JP2015214141A - 液体吐出ヘッドのクリーニング方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 簡易な方法でコゲ除去を行うことが可能な液体吐出ヘッドのクリーニング方法を提供すること。【解決手段】 被覆層を液体の中に溶出させることで被覆層に堆積したコゲを除去する、液体吐出ヘッドのクリーニング方法であって、被覆層に連続的あるいは断続的に電圧を印加している間に、発熱抵抗体を発熱させて液体を前記吐出口から吐出し、電気化学反応によって発生した気泡を除去することを特徴とする液体吐出ヘッドのクリーニング方法。【選択図】 図５

Description

本発明は、液体吐出ヘッドのクリーニング方法に関するものである。

インクジェットプリンタ等の液体吐出装置に用いられる液体吐出ヘッドとして、発熱抵抗体を用いて液体を吐出する方式の液体吐出ヘッドが知られている。このような液体吐出ヘッドは、インク等の液体の流路を形成する流路形成部材と、発熱抵抗体とを有する。発熱抵抗体は電気熱変換素子等で形成されており、発熱抵抗体を発熱させることで発熱抵抗体上方の液体接触部分（熱作用部）において液体が急激に加熱されて、発泡する。この発泡に伴う圧力によって液体を吐出口から吐出させ、紙等の記録媒体の表面に記録を行う。発熱抵抗体を液体と絶縁するために、発熱抵抗体を絶縁層で覆う構成が知られている。また、発熱抵抗体は、液体の発泡、収縮に伴うキャビテーションによる衝撃などの物理的作用や、液体による化学的作用を複合的に受けることになる。このため、発熱抵抗体を保護層で覆い、発熱抵抗体を保護する構成が知られている。

液体吐出ヘッドにおいて、液体に含まれる色材等の添加物が高温で加熱されることにより分解され、難溶解性の物質に変化し、絶縁層、保護層等の液体に接する層の上に物理吸着される現象が起こることがある。この現象、物質は「コゲ」と称されており、このように保護層上にコゲが付着すると、熱作用部から液体への熱伝導が不均一になり、発泡が不安定となることで液体の吐出特性に影響を及ぼす場合がある。

かかる課題を解決するために、特許文献１には、熱作用部を含む領域に、液体との電気化学反応を生じさせるための電極となるよう、電気的接続が可能な上部保護層を配置する構成が記載されている。電気化学反応により上部保護層を溶出させることで、熱作用部上のコゲを除去するというクリーニング方法がある。この方法では、液体との電気化学反応を用いているため、上部保護層の溶出とともに、液体が分解されることで気泡が発生する。このとき、気泡は上部保護層上に滞留するため、上部保護層と液体との電気化学反応が阻害されるという課題がある。このような課題に対し、特許文献１では、液体吸引、または液体供給口側からの加圧により、発生した泡を発泡室から押し出しながらクリーニングを行うことで、電気化学反応が阻害されないようにしている。

特開２００８−１０５３６４号公報

本発明者らの検討によれば、特許文献１に記載されているようなクリーニング方法では、液体を吸引・加圧しながら行うため、液体を回収するためのキャップをした状態でのクリーニングとなる。従って、チューブ型の液体吸引キャップによる回復を行うような長尺ヘッドに適用した場合、液体吸引キャップの動作に連動して、コゲ除去のクリーニングを行うという複雑なシーケンス、駆動回路等が必要になる。また、コゲの除去では、１つの吐出口当たり数十秒から数分程度の時間を要するため、長尺ヘッド内の全吐出口内でコゲを除去する場合、コゲ除去に要する時間が非常に長くなる。さらに、長時間液体を吸引することになるため、多量の液体が必要になってしまう。

