は、図面に示されず、このソーラーモジュールに関連する全ての詳細事項は省略される。しかしながら、この図は、点線によって描かれる長方形による太陽電池の下層のフィンガー導電体１４を示し、アクセス開口１７、１８は、暗い正方形で示される。

この実施形態のリボン２０、２１は、各列の最初の又は最後の太陽電池のエミッタ又はベース領域の何れかとの接触をリボンが得るという例外を有して、一定の断面を有する全て長方形であり、列の２つのセルの２つの横道にわたって広がるように形成される。これらのリボンは、１つのセルを広げるだけである。図面は、参照符号２１でマークされるリボンの全長を示す２つのセルを横切る距離を示すが、セルｎ−１（図示されない）に対して延長し、先を切り取ったような太陽電池ｎの他のリボン２０の２つのセルの距離を示すだけであり、同様に、太陽電池ｎ＋１のリボン２０は、太陽電池ｎ＋１の右に延長する。しかしながら、太陽電池ｎ＋１がその列の最後の太陽電池でない場合、セルｎ＋１の右に太陽電池ｎ＋２（示されない）があり、そのリボン２０は、広がり、それが以前のセルに接続されるフィンガー導電体の反対の極性のフィンガー導電体に接続される。

各リボン２０、２１は、２５０ｍｍの長さ及び６ｍｍの幅を有する、純粋なＳｎでコーティングされた中実の銅コアの５０μｍの厚さの金属ストリップで作られる。ソーラーモジュールの各列の最初及び最後の太陽電池に関して、全ての第２のリボン（２０又は２１の何れか）は、１２５ｍｍの長さを有する。２つの隣接する太陽電池間の領域において、リボン２０、２１は、有利には、通常動作中の温度サイクルからもたらされるソーラーモジュールの熱膨張による移動に応じるために歪緩和部２２を有する。この実施形態の歪緩和部２２は、Ｚ形状の屈曲（図示されない）である。

（第２の実施形態）
第２の実施形態は、以下の含む第１の実施形態の変形例である。
（１）前面のテクスチャリング加工並びにそれに続くドーパントを用いた拡散及びウエハの前面に対する反射防止膜の形成。前表面は、任意に、前表面領域又はフローティング接合を形成するために拡散又は注入される。前面及び背面拡散は、セルの前面におけるフローティング接合を達成するために同一のタイプであり得、又は、ｐ−ｎ接合がセルの背面に形成され、前表面領域がセルの前面に形成されるように異なるタイプであり得る。得られた構造は、図８（ａ）に示される。

（２）以下の何れかによる背面の領域の選択的除去：
（２．１）
（ａ）エッチングレジスト（例えばノボラック樹脂）、又は任意にスクリーン印刷でパターニングされた樹脂及びスキップインクジェットを用いたウエハの背面のコーティング（図８（ｂ））
（ｂ）塩基性溶液を用いたレジストのパターニング（インクジェット）、任意にレジストをパターニングするためのスクリーン印刷塩基性溶液（図８ｃ）
（ｃ）エミッタを除去するための露出されたシリコン領域のエッチング（図８ｄ）
（ｄ）レジストの除去（図８ｅ）
又は、
（２．２）シリコンエッチングペーストのスクリーン印刷又はステンシル印刷
又は、
（２．３）レーザーアブレーションによるエミッタ領域の選択的除去

（３）コンタクト／保護層を形成するための任意のＳｉＯ_２又はＳｉＮ_ｘ被覆層を用いた１から２０ｎｍの非晶質シリコンの堆積（図８ｆ）

（４）パターニングされた第１の絶縁材料（ポリイミド）のスクリーン印刷（図８ｇ）

（５）３００℃未満のポリイミドの低温焼成

（６）接触表面を洗浄するためのＯ_２／Ｎ_２Ｏ中での任意のプラズマアッシング、又は、自然酸化物又はＳｉＯ_２／ＳｉＮ_ｘ被覆層を除去するための任意のＨＦエッチング

