JP2015215207A - 微粒子検知システム及び微粒子検知方法 - Google Patents

Abstract

【課題】微粒子の量をより正確に検知することができる微粒子検知システムを提供する。
【解決手段】微粒子検知システム1は、気中放電によりイオンCPを生成するイオン源11と、イオン源電源回路210と、信号電流検知回路230と、気中放電を生じさせる放電期間T2に、イオン源電源回路210に放電電圧V2をイオン源11へ印加させ、放電期間T2以外の非放電期間T1のうち計測期間T1eに、イオン源電源回路210に非放電電圧V1eをイオン源11へ印加させるイオン源駆動手段S4,S8と、放電期間T2に、信号電流検知回路230により検知される信号電流Isを取得する信号電流取得手段S9と、計測期間T1eに、信号電流検知回路230により検知される非放電電流Iseを取得する非放電電流取得手段S5と、非放電電流Iseを用いて、放電期間T2中に検知される信号電流Isの値を補正する信号電流補正手段S6,S10とを備える。
【選択図】図４

Description

本発明は、被測定ガス中の微粒子を検知する微粒子検知システム及びこの微粒子検知システムにおける微粒子検知方法に関する。

従来より、コロナ放電によってイオンを生成し、このイオンによって排ガス中の微粒子を帯電させることにより、排ガス中の微粒子の量を検知する微粒子検知システムが知られている。
このような微粒子検知システムのセンサ本体では、例えば、特許文献１に示すように、コロナ放電を生じさせるイオン源は、放電電圧が印加される放電電極（特許文献１における針状電極体２０の針状先端部２２）と、その周囲を包囲して基準電位（センサＧＮＤ）とされる金属の包囲部（特許文献１における微粒子帯電部１２）とを有している。そして、このセンサＧＮＤとされる金属の包囲部は、センサ本体のうち、車両の排気管等に導通してシャーシＧＮＤとされる他の金属部位（特許文献１における外側包囲部１４）と、セラミック製の絶縁体（特許文献１における第１絶縁スペーサ１２１等）により絶縁されている。
そして、イオン源（放電電極）に放電電圧を印加するイオン源駆動回路は、センサＧＮＤを基準に動作し、一方、微粒子の量（具体的には、微粒子にイオンが付着した帯電微粒子の量）に応じて変化する信号電流の大きさを検知する信号電流検知回路は、シャーシＧＮＤを基準に動作している。

特開２０１３−１９５０６９号公報

ところで、上述したセラミック製の絶縁体に異物が付着するなどして、絶縁体の表面の絶縁性が低下すると、この絶縁体の表面を通じて漏れ電流が流れることがある。そして、このような漏れ電流が流れると、検知される信号電流に誤差を生じ、微粒子の量を正確に検知することができない。

本発明は、かかる知見に鑑みてなされたものであって、微粒子の量をより正確に検知することができる微粒子検知システム、及び、この微粒子検知システムにおける微粒子検知方法を提供することを目的とする。

その一態様は、気中放電によりイオンを生成するイオン源と、上記イオン源に電圧を印加するイオン源電源回路と、被測定ガス中の微粒子に上記イオンが付着した帯電微粒子の量に応じて変化する信号電流の大きさを検知する信号電流検知回路とを備える微粒子検知システムであって、上記イオン源電源回路は、上記気中放電が生じる放電電圧、及び、上記放電電圧よりも低く、上記気中放電が生じない非放電電圧を選択して、上記イオン源に印加可能に構成されてなり、上記気中放電を生じさせる放電期間に、上記イオン源電源回路に、上記放電電圧を上記イオン源へ印加させ、上記放電期間以外の上記気中放電を生じさせない非放電期間のうち、計測期間に、上記イオン源電源回路に、上記非放電電圧を上記イオン源へ印加させるイオン源駆動手段と、上記放電期間に、上記信号電流検知回路により検知される上記信号電流を取得する信号電流取得手段と、上記計測期間に、上記信号電流検知回路により検知される非放電電流を取得する非放電電流取得手段と、上記非放電電流を用いて、上記放電期間中に検知される上記信号電流の値を補正する信号電流補正手段とを備える微粒子検知システムである。

この微粒子検知システムでは、非放電期間のうちの計測期間に、気中放電が生じない非放電電圧をイオン源に印加し、この計測期間中に信号電流検知回路により検知される非放電電流を取得する。そして、この非放電電流を用いて、放電期間中に検知される信号電流の値を補正する。

ところで、非放電電流は、イオン源で気中放電を生じていないのに、信号電流検知回路で検知される電流である。これは、例えば、イオン源の各部表面の絶縁性の低下などに伴って流れる漏れ電流が検知されたものであると考えられる。そして、放電期間中に検知される信号電流中にも、この非放電電流に対応する電流が含まれていると考えられる。なお、非放電電流に対応する電流は、微粒子に起因する本来の信号電流ではない電流（以下、非信号電流という）であり、検知される信号電流に誤差を生じさせている。
そこで、非放電電流を用いて、放電期間中に検知される信号電流の値を補正することで、信号電流に含まれる非信号電流の影響を低減し、補正された信号電流によって、微粒子の量をより正確に検知することができる。

ここで、放電期間は、放電電圧をイオン源に印加して、イオン源で気中放電を生じさせる期間である。また、非放電期間は、放電期間以外の期間をいい、イオン源で気中放電を生じさせない期間である。また、この非放電期間のうち、計測期間は、放電電圧よりも低く、気中放電が生じない非放電電圧をイオン源に印加する期間であり、非放電期間のうち一部または全部が該当する。
放電期間と非放電期間とが周期的に交代するように非放電期間を設けると良く、さらに、非放電期間の一部または全部を計測期間とすると良い。あるいは、周期的に到来する複数の非放電期間に１回の割合で、計測期間を設けても良い。

非放電電流を用いた補正の手法としては、放電期間中に検知された信号電流から非放電電流を差し引いて、補正後の信号電流とする手法のほか、非放電電流に所定の係数を乗じた値を、検知された信号電流から差し引いて、補正後の信号電流とする手法が挙げられる。
また、この補正に用いる非放電電流としては、１つの計測期間に非放電電流を１回測定し、これを用いても良いが、１つの計測期間に非放電電流を複数回測定し、その複数の測定値から非放電電流の値を得ると良い。具体的には、複数の測定値の平均値を用いると良い。また、複数の測定値のうち、最大値と最小値を除いた測定値の平均値を用いても良い。

