JP2015214634A - 単量体、高分子化合物、レジスト材料及びパターン形成方法 - Google Patents
単量体、高分子化合物、レジスト材料及びパターン形成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015214634A JP2015214634A JP2014097347A JP2014097347A JP2015214634A JP 2015214634 A JP2015214634 A JP 2015214634A JP 2014097347 A JP2014097347 A JP 2014097347A JP 2014097347 A JP2014097347 A JP 2014097347A JP 2015214634 A JP2015214634 A JP 2015214634A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- group
- carbon atoms
- general formula
- branched
- methyl
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 0 CC(*)(C(*)(N)IC)C(OC(C(C1)C2C(OC3CCCCC3)=C)C(C3)C1C2C3=*)=C Chemical compound CC(*)(C(*)(N)IC)C(OC(C(C1)C2C(OC3CCCCC3)=C)C(C3)C1C2C3=*)=C 0.000 description 31
- QAOWDDALFFRROB-UHFFFAOYSA-N CC(C)(C)c(cc1)ccc1N(c1ccccc1)c1ccccc1 Chemical compound CC(C)(C)c(cc1)ccc1N(c1ccccc1)c1ccccc1 QAOWDDALFFRROB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Cc1ccccc1 Chemical compound Cc1ccccc1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CDMGNVWZXRKJNS-UHFFFAOYSA-N Oc1c(Cc2ccccc2)cccc1 Chemical compound Oc1c(Cc2ccccc2)cccc1 CDMGNVWZXRKJNS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/039—Macromolecular compounds which are photodegradable, e.g. positive electron resists
- G03F7/0392—Macromolecular compounds which are photodegradable, e.g. positive electron resists the macromolecular compound being present in a chemically amplified positive photoresist composition
- G03F7/0397—Macromolecular compounds which are photodegradable, e.g. positive electron resists the macromolecular compound being present in a chemically amplified positive photoresist composition the macromolecular compound having an alicyclic moiety in a side chain
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07D—HETEROCYCLIC COMPOUNDS
- C07D307/00—Heterocyclic compounds containing five-membered rings having one oxygen atom as the only ring hetero atom
- C07D307/77—Heterocyclic compounds containing five-membered rings having one oxygen atom as the only ring hetero atom ortho- or peri-condensed with carbocyclic rings or ring systems
- C07D307/78—Benzo [b] furans; Hydrogenated benzo [b] furans
- C07D307/82—Benzo [b] furans; Hydrogenated benzo [b] furans with hetero atoms or with carbon atoms having three bonds to hetero atoms with at the most one bond to halogen, e.g. ester or nitrile radicals, directly attached to carbon atoms of the hetero ring
- C07D307/83—Oxygen atoms
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07D—HETEROCYCLIC COMPOUNDS
- C07D307/00—Heterocyclic compounds containing five-membered rings having one oxygen atom as the only ring hetero atom
- C07D307/77—Heterocyclic compounds containing five-membered rings having one oxygen atom as the only ring hetero atom ortho- or peri-condensed with carbocyclic rings or ring systems
- C07D307/93—Heterocyclic compounds containing five-membered rings having one oxygen atom as the only ring hetero atom ortho- or peri-condensed with carbocyclic rings or ring systems condensed with a ring other than six-membered
- C07D307/935—Not further condensed cyclopenta [b] furans or hydrogenated cyclopenta [b] furans
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07D—HETEROCYCLIC COMPOUNDS
- C07D491/00—Heterocyclic compounds containing in the condensed ring system both one or more rings having oxygen atoms as the only ring hetero atoms and one or more rings having nitrogen atoms as the only ring hetero atoms, not provided for by groups C07D451/00 - C07D459/00, C07D463/00, C07D477/00 or C07D489/00
- C07D491/02—Heterocyclic compounds containing in the condensed ring system both one or more rings having oxygen atoms as the only ring hetero atoms and one or more rings having nitrogen atoms as the only ring hetero atoms, not provided for by groups C07D451/00 - C07D459/00, C07D463/00, C07D477/00 or C07D489/00 in which the condensed system contains two hetero rings
- C07D491/04—Ortho-condensed systems
- C07D491/044—Ortho-condensed systems with only one oxygen atom as ring hetero atom in the oxygen-containing ring
- C07D491/048—Ortho-condensed systems with only one oxygen atom as ring hetero atom in the oxygen-containing ring the oxygen-containing ring being five-membered
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07D—HETEROCYCLIC COMPOUNDS
- C07D493/00—Heterocyclic compounds containing oxygen atoms as the only ring hetero atoms in the condensed system
- C07D493/02—Heterocyclic compounds containing oxygen atoms as the only ring hetero atoms in the condensed system in which the condensed system contains two hetero rings
- C07D493/04—Ortho-condensed systems
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07D—HETEROCYCLIC COMPOUNDS
- C07D493/00—Heterocyclic compounds containing oxygen atoms as the only ring hetero atoms in the condensed system
