JP2015225959A - 配線基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ビアホールV内を第1の下地金属層4aおよびその上の第1の電解めっき層4bから成るビア導体4で充填した後、その上に、第2の下地配線パターン5aおよび第2の電解めっき層5bから成る配線パターン5を、いわゆるセミアディティブ法によりビア導体4よりも狭い幅で形成する配線基板の製造方法である。ビアホールV内をビア導体4により良好に充填できるとともに、その上に配線パターン5を微細配線で形成することができる。
【選択図】図3
Description
0〜15μm凹む高さになるように第1の電解めっき層4bの厚みを減少させる。これにより、第1の下地金属層4aおよびその上の第1の電解めっき層4bから成るビア導体4が、上層の絶縁層3の表面から0〜15μm凹んだ状態で形成される。
2 下層の配線導体
3 上層の絶縁層
4 ビア導体
4a 第1の下地金属層
4b 第1の電解めっき層
5 配線パターン
5a 第2の下地金属層
5b 第2の電解めっき層
A1 第1の開口パターン
A2 第2の開口パターン
R1 第1のめっきレジスト層
R2 第2のめっきレジスト層
V ビアホール
Claims (1)
- 表面に下層の配線導体が形成された下層の絶縁層上に上層の絶縁層を形成する工程と、前記上層の絶縁層上に前記下層の配線導体を底面とするビアホールを形成する工程と、前記ビアホール内および前記上層の絶縁層の表面に第1の下地金属層を被着する工程と、前記第1の下地金属層上に、前記ビアホール上およびその周辺を露出させる第1の開口パターンを有する第1のめっきレジスト層を形成する工程と、前記第1の開口パターン内に前記ビアホールを完全に充填する以上の厚みの第1の電解めっき層を被着する工程と、前記第1のめっきレジスト層を除去するとともに、前記第1の電解めっき層の表面が前記上層の絶縁層の表面から0〜15μm凹む高さになるようにエッチングして前記第1の下地金属層および前記第1の電解めっき層から成るビア導体を形成する工程と、前記ビア導体の表面および前記上層の絶縁層の露出表面に第2の下地金属層を被着する工程と、前記第2の下地金属層上に、前記ビアホール上を通り、該ビアホールよりも幅の狭い第2の開口パターンを有する第2のめっきレジスト層を形成する工程と、前記第2の開口パターン内に第2の電解めっき層を被着する工程と、前記第2のめっきレジスト層を除去するとともに、前記第2の電解めっき層から露出する前記第2の下地金属層をエッチング除去して前記第2の下地金属層および前記第2の電解めっき層から成る配線パターンを形成する工程と、を行うことを特徴とする配線基板の製造方法
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2014
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