このような課題を鑑み、本発明は、簡易な方法でコゲ除去を行うことが可能な液体吐出ヘッドのクリーニング方法を提供することを目的とする。

上記課題は、以下の本発明によって解決される。即ち本発明は、液体の流路を形成する流路形成部材と、発熱抵抗体と、前記発熱抵抗体を覆い前記液体と接する被覆層と、を有し、前記発熱抵抗体を発熱させて前記液体を吐出口から吐出する液体吐出ヘッドに対して、前記被覆層に電圧を印加して前記被覆層と前記液体とを電気化学反応させ、前記被覆層を前記液体の中に溶出させることで前記被覆層に堆積したコゲを除去する、液体吐出ヘッドのクリーニング方法であって、前記被覆層に連続的あるいは断続的に電圧を印加している間に、前記発熱抵抗体を発熱させて前記液体を前記吐出口から吐出し、前記電気化学反応によって発生した気泡を除去することを特徴とする液体吐出ヘッドのクリーニング方法である。

本発明によれば、簡易な方法でコゲ除去を行うことが可能な液体吐出ヘッドのクリーニング方法を提供することができる。

インクジェット記録装置の斜視図である。 液体吐出ヘッドを含むタンクの斜視図である。 液体吐出ヘッドの基板の斜視図である。 液体吐出ヘッドの基板の断面図である。 液体吐出ヘッドのクリーニング時の基板の断面図である。 液体吐出ヘッドのクリーニング時の電圧印加方法である。

以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。

図１に、液体吐出装置の一例であるインクジェット記録装置の斜視図を示す。キャリッジ５００は液体吐出ヘッド４１０を取り付けて印字を行うために、ガイド５０２によって支持されている。ガイド５０２は、シャーシに取り付けられており、記録媒体の搬送方向に対して直角方向にキャリッジ５００を往復移動させるように支持している。ガイド５０２は、シャーシに一体に形成されており、キャリッジ５００の後端を保持して液体吐出ヘッド４１０と記録媒体との隙間を維持する役割を果たしている。キャリッジ５００は、シャーシに取り付けられたキャリッジモータ５０４によりタイミングベルト５０１を介して駆動される。また、タイミングベルト５０１は、アイドルプーリ５０３によって張設、支持されている。

上記構成において紙等の記録媒体に画像を形成する場合、記録媒体の上下方向に対しては、搬送ローラ５１１およびピンチローラからなるローラ対が、記録媒体を搬送して位置決めする。また、記録媒体の左右方向に対しては、キャリッジモータ５０４によりキャリッジ５００を上記搬送の方向と垂直な方向に移動させて、液体吐出ヘッド４１０を目的の画像形成位置に配置させる。このようにして液体吐出ヘッド４１０が記録媒体に対して相対的に移動しながら、液体を記録媒体に吐出する。

図２は、液体吐出ヘッドを含むタンクの斜視図である。液体吐出ヘッド４１０は、基板１０１と、電気配線テープ（可撓性の配線基板）４０２、及び記録装置本体と電気的に接続する電気コンタクト部４０３で構成されている。液体吐出ヘッドは、タンク部分４０４に形成されている。タンク部分から供給された液体は、液体吐出ヘッドの各吐出口に供給され、吐出される。このようにして、記録媒体に対して画像の形成が行われる。

図３は、液体吐出ヘッドの基板の斜視図である。基板１０１としては、例えば、シリコン基板上に、半導体製造技術を用いて液体を発泡させるための発熱抵抗体８とそれを駆動させる駆動回路等が形成されている構成が挙げられる。また、基板１０１の両面を連通する液体供給口１２２が形成されている。発熱抵抗体８の上には、液体の流路１２３を形成する流路形成部材１２０が形成されている。流路形成部材１２０は、樹脂や無機膜等で形成されている。図３では、流路形成部材１２０に吐出口１２１が形成されている。吐出口１２１に対応した発熱抵抗体８を発熱させ、液体を発泡することにより、その圧力を利用して液体を吐出させ、記録媒体に画像が形成される。

