JP2015200630A - 電流・電圧検出用プリント基板および電流・電圧検出器 - Google Patents
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Abstract
【課題】 電力伝送用導体66の径方向に対する空間的な制約が従来よりも多い箇所においても使用できるカレントトランス機能を有するプリント基板を提供する。
【解決手段】 コイル状の配線10は、プリント基板の2つの層に形成された配線パターン12、13と基板の2つの層を貫通するスルーホール11とによって構成される。また、電力伝送用導体66がプリント基板に隣接するように配置された場合に、コイル状の配線10の軸方向が電力伝送用導体66の軸方向に垂直になるように、且つ、スルーホール11の軸方向が電力伝送用導体66の軸方向に垂直になるように、コイル状の配線10を電流・電圧検出用プリント基板に配置する。これにより、空間的な制約が従来よりも多い箇所においても電流を検出することができる。
【選択図】 図1
Description
図10において、同図(a)は、電流検出用プリント基板6の平面図(基板の上から見た図)であり、同図(b)は、同図(a)の一部(点線で囲んだA部分)を拡大した概略図であり、同図(c)は、同図(b)の図示を簡略化するために、直線的に展開した図であり、同図(d)は、同図(c)を側面から見た場合の電流検出用プリント基板6の配線を図示したものである。なお、同図(d)に図示した配線は、説明のために、通常は見えない部分を透過させて図示している。
したがって、コイル状の配線10’の部分は、図9に示した回路図のカレントトランス部81に相当する。
図11において、同図(a)は、電流検出用プリント基板6の平面図であり、同図(b)は、同図(a)の一部(点線で囲んだB部分)を拡大した概略図であり、同図(c)は、同図(b)の図示を簡略化するために、直線的に展開した図であり、同図(d)は、同図(c)を側面から見た場合の電流検出用プリント基板6の配線を図示したものであり、同図(e)は、電流検出用プリント基板6の配線を、出力配線21等の部分を中心に、側面から図示したものである。なお、図11に図示した配線は、説明のために、通常は見えない部分を透過させて図示している。また、便宜上、電流検出用プリント基板6、スルーホール11、配線パターン12,13等は、図10と同符号を用いている。
図12において、同図(a)は、電圧検出用プリント基板7の平面図であり、同図(b)は、同図(a)の一部(点線で囲んだC部分)を拡大した概略図であり、同図(c)は、同図(b)の図示を簡略化するために、直線的に展開した図であり、同図(d)は、同図(c)を側面から見た場合の電流検出用プリント基板6の配線を図示したものである。なお、同図(d)に図示した配線は、説明のために、通常は見えない部分を透過させて図示している。
図13において、同図(a)は、電流・電圧検出器70を立体的に示した概略の外観図であり、同図(b)は、導体製の筐体71の側面から見た概略の外観図であり、同図(c)は、同図(b)の筐体71を取り除いた場合の図である。なお、図13(b)及び(c)においては、電力伝送用導体66の部分を点線で表している。
この図15に示すように、コイル状の配線10’の幅L2[mm]は、電流検出用プリント基板6の厚みL1[mm]よりも大きい。また、出力配線21,22及び出力端子23,24も含めた幅L3[mm]は電流検出用プリント基板6の厚みL1[mm]に比べてかなり大きなものとなる。
交流電力の伝送経路として用いる電力伝送用導体を流れる交流電流を検出するためのカレントトランスとして機能するコイル状の配線及び前記電力伝送用導体に生じる交流電圧を検出するためのコンデンサの電極として機能する電極部を有する電流・電圧検出用プリント基板であって、
前記電極部が、前記コイル状の配線よりも前記電力伝送用導体に近い位置に配置されているとともに、
前記コイル状の配線が、プリント基板の2つの層に形成された導体の部材と前記基板の2つの層を貫通する導体の部材とによって構成され、且つ、前記電力伝送用導体がプリント基板に隣接するように配置された場合に、前記コイル状の配線の軸方向が前記電力伝送用導体の軸方向に垂直になるように、且つ、前記基板の2つの層を貫通する導体の部材の軸方向が前記電力伝送用導体の軸方向に垂直になるように、前記コイル状の配線がプリント基板に配置されることを特徴としている。
前記コイル状の配線の軸方向が前記電力伝送用導体の周りに生じる磁界の方向と平行であることを特徴としている。
前記電極部が、前記電力伝送用導体から前記コイル状の配線の方を見たときに、前記コイル状の配線が隠れる大きさを有することを特徴としている。
前記電極部と前記コイル状の配線とが、同一のプリント基板に形成されることを特徴としている。
前記電極部と前記コイル状の配線とが、別のプリント基板に形成されることを特徴としている。
前記電極部が、導体パターンによって形成されることを特徴としている。
前記電流・電圧検出用プリント基板の2つの層に形成された導体が配線パターンであり、前記基板の2つの層を貫通する導体がスルーホールであることを特徴としている。
前記交流電力が、無線周波数帯域の周波数を有する交流電力であることを特徴としている。
