JP2015190868A - X線測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】X線検出素子が一次元又は二次元に配列されたX線検出器アレイ13を、X線信号を検出する位置に配置し、X線信号を所定の積算時間をかけて検出位置で積算し、積算時間中に各X線検出素子で積算されたX線信号を強度分布信号として検出するX線測定装置1であって、検出位置においてX線検出素子の配列方向に沿ってX線検出器アレイ13を搖動する揺動機構30と、積算時間中に揺動機構を揺動させる揺動制御部21fとを備えた構成とする。
【選択図】図1
Description
仮に、素子群A、Bの全素子が正常素子であったとして、積算時間中に十分な回数(少なくとも積算時間中に5回以上の多数回、例えば10回)搖動したとする。そして静止状態で検出した積算時間経過後のピーク信号波形Aと、揺動状態で検出した積算時間経過後の検出信号ピーク信号波形Bとを比較すると、図6に示すように、揺動で均された結果、ピーク信号波形Bはピーク信号波形Aよりもピーク高さについては小さくなるとともに、ピーク幅については広がってブロードな波形となり、したがって分解能については悪化することになる。しかし、定性分析で求めるピークトップ位置や、定量分析で求めるピークの面積比については、素子群A、B全体で均された検出データから求めた場合でも静止状態でのピーク信号波形Aと同程度の正確さで求めることができる。
そして、これらの欠落部分に対し、補間処理を行って求めたピークトップ位置やピーク面積比の誤差については、均された信号であるピーク信号波形Bでの誤差の方が、ピーク信号波形Aでの誤差よりも小さくなるため、搖動させながら検出したときの方が小さい誤差で測定できることになる。
また、不良素子を含まないX線検出器アレイであっても、搖動することで上記のピーク位置やピーク面積比については十分正確に求めることができるので、不良素子存在の有無に関わらず搖動しながら検出することによって、測定者は不良素子の存在を意識することなくピーク位置やピーク面積比を正確に測定することが可能になる。
積算時間中の搖動回数が多数回(5回以上)であれば、1回の搖動で積算される信号量が信号全体に与える影響は十分に小さいため、1回以下の搖動は無視しても影響は小さいが、搖動回数が少数回(5回未満)であれば1回以下の搖動での信号量が信号全体に与える影響は無視できなくなる。
しかし、積算時間中の搖動回数が整数回になるように制御しさえすれば、各検出素子に照射されるX線は搖動回数の多少に関わらず偏ることなく照射できているので、たとえ搖動回数が少なくても(例えば1〜2回であっても)正確な測定が可能になる。
本発明によれば、X線回折装置が本来備えているゴニオメータおよびその回転駆動機構を利用して検出器アレイを揺動させることにより、積算時間中に搖動するための制御系(制御プログラム)を追加するだけでX線回折装置に本発明を実現することができる。
本発明によれば蛍光X線分析装置に本発明を実現することができる。
X線回折装置1は、X線源11と、スリット12と、ラインセンサ(X線検出器アレイ)13と、ゴニオメータ30と、X線回折装置1全体の制御を行う制御部(コンピュータ)20とを備える。
また、ラインセンサ13は、ゴニオメータ30の2θ軸に搭載されるとともに、測定試料Sは、ゴニオメータ30のθ軸に搭載されるようになっており、θ−2θ連動の駆動方法で、ゴニオメータ30の中心軸を中心として付設の回転駆動機構(図示略)によりそれぞれ回転されるようになっている。そして本実施形態では当該回転駆動機構を用いてラインセンサ13が検出位置で搖動運動できるようにしてある。
信号取得部21bは、入力装置22で設定した積算時間(例えば10秒)の間に、ラインセンサ13のN個の各検出素子が検出するX線強度信号Inをそれぞれ積算して取得する制御を行う。
画像表示制御部21cは、各検出素子により積算時間をかけて取得したX線強度信号Inを強度分布として画像表示する制御を行う。
回転制御部21dは、回折測定の際に試料Sとラインセンサ13とがθ−2θ連動の関係を保ちながら測定できるようにゴニオメータ30を回転する制御を行う。
補間処理部21eは、不良素子の存在による検出信号の欠落部分があるときに、その欠落部分を挟んだ両側の検出信号データに基づいて補間処理の演算を行う。
揺動が行われることによってX線信号が均される結果、欠落信号プロファイルは、ピーク中心付近の高さが本来のピーク高さよりも低くなり、ピークの裾野部分が本来のピーク高さよりも高くなり、全体的にブロードなピーク信号波形になる。したがって「固定測定モード」に比べて分解能が悪化している。