（７）２０μｍ未満の厚さのＡｌ／ＮｉＣｒ／Ｃｕの金属積層体の堆積（図８ｈ）。ＡｌＳｉ／ＮｉＶ／ＳｎＣｕなどの同様の金属化層はまた使用され得、ここで、Ａｌ含有合金はシリコンと接触する。この金属は、連続膜として堆積され得、続いてレーザーアブレーション、機械的なスクライビング又は他の手段を用いてパターニングされ得る。あるいは、ワックス又はポリマーなどの犠牲リフトオフ材料は、リフトオフ材料に横たわる金属の選択的除去を可能にする金属堆積の前にセル背表面に堆積され得る。あるいは、機械的なシャドーマスクは、セルの背表面に金属のパターニングされた堆積を可能にするために堆積の前にセルに配置され得る。

（８）レーザーアブレーションによる金属パターニング（図８ｉ）

（９）エミッタ及びベース領域に対する低抵抗Ａｌ−Ｓｉ接触を活性化するための２５０℃未満の接触焼き鈍し

（１０）スクリーン印刷／ステンシル印刷でパターニングされた半田マスク絶縁体（図８ｊ）

（１１）ステンシル印刷半田ペースト（図８ｋ）

（１２）モジュール上への相互接続リボンの配置（図８ｌ又は図８ｎ）

（１３）半田を溶融するための高温空気銃、レーザー又はオーブン

（１４）半田クロスコネクタ、積層背面シート（図８ｍ）、相互的視点（図９ａから図９ｄ）、Ａ−Ａ線からＤ−Ｄ線の表示については図８ｎ参照。

（１５）ジャンクションボックス及びフレーミング

１ ウエハ
２ 前面基板
４ 前面フィールド
５ ベース層
６ エミッタ層
７ 背面領域
８ 残部
９ 保護層
１０ 絶縁層
１１ ボイド
１２ 電気絶縁領域
１３ ボイド
１４ フィンガー導電体
１６ 絶縁層
１７ アクセス開口
１８ アクセス開口
１９ リボン
２１ モジュール背面基板

Claims (15)