図４は、図３に示す液体吐出ヘッドの基板のＸ−Ｘ´における断面図である。トランジスタ等の駆動素子が設けられた基板１０１は、シリコン等で形成されている。基板１０１の上には、シリコン化合物からなる蓄熱層１０２が形成されている。蓄熱層１０２の上には、通電することで発熱する材料（例えばＴａＳｉＮ、ＷＳｉＮ、ＴａＡｌＮ、ＴｉＡｌ、ＴｉＡｌＮ）からなる発熱抵抗体１０４が形成されている。発熱抵抗体１０４に接するように、発熱抵抗体１０４より抵抗の低いＡｌなどを主成分とする材料からなる一対の電極１０５が設けられている。一対の電極１０５の間に電圧を供給し、発熱抵抗体１０４の一対の電極１０５の間に位置する部分を発熱させる。一対の電極１０５の間には、発熱抵抗体１０４が露出した部分１０３が存在し、この部分が特に発熱することになる。発熱抵抗体１０４と一対の電極１０５とは、吐出に用いられる液体との絶縁を図るために、ＳｉＮ等のシリコン化合物などの絶縁性材料からなる絶縁層１０６で被覆されている。

また、発熱抵抗体１０４の発熱に伴う化学的、物理的衝撃から発熱抵抗体１０４を保護するために、発熱抵抗体１０４は被覆層１０７ａで覆われている。絶縁層１０６が形成されている場合には、被覆層１０７ａは絶縁層１０６を覆うように形成される。被覆層１０７ａは、クリーニング処理に際しコゲを除去するために溶出する層であり、コゲ除去の際のコゲ取り電極となる。被覆層１０７ａには、液体中での電気化学反応により溶出する金属を用いる。このような金属としては、例えばＩｒ、Ｒｕが挙げられる。被覆層１０７ａの一部は、発熱抵抗体１０４で発生した熱を液体に作用する熱作用部１０８となる。被覆層１０７ａと絶縁層１０６間には、コゲ取り電極配線１０９ａを設置する。コゲ取り電極配線１０９ａは、被覆層１０７ａと外部端子とを電気的に接続する配線部を構成しており、導電性を有する材料を用いて形成される。コゲ取り電極配線１０９ａを介して、被覆層１０７ａと外部端子とが電気的に接続されることになる。

液体の流路内には、被覆層１０７ａに対する電極として対向電極１０７ｂが形成されている。対向電極１０７ｂとしては、例えばＩｒ、Ｒｕが用いられる。対向電極１０７ｂは、Ｔａ等からなる対向電極配線１０９ｂと接続し、外部電源１３０に接続されている。

液体吐出ヘッドの基板には、液体の流路１２３を形成する流路形成部材１２０が形成されている。流路形成部材１２０の熱作用部１０８に対応する位置、例えば熱作用部１０８上には、吐出口１２１が形成されている。吐出口１２１と液体の流路１２３とは連通している。

次に、本発明の液体吐出ヘッドのクリーニング方法を、図５を用いて説明する。

図５（ａ）に示すように、液体の流路に液体が充填された状態で、被覆層１０７ａに電圧を印加する。具体的には、例えば被覆層１０７ａに正の電圧、対向電極１０７ｂに負の電圧を印加する。これにより、被覆層１０７ａと液体との間で電気化学反応がおこり、被覆層１０７ａが液体に溶出する。この処理により、被覆層１０７ａに堆積したコゲを除去（コゲ取り）することができる。

一方、この電気化学反応により、被覆層１０７ａ上で液体が電気分解される。この結果、図５（ｂ）に示すように、被覆層１０７ａの表面に気泡が発生する。このように気泡が発生すると、液体との電気化学反応が進みにくくなり、被覆層１０７ａが十分に溶出しなくなる。即ち、コゲの除去が進みにくくなる。

