JP2015192059A - 搬送システム - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の第1実施形態について説明する。なお、本実施形態の搬送システムは、半導体装置の生産工場等で被処理物を搬送するのに用いられると好適である。
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
20 搬送台車
31 原単位管理装置(第1記憶部)
32 製造工程管理フロー装置(第2記憶部)
33 生産装置管理装置(第3記憶部)
34 仕掛指示管理装置
40 搬送制御装置
Claims (3)
- 被処理物に対して所定の処理を行う複数の生産装置(10)と、
前記被処理物を搬送する複数の搬送台車(20)と、
前記被処理物に対する複数の処理工程と、前記複数の処理工程のそれぞれに用いる前記生産装置との関係を示す関係情報、および前記生産装置の設置フロアを示す設置フロア情報を記憶する第1記憶部(31)と、
前記被処理物の処理状況を示す処理情報と、前記被処理物を最初に処理する前記生産装置が設置されているフロアと異なるフロアを示す除外フロア情報を記憶する第2記憶部(32)と、
前記複数の生産装置と通信可能とされ、前記複数の生産装置の停止中を含む稼動状況を示す稼動情報を記憶する第3記憶部(33)と、
前記被処理物に対して処理を行う次の前記生産装置を決定する仕掛指示管理装置(34)と、
前記搬送台車の搬送を制御する搬送制御装置(40)と、を備え、
前記複数の生産装置は、同じ処理を行う前記生産装置がそれぞれのフロアに複数台ずつ設置されており、
前記仕掛指示管理装置は、前記第1記憶部から前記関係情報および前記設置フロア情報を取得し、前記第2記憶部から前記処理情報および前記除外フロア情報を取得し、前記第3記憶部から前記稼動情報を取得し、前記関係情報、前記処理情報、および前記稼動情報に基づいて、前記被処理物の次の処理工程および当該処理工程に用いることのできる停止中の前記生産装置を除いた処理可能な生産装置を抽出し、前記除外フロア情報に基づいて、前記処理可能な生産装置の中から前記異なるフロアに設置されている前記生産装置を優先的に除外して次の生産装置を決定することを特徴とする搬送システム。 - 前記仕掛指示管理装置は、前記処理可能な生産装置の中から前記異なるフロアに設置されている前記生産装置を優先的に除外した後に複数の前記生産装置がある場合、処理可能な状態であるが稼動していない待機中の前記生産装置を次の生産装置に決定することを特徴とする請求項1に記載の搬送システム。
- 前記仕掛指示管理装置は、前記処理可能な前記生産装置が全て前記異なるフロアに設置されている前記生産装置である場合、警告を発信することを特徴とする請求項1または2に記載の搬送システム。
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Citations (4)
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---|---|---|---|---|
JPH11121582A (ja) * | 1997-10-15 | 1999-04-30 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体ウェハ製造設備制御方法および半導体ウェハ製造設備 |
JP2010013250A (ja) * | 2008-07-04 | 2010-01-21 | Asyst Technologies Japan Inc | 搬送システム及びコンピュータプログラム |
JP2010040979A (ja) * | 2008-08-08 | 2010-02-18 | Asyst Technologies Japan Inc | 保管庫システム |
JP2013125788A (ja) * | 2011-12-13 | 2013-06-24 | Tokyo Electron Ltd | 生産効率化システム、生産効率化装置および生産効率化方法 |
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2014
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11121582A (ja) * | 1997-10-15 | 1999-04-30 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体ウェハ製造設備制御方法および半導体ウェハ製造設備 |
JP2010013250A (ja) * | 2008-07-04 | 2010-01-21 | Asyst Technologies Japan Inc | 搬送システム及びコンピュータプログラム |
JP2010040979A (ja) * | 2008-08-08 | 2010-02-18 | Asyst Technologies Japan Inc | 保管庫システム |
JP2013125788A (ja) * | 2011-12-13 | 2013-06-24 | Tokyo Electron Ltd | 生産効率化システム、生産効率化装置および生産効率化方法 |
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