- C07D493/02—Heterocyclic compounds containing oxygen atoms as the only ring hetero atoms in the condensed system in which the condensed system contains two hetero rings
- C07D493/08—Bridged systems
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07D—HETEROCYCLIC COMPOUNDS
- C07D493/00—Heterocyclic compounds containing oxygen atoms as the only ring hetero atoms in the condensed system
- C07D493/12—Heterocyclic compounds containing oxygen atoms as the only ring hetero atoms in the condensed system in which the condensed system contains three hetero rings
- C07D493/18—Bridged systems
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07D—HETEROCYCLIC COMPOUNDS
- C07D493/00—Heterocyclic compounds containing oxygen atoms as the only ring hetero atoms in the condensed system
- C07D493/22—Heterocyclic compounds containing oxygen atoms as the only ring hetero atoms in the condensed system in which the condensed system contains four or more hetero rings
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07D—HETEROCYCLIC COMPOUNDS
- C07D495/00—Heterocyclic compounds containing in the condensed system at least one hetero ring having sulfur atoms as the only ring hetero atoms
- C07D495/02—Heterocyclic compounds containing in the condensed system at least one hetero ring having sulfur atoms as the only ring hetero atoms in which the condensed system contains two hetero rings
- C07D495/04—Ortho-condensed systems
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07D—HETEROCYCLIC COMPOUNDS
- C07D495/00—Heterocyclic compounds containing in the condensed system at least one hetero ring having sulfur atoms as the only ring hetero atoms
- C07D495/12—Heterocyclic compounds containing in the condensed system at least one hetero ring having sulfur atoms as the only ring hetero atoms in which the condensed system contains three hetero rings
- C07D495/14—Ortho-condensed systems
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07D—HETEROCYCLIC COMPOUNDS
- C07D495/00—Heterocyclic compounds containing in the condensed system at least one hetero ring having sulfur atoms as the only ring hetero atoms
- C07D495/12—Heterocyclic compounds containing in the condensed system at least one hetero ring having sulfur atoms as the only ring hetero atoms in which the condensed system contains three hetero rings
- C07D495/18—Bridged systems
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07D—HETEROCYCLIC COMPOUNDS
- C07D495/00—Heterocyclic compounds containing in the condensed system at least one hetero ring having sulfur atoms as the only ring hetero atoms
- C07D495/22—Heterocyclic compounds containing in the condensed system at least one hetero ring having sulfur atoms as the only ring hetero atoms in which the condensed system contains four or more hetero rings
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07D—HETEROCYCLIC COMPOUNDS
- C07D519/00—Heterocyclic compounds containing more than one system of two or more relevant hetero rings condensed among themselves or condensed with a common carbocyclic ring system not provided for in groups C07D453/00 or C07D455/00
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F2/00—Processes of polymerisation
- C08F2/44—Polymerisation in the presence of compounding ingredients, e.g. plasticisers, dyestuffs, fillers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F220/00—Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and only one being terminated by only one carboxyl radical or a salt, anhydride ester, amide, imide or nitrile thereof
- C08F220/02—Monocarboxylic acids having less than ten carbon atoms; Derivatives thereof
- C08F220/10—Esters
- C08F220/26—Esters containing oxygen in addition to the carboxy oxygen
- C08F220/28—Esters containing oxygen in addition to the carboxy oxygen containing no aromatic rings in the alcohol moiety
- C08F220/283—Esters containing oxygen in addition to the carboxy oxygen containing no aromatic rings in the alcohol moiety and containing one or more carboxylic moiety in the chain, e.g. acetoacetoxyethyl(meth)acrylate
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F224/00—Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a heterocyclic ring containing oxygen
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F228/00—Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a bond to sulfur or by a heterocyclic ring containing sulfur
- C08F228/02—Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a bond to sulfur or by a heterocyclic ring containing sulfur by a bond to sulfur
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F228/00—Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a bond to sulfur or by a heterocyclic ring containing sulfur