1. 背面接触背面接合シリコン太陽電池モジュールを製造する方法であって、
   前記方法が、
   （Ａ）連続して以下のウエハ処理段階の段階（ｉｉ）を少なくとも含む選択された数を行うことによって多数の半完成太陽電池を形成し、続いて以下の（Ｂ）段階に移る段階と、
   （ｉ）少なくとも背面エミッタ層及び前記背面エミッタ層の下のベース層を含む、積層構造の層状のドーピングされた構造を有する結晶性シリコンウエハを使用する段階であって、前記ウエハが、前記背面に多数の交互の長方形のエミッタ領域及びベース領域を有する段階と、
   （ｉｉ）テクスチャリングを形成し、前記ウエハの前面に少なくとも１つの表面保護膜を堆積する段階と、
   （ｉｉｉ）前記ウエハの背面全体を覆う連続的な非晶質シリコン層を堆積することによって背表面保護層を形成する段階と、
   （ｉｖ）前記多数の交互の長方形のエミッタ領域及びベース領域の各々の直上に多かれ少なかれ位置し平行に走る電気接触アクセス領域を画定する線形の開口を有する第１の絶縁層を前記背表面保護層に形成する段階と、
   （ｖ）前記多数の交互の長方形のエミッタ領域及びベース領域の各々の直上に多かれ少なかれ位置し平行な長方形の金属電気フィンガー導電体を形成する段階と、
   （ｖｉ）前記下層のフィンガー導電体との電気接触が意図される位置に一組のアクセス開口を有する前記フィンガー導電体に第２の絶縁層を形成する段階と、
   （ｖｉｉ）前記アクセス開口の下に横たわる前記フィンガー導電体に電気的に接触する前記第２の絶縁層の各アクセス開口にビアコンタクトを形成する段階と、
   （Ｂ）前記多数の半完成太陽電池をモジュール前面基板に積層する段階であって、前記多数の半完成太陽電池の前面が、長方形のモザイク式に似ているパターンで前記モジュール前面基板に面し、段階（ｖｉｉ）を含む全てのウエハ処理段階が行われるまで、前記積層された多数の半完成太陽電池に連続して段階（Ａ）の最終的に残っている処理段階を行う段階と、
   （Ｃ）前記モジュールの半完成太陽電池の接続用の前記パターニングされた第２の絶縁層の上部に一組のリボンコンタクトを形成することによって、前記半完成太陽電池の機能的な太陽電池を形成するための前記処理を完了する段階と、
   （Ｄ）前記多数の太陽電池を含む前記モジュール前面基板の背面に背面カバー基板を積層する段階と、
   を連続して含む方法。
2. 前記半完成太陽電池の背表面が積層板に向いている状態で、前記意図されたモザイク式に似ているパターンで前記ソーラーモジュールの全ての半完成太陽電池を前記積層板に堆積することによって、前記半完成太陽電池が前記モジュール前面基板に積層され、
   続いて、前記半完成太陽電池に面する１ｍｍ未満の厚さのエチレンビニルアセテート（ＥＶＡ）の層を有する前記モジュール前面ガラスを加圧し、前記ＥＶＡが硬化するまで約１７５℃まで前記組立体を加熱する、請求項１に記載の方法。
3. 化学気相堆積（ＣＶＤ）によって１から５０ｎｍの厚さのα−Ｓｉの層の堆積のために前記非晶質シリコン堆積チャンバーに前記モジュールを置くことによって前記連続的な非晶質シリコン層が形成される、請求項２に記載の方法。
4. ＳｉＮ_ｘの連続層が、化学気相堆積によって前記連続的な非晶質シリコン層に堆積される、請求項３に記載の方法。
5. 前記絶縁層が、前記多数の交互の長方形のエミッタ領域及びベース領域の各Ｐ型領域及びＮ型領域の中心上に位置合わせされ平行に走る５０から２００μｍの範囲の幅を有する線形の接触領域を有する１から１０μｍの厚さのパターニングされた層を形成するためにポリイミド組成物をスクリーン印刷することによって形成され、次いで１８０から２００℃で硬化される、請求項１から４の何れか一項に記載の方法。
6. 前記接触アクセス領域が、前記第１の絶縁層の形成後に、Ｏ_２／Ｎ_２Ｏ中でのプラズマアッシング及びフッ化水素エッチングによって洗浄される、請求項１から５の何れか一項に記載の方法。
7. 前記ウエハの背面の前記連続的な金属相が以下の範囲の１つである厚さを有するまで、前記連続的な金属相が、プラズマ気相堆積（ＰＶＤ）によって堆積される、請求項１から６の何れか一項に記載の方法：２００ｎｍから２０μｍ、２００ｎｍから１０μｍ、３００ｎｍから５μｍ、３００ｎｍから２μｍ、３５０ｎｍから１μｍ又は３５０ｎｍから８００ｎｍ。
8. 前記連続的な金属相が、以下から選択される金属層の積層体であり、Ａｌ又はＡｌ含有合金が、前記非晶質シリコン層に接触させられる、請求項７に記載の方法：Ａｌ／ＮｉＣｒ／Ｃｕ、Ａｌ／ＮｉＣｒ／ＳｎＣｕ、又は、ＡｌＳｉ／ＮｉＶ／ＳｎＣｕ。