定量測定では、試料交換による光路変化によって、ピーク位置が少しずれることがある。ピーク位置がずれることにより、急峻なピーク形状が得られている「固定測定モード」では、同一含有量の測定した場合でも、補間処理で求めたピーク面積が大きく異なりやすい。
これに対し、図3(b)は「揺動測定モード」測定時のX線ピーク信号において、不良素子存在時に検出される欠落信号プロファイル(太い実線部分)と、補間処理で求めた補間プロファイル(細い実線部分)とを示した信号波形の模式図である。なお、図3(a)と同様に本来のピークプロファイル(点線部分)も併せて示してある。
揺動が行われることによってX線信号が均される結果、全体的にブロードなピーク信号波形になる。定量測定でのピーク面積比においても「固定測定モード」に比べて変動が小さくなっており、定量値の誤差を小さく抑えることができる。
例えば、図4は本発明の他の一実施形態である蛍光X線分析装置2を示す概略構成図である。蛍光X線分析装置2は、試料Sに向けてX線を照射するX線源41と、試料Sから発生した蛍光X線を通過させるスリット42と、スリット42を介して入射する蛍光X線を分光する分光結晶43と、多数の検出素子が一次元に配列され、分光結晶により波長ごとに分散された蛍光X線を波長ごとに検出するラインセンサ44(X線検出器アレイ)とを備えている。
そしてこの蛍光X線分析装置2では、ラインセンサ44を検出素子の配列方向に搖動させる搖動機構45が新たに設けられている。
これらは図1で説明したX線回折装置1におけるX線源制御部21a、信号取得部21b、画像表示制御部21c、補間処理部21e、搖動制御部21fと同様の制御を行うので説明を省略する。
2 蛍光X線分析装置
11、41 X線源
13、44 ラインセンサ(X線検出器アレイ)
20、50 制御部
30 ゴニオメータ(揺動機構)
21f、51f 搖動制御部
Claims (4)
- X線検出素子が一次元又は二次元に配列されたX線検出器アレイを、測定対象からのX線信号を検出する位置に配置し、前記X線信号を所定の積算時間をかけて前記検出位置で積算し、前記積算時間中に前記各X線検出素子で積算されたX線信号を強度分布信号として検出するX線測定装置であって、
前記検出位置において前記X線検出素子の配列方向に沿って前記X線検出器アレイを揺動する揺動機構と、
前記積算時間中に前記揺動機構を揺動させる揺動制御部とを備えたことを特徴とするX線測定装置。 - 前記揺動制御部は、積算時間に合わせて整数回の揺動が行われるように前記揺動機構を制御する請求項1に記載のX線測定装置。
- 前記X線測定装置がゴニオメータを備えたX線回折装置であり、前記X線検出器アレイには前記ゴニオメータの回転中心を中心として回転するための回転駆動機構が設けられており、
前記揺動機構は前記回転駆動機構が兼用される請求項1又は請求項2に記載のX線検出装置。 - 前記X線測定装置が分光素子により波長分散された蛍光X線のX線信号を、前記X線検出器アレイで検出する蛍光X線分析装置である請求項1又は請求項2に記載のX線検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014068561A JP6256152B2 (ja) | 2014-03-28 | 2014-03-28 | X線測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014068561A JP6256152B2 (ja) | 2014-03-28 | 2014-03-28 | X線測定装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015190868A true JP2015190868A (ja) | 2015-11-02 |
JP2015190868A5 JP2015190868A5 (ja) | 2016-08-25 |
JP6256152B2 JP6256152B2 (ja) | 2018-01-10 |
Family
ID=54425464
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014068561A Active JP6256152B2 (ja) | 2014-03-28 | 2014-03-28 | X線測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6256152B2 (ja) |
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