- C08F228/06—Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a bond to sulfur or by a heterocyclic ring containing sulfur by a heterocyclic ring containing sulfur
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F24/00—Homopolymers and copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a heterocyclic ring containing oxygen
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F28/00—Homopolymers and copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a bond to sulfur or by a heterocyclic ring containing sulfur
- C08F28/06—Homopolymers and copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a bond to sulfur or by a heterocyclic ring containing sulfur by a heterocyclic ring containing sulfur
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L33/00—Compositions of homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and only one being terminated by only one carboxyl radical, or of salts, anhydrides, esters, amides, imides or nitriles thereof; Compositions of derivatives of such polymers
- C08L33/04—Homopolymers or copolymers of esters
- C08L33/14—Homopolymers or copolymers of esters of esters containing halogen, nitrogen, sulfur, or oxygen atoms in addition to the carboxy oxygen
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/0045—Photosensitive materials with organic non-macromolecular light-sensitive compounds not otherwise provided for, e.g. dissolution inhibitors
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/0046—Photosensitive materials with perfluoro compounds, e.g. for dry lithography
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
- G03F7/2041—Exposure; Apparatus therefor in the presence of a fluid, e.g. immersion; using fluid cooling means
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
- G03F7/30—Imagewise removal using liquid means
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
- G03F7/30—Imagewise removal using liquid means
- G03F7/32—Liquid compositions therefor, e.g. developers
- G03F7/322—Aqueous alkaline compositions
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
- G03F7/30—Imagewise removal using liquid means
- G03F7/32—Liquid compositions therefor, e.g. developers
- G03F7/325—Non-aqueous compositions
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F220/00—Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and only one being terminated by only one carboxyl radical or a salt, anhydride ester, amide, imide or nitrile thereof
- C08F220/02—Monocarboxylic acids having less than ten carbon atoms; Derivatives thereof
- C08F220/10—Esters
- C08F220/26—Esters containing oxygen in addition to the carboxy oxygen
- C08F220/30—Esters containing oxygen in addition to the carboxy oxygen containing aromatic rings in the alcohol moiety
- C08F220/303—Esters containing oxygen in addition to the carboxy oxygen containing aromatic rings in the alcohol moiety and one or more carboxylic moieties in the chain
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F220/00—Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and only one being terminated by only one carboxyl radical or a salt, anhydride ester, amide, imide or nitrile thereof
- C08F220/02—Monocarboxylic acids having less than ten carbon atoms; Derivatives thereof
- C08F220/10—Esters
- C08F220/34—Esters containing nitrogen, e.g. N,N-dimethylaminoethyl (meth)acrylate
- C08F220/36—Esters containing nitrogen, e.g. N,N-dimethylaminoethyl (meth)acrylate containing oxygen in addition to the carboxy oxygen, e.g. 2-N-morpholinoethyl (meth)acrylate or 2-isocyanatoethyl (meth)acrylate
- C08F220/365—Esters containing nitrogen, e.g. N,N-dimethylaminoethyl (meth)acrylate containing oxygen in addition to the carboxy oxygen, e.g. 2-N-morpholinoethyl (meth)acrylate or 2-isocyanatoethyl (meth)acrylate containing further carboxylic moieties
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
- Furan Compounds (AREA)
- Heterocyclic Carbon Compounds Containing A Hetero Ring Having Oxygen Or Sulfur (AREA)
Abstract
Description
有機溶剤によるネガティブトーン現像用のArFレジスト組成物としては、従来型のポジ型ArFレジスト組成物を用いることができ、特許文献1〜3(特開2008−281974号公報、特開2008−281975号公報、特開2008−281980号公報)にパターン形成方法が示されている。
更なる微細化要求に応えるためにも、良好な微細パターン形状が得られ、酸拡散長の制御や、低ラフネス性能など諸特性に優れたベース樹脂単位の開発が望まれている。
〔1〕
下記一般式(1)で示される単量体。
〔2〕
下記一般式(2)で示される繰り返し単位を含有することを特徴とする高分子化合物。
〔3〕
更に、下記一般式(A)〜(E)で示される繰り返し単位のいずれか1種以上を含有することを特徴とする〔2〕に記載の高分子化合物。
〔4〕
更に、下記一般式で示されるスルホニウム塩の繰り返し単位(d1)〜(d3)のいずれか1種以上を含有することを特徴とする〔2〕又は〔3〕に記載の高分子化合物。
〔5〕
〔2〕又は〔3〕に記載の高分子化合物を含むベース樹脂、酸発生剤及び有機溶剤を含有することを特徴とするレジスト材料。
〔6〕
〔4〕に記載の高分子化合物を含むベース樹脂及び有機溶剤を含有することを特徴とするレジスト材料。
〔7〕
〔5〕又は〔6〕に記載のレジスト材料を基板上に塗布し、加熱処理後に高エネルギー線で上記レジスト膜を露光し、加熱処理後に現像液を用いてパターンを得ることを特徴とするパターン形成方法。
〔8〕
現像液としてアルカリ水溶液を用いることにより露光部を溶解させ、未露光部が溶解しないポジ型パターンを得ることを特徴とする〔7〕に記載のパターン形成方法。
〔9〕
現像液として有機溶剤を用いることにより未露光部を溶解させ、露光部が溶解しないネガ型パターンを得ることを特徴とする〔7〕に記載のパターン形成方法。