なお、このような補正を行うにあたっては、非放電電圧と放電電圧の大きさの比を考慮して、放電期間中に検知された信号電流の値を補正すると良い。例えば、上述の補正の手法のうち、非放電電流に所定の係数を乗じた値を用いる手法において、非放電電圧と放電電圧の大きさの比を、係数として用いると良い。具体的には、非放電電流Ｉｓｅに、非放電電圧Ｖ１ｅに対する放電電圧Ｖ２の比α（＝Ｖ２／Ｖ１ｅ）を乗じた値α×Ｉｓｅを得、これを放電期間中に検知された信号電流Ｉｓから差し引いた値（Ｉｓ−α×Ｉｓｅ）を、補正後の信号電流Ｉｓとすると良い。

また、放電電圧及び非放電電圧を選択してイオン源に印加可能な構成のイオン源電源回路としては、例えば、出力電圧を、放電電圧及び非放電電圧の２段階、または、放電電圧及び非放電電圧を含む３段階以上の電圧に切り換えて出力可能な構成とした電源のほか、出力電圧を、放電電圧及び非放電電圧を含む電圧の範囲で、連続的に変化可能とした構成の電源が挙げられる。

さらに、上述の微粒子検知システムであって、前記信号電流補正手段は、前記計測期間中に検知される前記非放電電流から、前記放電期間中に検知される前記信号電流に含まれると推定される推定非信号電流を得る推定非信号電流取得手段と、上記放電期間中に検知された上記信号電流から、上記推定非信号電流を差し引いて、補正済信号電流を得る補正済信号電流取得手段とを有する微粒子検知システムとすると良い。

前述したように、非放電電流は、例えば、漏れ電流が検知されたものであると考えられ、放電期間中に検知される信号電流中にも、この非放電電流に対応する非信号電流が含まれていると考えられる。
そこで、この微粒子検知システムでは、非放電電流から推定非信号電流を得て、放電期間中に検知された信号電流から、この推定非信号電流を差し引いて、補正済信号電流を得る。
なお、推定非信号電流としては、例えば、前述した非放電電流に所定の係数（非放電電圧と放電電圧の大きさの比αなど）を乗じた値が挙げられる。
これにより、信号電流に含まれる非信号電流の影響を適切に低減することができる。

さらに、上述の微粒子検知システムであって、前記非放電電圧は、前記放電電圧の１／αの大きさ（α＞１）であり、前記推定非信号電流取得手段は、前記推定非信号電流として、前記非放電電流に上記αを乗じた値を取得する微粒子検知システムとすると良い。

漏れ電流などの非信号電流の大きさは、印加する電圧の大きさに比例すると考えられる。そこで、この微粒子検知システムでは、非放電電圧Ｖ１ｅと放電電圧Ｖ２の大きさの比α（＝Ｖ２／Ｖ１ｅ）に比例して、放電期間中には、非放電電流のα倍の非信号電流が流れると推定し、信号電流から、これを差し引いている。
これにより、簡易な手法によって、信号電流に含まれる非信号電流を適切に補正することができる。

また、他の態様は、気中放電によりイオンを生成するイオン源と、上記イオン源に電圧を印加するイオン源電源回路と、被測定ガス中の微粒子に上記イオンが付着した帯電微粒子の量に応じて変化する信号電流の大きさを検知する信号電流検知回路とを備える微粒子検知システムにおける微粒子検知方法であって、上記イオン源電源回路は、上記気中放電が生じる放電電圧、及び、上記放電電圧よりも低く、上記気中放電が生じない非放電電圧を選択して、上記イオン源に印加可能に構成されてなり、上記気中放電を生じさせる放電期間に、上記イオン源電源回路に、上記放電電圧を上記イオン源へ印加させるイオン源放電駆動ステップと、上記放電期間以外の上記気中放電を生じさせない非放電期間のうち、計測期間に、上記イオン源電源回路に、上記非放電電圧を上記イオン源へ印加させるイオン源非放電駆動ステップと、上記放電期間に、上記信号電流検知回路により検知される上記信号電流を取得する信号電流取得ステップと、上記計測期間に、上記信号電流検知回路により検知される非放電電流を取得する非放電電流取得ステップと、上記非放電電流を用いて、上記放電期間中に検知される上記信号電流の値を補正する信号電流補正ステップとを備える微粒子検知方法である。

この微粒子検知システムの微粒子検知方法は、イオン源放電駆動ステップと、イオン源非放電駆動ステップと、信号電流取得ステップと、非放電電流取得ステップと、信号電流補正ステップとを備える。
微粒子検知システムでの微粒子検知にあたり、非放電電流を用いて信号電流を補正することで、微粒子の量をより正確に検知することができる。

実施形態に係る微粒子検知システムを、車両に搭載したエンジンの排気管に装着した状態を説明する説明図である。 実施形態に係る微粒子検知システムの概略構成を示す説明図である。 実施形態に係る微粒子検知システムのうち、微粒子帯電部内での、微粒子の取り入れ、帯電、排出の様子を模式的に説明する説明図である。 実施形態に係る微粒子検知システムのうち、微粒子検知の処理を実行するマイクロプロセッサの動作を示すフローチャートである。 実施形態に係り、信号電流の補正処理を説明するタイミングチャートである。

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。本実施形態に係る微粒子検知システム１（以下、単にシステム１ともいう）は、車両ＡＭに搭載したエンジンＥＮＧの排気管ＥＰに装着され、排気管ＥＰ内を流通する排気ガスＥＧ（被測定ガス）中の微粒子Ｓ（煤など）を検知する（図１参照）。なお、このシステム１は、主として、検知部１０と、回路部２０１と、圧送ポンプ３００とからなる（図２参照）。
検知部１０は、排気管ＥＰのうち、取付開口ＥＰＯが穿孔された取付部ＥＰＴに装着されている。そして、その一部（図２中、取付部ＥＰＴよりも右側（先端側））は取付開口ＥＰＯを通じて排気管ＥＰ内に配置されており、排気ガスＥＧに接触する。
回路部２０１は、排気管ＥＰ外で、複数の配線材からなるケーブル１６０を介して検知部１０に接続されている。この回路部２０１は、検知部１０を駆動するとともに、後述する信号電流Ｉｓを検知する回路を有している。