交流電力の伝送経路として用いる電力伝送用導体に生じる交流電圧及び前記電力伝送用導体を流れる交流電流を検出する電圧・電流検出器において、
前記第1〜8の発明のいずれかに記載した電流・電圧検出用プリント基板と、
前記電流・電圧検出用プリント基板を内部に固定するように構成された導体製の筐体と、を備えたことを特徴としている。
図1は、電流・電圧検出用プリント基板1の一例を示す図である。
図1において、同図(a)は、電流・電圧検出用プリント基板1の平面図(基板の上から見た図)であり、同図(b)は、同図(a)の右側面から見た図である。なお、図1(b)は、電力伝送用導体66及び絶縁体69も図示している。
コイル状の配線10は、形状は異なるが図10及び図11に示したコイル状の配線10’と同様に電力伝送用導体66を流れる交流電流を検出するためのカレントトランスとして機能する配線である。そのため、電力伝送用導体66に流れる交流電流に応じた電流がコイル状の配線10に流れる。
すなわち、コイル状の配線10は、スルーホール11が基板の層間を貫通しながら、基板の表面層121に形成される配線パターン12と中間層130に形成される配線パターン13とを交互に接続することによってコイル状に形成されたものである。また、コイル状の配線10の両端を端部10a,10bとすると、両端部10a,10bは、それぞれ出力配線21,22を介して出力端子23,24に接続されている。出力端子24は基板の表面層121に設けられているので、スルーホールを用いて中間層130に形成された出力配線22と導通させている。
より具体的には、電力伝送用導体66の径方向における電力伝送用導体66から電流・電圧検出用プリント基板1の端までの距離の最小値を、従来のL2+α[mm]よりも小さくできるので、従来では電流を検出することができなかった箇所においても電流を検出することが出来るようになる。
電極部40は、形状は異なるが図12に示したリング状の配線30と同様に電力伝送用導体に生じる交流電圧を検出するためのコンデンサの電極として機能する。そのため、電力伝送用導体66に生じる交流電圧に応じた電圧が電極部40に生じる。
交流電力の伝送経路として用いる電力伝送用導体66における電力(電流、電圧)の進行方向が、図1(b)において、紙面の上から下の向きであるとする。このとき、図1(b)に示すように、電力伝送用導体66の周りに生じる磁界Iの向きは、時計回りの向きとなる。また、電力伝送用導体66で生じる電界Eは、電力伝送用導体66から径方向に生じるので、電力伝送用導体66から電流・電圧検出用プリント基板1へ向かう方向にも電界Eが生じる。
図2は、電流・電圧検出器5の概略の外観図である。
図2において、同図(a)は、電流・電圧検出器5を立体的に示した概略の外観図であり、同図(b)は、導体製の筐体51の側面から見た概略の外観図であり、同図(c)は、同図(b)の筐体51を取り除いた場合の図である。なお、筐体51は、アルミニウム等の導体で作られている。
そのために、筐体51内を通過する電力伝送用導体66に流れる電流は、コイル状の配線10を用いて検出できる。また電力伝送用導体66に生じている電圧は、電極部40を用いて検出できる。
図4は、電流・電圧検出用プリント基板1の他の一例を示す図である。
図4において、同図(a)は、電流検出用プリント基板2の平面図(基板の上から見た図)であり、同図(b)は、電圧検出用プリント基板3の平面図(基板の上から見た図)であり、同図(c)は、同図(a)及び(b)の右側面から見た図である。なお、図4(c)は、電力伝送用導体66及び絶縁体69も図示している。
もちろん、図2又は図3に示した電流・電圧検出器5と同様に、電流検出用プリント基板2及び電圧検出用プリント基板3を筐体51に収容して電流・電圧検出器とすることができる。
電流検出用プリント基板2に形成されるコイル状の配線10は、基板の表面層121に形成される配線パターン12と基板の裏面層122に形成される配線パターン13とを交互に接続することによってコイル状に形成されたものである。また、コイル状の配線10の両端を端部10a,10bとすると、両端部10a,10bは、それぞれ出力配線21,22を介して出力端子23,24に接続されている。出力端子24は基板の表面層121に設けられているので、スルーホールを用いて裏面層122に形成された出力配線22と導通させている。
電圧検出用プリント基板3に形成される電極部40は、基板の裏面層222に形成した導体パターンによって構成されている。この電極部40は、図1に示した電極部40と同様に、電力伝送用導体66の軸方向に平行な面形状になっている。
図5は、電流・電圧検出用プリント基板1の他の一例を示す図である。
この図5に示した電流・電圧検出用プリント基板1は、図1に示した電流・電圧検出用プリント基板1と異なり、カレントトランスとして機能するコイル状の配線10のコイルの巻き数が異なる。その他は、図1に示した電流・電圧検出用プリント基板1と同様である。もちろん、図2又は図3に示した電流・電圧検出器5と同様に、電流・電圧検出用プリント基板1を筐体51に収容して電流・電圧検出器とすることができる。なお、コイル状の配線10及び電極部40に関する符号は、説明を簡略化するために図1と類似するものは図1と同符号にしている。