本発明では、このような気泡を除去することで、コゲの除去を促進する。そのため、被覆層に電圧を印加する間に発熱抵抗体１０４を発熱させる。発熱によって、例えば液体を発泡させる。被覆層に電圧を印加しているときにコゲが除去されている場合には、コゲを除去する間に発熱抵抗体１０４を発熱させる。図５（ｃ）は、液体を発泡させた状態である。液体を発泡させると、発泡によって生成した気泡が、被覆層１０７ａ上にもともとあった気泡を取り込む。或いは、発泡によって生成した気泡が、被覆層１０７ａ上にもともとあった気泡を押し出す。このようにして、上述の気泡が被覆層１０７ａの上から除去される。気泡が除去されることで、コゲの除去が促進される。発熱抵抗体１０４を発熱させて、液体を発泡させるのは、被覆層に電圧を印加する間に行う。このタイミングで液体を発泡させることで、良好に気泡を除去することができる。液体の発泡時に、コゲは除去されていることが好ましい。即ち、液体の発泡は、コゲの除去の間に行うことが好ましい。

液体を発泡させることを考慮すると、発熱抵抗体を覆う被覆層１０７ａが気泡で全て覆われてしまう前に、発熱抵抗体を発熱させることが好ましい。被覆層１０７ａが気泡で全て覆われると、被覆層１０７ａが液体と接触していないことになる。そうすると、新たに発泡を行うことが難しくなる。一部でも被覆層１０７ａと液体とが接触していれば、その部分を起点に発泡が行いやすくなる。また、この点から、被覆層１０７ａへの電圧の印加を開始してから２秒以内に発熱抵抗体を発熱させることが好ましく、被覆層１０７ａへの電圧の印加を開始してから１秒以内に発熱抵抗体を発熱させることがより好ましい。

液体は、必ずしも発泡する必要はなく、発泡しない場合であっても発熱抵抗体を発熱させることで液体を吐出口から吐出すればよい。液体を吐出することで、被覆層１０７ａを覆う電気化学反応によって発生した気泡を吐出と共に除去できる。

一方で、気泡の除去のために行う発泡の際、必ずしも液体を吐出口１２１から吐出する必要もない。液体を吐出口から吐出させない構成としても、発泡によって電気化学反応で発生した気泡が被覆層１０７ａ上から移動すれば、さらに電気化学反応は進む。但しこの場合、気泡が液体の流路１２３の中に滞留する場合がある。このため、気泡の除去のために行う発泡の際、液体を吐出口１２１から吐出することが好ましい。発泡によって液体を吐出口から吐出させれば、気泡も吐出口から排出しやすくなる。よって、流路１２３への気泡の滞留を効果的に抑制することができる。

液体を吐出口１２１から吐出することで、記録媒体に画像を形成してもよい。但し、液体中にコゲが存在する可能性を考慮すると、この吐出は予備吐出（紙等の記録媒体に吐出せず、記録を行わない予備の吐出）に用いることが好ましい。

発熱抵抗体の発熱（液体を発泡させる場合は液体の発泡）は、被覆層に電圧を印加する前から行うことが好ましい。また、コゲの除去を行う前から行うことが好ましい。さらに、そのまま被覆層に電圧を印加する間にかけて連続的に行うことが好ましい。特に、液体を吐出口から吐出する場合には、画像の形成にも使用できることになる。よって液体を吐出口から連続的に吐出することで、記録媒体に画像を形成する構成とすることが効率の点で好ましい。この構成であれば、画像の形成をしながらも、コゲの除去を良好に行うことができる。但し上述のように液体中にコゲが存在する可能性を考慮すると、コゲの除去のための吐出では予備吐出を行い、続いてそのまま記録媒体への吐出とする構成が好ましい。

図５（ｃ）に示すように液体を発泡させることで、図５（ｂ）に示す状態から、再び図５（ａ）に示す状態へと戻すことができる。即ち、気泡が除去されるので、コゲの除去を良好に行うことができる。また、コゲの除去時に液体吸引や加圧を必須の構成としないので、簡易な方法でコゲ除去を行うことができる。また、このような簡易な方法でコゲ除去を行うことができる液体吐出装置を提供できる。