先ず、本システム１のうち、回路部２０１の電気回路上の構成について説明する。回路部２０１は、計測制御回路２２０と、イオン源電源回路２１０と、補助電極電源回路２４０とを有している。
このうち、イオン源電源回路２１０は、センサＧＮＤ電位ＳＧＮＤとされる第１出力端２１１と、放電電位ＰＶ２とされる第２出力端２１２とを有している。放電電位ＰＶ２は、具体的には、センサＧＮＤ電位ＳＧＮＤに対して、正の高電位とされている。これにより、センサＧＮＤ電位ＳＧＮＤと第２出力端２１２との間には、放電電圧Ｖ２が印加され、本実施形態では、その大きさは、Ｖ２＝３ｋＶとされている。なお、イオン源電源回路２１０は、その出力電流についてフィードバック制御され、自律的に、その実効値が予め定めた電流値（例えば、５μＡ）を保つ定電流電源を構成している。

一方、補助電極電源回路２４０は、センサＧＮＤ電位ＳＧＮＤとされる補助第１出力端２４１と、補助電位ＰＶ３とされる補助第２出力端２４２とを有している。この補助電位ＰＶ３は、具体的には、センサＧＮＤ電位ＳＧＮＤに対して、正の直流高電位であるが、放電電位ＰＶ２のピーク電位よりも低い、例えば、ＤＣ１００〜２００Ｖの電位にされている。これにより、センサＧＮＤ電位ＳＧＮＤと補助第２出力端２４２との間には、ＤＣ１００〜２００Ｖの補助電圧Ｖ３が印加される。

さらに、計測制御回路２２０の一部をなす信号電流検知回路２３０は、イオン源電源回路２１０の第１出力端２１１に接続する信号入力端２３１と、接地電位ＰＶＥに接続する接地入力端２３２とを有している。なお、接地電位ＰＶＥとセンサＧＮＤ電位ＳＧＮＤとは、互いに絶縁されており、信号電流検知回路２３０は、信号入力端２３１（センサＧＮＤ電位ＳＧＮＤ）と接地入力端２３２（接地電位ＰＶＥ）との間を流れる信号電流Ｉｓを検知する。

加えて、この回路部２０１において、イオン源電源回路２１０及び補助電極電源回路２４０は、センサＧＮＤ電位ＳＧＮＤとされる内側回路ケース２５０に包囲されている。イオン源電源回路２１０の第１出力端２１１、補助電極電源回路２４０の補助第１出力端２４１、及び、信号電流検知回路２３０の信号入力端２３１は、この内側回路ケース２５０に接続している。
なお、本実施形態では、この内側回路ケース２５０は、イオン源電源回路２１０、補助電極電源回路２４０及び絶縁トランス２７０の二次側鉄心２７１Ｂを収容して包囲すると共に、ケーブル１６０のセンサＧＮＤ配線１６５に導通している。

一方、絶縁トランス２７０は、その鉄心２７１が、一次側コイル２７２を捲回した一次側鉄心２７１Ａと、電源回路側コイル２７３及び補助電極電源側コイル２７４が捲回された二次側鉄心２７１Ｂとに、分離して構成されている。このうち、一次側鉄心２７１Ａは、接地電位ＰＶＥに導通し、二次側鉄心２７１Ｂは、センサＧＮＤ電位ＳＧＮＤ（イオン源電源回路２１０の第１出力端２１１）に導通している。

さらに、イオン源電源回路２１０、補助電極電源回路２４０、内側回路ケース２５０、及び、信号電流検知回路２３０を含む計測制御回路２２０は、信号電流検知回路２３０の接地入力端２３２に導通して接地電位ＰＶＥとされる外側回路ケース２６０に包囲されている。さらに、信号電流検知回路２３０の接地入力端２３２の他、絶縁トランス２７０の一次側鉄心２７１Ａは、この外側回路ケース２６０に接続している。
なお、本実施形態では、この外側回路ケース２６０は、内部にイオン源電源回路２１０、補助電極電源回路２４０、内側回路ケース２５０、信号電流検知回路２３０を含む計測制御回路２２０及び絶縁トランス２７０の一次側鉄心２７１Ａを収容して包囲すると共に、ケーブル１６０の接地電位配線１６７に導通している。

計測制御回路２２０は、レギュレータ電源ＰＳを内蔵している。なお、このレギュレータ電源ＰＳは、電源配線ＢＣを通じて外部のバッテリＢＴで駆動される。
また、計測制御回路２２０は、マイクロプロセッサ１００を含み、通信線ＣＣを介して内燃機関を制御する制御ユニットＥＣＵと通信可能となっており、前述した信号電流検知回路２３０の測定結果（信号電流Ｉｓの大きさ）、または、これを微粒子量などに換算した値などを、ＥＣＵに送信可能となっている。さらに、計測制御回路２２０には、ＥＣＵから出力される微粒子検知開始の指示信号ＳＴ（後述する）が、通信線ＣＣを介して入力される。マイクロプロセッサ１００は、この指示信号ＳＴを検知可能になっている。

外部からレギュレータ電源ＰＳを通じて計測制御回路２２０に入力された電力の一部は、絶縁トランス２７０を介して、イオン源電源回路２１０及び補助電極電源回路２４０に分配される。なお、絶縁トランス２７０においては、計測制御回路２２０の一部をなす一次側コイル２７２と、イオン源電源回路２１０の一部をなす電源回路側コイル２７３と、補助電極電源回路２４０の一部をなす補助電極電源側コイル２７４と、鉄心２７１（一次側鉄心２７１Ａ，二次側鉄心２７１Ｂ）とは、互いに絶縁されている。このため、計測制御回路２２０から、イオン源電源回路２１０及び補助電極電源回路２４０に電力を分配できる一方、これら同士間の絶縁を保つことができる。

圧送ポンプ３００は、自身の周囲の大気（空気）を取り込んで、先端部分が外側回路ケース２６０及び内側回路ケース２５０内に差し込まれた送気パイプ３１０を通じて、後述するイオン気体噴射源１１に向けて、清浄な圧縮空気ＡＫを圧送する。

次いで、ケーブル１６０について説明する（図２参照）。このケーブル１６０の中心部分には、銅線からなる放電電位配線１６１及び補助電位配線１６２と、樹脂からなる中空のエアパイプ１６３が配置されている。そして、これらの径方向周囲を、図示しない絶縁体層を挟んで、銅細線を編んだ編組からなるセンサＧＮＤ配線１６５及び接地電位配線１６７が包囲している。

