JP2015502055A - その場でのメトロロジ用に構成された反応チャンバを有する堆積システムおよび関連の方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本願の主題は、2011年8月22日にBertramらの名義で出願された「DEPOSITION SYSTEMS HAVING ACCESS GATES AT DESIRABLE LOCATIONS,AND RELATED METHODS」という名称の米国特許仮出願第61/526,137号明細書の主題、2011年8月22日にBertramらの名義で出願された「DEPOSITION SYSTEMS INCLUDING A PRECURSOR GAS FURNACE WITHIN A REACTION CHAMBER,AND RELATED METHODS」という名称の米国特許仮出願第61/526,143号明細書の主題、および2011年8月22日にBertramの名義で出願された「DIRECT LIQUID INJECTION FOR HALIDE VAPOR PHASE EPITAXY SYSTEMS AND METHODS」という名称の米国特許仮出願第61/526,148号明細書の主題に関し、この出願のそれぞれの開示全体を参照によりその全体を本明細書に組み込む。
少なくとも1つの熱放射エミッタを1または複数のチャンバ壁を含む反応チャンバの外側で前記反応チャンバに近接して配置するステップと、前記1または複数のチャンバ壁の少なくとも1つのチャンバ壁を通じて前記反応チャンバの内部に熱放射を放出するように前記少なくとも1つの熱放射エミッタを配向するステップと、電磁放射スペクトルの赤外領域および可視領域のうちの少なくとも1つにおける電磁放射の波長範囲内で熱放射を放出するように構成されたエミッタを含むように前記少なくとも1つの熱放射エミッタを選択するステップと、前記波長範囲にわたって電磁放射に対して少なくとも実質的に透過性である透過性材料を含むように前記少なくとも1つのチャンバ壁を選択するステップと、少なくとも1つのメトロロジデバイスのセンサを、前記反応チャンバの外側で前記反応チャンバに近接して配置するステップと、前記反応チャンバの内部から前記反応チャンバの外部へ通過する電磁放射信号を受信するように前記センサを配向するステップと、センサは、前記波長範囲内の1または複数の波長の前記電磁放射信号を検出するように構成されたセンサを含むように前記センサを選択するステップと、前記少なくとも1つの熱放射エミッタによって放出されることになる少なくとも一部の熱放射が前記少なくとも1つのメトロロジデバイスの前記センサによって検出されるのを防止する場所に、不透過性材料の少なくとも1つの体積を設けるステップと、前記波長範囲内の電磁放射の波長に対して不透過性の材料を含むように前記不透過性材料を選択するステップとを含むことを特徴とする方法。
Claims (12)
- 上壁と、底壁と、前記上壁と前記底壁との間に延びる少なくとも1つの側壁とを含む反応チャンバと、
前記底壁に隣接して配置された少なくとも1つの熱放射エミッタであって、前記エミッタは、電磁放射スペクトルの赤外領域および可視領域のうちの少なくとも1つにおける電磁放射の波長範囲内で、前記反応チャンバの少なくとも1つのチャンバ壁を通して前記反応チャンバの内部に熱放射を放出するように構成されており、前記反応チャンバの前記底壁は前記波長範囲にわたって電磁放射に対して少なくとも実質的に透過性である透過性材料を含み、前記底壁は透過性の石英を含む、該熱放射エミッタと、
前記反応チャンバの外側に位置しおよび前記反応チャンバの内部から前記反応チャンバの外部へ通過する前記波長範囲内の1つまたは複数の波長の電磁放射信号を受信するように配向および構成されたセンサを含む、少なくとも1つのメトロロジデバイスと、
不透過性材料の少なくとも1つの体積であって、前記不透過性材料は前記波長範囲内の電磁放射の波長に対して不透過性であり、前記不透過性材料の少なくとも1つの体積は前記少なくとも1つの熱放射エミッタによって放出されることになる少なくとも一部の熱放射が前記少なくとも1つのメトロロジデバイスの前記センサによって検出されるのを防止するように配置され、前記上壁の少なくとも一部分は前記不透過性材料の少なくとも1つの体積を含み、前記不透過性材料は不透過性の石英を含む、該不透過性材料の少なくとも1つの体積と
を備えたことを特徴とする堆積システム。 - 前記不透過性材料の少なくとも1つの体積は、前記1つまたは複数のチャンバ壁のうちのチャンバ壁の少なくとも一部分を含むことを特徴とする請求項1に記載の堆積システム。
- 前記反応チャンバの前記内部に配置された物体をさらに備え、前記物体は前記不透過性材料の少なくとも1つの体積を含むことを特徴とする請求項1に記載の堆積システム。
