JP2015226579A5

JP2015226579A5 -

Info

Publication number: JP2015226579A5
Application number: JP2014112609A
Authority: JP
Filing date: 2014-05-30
Publication date: 2017-07-13

Description

なお、以上の測定光及び参照光の強度情報を得る上で、参照光の光路に配置されて一時的に参照光を遮る参照光シャッターと、干渉光の強度を得る受光手段とを用いて測定光の強度分布を得ることが好ましい。また、同時に、測定光の光路に配置されて測定光を遮る測定光シャッターと受光手段とを用いて参照光の強度分布を得ることが好ましい。これら複数のシャッター及び受光手段たるライセンサ１５５は、信号処理を行う情報処理部１５６を含めて、本実施形態に配される強度取得手段として機能する。

Claims

測定光が照射された被検査物からの戻り光と、該測定光に対応する参照光とを合成した干渉光の強度に基づいて、前記被検査物の所定の部分の断層画像を取得する光干渉断層撮影装置であって、
前記測定光の光路において、前記被検査物に対して前記測定光を走査する走査光学系と、
前記干渉光の強度に基づいて前記断層画像を生成する画像生成手段と、
前記被検査物上の前記測定光の走査位置に応じた補正処理を前記断層画像に行う画像補正手段と、
を有することを特徴とする光干渉断層撮影装置。
前記走査光学系は、前記測定光を前記被検査物上で第１の方向に走査する第１の走査光学系と、前記第１の方向に交差する第２の方向に走査する第２の走査光学系と、を有し、前記被検査物の前記所定の部分と共役な位置が、前記第１及び第２の走査光学系の間になるように配置されることを特徴とする請求項１に記載の光干渉断層撮影装置。
前記被検査物上の前記測定光の走査位置に応じて前記測定光の光路長を補正する位相補正関数を記憶する記憶手段を有し、
前記画像補正手段は、前記位相補正関数を用いて前記補正処理を行うことを特徴とする請求項１又は２に記載の光干渉断層撮影装置。
前記測定光と参照光の光強度をそれぞれ単独に取得する手段と、
前記干渉光に基づく干渉信号から、前記被検査物上の前記測定光の走査位置に応じた位相項を取得する位相項取得手段と、
前記被検査物から得られる前記干渉信号の特定周波数を取得し位相成分を算出する位相成分算出手段と、
前記位相項と前記特定周波数の位相成分との差分を取得する位相成分差分手段と、を有し、
前記画像補正手段は前記取得された差分を用いて前記被検査物からの前記干渉光の位相を補正することを特徴とする請求項１又は２に記載の光干渉断層撮影装置。
前記参照光の光路に配置されて前記参照光を遮る参照光シャッターと前記干渉光の強度を得る受光手段とを用いて前記測定光の強度分布を得るとともに、前記測定光の光路に配置されて前記測定光を遮る測定光シャッターと前記受光手段とを用いて前記参照光の強度分布を得る強度取得手段と、
前記強度取得手段により得た前記参照光の強度分布と前記測定光の強度分布との差分を算出する差分算出手段と、を有することを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載の光干渉断層撮影装置。
前記測定光のフォーカス調整用のレンズを前記測定光の光路で駆動させる機構と、
前記参照光の光路長を変更する機構と、
前記測定光とは異なる波長帯の光を前記被検査物へ照射する機構と、
前記波長帯に応じて光路を分割する光学部材と、を有することを特徴とする請求項１乃至５の何れか一項に記載の光干渉断層撮影装置。
測定光が照射された被検査物からの戻り光と、該測定光に対応する参照光とを合成した干渉光の強度に基づいて、前記被検査物の所定の部分の断層画像を取得する光干渉断層撮影装置であって、
前記測定光を前記被検査物上でスキャンして、前記被検査物の前記所定の部分での深さ方向に対する前記干渉光の強度分布を得て前記被検査物の前記所定の部分の断層画像を取得するための干渉光学系と、
前記スキャンをする際の前記被検査物上の位置によって前記干渉光から得られる信号の強度を補正する手段と、を有することを特徴とする光干渉断層撮影装置。
コンピュータを、請求項１乃至７の何れか一項に記載の光干渉断層撮影装置の各手段として実行させることを特徴とするプログラム。
測定光が照射された被検査物からの戻り光と、該測定光に対応する参照光とを合成した干渉光の強度に基づいて、前記被検査物の所定の部分の断層画像を取得する光干渉断層撮影装置の制御方法であって、
前記測定光の光路において、前記被検査物に対して前記測定光を走査する走査工程と、
前記干渉光の強度に基づいて前記断層画像を生成する画像生成工程と、
前記被検査物上の前記測定光の走査位置に応じた補正処理を前記断層画像に行う画像補正工程と、
を有すことを特徴とする光干渉断層撮影装置の制御方法。
請求項９に記載の光干渉断層撮影装置の制御方法の各工程をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。