前述したように、回路部２０１は、このケーブル１６０と接続している（図２参照）。具体的には、イオン源電源回路２１０の第２出力端２１２は、放電電位配線１６１に接続、導通している。また、補助電極電源回路２４０の補助第２出力端２４２は、補助電位配線１６２に接続、導通している。さらに、イオン源電源回路２１０の第１出力端２１１は、補助電極電源回路２４０の補助第１出力端２４１、信号電流検知回路２３０の信号入力端２３１、内側回路ケース２５０及びセンサＧＮＤ配線１６５に接続、導通して、センサＧＮＤ電位ＳＧＮＤとされている。加えて、信号電流検知回路２３０の接地入力端２３２は、外側回路ケース２６０及び接地電位配線１６７に接続、導通して、接地電位ＰＶＥとされている。
その他、圧送ポンプ３００の送気パイプ３１０は、内側回路ケース２５０内を通じて、ケーブル１６０のエアパイプ１６３に連通されている。

次いで、検知部１０について説明する（図２参照）。前述したように、検知部１０は、エンジンＥＮＧの排気管ＥＰのうち取付開口ＥＰＯを有する取付部ＥＰＴに装着され、排気ガスＥＧ（被測定ガス）に接触する。この検知部１０は、その電気的機能において、大別して、イオン気体噴射源１１、微粒子帯電部１２、第１導通部材１３、針状電極体２０及び補助電極体５０から構成されている。

第１導通部材１３は、金属製で円筒状をなし、ケーブル１６０の先端側に外嵌されて、ケーブル１６０のセンサＧＮＤ配線１６５に加締め接続され、このセンサＧＮＤ配線１６５と導通している。また、ケーブル１６０のうち、放電電位配線１６１、補助電位配線１６２及びエアパイプ１６３が、第１導通部材１３の内部で保持されている。

ケーブル１６０の放電電位配線１６１の先端側は、第１導通部材１３内で、針状電極体２０に接続されている。この針状電極体２０は、タングステン線からなり、その先端部分が針状に尖った形態とされた針状先端部２２を有する。
また、ケーブル１６０の補助電位配線１６２の先端側は、第１導通部材１３内で、補助電極体５０に接続されている。この補助電極体５０は、ステンレス線からなり、その先端側は、Ｕ字状に曲げ返されており、さらにその先の先端部分に、針状に尖った補助電極部５３を有する。

一方、第１導通部材１３は、ケーブル１６０のセンサＧＮＤ配線１６５及び内側回路ケース２５０を通じて、イオン源電源回路２１０の第１出力端２１１に導通し、センサＧＮＤ電位ＳＧＮＤとされている。
また、第１導通部材１３は、針状電極体２０及び補助電極体５０のうち、排気管ＥＰ外に位置する部位の径方向周囲を包囲している。

さらに、第１導通部材１３の径方向周囲は、排気管ＥＰに装着されて、これに導通する外装部材１４に絶縁された状態で包囲されている。この外装部材１４は、ケーブル１６０の接地電位配線１６７に導通し、接地電位ＰＶＥとされている。

また、ケーブル１６０のエアパイプ１６３は、第１導通部材１３内で、その先端が開放されている。そして、送気パイプ３１０及びケーブル１６０のエアパイプ１６３を通じて、圧送ポンプ３００から供給され、エアパイプ１６３から放出された圧縮空気ＡＫは、さらに先端側（図２中、右側）の放電空間ＤＳ（後述する）に圧送される。

さらに、第１導通部材１３の先端側（図２中、右側）には、ノズル部３１が嵌め込まれている。このノズル部３１は、その中央が先端側に向かう凹形状とされ、その中心には、微細な透孔が形成されて、ノズル３１Ｎとなっている。
また、ノズル部３１は、第１導通部材１３と電気的にも導通して、センサＧＮＤ電位ＳＧＮＤとされている。

第１導通部材１３の先端側にノズル部３１が嵌め込まれることで、これらの内部に、放電空間ＤＳが形成される。この放電空間ＤＳには、針状電極体２０の針状先端部２２が突出しており、この針状先端部２２は、ノズル部３１の基端側の面であり凹形状をなす対向面３１Ｔと向き合っている。従って、針状先端部２２とノズル部３１（対向面３１Ｔ）との間に高電圧を印加すると、気中放電が生じ、大気中のＮ₂，Ｏ₂等が電離し、正イオン（例えば、Ｎ³⁺，Ｏ²⁺。以下、イオンＣＰともいう）が生成される。また、ケーブル１６０のエアパイプ１６３から放出された圧縮空気ＡＫも、この放電空間ＤＳに供給される。このため、ノズル部３１のノズル３１Ｎから、圧縮空気ＡＫを起源とする空気ＡＲが、これより先端側の混合領域ＭＸ（後述する）に向けて高速で噴射されると共に、圧縮空気ＡＫ（空気ＡＲ）に混じって、イオンＣＰも混合領域ＭＸに噴射される。

さらに、ノズル部３１の先端側（図２中、右側）には、微粒子帯電部１２が構成されている。この微粒子帯電部１２の側面には、（排気管ＥＰの下流側に向けて開口する）取入口３３Ｉと排出口４３Ｏが穿孔されている。また、この微粒子帯電部１２は、ノズル部３１に電気的にも導通して、センサＧＮＤ電位ＳＧＮＤとされている。

この微粒子帯電部１２は、内側に膨出した捕集極４２により、内側の空間がスリット状に狭められた形態とされており、これよりも基端側（図２中、左側）には、ノズル部３１との間に円柱状の空間が形成されている。
微粒子帯電部１２内の空間のうち、上述の円柱状の空間を、円柱状混合領域ＭＸ１とする。また、捕集極４２で構成されるスリット状の内部空間を、スリット状混合領域ＭＸ２とする。そして、これら円柱状混合領域ＭＸ１及びスリット状混合領域ＭＸ２を併せて、混合領域ＭＸとする。さらに、捕集極４２よりも先端側にも、円柱状の空間が形成されており、排出口４３Ｏに連通する排出路ＥＸをなしている。加えて、捕集極４２の基端側には、取入口３３Ｉから混合領域ＭＸ（円柱状混合領域ＭＸ１）に連通する引き込み路ＨＫが形成されている。