図6は、電流・電圧検出用プリント基板1の他の一例を示す図である。
この図6に示した電流・電圧検出用プリント基板1は、図1に示した電流・電圧検出用プリント基板1と形状が異なり、図6(b)に示すように、電流・電圧検出用プリント基板1の断面(コイル状の配線10の軸方向の断面)が丸みを有する形状(円弧形状)となっている。その結果、コイル状の配線10の軸方向が電力伝送用導体66の周りに生じる磁界Iの方向と平行となっている。その他は、図1に示した電流・電圧検出用プリント基板1と同様である。また、便宜上、図6の電流・電圧検出用プリント基板1も図1と同符号を用いている。
図7は、電流・電圧検出用プリント基板1の他の一例を示す図である。
この図7に示した電流・電圧検出用プリント基板1は、図4に示した電流検出用プリント基板2及び電圧検出用プリント基板3と形状が異なり、図7(b)に示すように、電流検出用プリント基板2及び電圧検出用プリント基板3の断面(コイル状の配線10の軸方向の断面)が丸みを有する形状(円弧形状)となっている。その結果、コイル状の配線10の軸方向が電力伝送用導体66の周りに生じる磁界Iの方向と平行となっている。その他は、図4に示した電流・電圧検出用プリント基板1と同様である。また、便宜上、図7の電流・電圧検出用プリント基板1も図4と同符号を用いている。
しかし、電流・電圧検出用プリント基板が用いられる箇所は、これに限定されない。例えば、電流・電圧検出用プリント基板をインピーダンス整合装置内の整合回路と出力端との間に設けてもよい。また、負荷65の入力端や高周波電源装置61の出力端に設けてもよい。また、インピーダンス整合装置を用いない高周波電力供給システムで用いてもよい。また、高周波電力供給システムは、プラズマエッチング、プラズマCVDといった加工処理を行うものに限定されない。
2 電流検出用プリント基板
3 電圧検出用プリント基板
5 電流・電圧検出器
6 電流検出用プリント基板
7 電圧検出用プリント基板
10 コイル状の配線
11 スルーホール
12 配線パターン
13 配線パターン
14 接続配線
21 出力配線
22 出力配線
23 出力端子
24 出力端子
30 リング状の配線
40 電極部
41 出力端子
51 筐体
61 高周波電源装置
62 伝送線路
63 インピーダンス整合装置
64 負荷接続部
65 負荷(プラズマ処理装置)
66 電力伝送用導体
67 整合回路
69 絶縁体
70 電流・電圧検出器
71 筐体
72 遮蔽部
80 電流検出器
81 カレントトランス部
84 電流用変換回路
90 電圧検出器
91 コンデンサ部
93 電圧用変換回路
E 電界
I 磁界
Claims (9)
- 交流電力の伝送経路として用いる電力伝送用導体を流れる交流電流を検出するためのカレントトランスとして機能するコイル状の配線及び前記電力伝送用導体に生じる交流電圧を検出するためのコンデンサの電極として機能する電極部を有する電流・電圧検出用プリント基板であって、
前記電極部が、前記コイル状の配線よりも前記電力伝送用導体に近い位置に配置されているとともに、
前記コイル状の配線が、プリント基板の2つの層に形成された導体の部材と前記基板の2つの層を貫通する導体の部材とによって構成され、且つ、前記電力伝送用導体がプリント基板に隣接するように配置された場合に、前記コイル状の配線の軸方向が前記電力伝送用導体の軸方向に垂直になるように、且つ、前記基板の2つの層を貫通する導体の部材の軸方向が前記電力伝送用導体の軸方向に垂直になるように、前記コイル状の配線がプリント基板に配置された電流・電圧検出用プリント基板。 - 前記コイル状の配線の軸方向が前記電力伝送用導体の周りに生じる磁界の方向と平行である請求項1に記載の電流・電圧検出用プリント基板。
- 前記電極部は、前記電力伝送用導体から前記コイル状の配線の方を見たときに、前記コイル状の配線が隠れる大きさを有する請求項1又は2に記載の電流・電圧検出用プリント基板。
- 前記電極部と前記コイル状の配線とが、同一のプリント基板に形成されている請求項1〜3のいずれかに記載の電流・電圧検出用プリント基板。
- 前記電極部と前記コイル状の配線とが、別のプリント基板に形成されている請求項1〜3のいずれかに記載の電流・電圧検出用プリント基板。
- 前記電極部が、導体パターンによって形成されている請求項1〜5のいずれかに記載の電流・電圧検出用プリント基板。
- 前記電流・電圧検出用プリント基板の2つの層に形成された導体が配線パターンであり、前記基板の2つの層を貫通する導体がスルーホールである請求項1〜6のいずれかに記載の電流・電圧検出用プリント基板。
- 前記交流電力が、無線周波数帯域の周波数を有する交流電力である請求項1〜7のいずれかに記載の電流・電圧検出用プリント基板。
- 交流電力の伝送経路として用いる電力伝送用導体に生じる交流電圧及び前記電力伝送用導体を流れる交流電流を検出する電圧・電流検出器において、
前記請求項1〜8のいずれかに記載した電流・電圧検出用プリント基板と、
前記電流・電圧検出用プリント基板を内部に固定するように構成された導体製の筐体と、を備えた電圧・電流検出器。
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