＜実施例１＞
図４に示す液体吐出ヘッドの基板を用い、液体吐出ヘッドのクリーニングを行った。基板１０１はＳｉで形成し、蓄熱層１０２はＳｉＯ_２で形成した。発熱抵抗体１０４はＴａＳｉＮで形成し、厚さ５０ｎｍとした。電極１０５はＡｌで形成し、厚さ３００ｎｍとした。絶縁層１０６はＳｉＮで形成し、厚さ３５０ｎｍとした。コゲ取り電極配線１０９ａ、対向電極配線１０９ｂは、ともにＴａで形成し、厚さ１００ｎｍとした。被覆層１０７ａ、対向電極１０７ｂはともにＩｒで形成し、厚さ１００ｎｍとした。被覆層１０７ａと対向電極１０７ｂは、それぞれ、コゲ取り電極配線１０９ａと対向電極配線１０９ｂを介して、外部電源１３０に接続させた。

このような液体吐出ヘッドを有する液体吐出装置（インクジェットプリンタ）に、液体としてシアンインク（商品名；ＢＣＩ−７ｅＣ、キヤノン製）を用い、発熱抵抗体を駆動させることで液体の吐出を行った。液体の吐出条件としては、電圧２４Ｖ、パルス幅０．８２μｓ、周波数１５ｋＨｚの駆動パルスで、１．０×１０^９パルスを発熱抵抗体に印加した。

その後、発熱抵抗体の表面状態を電子顕微鏡で観察すると、熱作用部１０８に対応する被覆層１０７ａ上には、コゲが堆積していた。

コゲが堆積した状態で液体吐出ヘッドから吐出を行い、記録媒体の画像を顕微鏡で確認したところ、液体の吐出ヨレに起因すると思われる画像の乱れが確認された。また、コゲの堆積前後の液体の吐出速度をインク滴速度測定装置で測定したところ、堆積前が１５ｍ／ｓであったのに比べ、堆積後は９ｍ／ｓとなり、６ｍ／ｓの速度低下が認められた。

次に、液体吐出ヘッドのクリーニング処理を行った。被覆層１０７ａに接続している外部電源１３０に５ＶのＤＣ電圧を印加し、被覆層１０７ａをアノード電極、対向電極１０７ｂをカソード電極とした。

クリーニング処理では、図６（ａ）に記載のように、以下の手順で行った。まず、被覆層１０７ａと対向電極１０７ｂ間に、５ＶのＤＣ電圧を印加した。このクリーニング条件では、電圧を約１ｓ印加すると、被覆層１０７ａ上は全て気泡で覆われる。このため、電気化学反応が実質的に進まなくなることが確認された。そのため、各電極間への電圧の印加時間を０．５ｓとした。

その後、電気熱変換素子に、電圧２４Ｖ、パルス幅０．５μｓの駆動パルスを印加し、液体を発泡させた。被覆層１０７ａと対向電極１０７ｂ間へのＤＣ電圧印加、液体吐出するまでをクリーニング処理の１サイクルとして、このサイクルを６０回繰り返し行った。即ち、被覆層に電圧を印加する間に発熱抵抗体を発熱させ、液体を発泡させた。

その後、被覆層１０７ａ上を電子顕微鏡にて観察すると、それまで堆積していたコゲが除去されていることが確認された。

また、この時の液体の吐出速度をインク滴速度測定装置で測定したところ、１５ｍ／ｓであり、コゲの堆積前の吐出速度まで回復した。記録媒体の画像を顕微鏡で確認したところ、ドットは所望の位置に着弾し、良好な印字品位が得られていることが確認できた。

発熱抵抗体を発熱させることによる液体の発泡は、コゲの除去中において、被覆層１０７ａ上が全て気泡で覆われる前に行うことが好ましい。尚、被覆層１０７ａ上が気泡で覆われるまでの時間は、クリーニングに用いる液体の種類や、クリーニング条件により変わる。例えば、被覆層１０７ａと対向電極１０７ｂ間に電圧を１５Ｖ印加した場合、上記条件（５Ｖ印加）よりも電気化学反応が速く進む。よって、各電極への電圧印加開始から０．５ｓ以内と、より早い時間で被覆層１０７ａが気泡で覆われる。このような場合でも、被覆層１０７ａが気泡で全て覆われる前に各電極間への電圧印加を一旦停止する等し、液体を発泡させることで、コゲの除去を良好に行うことができる。