次いで、本システム１の各部の電気的機能及び動作について、図２のほか、図３をも参照して説明する。なお、この図３は、本システム１の検知部１０の電気的機能及び動作を理解容易のため模式的に示したものである。
針状電極体２０は、ケーブル１６０の放電電位配線１６１を介して、イオン源電源回路２１０の第２出力端２１２に接続、導通しており、センサＧＮＤ電位ＳＧＮＤと、この針状電極体２０との間に、放電電圧Ｖ２（＝３ｋＶ）が印加される。
また、補助電極体５０は、ケーブル１６０の補助電位配線１６２を介して、補助電極電源回路２４０の補助第２出力端２４２に接続、導通しており、センサＧＮＤ電位ＳＧＮＤと、この補助電極体５０との間に、ＤＣ１００〜２００Ｖの補助電圧Ｖ３が印加される。
さらに、第１導通部材１３，ノズル部３１，微粒子帯電部１２は、ケーブル１６０のセンサＧＮＤ配線１６５を介して、イオン源電源回路２１０の第１出力端２１１、補助電極電源回路２４０の補助第１出力端２４１、これらの回路を囲む内側回路ケース２５０、及び信号電流検知回路２３０の信号入力端２３１に接続、導通している。これらは、センサＧＮＤ電位ＳＧＮＤとされる。
加えて、外装部材１４は、ケーブル１６０の接地電位配線１６７を介して、信号電流検知回路２３０を含む計測制御回路２２０を囲む外側回路ケース２６０及び信号電流検知回路２３０の接地入力端２３２に接続、導通している。これらは、排気管ＥＰと同じ、接地電位ＰＶＥとされる。

従って、前述したように、センサＧＮＤ電位ＳＧＮＤとされるノズル部３１（対向面３１Ｔ）と針状先端部２２との間に高電圧の放電電圧Ｖ２が印加されると、気中放電、具体的にはコロナ放電が生じる。さらに具体的には、正極となる針状先端部２２の周りにコロナが発生する正針コロナＰＣを生じる。これにより、その雰囲気をなす大気（空気）のＮ₂，Ｏ₂等が電離等して、正のイオンＣＰが発生する。発生したイオンＣＰの一部は、放電空間ＤＳに供給された圧縮空気ＡＫを起源とする空気ＡＲと共に、ノズル３１Ｎを通って、混合領域ＭＸに向けて噴射される。
本実施形態では、針状先端部２２が放電電極をなしている。また、放電空間ＤＳを囲むノズル部３１及び針状先端部２２（放電電極）が、イオン源１１となり、かつ、イオン気体噴射源１１をなしている。

ノズル部３１のノズル３１Ｎを通じて、空気ＡＲが混合領域ＭＸ（円柱状混合領域ＭＸ１）に噴射されると、この円柱状混合領域ＭＸ１の気圧が低下するため、取入口３３Ｉから排気ガスＥＧが引き込み路ＨＫを通じて、混合領域ＭＸ（円柱状混合領域ＭＸ１、スリット状混合領域ＭＸ２）に取り入れられる。取入排気ガスＥＧＩは、空気ＡＲと混合され、空気ＡＲと共に、排出路ＥＸを経由して、排出口４３Ｏから排出される。
その際、排気ガスＥＧ中に、ススなどの微粒子Ｓが含まれていた場合、図３に示すように、この微粒子Ｓも混合領域ＭＸ内に取り入れられる。ところで、噴射された空気ＡＲには、イオンＣＰが含まれている。このため、取り入れられたススなどの微粒子Ｓは、イオンＣＰの付着により、正に帯電した帯電微粒子ＳＣとなり、この状態で、混合領域ＭＸ及び排出路ＥＸを通って、排出口４３Ｏから、取入排気ガスＥＧＩ及び空気ＡＲと共に排出される。
一方、混合領域ＭＸに噴射されたイオンＣＰのうち、微粒子Ｓに付着しなかった浮遊イオンＣＰＦは、補助電極体５０の補助電極部５３から斥力を受け、センサＧＮＤ電位ＳＧＮＤとされた捕集極４２をなす微粒子帯電部１２に各部に付着し捕捉される。

図２に示すように、イオン気体噴射源１１における気中放電に伴って、イオン源電源回路２１０の第２出力端２１２から針状先端部２２に、放電電流Ｉｄが供給される。この放電電流Ｉｄの多くは、ノズル部３１に受電電流Ｉｊとして流れ込み、イオン源電源回路２１０の第１出力端２１１へと流れる。一方、捕集極４２で捕集された浮遊イオンＣＰＦの電荷に起因する捕集電流Ｉｈも、イオン源電源回路２１０の第１出力端へと流れる。つまり、イオン源電源回路２１０の第１出力端２１１には受電電流Ｉｊと捕集電流Ｉｈの和である受電捕集電流Ｉｊｈ（＝Ｉｊ＋Ｉｈ）が流れ込む。
但し、この受電捕集電流Ｉｊｈは、帯電微粒子ＳＣに付着して排出された排出イオンＣＰＨの電荷に対応する電流分だけ、放電電流Ｉｄよりも小さい値となる。このため、放電電流Ｉｄと受電捕集電流Ｉｊｈとの差分（放電電流Ｉｄ−受電捕集電流Ｉｊｈ）に相当する信号電流Ｉｓが、センサＧＮＤ電位ＳＧＮＤと接地電位ＰＶＥの間を流れてバランスする。
従って、この帯電微粒子ＳＣにより排出された排出イオンＣＰＨの電荷量に対応する信号電流Ｉｓを信号電流検知回路２３０で検知することにより、排気ガスＥＧ中の微粒子Ｓの量が検知できる。

このように、本実施形態のシステム１では、イオン源１１（針状電極体２０の針状先端部２２）に放電電圧Ｖ２を印加してコロナ放電（気中放電）を生じさせ、このときの信号電流Ｉｓを検知することで、排気ガスＥＧ中の微粒子Ｓを検知している。
ところで、このシステム１は、イオン源１１の微粒子帯電部１２及び第１導通部材１３がセンサＧＮＤ電位ＳＧＮＤとされる一方、これらと、接地電位ＰＶＥとされる排気管ＥＰ及びこれに導通する外装部材１４との間には、図示しないセラミック製の絶縁部材が介在し、これらの間を絶縁している。