〔10〕
現像液が2−オクタノン、2−ノナノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、4−ヘプタノン、2−ヘキサノン、3−ヘキサノン、ジイソブチルケトン、メチルシクロヘキサノン、アセトフェノン、メチルアセトフェノン、酢酸プロピル、酢酸ブチル、酢酸イソブチル、酢酸アミル、酢酸ブテニル、酢酸イソアミル、蟻酸プロピル、蟻酸ブチル、蟻酸イソブチル、蟻酸アミル、蟻酸イソアミル、吉草酸メチル、ペンテン酸メチル、クロトン酸メチル、クロトン酸エチル、プロピオン酸メチル、プロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸プロピル、乳酸ブチル、乳酸イソブチル、乳酸アミル、乳酸イソアミル、2−ヒドロキシイソ酪酸メチル、2−ヒドロキシイソ酪酸エチル、安息香酸メチル、安息香酸エチル、酢酸フェニル、酢酸ベンジル、フェニル酢酸メチル、蟻酸ベンジル、蟻酸フェニルエチル、3−フェニルプロピオン酸メチル、プロピオン酸ベンジル、フェニル酢酸エチル、酢酸2−フェニルエチルから選ばれる1種以上であることを特徴とする〔9〕に記載のパターン形成方法。
〔11〕
高エネルギー線による露光が、波長248nmのKrFエキシマレーザー、波長193nmのArFエキシマレーザー、電子線(EB)又は波長13.5nmのEUVリソグラフィーであることを特徴とする〔7〕〜〔10〕のいずれかに記載のパターン形成方法。
〔12〕
下記一般式(6)で示される化合物に塩基又は金属を作用させて金属エノラート試薬を調製し、これに下記一般式(5)で示されるアシロキシケトンを反応させることを特徴とする下記一般式(1)で示される単量体の製造方法。
〔13〕
下記一般式(6)で示される化合物に塩基又は金属を作用させて金属エノラート試薬を調製し、これに下記一般式(5)で示されるアシロキシケトンを反応させた後、下記一般式(7b)で示されるヒドロキシエステル化合物を単離し、次いで該ヒドロキシエステル化合物を酸処理することを特徴とする下記一般式(1)で示される単量体の製造方法。
〔14〕
上記一般式(5)で示されるアシロキシケトンが、下記一般式(3)で示されるシクロアルカノン化合物と下記一般式(4)で示されるエステル化剤との反応によって得られるものである〔12〕又は〔13〕に記載の単量体の製造方法。
を示す。]
〔15〕
下記一般式(66)で示されるヒドロキシラクトン化合物と下記一般式(88)で示されるエステル化剤を反応させることを特徴とする下記一般式(1)で示される単量体の製造方法。
を示す。]
〔16〕
下記一般式(33)で示されるP1が保護基であるケトン化合物と、下記一般式(6)で示される化合物と、塩基又は金属を用いて下記一般式(44)で示されるヒドロキシエステル化合物を得た後、保護基P1の脱保護を行い、更に酸処理を行って、上記一般式(66)で示されるヒドロキシラクトン化合物を得るようにした〔15〕に記載の単量体の製造方法。
〔17〕
下記一般式(33)で示されるP1が水素原子であるケトン化合物と下記一般式(6)で示される化合物に塩基又は金属を反応させて、上記一般式(66)で示されるヒドロキシラクトン化合物を得るようにした〔15〕に記載の単量体の製造方法。
を示す。X4は水素原子又はハロゲン原子を示す。Maは金属を示す。]
ステップ(i)は、シクロアルカノン化合物(3)とエステル化剤(4)との反応によりアシロキシケトン(5)に導く工程である。
α−ハロシクロアルカノンに対してカルボン酸塩化合物をエステル化剤として作用させる場合、例えば、各種カルボン酸金属塩などの市販のカルボン酸塩化合物をそのまま用いてもよいし、メタクリル酸、アクリル酸等の対応するカルボン酸と塩基により反応系内でカルボン酸塩化合物を調製して用いることができる。ここでのエステル化剤(4)の使用量は、原料であるシクロアルカノン化合物(3)1モルに対し0.5〜10モル、特に1.0〜3.0モルとすることが好ましい。0.5モル未満の使用では原料が大量に残存するため収率が大幅に低下する場合があり、10モルを超える使用では使用原料費の増加、釜収率の低下などによりコスト面で不利となる場合がある。対応するカルボン酸と塩基より反応系内でカルボン酸塩化合物を調製する場合に用いることができる塩基としては、例えば、アンモニア、トリエチルアミン、ピリジン、ルチジン、コリジン、N,N−ジメチルアニリンなどのアミン類;水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化テトラメチルアンモニウムなどの水酸化物類;炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウムなどの炭酸塩類;ナトリウムなどの金属類;水素化ナトリウムなどの金属水素化物;ナトリウムメトキシド、カリウム−tert−ブトキシドなどの金属アルコキシド類;ブチルリチウム、臭化エチルマグネシウムなどの有機金属類;リチウムジイソプロピルアミドなどの金属アミド類から選択して単独あるいは2種以上を混合して用いることができる。塩基の使用量は、対応するカルボン酸1モルに対し0.2〜10モル、特に0.5〜2.0モルとすることが好ましい。0.2モル未満の使用では大量のカルボン酸が無駄になるためコスト面で不利になる場合があり、10モルを超える使用では副反応の増加により収率が大幅に低下する場合がある。
この反応では、まず、有機亜鉛試薬がアシロキシケトン(5)のケトン部分に付加した中間体(7a)が生成する{ステップ(ii)}。続いて、アシル基の転位反応を経て中間体(8)が生成した後{ステップ(iii)}、ラクトン化が起こり目的の単量体(1)が生成するものと考えられる{ステップ(iv)}。
上記反応の反応時間は収率向上のため薄層クロマトグラフィー、ガスクロマトグラフィー等により反応の進行を追跡して決定することが好ましいが、長時間の熟成はアニオン重合による収率低下を招くため、通常30分〜2時間程度である。反応混合物から通常の水系後処理(aqueous work−up)により単量体(1)を得ることができ、必要があれば蒸留、再結晶、クロマトグラフィー等の常法に従って精製することができる。
詳細な機構は不明であるが、前記ステップ(ii)〜(iv)と同様に、酸触媒下において、ヒドロキシエステル化合物(7b)のアシル基が、隣接する第三級の水酸基への転位を起こし、ラクトン化が進行するものと考えられる。
が好ましい。
一般式(F−2)中、R12は水素原子、炭素数1〜30の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基、アシル基、炭素数2〜20のアルケニル基、炭素数6〜20のアリール基、又はアリーロキシ基であり、エーテル基、エステル基、カルボニル基、又はラクトン環を有していてもよい。
オキシラン環、オキセタン環を有する繰り返し単位gは、具体的には下記に例示される。なお、下記例中、R41は水素原子又はメチル基である。
(I)上記式(1)の単量体に基づく式(2)で示される構成単位の1種又は2種以上を0モル%を超え100モル%以下、好ましくは5〜70モル%、より好ましくは10〜50モル%含有し、
(II)上記式(A)〜(E)で示される構成単位の1種又は2種以上を0モル%以上100モル%未満、好ましくは30〜95モル%、より好ましくは50〜90モル%含有し、必要に応じ、
(III)上記式(d1)〜(d3)で示される構成単位の1種又は2種以上を0〜30モル%、好ましくは0〜20モル%、より好ましくは0〜10モル%含有し、更に必要に応じ、
(IV)その他、上記g、hの単量体に基づく構成単位の1種又は2種以上を0〜80モル%、好ましくは0〜70モル%、より好ましくは0〜50モル%含有することができる。
なお、基板10としては、シリコン基板が一般的に用いられる。被加工基板20としては、SiO2、SiN、SiON、SiOC、p−Si、α−Si、TiN、WSi、BPSG、SOG、Cr、CrO、CrON、MoSi、低誘電膜及びそのエッチングストッパー膜が挙げられる。中間介在層30としては、SiO2、SiN、SiON、p−Si等のハードマスク、カーボン膜による下層膜と珪素含有中間膜、有機反射防止膜等が挙げられる。
アミノ基を有する化合物としては、フォトレジスト材料に添加される特開2008−111103号公報の段落[0146]〜[0164]に記載のアミン化合物を用いることができる。
アミン塩を有する化合物としては、前記アミン化合物のカルボン酸塩又はスルホン酸塩を用いることができる。
炭素数4以上のアルコール系溶剤としては、1−ブチルアルコール、2−ブチルアルコール、イソブチルアルコール、tert−ブチルアルコール、1−ペンタノール、2−ペンタノール、3−ペンタノール、tert−アミルアルコール、ネオペンチルアルコール、2−メチル−1−ブタノール、3−メチル−1−ブタノール、3−メチル−3−ペンタノール、シクロペンタノール、1−ヘキサノール、2−ヘキサノール、3−ヘキサノール、2,3−ジメチル−2−ブタノール、3,3−ジメチル−1−ブタノール、3,3−ジメチル−2−ブタノール、2−エチル−1−ブタノール、2−メチル−1−ペンタノール、2−メチル−2−ペンタノール、2−メチル−3−ペンタノール、3−メチル−1−ペンタノール、3−メチル−2−ペンタノール、3−メチル−3−ペンタノール、4−メチル−1−ペンタノール、4−メチル−2−ペンタノール、4−メチル−3−ペンタノール、シクロヘキサノール、1−オクタノールなどを挙げることができる。
炭素数8〜12のエーテル系溶剤としては、ジ−n−ブチルエーテル、ジイソブチルエーテル、ジ−sec−ブチルエーテル、ジ−n−ペンチルエーテル、ジイソペンチルエーテル、ジ−sec−ペンチルエーテル、ジ−tert−アミルエーテル、ジ−n−ヘキシルエーテルなどを挙げることができる。
炭素数8〜12のエーテル化合物としては、ジ−n−ブチルエーテル、ジイソブチルエーテル、ジ−sec−ブチルエーテル、ジ−n−ペンチルエーテル、ジイソペンチルエーテル、ジ−sec−ペンチルエーテル、ジ−tert−アミルエーテル、ジ−n−ヘキシルエーテルから選ばれる1種以上の溶剤が挙げられる。
前述の溶剤に加えてトルエン、キシレン、エチルベンゼン、イソプロピルベンゼン、tert−ブチルベンゼン、メシチレン等の芳香族系の溶剤を用いることもできる。
リンスを行うことによってレジストパターンの倒れや欠陥の発生を低減させることができる。また、リンスは必ずしも必須ではなく、リンスを行わないことによって溶剤の使用量を削減することができる。
本発明の単量体、単量体合成の前駆体となる重合性のアシロキシケトン化合物を以下に示す処方で合成した。
メタクリル酸ナトリウム(300g)、トルエン(3,000mL)の懸濁液にクロロケトン1(297g)を加え、90℃で40時間熟成を行った。反応液を冷却し、水1,000mLを加え反応を停止した。通常の水系後処理(aqueous work−up)、溶媒留去の後、減圧蒸留を行い、メタクリロイルオキシケトン1を384g得た(収率94%)。