9. 前記金属積層体がまた、以下から選択される前記付着接触層の反対側に上部接触層を含む、請求項８に記載の方法：Ｃｕ、Ｓｎ及びＡｇ含有合金；Ｃｕ−Ｓｎ−Ａｇ含有合金；Ｃｕ−Ｓｎ合金；Ｓｎ；又はＡｕ、Ａｇ若しくはＰｄなどの貴金属。
10. 前記フィンガー導電体が、
    −マルチチャンバーツール内で半導体接触層としての連続的なＡｌ層、それに続くＮｉ_０．８Ｃｒ_０．２の連続層、及びスパッタリングガスとしてのＡｒ及び平坦なターゲットを用いたＣｕの連続層をＤＣマグネトロンスパッタリングする段階、及び、
    −前記金属層内に線形の溝を形成するレーザーアブレーションによって、前記堆積された連続的な金属層をパターニングする段階によって形成される、請求項７に記載の方法。
11. 前記第２の絶縁層が、
    −パターニングされた接着剤又は印刷可能な絶縁インクを前記ウエハの金属層（フィンガー導電体）に付ける段階、
    −パターニングされていない連続的な第２の絶縁層を堆積し、選択された領域において前記第２の絶縁層を選択的にエッチングし、貫通し、溶融し又は溶解するために導電材料の前記後続のパターニングされた印刷を使用する段階、
    −前記下層の絶縁層のＵＶ硬化を避けるためにシャドーマスクとして作用する前記導電性を有し、それによって前記導電体が、前記選択された領域の前記絶縁層を貫通することを可能にする段階、又は、
    −前記セル金属化層に前記ビア導電パッドを直接印刷し、次いで、ＵＶ硬化によって前記第２の絶縁層を形成するために前記導電パッドの周囲に自己平坦化絶縁層を流す段階、
    の１つによって形成される、請求項１から１０の何れか一項に記載の方法。
12. 適切な長さの金属ストリップ又はバンドをスプールから適用することによって形成された前記リボンが、前記金属ストリップ又はバンドを延ばし、適切なサイズに切断し、歪緩和形状を形成し、次いで正しい配置で前記金属ストリップ又はバンドを前記第２の絶縁層上に配置し、次いで前記金属ストリップ又はバンドを前記アクセス開口の前記導電性接着剤又は半田ペーストに加圧する、請求項１から１１の何れか一項に記載の方法。
13. 前記金属ストリップが、一定の断面を有し、以下の範囲：１０から３００μｍ、２０から２００μｍ、３０から１００μｍ、３０から６０μｍ、又は３５から５０μｍの１つの厚さ及び以下の範囲の１つの幅：０．１から２０ｍｍ、０，３から１５ｍｍ、０．５から１０ｍｍ、１から８ｍｍ又は３から６ｍｍの純粋なＳｎでコーティングされた中実の銅コアで作られ、
    −各リボンが、前記太陽電池のｍ・ｎアクセス点の長方形のパターンの偶数又は奇数の列の何れかに位置合わせされ平行であるように、配向され位置合わせされ、
    −前記奇数の太陽電池のｍ・ｎアクセス点の長方形のパターンの奇数の列に位置合わせされるリボンが、前記列の次の太陽電池のベース型の領域を有するこの太陽電池のエミッタ型の領域を接続し、
    −前記奇数の太陽電池のｍ・ｎアクセス点の長方形のパターンの偶数の列に位置合わせされるリボンが、前記列の前の太陽電池のベース型の領域を有するこの太陽電池のエミッタ型の領域を接続するように、
    −各リボンが、前記太陽電池モジュールの多くのＭ＝ｋ・ｌ個の太陽電池の同一の列の２つの太陽電池にわたって広がり、
    前記太陽電池が、前記列の第１の太陽電池である場合、前記偶数の列に位置合わせされたリボンが、この太陽電池にわたって広がるだけであり、前記太陽電池が、前記列の最後の電池である場合、前記奇数の列に位置合わせされたリボンが、この太陽電池にわたって広がるだけである、請求項１２に記載の方法。
14. 段階（Ａ）において、段階（ｉ）から（ｖｉｉ）の全てのウエハ処理段階が、段階（Ｂ）に対する手順の前に行われる、請求項１から１３の何れか一項に記載の方法。
15. 適切な長さの金属ストリップ又はバンドをスプールから適用することによって形成された前記リボンが、前記金属ストリップ又はバンドを延ばし、適切なサイズに切断し、歪緩和形状を形成し、次いで正しい配置で前記金属ストリップ又はバンドを前記第２の絶縁層上に配置し、次いで前記金属ストリップ又はバンドを前記アクセス開口の前記導電性接着剤又は半田ペーストに加圧する、請求項１から１４の何れか一項に記載の方法。

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