しかしながら、この絶縁部材に異物が付着するなどして、イオン源１１の各部表面の絶縁性が低下すると、イオン源１１や絶縁部材の表面各所を通じて、信号電流Ｉｓを検知しているセンサＧＮＤ電位ＳＧＮＤと接地電位ＰＶＥとの間に、漏れ電流が流れることがある。そして、この漏れ電流のように、微粒子Ｓに起因する本来の信号電流Ｉｓではない電流（非信号電流Ｉｅ）が、センサＧＮＤ電位ＳＧＮＤと接地電位ＰＶＥとの間に流れると（図２参照）、検知される信号電流Ｉｓに非信号電流Ｉｅが含まれることによる誤差を生じ、微粒子Ｓの量を正確に検知することができない。

そこで、本実施形態のシステム１では、イオン源１１で気中放電を生じさせない非放電期間Ｔ１（計測期間Ｔ１ｅ）に、放電電圧Ｖ２よりも低く、気中放電が生じない大きさに予め設定された非放電電圧Ｖ１ｅをイオン源１１に対して印加して、信号電流検知回路２３０で検知される非放電電流Ｉｓｅを取得している。さらに、この非放電電流Ｉｓｅを用いて、イオン源１１で気中放電を生じさせる放電期間Ｔ２中に信号電流Ｉｓに含まれると推定される推定非信号電流Ｉｍｅ（非信号電流Ｉｅの推定値）を得て、信号電流Ｉｓの値を補正している。そして、補正された信号電流Ｉｓ（以下、補正済信号電流Ｉｓａともいう）から微粒子Ｓの量を検知している。
以下、この信号電流Ｉｓの補正に関して、システム１のうち、微粒子検知の処理を実行するマイクロプロセッサ１００の動作について、図４のフローチャート及び図５のタイミングチャートを参照して説明する。

図４に示すように、エンジンＥＮＧのキースイッチ（図示しない）がＯＮにされると、システム１（計測制御回路２２０のマイクロプロセッサ１００）が起動され、ステップＳ１で必要な初期設定がなされる。その後、ステップＳ２において、ＥＣＵからの微粒子検知開始の指示信号ＳＴ（図２参照）の有無を検知する。

ＥＣＵからの微粒子検知開始の指示信号ＳＴが無い場合（Ｎｏ）には、ステップＳ２を繰り返して、ＥＣＵからの微粒子検知開始の指示信号ＳＴの入力を待つ。そして、ＥＣＵからの微粒子検知開始の指示信号ＳＴを検知した場合（Ｙｅｓ）には、ステップＳ３に進む。

ステップＳ３では、現在のタイミングが非放電期間Ｔ１であるか否か、即ち、予め定めた所定タイミング毎の非放電期間Ｔ１であるか、それ以外の放電期間Ｔ２であるかを判断する（図５参照）。なお、このタイミングは、マイクロプロセッサ１００の図示しないタイマによって、決定されており、本実施形態では、長さ１００ｍｓｅｃの非放電期間Ｔ１が１秒周期で到来する。即ち、長さ１００ｍｓｅｃの非放電期間Ｔ１と長さ９００ｍｓｅｃの放電期間Ｔ２とが交互に繰り返すようになっている。そして、非放電期間Ｔ１である場合（Ｙｅｓ）には、ステップＳ４に進み、放電期間Ｔ２である場合（Ｎｏ）には、ステップＳ８に進む。

ステップＳ４では、非放電期間Ｔ１の全期間にわたって、放電電圧Ｖ２よりも低く、気中放電が生じない非放電電圧Ｖ１ｅをイオン源１１に印加する。即ち、非放電期間Ｔ１全体が非放電電圧Ｖ１ｅを印加する計測期間Ｔ１ｅとなっている（非放電期間Ｔ１＝計測期間Ｔ１ｅ）。ここで、非放電電圧Ｖ１ｅは、放電電圧Ｖ２の１／αの大きさである（Ｖ１ｅ＝Ｖ２／α）。具体的には、Ｖ２＝３ｋＶ、Ｖ１ｅ＝１ｋＶ、α＝３である。イオン源電源回路２１０は、マイクロプロセッサ１００からの指示に基づいて、イオン源１１に印加する電圧として、放電電圧Ｖ２及び非放電電圧Ｖ１ｅの２つを選択可能に構成されている。

次いで、ステップＳ５では、信号電流検知回路２３０で、イオン源１１に非放電電圧Ｖ１ｅを印加したときに流れる非放電電流Ｉｓｅ（ｎ）を取得する。なお、本実施形態では、この非放電電流Ｉｓｅ（ｎ）の値は、ｎ回目の１つの非放電期間Ｔ１（計測期間Ｔ１ｅ）において、複数回測定した値の平均値である。図５に示すように、次述する信号電流Ｉｓ（ｎ）の補正には、直前の非放電期間Ｔ１に取得した非放電電流Ｉｓｅ（ｎ）の値を用いる。なお、ｎは整数である。

さらに、続くステップＳ６では、ステップＳ５で取得した非放電電流Ｉｓｅ（ｎ）を用いて、放電期間Ｔ２中の推定非信号電流Ｉｍｅ（ｎ）＝α×Ｉｓｅ（ｎ）を算出する。即ち、図５に示すように、非放電期間Ｔ１毎に、最新の推定非信号電流をＩｍｅ（ｎ）＝α×Ｉｓｅ（ｎ），Ｉｍｅ（ｎ＋１）＝α×Ｉｓｅ（ｎ＋１）と推定する。

次いで、ステップＳ７に進み、非放電期間Ｔ１であるか否か、即ち、非放電期間Ｔ１が継続しているか否かを判断する。非放電期間Ｔ１が継続している場合（Ｙｅｓ）には、このステップＳ７を繰り返して、非放電期間Ｔ１が終了するのを待つ。そして、非放電期間Ｔ１が終了すると（Ｎｏ）、ステップＳ１３に進む。

ステップＳ１３では、エンジンＥＮＧのキースイッチがＯＦＦになったか否かを判断する。そして、エンジンＥＮＧのキースイッチがＯＦＦになっていない場合（Ｎｏ）には、ステップＳ３に戻り、微粒子検知の処理を継続する。一方、エンジンＥＮＧのキースイッチがＯＦＦになった場合（Ｙｅｓ）には、微粒子検知の処理を終了する。