沸点:72℃/10Pa
1H−NMR(600MHz、DMSO−d6):δ=1.53(1H、m)、1.71(1H、m)、1.76−1.86(2H)、1.88(3H、s)、1.98(1H、m)、2.24(1H、m)、2.28(1H、m)、2.54(1H、ddd)、5.25(1H、dd)、5.71(1H、m)、6.06(1H、m)ppm
窒素雰囲気下、亜鉛粉末(36g)をTHF(400mL)に懸濁し、1,2−ジブロモエタン4.7g、クロロトリメチルシラン0.8gを加え30分間加熱還流を行い、亜鉛の活性化を行った。活性化した亜鉛−THF懸濁液中に、メタクリロイルオキシケトン1(98g)、ブロモ酢酸エチル(84g)及びTHF(100mL)の混合溶液を55℃で滴下し、60℃で2時間熟成を行った。氷冷下10%塩酸水溶液(110g)を加え反応を停止し、通常の水系後処理(aqueous work−up)、溶媒留去の後、シリカゲルカラムクロマトグラフィーによる精製を行い、モノマー1を82g得た(収率73%)。
IR(D−ATR):ν=2940、2867、1788、1717、1636、1455、1378、1362、1325、1302、1292、1255、1211、1162、1120、1072、1041、1021、984、952、940、905、852、835、815、720、698、657cm-1
1H−NMR(600MHz、DMSO−d6):δ=1.31−1.52(4H)、1.64(1H、m)、1.84(3H、s)、1.94−2.08(3H)、2.94(1H、d)、3.14(1H、d)、4.62(1H、dd)、5.70(1H、m)、6.03(1H、m)ppm
上記[合成例1−1−1]で得られたメタクリロイルオキシケトン1に対し、酢酸エチルより調製したリチウムエノラートを作用させてモノマー1の合成を行った。
1.3M濃度のリチウムヘキサメチルジシラジドTHF溶液(78mL)を−50℃に冷却し、同温度で酢酸エチル(5.3g)を滴下した。10分間撹拌後、エノラート溶液の温度を−40℃に調整し、メタクリロイルオキシケトン1(9.1g)のTHF(10mL)溶液を滴下した。−40℃にて30分間撹拌後、冷却を止めて4時間かけて0℃に昇温した後、10%塩酸水溶液(10g)を加え反応を停止した。通常の水系後処理(aqueous work−up)、溶媒留去の後、シリカゲルカラムクロマトグラフィーによる精製を行い、モノマー1を7.8g得た(収率70%)。
クロロケトン2を原材料として使用した以外は、[合成例1−1−1]と同様の方法により、メタクリロイルオキシケトン2を合成した(収率91%)。
沸点:64℃/10Pa
1H−NMR(600MHz、CDCl3):δ=1.85−1.92(2H)、1.94(3H、s)、2.11(1H、m)、2.23(1H、m)、2.37(1H、m)、2.44(1H、m)、5.11(1H、m)、5.61(1H、m)、6.15(1H、m)ppm
メタクリロイルオキシケトン2を原材料として使用した以外は、[合成例1−1−2]と同様の方法により、モノマー2を合成した(収率69%)。
IR(D−ATR):ν=2970、2876、1785、1717、1636、1450、1407、1379、1328、1301、1280、1222、1163、1130、1117、1095、1049、1015、987、964、911、876、864、843、725、650、584cm-1
1H−NMR(600MHz、DMSO−d6):δ=1.64(1H、m)、1.72−1.80(2H)、1.86(3H、s)、1.88−2.00(2H)、2.22(1H、m)、3.03(2H、m)、4.96(1H、m)、5.70(1H、m)、6.05(1H、m)ppm
メタクリロイルオキシ酢酸ナトリウムを原材料として使用した以外は、[合成例1−2−1]と同様の方法により、メタクリロイルオキシアセトキシケトン1を合成した(収率87%)。
α−トリフルオロメチルアクリル酸ナトリウムを原材料として使用した以外は、[合成例1−1−1]と同様の方法により、α−トリフルオロメチルアクリロイルオキシケトン1を合成した(収率79%)。
レジスト材料に用いる高分子化合物として、各々のモノマーを組み合わせてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)溶剤下で共重合反応を行い、メタノールに晶出し、更にメタノールで洗浄を繰り返した後に単離、乾燥して、以下に示す組成の高分子化合物(レジストポリマー1〜18、比較レジストポリマー1〜7)を得た。得られた高分子化合物の組成は1H−NMR、分子量及び分散度はゲルパーミエーションクロマトグラフィーにより確認した。
レジスト溶液の調製
上記合成例で示した高分子化合物を使用し、下記表1に示す組成でレジスト材料を調合し、0.2μmのテフロン(登録商標)フィルターで濾過することによりレジスト溶液R−1〜R−28をそれぞれ調製した。
GBL(γ−ブチロラクトン)
ArF露光パターニング評価(1)ポジティブパターン評価
上記表1に示す組成で調製した本発明のレジスト材料(R−1〜R−7)及び比較例用のレジスト材料(R−20〜R−24)を、信越化学工業(株)製スピンオンカーボン膜ODL−50(カーボンの含有量が80質量%)を200nm、その上に珪素含有スピンオンハードマスクSHB−A940(珪素の含有量が43質量%)を35nmの膜厚で成膜したトライレイヤープロセス用の基板上へスピンコーティングし、ホットプレートを用いて100℃で60秒間ベークし、レジスト膜の厚みを80nmにした。これをArFエキシマレーザー液浸スキャナー((株)ニコン製、NSR−610C、NA1.30、σ0.98/0.78、ダイポール開口20度、Azimuthally偏光照明、6%ハーフトーン位相シフトマスク、ダイポール照明)で、ウエハー上寸法がスペース幅40nm、ピッチ80nmのパターンの露光を行い、露光後表2に示される温度で60秒間ベーク(PEB)し、2.38質量%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド(TMAH)水溶液で30秒間パドル現像を行い、純水でリンス、スピンドライを行った。
現像後のラインパターンのラフネス(LWR)を(株)日立ハイテクノロジーズ製TDSEM(S−9380)で測定した。
感度として、前記[ArF露光パターニング評価(1)]において、スペース幅40nm、ピッチ80nmのラインアンドスペースパターン(LSパターン)が得られる最適な露光量Eop(mJ/cm2)を求めた結果を表2に示す。この値が小さいほど、感度が高い。
露光裕度評価として、前記[ArF露光パターニング評価(1)]で得たLSパターンにおける40nmのスペース幅の±10%(36〜44nm)の範囲内で形成される露光量から、次式により露光裕度(単位:%)を求めた結果を表2に示す。
露光裕度(%)=(|E1−E2|/Eop)×100
E1:スペース幅36nm、ピッチ80nmのLSパターンを与える最適な露光量
E2:スペース幅44nm、ピッチ80nmのLSパターンを与える最適な露光量
Eop:スペース幅40nm、ピッチ80nmのLSパターンを与える最適な露光量
前記[ArF露光パターニング評価(1)]において、前記感度評価における最適露光量で照射して得たLSパターンを、(株)日立ハイテクノロジーズ製TDSEM(S−9380)でスペース幅の長手方向に10箇所の寸法を測定し、その結果から標準偏差(σ)の3倍値(3σ)をLWRとして求めた結果を表2に示す。この値が小さいほど、ラフネスが小さく均一なスペース幅のパターンが得られる。
ArF露光パターニング評価(2)有機溶剤現像によるネガティブパターン評価
上記表1に示す組成で調製した本発明のレジスト材料(R−8〜R−19)及び比較例用のレジスト材料(R−25〜R−28)を、信越化学工業(株)製スピンオンカーボン膜ODL−50(カーボンの含有量が80質量%)を200nm、その上に珪素含有スピンオンハードマスクSHB−A940(珪素の含有量が43質量%)を35nmの膜厚で成膜したトライレイヤープロセス用の基板上へスピンコーティングし、ホットプレートを用いて100℃で60秒間ベークし、レジスト膜の厚みを100nmにした。これをArFエキシマレーザー液浸スキャナー((株)ニコン製、NSR−610C、NA1.30、σ0.98/0.78、4/5輪帯照明、6%ハーフトーン位相シフトマスク)を用いて、ウエハー上寸法がピッチ100nm、ライン幅50nmの露光を行った。露光後、表3に示す温度で60秒間の熱処理(PEB)を施した後、現像ノズルから酢酸ブチルを3秒間30rpmで回転させながら吐出させ、その後静止パドル現像を27秒間行い、4−メチル−2−ペンタノールでリンス後スピンドライし、100℃で20秒間ベークしてリンス溶剤を蒸発させた。その結果、マスクで遮光された未露光部分が現像液に溶解してイメージ反転されたスペース幅50nm、ピッチ100nmのLSパターンが得られた。
上記[ArF露光パターニング評価(2)]において、前記と同様の評価方法で求めた各レジスト材料の最適な露光量Eop(mJ/cm2)、EL及びLWRの結果を表3に示す。
耐エッチング性評価
HMDS(ヘキサメチルジシラザン)気相中で表面処理(90℃、60秒間)したシリコンウエハー上に、上記表1に示した本発明のレジスト材料(R−8〜R−10)及び比較例用のレジスト材料(R−25、R−27)をスピンコーティングし、ホットプレートを用いて100℃で60秒間ベーク(PAB)し、レジスト膜の厚みを100nmにした。その後、ArFエキシマレーザースキャナー((株)ニコン製、NSR−307E、NA0.85)にてウエハー全面をオープンフレーム露光した。その際の露光量は、脱保護反応に十分な量の酸が光酸発生剤から生じるよう50mJ/cm2とした。その後、120℃で60秒間ベーク(PEB)を施すことにより、レジスト膜を形成するベース樹脂を脱保護状態に変えた。ベース樹脂が脱保護された部分はネガ型現像における不溶部に相当する。露光・PEB処理によるレジスト膜厚減少量の処理前膜厚に対する比率を求めPEBシュリンク量(%)とした。更に、酢酸ブチルを現像液として30秒間現像を行い、その後にレジスト膜厚を測定し、PEB処理後膜厚と現像後膜厚の差分より溶解速度(nm/sec.)を求めた。PEBシュリンク量又は溶解速度が小さい方がドライエッチング加工時に必要とされる十分な膜厚を確保でき、あるいは初期膜厚を薄膜化できることで解像性において有利となることから好ましい。結果を表4に示す。
20 被加工基板
30 中間介在層
40 レジスト膜
Claims (17)
- 下記一般式(1)で示される単量体。
- 下記一般式(2)で示される繰り返し単位を含有することを特徴とする高分子化合物。