＜実施例２＞
実施例２では、実施例１と同様の液体吐出ヘッドを用いた。但し、図６（ｂ）に示すように、被覆層１０７ａと対向電極１０７ｂ間に５ＶのＤＣ電圧を３０ｓ印加した。ＤＣ電圧印加開始後、０．５ｓ経過してから、発熱抵抗体に電圧２４Ｖ、パルス幅０．８２μｓ、周波数１５ｋＨｚの駆動パルスを印加し、ＤＣ電圧印加の終了までの数秒間、液体を連続で吐出させ続けた。

実施例２では、通常の液体吐出と同じ周波数で液体を吐出させた。吐出口１２１からは、液体が吐出された。また、コゲの除去後も液体を吐出させた。

この結果、実施例１と同様に、被覆層１０７ａ上からそれまで堆積していたコゲが除去されていることが確認された。

また、この時の液体の吐出速度をインク滴速度測定装置で測定したところ、１５ｍ／ｓであり、コゲの堆積前の吐出速度まで回復した。記録媒体の画像を顕微鏡で確認したところ、ドットは所望の位置に着弾し、良好な印字品位が得られていることが確認できた。

実施例２では、気泡の除去のために行う発泡の際、液体を吐出口１２１から吐出している。これにより、流路内から気泡を除去しやすい点で好ましい。また、この吐出によって記録を行っている。即ち、液体の発泡を連続的に行い、液体を吐出口から連続的に吐出する構成であり、連続でコゲの除去を行っている。よって、断続的にコゲの除去を行うよりもより効率的にコゲを除去することができる。

＜実施例３＞
実施例３でも、実施例１と同様の液体吐出ヘッドを用いた。但し、図６（ｃ）に示すように、発熱抵抗体に先に電圧２４Ｖ、パルス幅０．８２μｓ、周波数１５ｋＨｚの駆動パルスを印加し、連続で液体吐出を開始した後に、被覆層１０７ａと対向電極間に１０７ｂ間に５ＶのＤＣ電圧を３０ｓ間印加した。

本発明では、液体吐出開始と同時にコゲの除去を行ってもよいが、液体吐出とコゲの除去のタイミングを制御する必要があるため、先に液体吐出を開始した後に各電極間に電圧を印加し、コゲの除去を行うことが好ましい。

この結果、実施例１と同様に、被覆層１０７ａ上からそれまで堆積していたコゲが除去されていることが確認された。

また、この時の液体の吐出速度をインク滴速度測定装置で測定したところ、１５ｍ／ｓであり、コゲの堆積前の吐出速度まで回復した。記録媒体の画像を顕微鏡で確認したところ、ドットは所望の位置に着弾し、良好な印字品位が得られていることが確認できた。

実施例３でも、実施例２と同様に、流路内の気泡を良好に除去することができる。また、実施例３では、被覆層１０７ａと対向電極間に１０７ｂ間に電圧を印加するより前に、液体を吐出させる。今回は、ＢＣＩ−７ｅＣ（キヤノン製）を用いてクリーニング処理を行ったが、別の液体を用いた場合、電気化学反応のスピードが変化し、被覆層１０７ａが気泡で覆われるまでの時間が短くなる可能性がある。この観点からは、実施例３のように、被覆層１０７ａと対向電極間に１０７ｂ間に電圧を印加するより前に、即ちコゲの除去を行う前から、気泡を除去するための液体の発泡を行うことが好ましい。

Claims (20)