また、ステップＳ３で、放電期間Ｔ２である場合（Ｎｏ）に、ステップＳ８に進むと、イオン源１１に放電電圧Ｖ２を印加して、コロナ放電を発生させる。
次いで、ステップＳ９では、信号電流検知回路２３０で、イオン源１１に放電電圧Ｖ２を印加したときに流れる信号電流Ｉｓ（ｎ）を取得する。なお、本実施形態では、この信号電流Ｉｓ（ｎ）の値は、ｎ回目の放電期間Ｔ２において、複数回測定した値の平均値である。
さらに、続くステップＳ１０では、ステップＳ９で取得した信号電流Ｉｓ（ｎ）を、ステップＳ６で取得した推定非信号電流Ｉｍｅ（ｎ）（＝α×Ｉｓｅ（ｎ））を用いて補正する。具体的には、信号電流Ｉｓ（ｎ）から推定非信号電流Ｉｍｅ（ｎ）を差し引いた補正済信号電流Ｉｓａ（ｎ）＝（Ｉｓ（ｎ）−Ｉｍｅ（ｎ））＝（Ｉｓ（ｎ）−α×Ｉｓｅ（ｎ））を算出する。
さらに、ステップＳ１１で、ＥＣＵに対して、微粒子Ｓの測定結果として、補正済信号電流Ｉｓａ（ｎ）を出力する。

次いで、ステップＳ１２に進み、放電期間Ｔ２であるか否か、即ち、放電期間Ｔ２が継続しているか否かを判断する。放電期間Ｔ２が継続している場合（Ｙｅｓ）には、このステップＳ１２を繰り返して、放電期間Ｔ２が終了するのを待つ。そして、放電期間Ｔ２が終了すると（Ｎｏ）、ステップＳ１３に進む。

ステップＳ１３では、既に説明したように、エンジンＥＮＧのキースイッチがＯＦＦになったか否かを判断する。そして、エンジンＥＮＧのキースイッチがＯＦＦになっていない場合（Ｎｏ）には、ステップＳ３に戻って、微粒子検知の処理を継続し、エンジンＥＮＧのキースイッチがＯＦＦになった場合（Ｙｅｓ）には、微粒子検知の処理を終了する。

以上で述べたように、本実施形態のシステム１では、気中放電を生じさせる放電期間Ｔ２以外の非放電期間Ｔ１（＝計測期間Ｔ１ｅ）に、放電電圧Ｖ２よりも低く、気中放電が生じない非放電電圧Ｖ１ｅをイオン源１１に印加し、この非放電期間Ｔ１に、信号電流検知回路２３０により検知される非放電電流Ｉｓｅ（ｎ）を取得している。そして、この非放電電流Ｉｓｅ（ｎ）を用いて、放電期間Ｔ２中に検知される信号電流Ｉｓ（ｎ）の値を補正している。
これにより、信号電流Ｉｓ（ｎ）に含まれる非信号電流Ｉｅ（ｎ）の影響を低減し、補正された信号電流Ｉｓ（ｎ）（補正済信号電流Ｉｓａ（ｎ））によって、微粒子Ｓの量をより正確に検知することができる。

さらに、本実施形態のシステム１では、非放電電流Ｉｓｅ（ｎ）から、放電期間Ｔ２中に検知される信号電流Ｉｓ（ｎ）に含まれると推定される推定非信号電流Ｉｍｅ（ｎ）を得て、放電期間Ｔ２中に検知された信号電流Ｉｓ（ｎ）から、この推定非信号電流Ｉｍｅ（ｎ）を差し引いて、補正済信号電流Ｉｓａ（ｎ）を得ている。
これにより、信号電流Ｉｓ（ｎ）に含まれる非信号電流Ｉｅ（ｎ）の影響を適切に低減することができる。

さらに、本実施形態のシステム１では、非放電電圧Ｖ１ｅ（具体的には、Ｖ１ｅ＝１ｋＶ）と放電電圧Ｖ２（具体的には、Ｖ２＝３ｋＶ）の大きさの比α（具体的には、α＝３）に比例して、放電期間Ｔ２中には、非放電電流Ｉｓｅ（ｎ）のα倍の非信号電流Ｉｅ（ｎ）が流れると推定し（推定非信号電流Ｉｍｅ（ｎ）＝α×Ｉｓｅ（ｎ））、信号電流Ｉｓ（ｎ）から、これを差し引いている。
これにより、簡易な手法によって、信号電流Ｉｓ（ｎ）に含まれる非信号電流Ｉｅ（ｎ）を適切に補正することができる。

また、本実施形態のシステム１で用いた微粒子検知方法によれば、微粒子検知にあたり、非放電電流Ｉｓｅを用いて信号電流Ｉｓを補正することで、微粒子Ｓの量をより正確に検知することができる。

本実施形態において、ステップＳ４，Ｓ８を実行しているマイクロプロセッサ１００が、イオン源駆動手段に相当する。
また、ステップＳ９を実行しているマイクロプロセッサ１００が、信号電流取得手段に相当し、ステップＳ５を実行しているマイクロプロセッサ１００が、非放電電流取得手段に相当する。また、ステップＳ６，Ｓ１０を実行しているマイクロプロセッサ１００が、信号電流補正手段に相当し、このうち、ステップＳ６を実行しているマイクロプロセッサ１００が、推定非信号電流取得手段に相当し、ステップＳ１０を実行しているマイクロプロセッサ１００が、補正済信号電流取得手段に相当する。

また、本実施形態において、ステップＳ８を実行しているマイクロプロセッサ１００が、イオン源放電駆動ステップに相当し、ステップＳ４を実行しているマイクロプロセッサ１００が、イオン源非放電駆動ステップに相当する。
また、ステップＳ９を実行しているマイクロプロセッサ１００が、信号電流取得ステップに相当し、ステップＳ５を実行しているマイクロプロセッサ１００が、非放電電流取得ステップに相当する。また、ステップＳ６，Ｓ１０を実行しているマイクロプロセッサ１００が、信号電流補正ステップに相当する。