- 更に、下記一般式(A)〜(E)で示される繰り返し単位のいずれか1種以上を含有することを特徴とする請求項2に記載の高分子化合物。
- 更に、下記一般式で示されるスルホニウム塩の繰り返し単位(d1)〜(d3)のいずれか1種以上を含有することを特徴とする請求項2又は3に記載の高分子化合物。
- 請求項2又は3に記載の高分子化合物を含むベース樹脂、酸発生剤及び有機溶剤を含有することを特徴とするレジスト材料。
- 請求項4に記載の高分子化合物を含むベース樹脂及び有機溶剤を含有することを特徴とするレジスト材料。
- 請求項5又は6に記載のレジスト材料を基板上に塗布し、加熱処理後に高エネルギー線で上記レジスト膜を露光し、加熱処理後に現像液を用いてパターンを得ることを特徴とするパターン形成方法。
- 現像液としてアルカリ水溶液を用いることにより露光部を溶解させ、未露光部が溶解しないポジ型パターンを得ることを特徴とする請求項7に記載のパターン形成方法。
- 現像液として有機溶剤を用いることにより未露光部を溶解させ、露光部が溶解しないネガ型パターンを得ることを特徴とする請求項7に記載のパターン形成方法。
- 現像液が2−オクタノン、2−ノナノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、4−ヘプタノン、2−ヘキサノン、3−ヘキサノン、ジイソブチルケトン、メチルシクロヘキサノン、アセトフェノン、メチルアセトフェノン、酢酸プロピル、酢酸ブチル、酢酸イソブチル、酢酸アミル、酢酸ブテニル、酢酸イソアミル、蟻酸プロピル、蟻酸ブチル、蟻酸イソブチル、蟻酸アミル、蟻酸イソアミル、吉草酸メチル、ペンテン酸メチル、クロトン酸メチル、クロトン酸エチル、プロピオン酸メチル、プロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸プロピル、乳酸ブチル、乳酸イソブチル、乳酸アミル、乳酸イソアミル、2−ヒドロキシイソ酪酸メチル、2−ヒドロキシイソ酪酸エチル、安息香酸メチル、安息香酸エチル、酢酸フェニル、酢酸ベンジル、フェニル酢酸メチル、蟻酸ベンジル、蟻酸フェニルエチル、3−フェニルプロピオン酸メチル、プロピオン酸ベンジル、フェニル酢酸エチル、酢酸2−フェニルエチルから選ばれる1種以上であることを特徴とする請求項9に記載のパターン形成方法。
- 高エネルギー線による露光が、波長248nmのKrFエキシマレーザー、波長193nmのArFエキシマレーザー、電子線(EB)又は波長13.5nmのEUVリソグラフィーであることを特徴とする請求項7乃至10のいずれか1項に記載のパターン形成方法。
- 下記一般式(6)で示される化合物に塩基又は金属を作用させて金属エノラート試薬を調製し、これに下記一般式(5)で示されるアシロキシケトンを反応させることを特徴とする下記一般式(1)で示される単量体の製造方法。
- 下記一般式(6)で示される化合物に塩基又は金属を作用させて金属エノラート試薬を調製し、これに下記一般式(5)で示されるアシロキシケトンを反応させた後、下記一般式(7b)で示されるヒドロキシエステル化合物を単離し、次いで該ヒドロキシエステル化合物を酸処理することを特徴とする下記一般式(1)で示される単量体の製造方法。
- 下記一般式(66)で示されるヒドロキシラクトン化合物と下記一般式(88)で示されるエステル化剤を反応させることを特徴とする下記一般式(1)で示される単量体の製造方法。
を示す。]
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014097347A JP6137046B2 (ja) | 2014-05-09 | 2014-05-09 | 単量体、高分子化合物、レジスト材料及びパターン形成方法 |
US14/697,901 US9256127B2 (en) | 2014-05-09 | 2015-04-28 | Monomer, polymer, resist composition, and patterning process |
KR1020150063256A KR101782206B1 (ko) | 2014-05-09 | 2015-05-06 | 단량체, 고분자 화합물, 레지스트 재료 및 패턴 형성 방법 |
TW104114348A TWI546292B (zh) | 2014-05-09 | 2015-05-06 | 單體、高分子化合物、光阻材料及圖案形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014097347A JP6137046B2 (ja) | 2014-05-09 | 2014-05-09 | 単量体、高分子化合物、レジスト材料及びパターン形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015214634A true JP2015214634A (ja) | 2015-12-03 |
JP6137046B2 JP6137046B2 (ja) | 2017-05-31 |
Family
ID=54367769
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014097347A Active JP6137046B2 (ja) | 2014-05-09 | 2014-05-09 | 単量体、高分子化合物、レジスト材料及びパターン形成方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9256127B2 (ja) |
JP (1) | JP6137046B2 (ja) |
KR (1) | KR101782206B1 (ja) |
TW (1) | TWI546292B (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018097125A (ja) * | 2016-12-12 | 2018-06-21 | Jsr株式会社 | 感放射線性樹脂組成物及びレジストパターン形成方法 |
WO2018230334A1 (ja) * | 2017-06-15 | 2018-12-20 | Jsr株式会社 | 感放射線性樹脂組成物及びレジストパターン形成方法 |
KR20190085069A (ko) * | 2016-12-22 | 2019-07-17 | 후지필름 가부시키가이샤 | 감활성광선성 또는 감방사선성 수지 조성물, 감활성광선성 또는 감방사선성막, 패턴 형성 방법, 및 전자 디바이스의 제조 방법 |
KR20190085073A (ko) * | 2016-12-22 | 2019-07-17 | 후지필름 가부시키가이샤 | 감활성광선성 또는 감방사선성 수지 조성물, 감활성광선성 또는 감방사선성막, 패턴 형성 방법, 전자 디바이스의 제조 방법 및 광산발생제 |
JP2020023683A (ja) * | 2018-08-02 | 2020-02-13 | 住友化学株式会社 | 樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 |
JP2020041102A (ja) * | 2018-09-13 | 2020-03-19 | 株式会社ダイセル | 単量体、フォトレジスト用樹脂、フォトレジスト用樹脂組成物、及びパターン形成方法 |
US10754248B2 (en) | 2017-03-22 | 2020-08-25 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Sulfonium salt, resist composition, and patterning process |
WO2022070585A1 (ja) * | 2020-10-01 | 2022-04-07 | Jsr株式会社 | 感放射線性樹脂組成物及びパターン形成方法 |
JP2022105506A (ja) * | 2018-09-11 | 2022-07-14 | 信越化学工業株式会社 | レジスト組成物、及びパターン形成方法 |
US11579526B2 (en) | 2019-03-22 | 2023-02-14 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Resist composition and patterning process |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DK3878859T3 (da) | 2011-06-10 | 2024-01-02 | Hanmi Science Co Ltd | Hidtil ukendte oxyntomodulinderivater og farmaceutisk præparat til behandling af fedme omfattende disse |
HUE042585T2 (hu) | 2011-06-17 | 2019-07-29 | Hanmi Science Co Ltd | Oxintomodulint és immunglobulin-fragmentumot tartalmazó konjugátum és alkalmazása |
KR101968344B1 (ko) | 2012-07-25 | 2019-04-12 | 한미약품 주식회사 | 옥신토모듈린 유도체를 포함하는 고지혈증 치료용 조성물 |
KR101993393B1 (ko) | 2012-11-06 | 2019-10-01 | 한미약품 주식회사 | 옥신토모듈린 유도체를 포함하는 당뇨병 또는 비만성 당뇨병 치료용 조성물 |
EP2916819B1 (en) | 2012-11-06 | 2019-07-10 | Hanmi Pharm. Co., Ltd. | Liquid formulation of protein conjugate comprising the oxyntomodulin and an immunoglobulin fragment |
JP6062878B2 (ja) * | 2014-03-07 | 2017-01-18 | 信越化学工業株式会社 | 化学増幅型ポジ型レジスト組成物及びレジストパターン形成方法 |
JP6059675B2 (ja) * | 2014-03-24 | 2017-01-11 | 信越化学工業株式会社 | 化学増幅型ネガ型レジスト組成物及びレジストパターン形成方法 |
JP6131910B2 (ja) * | 2014-05-28 | 2017-05-24 | 信越化学工業株式会社 | レジスト組成物及びパターン形成方法 |