- 前記少なくとも1つの側壁の少なくとも一部分は前記不透過性材料の少なくとも1つの体積を含み、前記不透過性材料は不透過性の石英を含むことを特徴とする請求項1に記載の堆積システム。
- 前記少なくとも1つのメトロロジデバイスの前記センサは前記上壁に隣接して配置され、前記上壁の少なくとも一部分は前記不透過性材料の少なくとも1つの体積を含み、前記不透過性材料は不透過性の石英を含み、前記少なくとも1つの側壁の少なくとも一部分は前記不透過性材料の少なくとも1つの体積を含み、前記不透過性材料は不透過性の石英を含むことを特徴とする請求項1に記載の堆積システム。
- 前記少なくとも1つの熱放射エミッタは前記反応チャンバの外側で前記底壁に隣接して配置され、前記底壁の少なくとも一部分は前記透過性材料を含み、前記少なくとも1つのメトロロジデバイスの前記センサは前記反応チャンバの外側で前記上壁に隣接して配置され、前記上壁および前記少なくとも1つの側壁のうちの少なくとも1つは前記不透過性材料の少なくとも1つの体積を含むことを特徴とする請求項1に記載の堆積システム。
- 堆積システムを形成する方法であって、
少なくとも1つの熱放射エミッタを、上壁と、底壁と、前記上壁と前記底壁との間に延びる少なくとも1つの側壁とを含む反応チャンバの外側で前記反応チャンバに近接して配置するステップと、
前記1つまたは複数のチャンバ壁の少なくとも1つのチャンバ壁を通じて、前記反応チャンバの内部に熱放射を放出するように前記少なくとも1つの熱放射エミッタを配向するステップと、
電磁放射スペクトルの赤外領域および可視領域のうちの少なくとも1つにおける電磁放射の波長範囲内で熱放射を放出するように構成されたエミッタを含むように前記少なくとも1つの熱放射エミッタを選択するステップと、
前記波長範囲にわたって電磁放射に対して少なくとも実質的に透過性である透過性材料を含むように前記底壁を選択するステップであって、前記透過性材料は石英材料を含む、該ステップと、
少なくとも1つのメトロロジデバイスのセンサを、前記反応チャンバの外側で前記反応チャンバに近接して配置するステップと、
前記反応チャンバの内部から前記反応チャンバの外部へ通過する電磁放射信号を受信するように前記センサを配向するステップと、
前記波長範囲内の1つまたは複数の波長の前記電磁放射信号を検出するように構成されたセンサを含むように前記センサを選択するステップと、
前記少なくとも1つの熱放射エミッタによって放出されることになる少なくとも一部の熱放射が前記少なくとも1つのメトロロジデバイスの前記センサによって検出されるのを防止する位置に、不透過性材料の少なくとも1つの体積を設けるステップと、
前記波長範囲内の電磁放射の波長に対して不透過性の材料を含むように前記不透過性材料を選択するステップと、
前記不透過性材料の少なくとも1つの体積を含むように前記上壁を選択するステップであって、前記不透過性材料は不透過性の石英を含む、該ステップと
を備えたことを特徴とする方法。 - 前記不透過性材料の少なくとも1つの体積を含むように前記1つまたは複数のチャンバ壁の少なくとも1つのチャンバ壁を選択するステップをさらに備えたことを特徴とする請求項7に記載の方法。
- 物体を前記反応チャンバの内部に配置するステップと、
前記不透過性材料の少なくとも1つの体積を含むように前記物体を選択するステップと
をさらに備えたことを特徴とする請求項7に記載の方法。 - 前記不透過性材料の少なくとも1つの体積を含むように前記少なくとも1つの側壁を選択するステップをさらに備え、前記不透過性材料は不透過性の石英を含むことを特徴とする請求項7に記載の方法。
- 前記少なくとも1つのメトロロジデバイスの前記センサを前記上壁に隣接して配置するステップと、
前記不透過性材料の少なくとも1つの体積を含むように前記上壁を選択するステップであって、前記不透過性材料は不透過性の石英を含む、該ステップと、
前記不透過性材料の少なくとも1つの体積を含むように前記少なくとも1つの側壁を選択するステップであって、前記不透過性材料は不透過性の石英を含む、該ステップと
をさらに備えたことを特徴とする請求項7に記載の方法。 - 前記少なくとも1つの熱放射エミッタを前記反応チャンバの外側で前記底壁に隣接して配置するステップと、
前記透過性材料を含むように前記底壁を選択するステップと、
前記少なくとも1つのメトロロジデバイスの前記センサを前記反応チャンバの外側で前記上壁に隣接して配置するステップと、
前記不透過性材料の少なくとも1つの体積を含むように前記上壁および前記少なくとも1つの側壁のうちの少なくとも1つを選択するステップと
をさらに備えたことを特徴とする請求項7に記載の方法。
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