JP2015224173A - コージェライト接合体 - Google Patents
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Abstract
Description
弾性率(ヤング率)が100GPa以上、比剛性(ヤング率/比重)が40GPa・cm3/
g以上であるコージェライト質焼結体からなる複数の部材の接合面同士を接触させ、熱処理により一体化せしめてなる接合体において、前記コージェライト質焼結体が、当該焼結体の構成元素(Mg,Al,Si)中におけるSiの割合が酸化物(MgO,Al2O3,SiO2)換算で51.5〜70.0質量%となる条件でSiを含有し、前記複数の部材同士の接合部を構成する材料が実質的に母材と同じで、コージェライト質焼結体の強度の60%以上であるコージェライト接合体(特許文献1においては、低熱膨張セラミックス接合体)が提案されている。
すことを特徴とするものである。
のコージェライト接合体は、部位による4点曲げ強度の値のばらつきが小さいため、機械的な応力若しくは機械的に加えて熱的な応力がコージェライト接合体に掛かったとしても、強度のばらつきに起因した破損や接合の剥離は少ないことから、高い信頼性を有する。
のコージェライト接合体は、数千倍レベルの拡大程度では接合界面が確認できず、数万倍に拡大してようやく確認できるほどであり、点線で囲む接合部分とこれ以外の部分は変わらない構成を有している。なお、図1において、接合界面は、TEM写真の左右にある黒い点を結ぶ部分に存在している。
14704:2000)に準拠して測定すればよい。
の4点曲げ強度の値(A)として、少なくとも3つの試験片における4点曲げ強度の値の平均値を求め、また、接合界面を含む部分の4点曲げ強度の値(B)として、少なくとも3つの試験片における4点曲げ強度の値の平均値を求め、接合界面を含まない部分の4点曲げ強度の平均値(A)−接合界面を含む部分の4点曲げ強度の平均値(B)の差を、接合界面を含まない部分の4点曲げ強度の平均値(A)で除して100を掛け、得られた値の
絶対値とすればよい。
おける4点曲げ強度は226MPa〜254MPaである。
すことができ、さらに、部位による4点曲げ強度のばらつきが小さくすることができるため、より優れた信頼性を有するものとなる。
した混合粉末を仮焼して粉砕した合成コージェライト粉末と、酸化アルミニウム粉末と、炭酸カルシウム粉末とを用いて、所定の割合で秤量して1次原料とする。そして、この1次原料を湿式混合した後、所定量のバインダを加えたスラリーを得る。
秤量した。
末を0.5質量%、遷移金属を含む粉末を1.0質量%秤量した。
秤量した。
圧プレスすることにより、それぞれコージェライト質焼結体を得た。
の試験片を切り出し、JIS R 1601−2008(ISO 14704:2000)に準拠して4点
曲げ強度を測定した。
のに対し、試料No.1,4,5は、|(A−B)/A×100≦6|を満たしていた。特
に、試料No.5については、|(A−B)/A×100≦4|を満たしていた。
Claims (3)
- コージェライト質焼結体同士が接合されてなるコージェライト接合体であって、接合界面を含まない部分の4点曲げ強度の値をA、該接合界面を含む部分の4点曲げ強度の値をBとしたとき、|(A−B)/A×100≦6|を満たすことを特徴とするコージェライト接合体。
- 一方の前記コージェライト質焼結体における接合面側の端部の少なくとも一部が切り欠き部とされていることを特徴とする請求項1に記載のコージェライト接合体。
- 前記接合界面に、該接合界面に沿った長さで1μm以上のボイドが存在しないことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のコージェライト接合体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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