KR101853714B1 (ko) * | 2014-07-09 | 2018-05-02 | 후지필름 가부시키가이샤 | 감활성광선성 또는 감방사선성 수지 조성물, 패턴 형성 방법, 및 전자 디바이스의 제조 방법 |
JPWO2016006406A1 (ja) * | 2014-07-09 | 2017-04-27 | 富士フイルム株式会社 | 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、パターン形成方法、及び、電子デバイスの製造方法 |
TWI772252B (zh) | 2014-09-16 | 2022-08-01 | 南韓商韓美藥品股份有限公司 | 長效glp-1/高血糖素受體雙促效劑治療非酒精性脂肝疾病之用途 |
KR102418477B1 (ko) | 2014-12-30 | 2022-07-08 | 한미약품 주식회사 | 글루카곤 유도체 |
JP6365394B2 (ja) * | 2015-05-07 | 2018-08-01 | 信越化学工業株式会社 | ポジ型レジスト組成物及びパターン形成方法 |
CN108264605A (zh) * | 2016-12-30 | 2018-07-10 | 罗门哈斯电子材料韩国有限公司 | 单体、聚合物和光致抗蚀剂组合物 |
JP6971134B2 (ja) * | 2017-11-29 | 2021-11-24 | 東京応化工業株式会社 | レジスト組成物、レジストパターン形成方法、高分子化合物及び化合物 |
CN109270790B (zh) * | 2018-08-07 | 2022-09-20 | 珠海雅天科技有限公司 | 一种新型高宽比大于三的半导体光刻用抗刻蚀树脂组合物及其应用 |
TWI811538B (zh) * | 2019-04-12 | 2023-08-11 | 美商英培雅股份有限公司 | 有機金屬光阻顯影劑組合物及處理方法 |
JP2021103234A (ja) * | 2019-12-25 | 2021-07-15 | 東京応化工業株式会社 | レジスト組成物及びレジストパターン形成方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000026446A (ja) * | 1998-07-03 | 2000-01-25 | Nec Corp | ラクトン構造を有する(メタ)アクリレート誘導体、重合体、フォトレジスト組成物、及びパターン形成方法 |
EP1352904A1 (en) * | 2000-12-06 | 2003-10-15 | Mitsubishi Rayon Co., Ltd. | (meth)acrylate esters, starting alcohols for the preparation thereof, processes for preparing both, polymers of the esters, chemically amplifiable resist compositions, and method for forming patterns |
JP2009221111A (ja) * | 2008-03-13 | 2009-10-01 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ラクトン含有化合物、高分子化合物、レジスト材料及びパターン形成方法 |
JP2011007965A (ja) * | 2009-06-24 | 2011-01-13 | Sumitomo Chemical Co Ltd | レジストパターンの製造方法、及びこれから得られるレジストパターン |
Family Cites Families (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4131062B2 (ja) | 1998-09-25 | 2008-08-13 | 信越化学工業株式会社 | 新規なラクトン含有化合物、高分子化合物、レジスト材料及びパターン形成方法 |
JP2000336121A (ja) | 1998-11-02 | 2000-12-05 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 新規なエステル化合物、高分子化合物、レジスト材料、及びパターン形成方法 |
TWI228504B (en) | 1998-11-02 | 2005-03-01 | Shinetsu Chemical Co | Novel ester compounds, polymers, resist compositions and patterning process |
JP3790649B2 (ja) | 1999-12-10 | 2006-06-28 | 信越化学工業株式会社 | レジスト材料 |
JP5064614B2 (ja) * | 2001-02-01 | 2012-10-31 | 株式会社ダイセル | 環式骨格を有する(メタ)アクリル酸エステルの製造法 |
JP3995575B2 (ja) | 2002-09-30 | 2007-10-24 | 富士フイルム株式会社 | ポジ型レジスト組成物 |
JP4669745B2 (ja) | 2004-06-28 | 2011-04-13 | 富士フイルム株式会社 | 感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法 |
US8323872B2 (en) | 2005-06-15 | 2012-12-04 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Resist protective coating material and patterning process |
JP4662062B2 (ja) | 2005-06-15 | 2011-03-30 | 信越化学工業株式会社 | レジスト保護膜材料及びパターン形成方法 |
JP5247035B2 (ja) | 2006-01-31 | 2013-07-24 | 信越化学工業株式会社 | レジスト保護膜材料及びパターン形成方法 |
US7771913B2 (en) | 2006-04-04 | 2010-08-10 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Resist composition and patterning process using the same |
JP4842844B2 (ja) | 2006-04-04 | 2011-12-21 | 信越化学工業株式会社 | レジスト材料及びこれを用いたパターン形成方法 |
JP4763511B2 (ja) | 2006-05-26 | 2011-08-31 | 信越化学工業株式会社 | レジスト保護膜材料及びパターン形成方法 |
US7759047B2 (en) | 2006-05-26 | 2010-07-20 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Resist protective film composition and patterning process |
JP4861237B2 (ja) | 2006-05-26 | 2012-01-25 | 信越化学工業株式会社 | レジスト保護膜材料及びパターン形成方法 |
JP4858714B2 (ja) | 2006-10-04 | 2012-01-18 | 信越化学工業株式会社 | 高分子化合物、レジスト材料、及びパターン形成方法 |
KR101116963B1 (ko) | 2006-10-04 | 2012-03-14 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 고분자 화합물, 레지스트 재료, 및 패턴 형성 방법 |
JP4895030B2 (ja) | 2006-10-04 | 2012-03-14 | 信越化学工業株式会社 | 高分子化合物、レジスト保護膜材料、及びパターン形成方法 |
JP4849267B2 (ja) | 2006-10-17 | 2012-01-11 | 信越化学工業株式会社 | レジスト材料及びこれを用いたパターン形成方法 |
JP4355725B2 (ja) | 2006-12-25 | 2009-11-04 | 信越化学工業株式会社 | ポジ型レジスト材料及びパターン形成方法 |
JP5002379B2 (ja) | 2007-04-13 | 2012-08-15 | 富士フイルム株式会社 | パターン形成方法 |
US8034547B2 (en) | 2007-04-13 | 2011-10-11 | Fujifilm Corporation | Pattern forming method, resist composition to be used in the pattern forming method, negative developing solution to be used in the pattern forming method and rinsing solution for negative development to be used in the pattern forming method |
JP4982288B2 (ja) | 2007-04-13 | 2012-07-25 | 富士フイルム株式会社 | パターン形成方法 |
JP5011018B2 (ja) | 2007-04-13 | 2012-08-29 | 富士フイルム株式会社 | パターン形成方法 |
JP2009158144A (ja) | 2007-12-25 | 2009-07-16 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 照明器具 |
EP2256830B1 (en) | 2008-03-26 | 2019-05-01 | Shimane Prefectural Government | Semiconductor light emitting module and semiconductor light emitting device |
JP4569786B2 (ja) | 2008-05-01 | 2010-10-27 | 信越化学工業株式会社 | 新規光酸発生剤並びにこれを用いたレジスト材料及びパターン形成方法 |
JP5708082B2 (ja) | 2010-03-24 | 2015-04-30 | 信越化学工業株式会社 | パターン形成方法及びネガ型レジスト組成物 |
JP5387605B2 (ja) | 2010-04-07 | 2014-01-15 | 信越化学工業株式会社 | 含フッ素単量体、高分子化合物、レジスト材料及びパターン形成方法 |