1. 液体の流路を形成する流路形成部材と、発熱抵抗体と、前記発熱抵抗体を覆い前記液体と接する被覆層と、を有し、前記発熱抵抗体を発熱させて前記液体を吐出口から吐出する液体吐出ヘッドに対して、前記被覆層に電圧を印加して前記被覆層と前記液体とを電気化学反応させ、前記被覆層を前記液体の中に溶出させることで前記被覆層に堆積したコゲを除去する、液体吐出ヘッドのクリーニング方法であって、
   前記被覆層に連続的あるいは断続的に電圧を印加している間に、前記発熱抵抗体を発熱させて前記液体を前記吐出口から吐出し、前記電気化学反応によって発生した気泡を除去することを特徴とする液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
2. 前記発熱抵抗体を発熱させることで前記液体を発泡させる請求項１に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
3. 前記液体を前記吐出口から吐出することで、記録媒体に画像を形成する請求項１または２に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
4. 前記液体を前記吐出口から吐出することで、記録媒体に画像を形成しない予備の吐出を行う請求項１または２に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
5. 前記発熱抵抗体の発熱を、前記被覆層に電圧を印加する前から前記被覆層に電圧を印加する間にかけて連続的に行う請求項１乃至４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
6. 前記発熱抵抗体を覆う被覆層が前記液体と接触した状態で前記発熱抵抗体を発熱させる請求項１乃至５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
7. 前記被覆層への電圧の印加を開始してから２秒以内に前記発熱抵抗体を発熱させる請求項１乃至６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
8. 前記被覆層への電圧の印加を開始してから１秒以内に前記発熱抵抗体を発熱させる請求項１乃至６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
9. 液体の流路を形成する流路形成部材と、発熱抵抗体と、前記発熱抵抗体を覆い前記液体と接する被覆層と、を有し、前記発熱抵抗体を発熱させて前記液体を吐出口から吐出する液体吐出ヘッドに対して、前記被覆層に電圧を印加して前記被覆層と前記液体とを電気化学反応させ、前記被覆層を前記液体の中に溶出させることで前記被覆層に堆積したコゲを除去する、液体吐出ヘッドのクリーニング方法であって、
   前記被覆層に連続的あるいは断続的に電圧を印加している間に、前記発熱抵抗体を発熱させて前記液体を発泡させることで、前記電気化学反応によって発生した気泡を除去することを特徴とする液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
10. 前記液体を発泡させることで前記液体を前記吐出口から吐出する請求項９に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
11. 前記液体を前記吐出口から吐出することで記録媒体に画像を形成する請求項１０に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
12. 前記液体を前記吐出口から吐出することで、記録媒体に画像を形成しない予備の吐出を行う請求項１０に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
13. 前記発熱抵抗体の発熱を、前記被覆層に電圧を印加する前から前記被覆層に電圧を印加する間にかけて連続的に行う請求項９乃至１２のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
14. 前記発熱抵抗体を覆う被覆層が前記液体と接触した状態で前記発熱抵抗体を発熱させる請求項９乃至１３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
15. 前記被覆層への電圧の印加を開始してから２秒以内に前記発熱抵抗体を発熱させる請求項９乃至１４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
16. 前記被覆層への電圧の印加を開始してから１秒以内に前記発熱抵抗体を発熱させる請求項９乃至１４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
17. 液体の流路を形成する流路形成部材と、発熱抵抗体と、前記発熱抵抗体を覆い前記液体と接する被覆層と、を有する液体吐出ヘッドであって、前記発熱抵抗体を発熱させて前記液体を吐出口から吐出する液体吐出ヘッドを有し、前記被覆層に連続的あるいは断続的に電圧を印加して前記被覆層と前記液体とを電気化学反応させ、前記被覆層を前記液体の中に溶出させることで前記被覆層に堆積したコゲを除去することが可能な液体吐出装置であって、
    前記被覆層に連続的あるいは断続的に電圧を印加している間に、前記発熱抵抗体を発熱させて前記液体を前記吐出口から吐出することを特徴とする液体吐出装置。
18. 前記発熱抵抗体を発熱させることで前記液体を発泡させる請求項１７に記載の液体吐出装置。
19. 前記発熱抵抗体の発熱を、前記被覆層に電圧を印加する前から前記被覆層に電圧を印加する間にかけて連続的に行う請求項１７または１８に記載の液体吐出装置。
20. 前記被覆層への電圧の印加を開始してから２秒以内に前記発熱抵抗体を発熱させる請求項１７乃至１９のいずれか１項に記載の液体吐出装置。

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