JP2015501383A5 - - Google Patents
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Description
この方法は、さらに以下の工程を、すなわち、
g)第2部分カソードを発電機に接続する工程であって、その結果第2部分カソードが発電機の電力で負荷される工程と、
h)第2部分カソードに対応する所定の第2電力パルス間隔の経過後に、発電機を第2部分カソードから切り離す工程と、
を含むことができ、
発電機からの電力出力が、中断なしに電力立ち上げ間隔の開始から第2電力パルス間隔の終了まで一貫して存在し続け、かつ第2電力立ち上げ間隔は生じず、かつこれが、好ましくは、第1電力パルス間隔と第2電力パルス間隔とが時間的に重複し、第1電力パルス間隔が、第2電力パルス間隔より時間的に前に開始し、第1電力パルス間隔が、第2電力パルス間隔より時間的に前に終了することにより達成されるように工程f)と工程g)とが実施される。
g)第2部分カソードを発電機に接続する工程であって、その結果第2部分カソードが発電機の電力で負荷される工程と、
h)第2部分カソードに対応する所定の第2電力パルス間隔の経過後に、発電機を第2部分カソードから切り離す工程と、
を含むことができ、
発電機からの電力出力が、中断なしに電力立ち上げ間隔の開始から第2電力パルス間隔の終了まで一貫して存在し続け、かつ第2電力立ち上げ間隔は生じず、かつこれが、好ましくは、第1電力パルス間隔と第2電力パルス間隔とが時間的に重複し、第1電力パルス間隔が、第2電力パルス間隔より時間的に前に開始し、第1電力パルス間隔が、第2電力パルス間隔より時間的に前に終了することにより達成されるように工程f)と工程g)とが実施される。
Claims (4)
- PVD吹き付けカソードを作動させるために、拡大縮小可能な電力パルス間隔を有する電力パルスを提供する方法であって、前記PVD吹き付けカソードは電力消費素子と第1カソードとを有し、前記カソード用の最大平均電力負荷は予め決められていて、前記電力パルス間隔の長さは予め決められていて、前記方法は、以下の工程、すなわち、
a)好ましくは少なくともスイッチを入れた後および電力立ち上げ間隔の経過後に、所定の一定の電力出力を行う発電機を提供する工程と、
b)前記発電機のスイッチを入れる工程と、
c)前記電力消費素子を前記発電機と接続する工程であって、その結果、前記電力消費素子が、前記電力立ち上げ間隔の間、前記発電機からの電力で負荷される工程と、
d)前記電力立ち上げ間隔の経過後に、前記発電機を前記電力消費素子から切り離す工程と、
e)第1部分カソードを前記発電機と接続する工程であって、その結果、前記第1カソードが前記発電機からの電力で負荷される工程と、
f)前記第1部分カソードに対応する所定の第1電力パルス間隔の経過後に、前記発電機を前記第1カソードから切り離す工程と、
を含む方法において、
前記第1カソードを前記発電機に接続する際に第2電力立ち上げ間隔が生じず、これが、好ましくは、前記電力立ち上げ間隔と前記第1電力パルス間隔とが時間的に重複し、前記発電機からの電力出力が中断されるには及ばないことにより達成されるように、前記工程d)と前記工程e)とが実施されることを特徴とする方法。 - 前記第1カソードは、部分カソードであり、前記方法は、さらに以下の工程、すなわち、
g)第2部分カソードを前記発電機に接続する工程であって、その結果前記第2部分カソードが前記発電機の電力で負荷される工程と、
h)前記第2部分カソードに対応する所定の第2電力パルス間隔の経過後に、前記発電機を前記第2部分カソードから切り離す工程と、
を含み、
前記発電機からの電力出力が、中断なしに前記電力立ち上げ間隔の開始から前記第2電力パルス間隔の終了まで一貫して存在し続け、かつ第2電力立ち上げ間隔は生じず、かつこれが、好ましくは、第1電力パルス間隔と第2電力パルス間隔とが時間的に重複し、前記第1電力パルス間隔が、前記第2電力パルス間隔より時間的に前に開始し、前記第1電力パルス間隔が、前記第2電力パルス間隔より時間的に前に終了することにより達成されるように前記工程f)と前記工程g)とが実施される
ことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - さらなるn個の部分カソードが、前記工程f)、g)およびh)にしたがって、前記発電機に順次接続され、かつ前記発電機から接続が切断され、好ましくは、n−1番目の電力パルス間隔が、n番目の電力パルス間隔と時間的に重複する
ことを特徴とする請求項2に記載の方法。 - アーク放電を検出する手段が設けられていて、アーク放電検出時には、前記電力消費素子が前記発電機に接続され、その時点で接続されている部分カソードが発電機から切り離され、これにより、前記発電機からの電力出力が中断されないことを特徴とする上記請求項のいずれか1項に記載の方法。
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