以上において、本発明を実施形態に即して説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で、適宜変更して適用できることはいうまでもない。
例えば、実施形態では、非放電期間Ｔ１全体を、非放電電圧Ｖ１ｅを印加する計測期間Ｔ１ｅとしたが、非放電期間Ｔ１の一部を計測期間Ｔ１ｅとしても良い。具体的には、非放電期間Ｔ１のうち一部の期間（例えば、Ｔ１＝１００ｍｓｅｃのうち前半の５０ｍｓｅｃの期間）を計測期間Ｔ１ｅとして、イオン源１１に非放電電圧Ｖ１ｅを印加する一方、非放電期間Ｔ１のうち残りの期間は、イオン源１１に印加する電圧をさらに小さくしたり、電圧の印加を停止する（Ｖ１ｅ＝０Ｖ）ようにしても良い。
また、実施形態では、非放電電流Ｉｓｅ及び信号電流Ｉｓとして、１つの計測期間Ｔ１ｅ及び放電期間Ｔ２内に複数回測定した値の平均値を用いたが、１つの計測期間Ｔ１ｅ，放電期間Ｔ２で非放電電流Ｉｓｅ，信号電流Ｉｓを１回測定し、この値を用いても良い。また、複数の測定値のうち、最大値と最小値を除いた測定値の平均値を用いても良い。
また、実施形態では、コロナ放電を放電空間ＤＳ内で生じさせ、イオンＣＰを発生させるようにしたが、針状電極体２０の針状先端部２２を混合領域ＭＸ（円柱状混合領域ＭＸ１）内に配置し、針状先端部２２と混合領域ＭＸを囲む微粒子帯電部１２の内面との間でコロナ放電を生じさせて、イオンＣＰを発生させ、混合領域ＭＸ内でイオンＣＰをススなどの微粒子Ｓに付着させるようにしても良い。

ＡＭ 車両
ＥＮＧ エンジン
ＥＰ 排気管
ＥＧ 排気ガス
Ｓ 微粒子
ＳＣ 帯電微粒子
ＣＰ イオン
ＣＰＦ 浮遊イオン
ＣＰＨ 排出イオン
Ｉｓ 信号電流
Ｉｅ 非信号電流
Ｉｓｅ 非放電電流
Ｉｍｅ 推定非信号電流
Ｉｓａ 補正済信号電流
Ｔ１ 非放電期間
Ｔ１ｅ 計測期間
Ｔ２ 放電期間
１ 微粒子検知システム
１０ 検知部
１１ イオン気体噴射源（イオン源）
１２ 微粒子帯電部
２０ 針状電極体
２２ （針状電極体の）針状先端部（イオン源）
３１ ノズル部（イオン源）
３１Ｎ ノズル
ＳＧＮＤ センサＧＮＤ電位
ＰＶ２ 放電電位
ＰＶ３ 補助電位
ＰＶＥ 接地電位
Ｖ１ｅ 非放電電圧
Ｖ２ 放電電圧
Ｖ３ 補助電圧
ＭＸ 混合領域
４２ 捕集極
５０ 補助電極体
５３ （補助電極体の）補助電極部
１６０ ケーブル
ＡＫ 圧縮空気
ＡＲ 空気
３００ 圧送ポンプ
１００ マイクロプロセッサ
２０１ 回路部
２１０ イオン源電源回路
２２０ 計測制御回路
２３０ 信号電流検知回路
２４０ 補助電極電源回路
Ｓ４，Ｓ８ イオン源駆動手段
Ｓ８ イオン源放電駆動ステップ
Ｓ４ イオン源非放電駆動ステップ
Ｓ９ 信号電流取得手段，信号電流取得ステップ
Ｓ５ 非放電電流取得手段，非放電電流取得ステップ
Ｓ６，Ｓ１０ 信号電流補正手段，信号電流補正ステップ
Ｓ６ 推定非信号電流取得手段
Ｓ１０ 補正済信号電流取得手段

Claims (4)

1. 気中放電によりイオンを生成するイオン源と、
   上記イオン源に電圧を印加するイオン源電源回路と、
   被測定ガス中の微粒子に上記イオンが付着した帯電微粒子の量に応じて変化する信号電流の大きさを検知する信号電流検知回路とを備える
   微粒子検知システムであって、
   上記イオン源電源回路は、
   上記気中放電が生じる放電電圧、及び、上記放電電圧よりも低く、上記気中放電が生じない非放電電圧を選択して、上記イオン源に印加可能に構成されてなり、
   上記気中放電を生じさせる放電期間に、上記イオン源電源回路に、上記放電電圧を上記イオン源へ印加させ、
   上記放電期間以外の上記気中放電を生じさせない非放電期間のうち、計測期間に、上記イオン源電源回路に、上記非放電電圧を上記イオン源へ印加させる
   イオン源駆動手段と、
   上記放電期間に、上記信号電流検知回路により検知される上記信号電流を取得する信号電流取得手段と、
   上記計測期間に、上記信号電流検知回路により検知される非放電電流を取得する非放電電流取得手段と、
   上記非放電電流を用いて、上記放電期間中に検知される上記信号電流の値を補正する信号電流補正手段とを備える
   微粒子検知システム。
2. 請求項１に記載の微粒子検知システムであって、
   前記信号電流補正手段は、
   前記計測期間中に検知される前記非放電電流から、前記放電期間中に検知される前記信号電流に含まれると推定される推定非信号電流を得る推定非信号電流取得手段と、
   上記放電期間中に検知された上記信号電流から、上記推定非信号電流を差し引いて、補正済信号電流を得る補正済信号電流取得手段とを有する
   微粒子検知システム。
3. 請求項２に記載の微粒子検知システムであって、
   前記非放電電圧は、前記放電電圧の１／αの大きさ（α＞１）であり、
   前記推定非信号電流取得手段は、
   前記推定非信号電流として、前記非放電電流に上記αを乗じた値を取得する
   微粒子検知システム。
4. 気中放電によりイオンを生成するイオン源と、
   上記イオン源に電圧を印加するイオン源電源回路と、
   被測定ガス中の微粒子に上記イオンが付着した帯電微粒子の量に応じて変化する信号電流の大きさを検知する信号電流検知回路とを備える
   微粒子検知システムにおける微粒子検知方法であって、
   上記イオン源電源回路は、
   上記気中放電が生じる放電電圧、及び、上記放電電圧よりも低く、上記気中放電が生じない非放電電圧を選択して、
   上記イオン源に印加可能に構成されてなり、
   上記気中放電を生じさせる放電期間に、上記イオン源電源回路に、上記放電電圧を上記イオン源へ印加させるイオン源放電駆動ステップと、
   上記放電期間以外の上記気中放電を生じさせない非放電期間のうち、計測期間に、上記イオン源電源回路に、上記非放電電圧を上記イオン源へ印加させるイオン源非放電駆動ステップと、
   上記放電期間に、上記信号電流検知回路により検知される上記信号電流を取得する信号電流取得ステップと、
   上記計測期間に、上記信号電流検知回路により検知される非放電電流を取得する非放電電流取得ステップと、
   上記非放電電流を用いて、上記放電期間中に検知される上記信号電流の値を補正する信号電流補正ステップとを備える
   微粒子検知方法。

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