JP5282781B2 (ja) | 2010-12-14 | 2013-09-04 | 信越化学工業株式会社 | レジスト材料及びパターン形成方法 |
JP5556765B2 (ja) | 2011-08-05 | 2014-07-23 | 信越化学工業株式会社 | ArF液浸露光用化学増幅ポジ型レジスト材料及びパターン形成方法 |
JP5798100B2 (ja) | 2012-10-16 | 2015-10-21 | 信越化学工業株式会社 | レジスト材料及びこれを用いたパターン形成方法 |
-
2014
- 2014-05-09 JP JP2014097347A patent/JP6137046B2/ja active Active
-
2015
- 2015-04-28 US US14/697,901 patent/US9256127B2/en active Active
- 2015-05-06 TW TW104114348A patent/TWI546292B/zh not_active IP Right Cessation
- 2015-05-06 KR KR1020150063256A patent/KR101782206B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000026446A (ja) * | 1998-07-03 | 2000-01-25 | Nec Corp | ラクトン構造を有する(メタ)アクリレート誘導体、重合体、フォトレジスト組成物、及びパターン形成方法 |
EP1352904A1 (en) * | 2000-12-06 | 2003-10-15 | Mitsubishi Rayon Co., Ltd. | (meth)acrylate esters, starting alcohols for the preparation thereof, processes for preparing both, polymers of the esters, chemically amplifiable resist compositions, and method for forming patterns |
JP2009221111A (ja) * | 2008-03-13 | 2009-10-01 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ラクトン含有化合物、高分子化合物、レジスト材料及びパターン形成方法 |
JP2011007965A (ja) * | 2009-06-24 | 2011-01-13 | Sumitomo Chemical Co Ltd | レジストパターンの製造方法、及びこれから得られるレジストパターン |
Cited By (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018097125A (ja) * | 2016-12-12 | 2018-06-21 | Jsr株式会社 | 感放射線性樹脂組成物及びレジストパターン形成方法 |
JP7062874B2 (ja) | 2016-12-12 | 2022-05-09 | Jsr株式会社 | 感放射線性樹脂組成物及びレジストパターン形成方法 |
KR20190085069A (ko) * | 2016-12-22 | 2019-07-17 | 후지필름 가부시키가이샤 | 감활성광선성 또는 감방사선성 수지 조성물, 감활성광선성 또는 감방사선성막, 패턴 형성 방법, 및 전자 디바이스의 제조 방법 |
KR20190085073A (ko) * | 2016-12-22 | 2019-07-17 | 후지필름 가부시키가이샤 | 감활성광선성 또는 감방사선성 수지 조성물, 감활성광선성 또는 감방사선성막, 패턴 형성 방법, 전자 디바이스의 제조 방법 및 광산발생제 |
JPWO2018116915A1 (ja) * | 2016-12-22 | 2019-11-21 | 富士フイルム株式会社 | 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、感活性光線性又は感放射線性膜、パターン形成方法、及び、電子デバイスの製造方法 |
KR102327880B1 (ko) * | 2016-12-22 | 2021-11-17 | 후지필름 가부시키가이샤 | 감활성광선성 또는 감방사선성 수지 조성물, 감활성광선성 또는 감방사선성막, 패턴 형성 방법, 및 전자 디바이스의 제조 방법 |
KR102323057B1 (ko) * | 2016-12-22 | 2021-11-08 | 후지필름 가부시키가이샤 | 감활성광선성 또는 감방사선성 수지 조성물, 감활성광선성 또는 감방사선성막, 패턴 형성 방법, 전자 디바이스의 제조 방법 및 광산발생제 |
US10754248B2 (en) | 2017-03-22 | 2020-08-25 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Sulfonium salt, resist composition, and patterning process |
JP7127643B2 (ja) | 2017-06-15 | 2022-08-30 | Jsr株式会社 | 感放射線性樹脂組成物及びレジストパターン形成方法 |
JPWO2018230334A1 (ja) * | 2017-06-15 | 2020-05-21 | Jsr株式会社 | 感放射線性樹脂組成物及びレジストパターン形成方法 |
KR20200019604A (ko) * | 2017-06-15 | 2020-02-24 | 제이에스알 가부시끼가이샤 | 감방사선성 수지 조성물 및 레지스트 패턴 형성 방법 |
WO2018230334A1 (ja) * | 2017-06-15 | 2018-12-20 | Jsr株式会社 | 感放射線性樹脂組成物及びレジストパターン形成方法 |
KR102590882B1 (ko) * | 2017-06-15 | 2023-10-19 | 제이에스알 가부시끼가이샤 | 감방사선성 수지 조성물 및 레지스트 패턴 형성 방법 |
JP2020023683A (ja) * | 2018-08-02 | 2020-02-13 | 住友化学株式会社 | 樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 |
JP7284658B2 (ja) | 2018-08-02 | 2023-05-31 | 住友化学株式会社 | レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 |
JP2022105506A (ja) * | 2018-09-11 | 2022-07-14 | 信越化学工業株式会社 | レジスト組成物、及びパターン形成方法 |
JP7351371B2 (ja) | 2018-09-11 | 2023-09-27 | 信越化学工業株式会社 | レジスト組成物、及びパターン形成方法 |
JP2020041102A (ja) * | 2018-09-13 | 2020-03-19 | 株式会社ダイセル | 単量体、フォトレジスト用樹脂、フォトレジスト用樹脂組成物、及びパターン形成方法 |
JP7236830B2 (ja) | 2018-09-13 | 2023-03-10 | 株式会社ダイセル | 単量体、フォトレジスト用樹脂、フォトレジスト用樹脂組成物、及びパターン形成方法 |
US11579526B2 (en) | 2019-03-22 | 2023-02-14 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Resist composition and patterning process |
WO2022070585A1 (ja) * | 2020-10-01 | 2022-04-07 | Jsr株式会社 | 感放射線性樹脂組成物及びパターン形成方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101782206B1 (ko) | 2017-09-26 |
TW201546053A (zh) | 2015-12-16 |
KR20150128584A (ko) | 2015-11-18 |
US20150323865A1 (en) | 2015-11-12 |
JP6137046B2 (ja) | 2017-05-31 |
TWI546292B (zh) | 2016-08-21 |
US9256127B2 (en) | 2016-02-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6137046B2 (ja) | 単量体、高分子化合物、レジスト材料及びパターン形成方法 | |
JP5675664B2 (ja) | パターン形成方法 | |
JP6394430B2 (ja) | 化合物、高分子化合物、レジスト材料及びパターン形成方法 | |
JP5387605B2 (ja) | 含フッ素単量体、高分子化合物、レジスト材料及びパターン形成方法 | |
JP5962520B2 (ja) | 単量体、高分子化合物、レジスト材料及びパターン形成方法 | |
KR101723710B1 (ko) | 단량체, 고분자 화합물, 레지스트 재료 및 패턴 형성 방법 | |
JP6332113B2 (ja) | シュリンク材料及びパターン形成方法 | |
JP6398848B2 (ja) | シュリンク材料及びパターン形成方法 | |
CN111662249B (zh) | 环氧化合物、抗蚀剂组合物、及图案形成方法 | |
EP3184561B1 (en) | Resist composition, pattern forming process, polymer, and monomer |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160526 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170322 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170404 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170417 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6137046 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |