JP2015185570A - 電力用半導体装置 - Google Patents
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- H01L2224/48225—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
- H01L2224/48227—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
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Abstract
【課題】電力用半導体素子の電極層と配線部との間の電気的経路の機械的安定性を高めつつ、電気的経路を分散することで電流集中を緩和することができる電力用半導体装置を提供する。【解決手段】電力用半導体素子10は、導体から作られた電極層11を有する。第1配線部21は、導体から作られており、電力用半導体素子10から離れている。少なくとも1つの主ボンディングワイヤ30は電極層11上の一方端と第1配線部21上の他方端とを有する。少なくとも1つの副ボンディングワイヤ51は、主ボンディングワイヤ30を支持しており、電極層11および第1配線部21のいずれか一方の上に両端を有する。【選択図】図1
Description
本発明は、電力用半導体装置に関し、特に、ボンディングワイヤを有する電力用半導体装置に関するものである。
半導体モジュール内部における配線のためにしばしばボンディングワイヤが用いられる。ボンディングワイヤは、銅、銀または金などの金属からなり、たとえば100〜500μm程度の線径(直径)を有する。
配線されたボンディングワイヤのワイヤループ高さは、半導体装置の高さ寸法へ影響し得る。よって半導体装置の大きさの観点でワイヤループ高さが低いことが望まれる場合が多い。一方で、高さの低いワイヤループが用いられる場合は、周囲の異電位の箇所への望ましくない過度の接近、または接触の懸念が生じる。よってこれに対処する方法が検討されている。
特開2003−31605号公報(特許文献1)によれば、半導体チップにワイヤボンドを施して半導体モジュールを製造する際、ワイヤループとループ近傍にある部品との接触を回避し、望ましいワイヤループ高さを確保するために、ワイヤループを下支えする別のワイヤループ(枕木ワイヤとも称されている)が先行して形成される。これにより、ワイヤループとループ近傍にある部品との接触を回避し、望ましいワイヤループ高さを確保することができる。
上記公報に記載の技術によれば、枕木ワイヤによってボンディングワイヤの機械的安定性が高められる。しかしながらボンディングワイヤに求められる性能は機械的安定性だけではない。
特に、半導体装置が電力用半導体装置(パワーモジュール)である場合、電力用半導体装置によって制御される電流(主電流)が流れるボンディングワイヤには、大きな電流が流れる。このように大きな電流が扱われる場合は電流の局所的集中が問題となり得る。このためパワーモジュールにおいては、主電流のために、1つのみのボンディングワイヤではなく、並列に配置された複数のボンディングワイヤが用いられることが多い。たとえば、パワーMOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)のソース電極パッドには、1本ではなく数本のボンディングワイヤが接合されることが多い。しかしながら上記のように並列配置されるボンディングワイヤの数およびその配置には限度があることから、これに代わり得る、またはこれと併用され得る方法が求められている。
本発明は以上のような課題を解決するためになされたものであり、その目的は、電力用半導体素子の電極層と配線部との間の電気的経路の機械的安定性を高めつつ、電気的経路を分散することで電流集中を緩和することができる電力用半導体装置を提供することである。
本発明の電力用半導体装置は電力用半導体素子と第1配線部と少なくとも1つの主ボンディングワイヤと少なくとも1つの副ボンディングワイヤとを有する。電力用半導体素子は、導体から作られた電極層を有する。第1配線部は、導体から作られており、電力用半導体素子から離れている。少なくとも1つの主ボンディングワイヤは電極層上の一方端と第1配線部上の他方端とを有する。少なくとも1つの副ボンディングワイヤは、主ボンディングワイヤを支持しており、電極層および第1配線部のいずれか一方の上に両端を有する。
本発明の電力用半導体装置によれば、電力用半導体素子の電極層と配線部とを電気的に接続する主ボンディングワイヤが、副ボンディングワイヤに支持される。これにより、電力用半導体素子の電極層と配線部との間の電気的経路の機械的安定性が高められる。よって電力用半導体素子および配線部の間の電気的経路としての主ボンディングワイヤと、周囲の異電位の箇所との、望ましくない接近を抑制することができる。
また電力用半導体素子の電極層と配線部との間の電気的経路が、主ボンディングワイヤだけでなく副ボンディングワイヤによっても構成される。これにより電気的経路が分散される。よって、本電力用半導体装置における電流集中を緩和することができる。
以上のように、電力用半導体素子の電極層と配線部との間の電気的経路の機械的安定性を高めつつ、電気的経路を分散することで電流集中を緩和することができる。
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態について説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰返さない。
(実施の形態1)
図1(A)は、本実施の形態のパワーモジュール91(電力用半導体装置)の構成を概略的に示す部分平面図である。図1(B)は図1(A)の線IB−IBに沿う概略部分断面図である。なお図を見易くするために、封止部84はその表面のみを示している。
図1(A)は、本実施の形態のパワーモジュール91(電力用半導体装置)の構成を概略的に示す部分平面図である。図1(B)は図1(A)の線IB−IBに沿う概略部分断面図である。なお図を見易くするために、封止部84はその表面のみを示している。
パワーモジュール91は、電力用半導体素子10と、配線パターン20と、複数の主ボンディングワイヤ30と、副ボンディングワイヤ51と、はんだ部81と、絶縁基板82と、ベース層83と、封止部84とを有する。
配線パターン20は、金属などの導体から作られており、配線部21(第1配線部)および実装部29を有する。配線部21には直線部L2(第2直線部)を有する縁が設けられている。
電力用半導体素子10は配線パターン20の実装部29上に、はんだ部81を用いて実装されている。配線部21は電力用半導体素子10から離れている。
電力用半導体素子10は、その表面部12上に、金属などの導体から作られた電極パッド11(電極層)を有する。電極パッド11には直線部L1(第1直線部)を有する縁が設けられている。直線部L1およびL2は互いに向き合っている。本実施の形態においては、直線部L1およびL2は互いに平行である。
電力用半導体素子10は、典型的には150℃以上で動作し得るパワーデバイスであり、たとえば、MOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)などのMISFET(Metal Insulator Semiconductor Field Effect Transistor)、IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)、またはダイオードである。電極パッド11は、ゲートパッドのような信号電流用パッドではなく、主電流用パッドである。上記の電力用半導体素子の例においては電極パッド11は、ソース電極パッド、ドレイン電極パッド、エミッタ電極パッド、コレクタ電極パッド、アノード電極パッドまたはカソード電極パッドであり、典型的には、ソース電極パッド、エミッタ電極パッドまたはアノード電極パッドである。
主ボンディングワイヤ30は主ワイヤ30a〜30dを有する。主ワイヤ30a〜30dの各々は、電極パッド11上の一方端(図中、右端)と配線部21上の他方端(図中左端)とを有する。
副ボンディングワイヤ51は電極パッド11上に両端を有する。副ボンディングワイヤ51は主ボンディングワイヤ30を支持している。副ボンディングワイヤ51は平面レイアウト(図1(A))において主ワイヤ30a〜30dの各々と交差しており、図中では直交している。副ボンディングワイヤ51は平面レイアウトにおいて直線部L1およびL2の少なくともいずれかに沿って延びており、本実施の形態においては直線部L1およびL2の各々に沿って延びている。
封止部84の材料は絶縁体であり樹脂またはゲルを用い得る。封止部84がゲルの場合、これを収めるためのケースが設けられてもよい。
本実施の形態によれば、電力用半導体素子10の電極パッド11と配線部21とを電気的に接続する主ボンディングワイヤ30が、副ボンディングワイヤ51に支持される。これにより、電極パッド11と配線部21との間の電気的経路の機械的安定性が高められる。よって電極パッド11および配線部21の間の電気的経路としての主ボンディングワイヤ30と、周囲の異電位の箇所との、望ましくない接近を抑制することができる。たとえば、主ボンディングワイヤ30が電力用半導体素子10の表面部12の縁に接近することを抑制することができる。
また電極パッド11と配線部21との間の電気的経路が、主ボンディングワイヤ30だけでなく副ボンディングワイヤ51によっても構成される。これにより電気的経路が分散される。よって、パワーモジュール91における電流集中を緩和することができる。特に、本実施の形態のように副ボンディングワイヤ51が電極パッド11上の両端を有する場合は、配線部21から電極パッド11への電気的経路が、主ボンディングワイヤ30および副ボンディングワイヤ51が互いに接触する箇所において分岐して、主ボンディングワイヤ30の他方端(図中、右端)だけでなく副ボンディングワイヤの両端へと延びる。つまり配線部21からの電気的経路が接続される箇所が電極パッド11上においてより分散される。これにより電力用半導体素子10の電極パッド11における局所的な電流集中が緩和される。
以上のように、電力用半導体素子10の電極パッド11と配線部21との間の電気的経路の機械的安定性を高めつつ、電気的経路を分散することで電流集中を緩和することができる。この結果、たとえば、パワーモジュール91の製造過程における歩留まりが向上し得る。またパワーモジュール91を長寿命化し得る。また電流損失の低減による省エネルギーが実現され得る。
また電力用半導体素子10は、典型的には150℃以上で動作し得るパワーデイバスであり、パワーモジュール91には比較的大きな熱膨張収縮が生じる。この熱膨張収縮には、主ボンディングワイヤ30の存在によって、方向性が生じやすい。特に、図1(A)に示すように、主ワイヤ30a〜30dが並行して配置されると、パワーモジュール91において主ワイヤ30a〜30dの存在、言い換えれば主ワイヤ30a〜30dの各々の延在方向(図1(A)における横方向)の影響の存在、によって生じる熱膨張収縮の方向性がより問題となりやすい。本実施の形態によれば、この方向性を、主ワイヤ30a〜30dとは異なる方向に延びる副ボンディングワイヤ51の存在によって緩和することができる。これによりパワーモジュール91内の応力を緩和することができる。
電力用半導体素子10は、炭化珪素半導体素子およびガリウムヒ素半導体素子のいずれかであってもよい。半導体材料として最も一般的なシリコン(Si)に比して炭化珪素(SiC)およびガリウムヒ素(GaAs)は大きな線膨張係数を有する。典型的な値を例示すると、Siが2.4×10-6/Kであるのに対して、SiCは4.5×10-6/K、またGaAsは6.86×10-6/Kである。このため炭化珪素半導体素子またはガリウムヒ素半導体素子が用いられる場合、パワーモジュール91内の応力を緩和することが特に求められる。よって本実施の形態が適用されることで、特に大きな利点が得られる。
また主ボンディングワイヤ30が1つの主ワイヤではなく主ワイヤ30a〜30dを含むのは、主ボンディングワイヤ30が、信号電流のような小電流の経路ではなく、電力用半導体素子10によって制御対象とされる主電流の電気的経路であるためである。このように大電流を扱う場合、副ボンディングワイヤ51による電流経路の分散の利点が特に大きい。
副ボンディングワイヤ51は平面レイアウト(図1(A))において主ワイヤ30a〜30dの各々と交差している。これにより1つの副ボンディングワイヤ51が複数の主ワイヤ30a〜30dを支持することができる。
主ボンディングワイヤ30は、平面レイアウト(図1(A))において、直線部L1およびL2の少なくともいずれかにおおよそ直交するように設けられることが多い。よって本実施の形態のように副ボンディングワイヤ51が平面レイアウトにおいて直線部L1およびL2の少なくともいずれかに沿って延びている場合、主ボンディングワイヤ30と副ボンディングワイヤ51とをおおよそ直交させることができる。この結果、電力用半導体素子10の電極パッド11と配線部21との間の電気的経路の機械的安定性がより高められる。
副ボンディングワイヤ51の硬度は主ボンディングワイヤ30の硬度よりも小さくてもよい。この場合、副ボンディングワイヤ51が、電気的経路としてより重要な主ボンディングワイヤ30を傷つけにくくなる。
副ボンディングワイヤ51の線径は主ボンディングワイヤ30の線径と異なってもよい。この場合、パワーモジュール91において求められる主ボンディングワイヤ30の延在状態、特にワイヤループの湾曲状態、を、副ボンディングワイヤ51の線径によって調整することができる。
主ボンディングワイヤ30および副ボンディングワイヤ51は、同じ材料から作られかつ同じ線径を有してもよい。この場合、主ボンディングワイヤ30および副ボンディングワイヤ51を形成する工程が類似のものとなる。よって主ボンディングワイヤ30および副ボンディングワイヤ51をより容易に形成することができる。
なお本実施の形態においては、配線パターン20と絶縁基板82とベース層83とを有する回路基板が用いられているが、これに代わる構成が用いられてもよい。たとえばリードフレームが用いられてもよく、この場合、リードフレームの一部が第1配線部に対応する。また直線部L1およびL2は、必ず設けられなければならない形状ではない。また電流の大きさによっては、複数の主ボンディングワイヤ30に代わり1つの主ボンディングワイヤ30が用いられてもよい。
(実施の形態2)
図2(A)は、本実施の形態のパワーモジュール92(電力用半導体装置)の構成を概略的に示す部分平面図である。図2(B)は図2(A)の線IIB−IIBに沿う概略部分断面図である。なお図を見易くするために、封止部84はその表面のみを示している。
図2(A)は、本実施の形態のパワーモジュール92(電力用半導体装置)の構成を概略的に示す部分平面図である。図2(B)は図2(A)の線IIB−IIBに沿う概略部分断面図である。なお図を見易くするために、封止部84はその表面のみを示している。
パワーモジュール92(電力用半導体装置)は、実施の形態1における副ボンディングワイヤ51(図1(A)および(B))の代わりに、少なくとも1つの副ボンディングワイヤ(52)を有する。副ボンディングワイヤ52は配線部21上に両端を有する。副ボンディングワイヤ(52)は平面レイアウト(図2(A))において主ワイヤ30a〜30dの各々と交差しており、図中では直交している。副ボンディングワイヤ52は平面レイアウトにおいて直線部L1およびL2の少なくともいずれかに沿って延びており、本実施の形態においては直線部L1およびL2の各々に沿って延びている。
なお、上記以外の構成については、上述した実施の形態1の構成とほぼ同じであるため、同一または対応する要素について同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。
本実施の形態によっても、実施の形態1と同様、電力用半導体素子10の電極パッド11と配線部との間の電気的経路の機械的安定性を高めつつ、電気的経路を分散することで電流集中を緩和することができる。またパワーモジュール92内の応力を緩和することができる。
また本実施の形態においては特に、副ボンディングワイヤ52が、電極パッド11上ではなく配線部21上の両端を有する。よって、副ボンディングワイヤ52の両端を電極パッド11の大きさとは無関係に配置することができる。このことは、電極パッド11の大きさが小さい場合に特に有利である。
副ボンディングワイヤ52は平面レイアウト(図1(A))において主ワイヤ30a〜30dの各々と交差している。これにより、1つの副ボンディングワイヤ52が複数の主ワイヤを支持することができる。
本実施の形態のように副ボンディングワイヤ52が平面レイアウトにおいて直線部L1およびL2の少なくともいずれかに沿って延びている場合、主ボンディングワイヤ30と副ボンディングワイヤ52とをおおよそ直交させることができる。この結果、電力用半導体素子10の電極パッド11と配線部21との間の電気的経路の機械的安定性がより高められる。
副ボンディングワイヤ52の線径および材料については、実施の形態1と同様の選択によって、ほぼ同様の効果を得ることができる。
なお本実施の形態の構成に加えてさらに、実施の形態1の副ボンディングワイヤ51が設けられてもよい。
(実施の形態3)
図3(A)は、本実施の形態のパワーモジュール93(電力用半導体装置)の構成を概略的に示す部分平面図である。図3(B)は図3(A)の線IIIB−IIIBに沿う概略部分断面図である。なお図を見易くするために、封止部84はその表面のみを示している。
図3(A)は、本実施の形態のパワーモジュール93(電力用半導体装置)の構成を概略的に示す部分平面図である。図3(B)は図3(A)の線IIIB−IIIBに沿う概略部分断面図である。なお図を見易くするために、封止部84はその表面のみを示している。
パワーモジュール93(電力用半導体装置)は配線パターン20に代わり配線パターン20Mを有する。配線パターン20Mは配線パターン20の構成に加えて配線部22(第2配線部)を有する。配線部22は配線部21および実装部29の間に設けられている。ここで実装部29上に電極パッド11が位置することから、言い換えれば、配線部22は配線部21および電極パッド11の間に設けられている。配線部22は、主ボンディングワイヤ30から離れており、主ボンディングワイヤ30によって跨がれている。
なお、上記以外の構成については、上述した実施の形態2の構成とほぼ同じであるため、同一または対応する要素について同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。
本実施の形態によっても、実施の形態2と同様、電力用半導体素子10の電極パッド11と配線部21との間の電気的経路の機械的安定性を高めつつ、電気的経路を分散することで電流集中を緩和することができる。またパワーモジュール92内の応力を緩和することができる。
また本実施の形態においては特に、電力用半導体素子10および配線部21の間の電気的経路としての主ボンディングワイヤ30と、配線部22との、望ましくない接近を抑制することができる。
(実施の形態4)
図4(A)は、本実施の形態のパワーモジュール94(電力用半導体装置)の構成を概略的に示す部分平面図である。図4(B)は図4(A)の線IVB−IVBに沿う概略部分断面図である。なお図を見易くするために、封止部84はその表面のみを示している。
図4(A)は、本実施の形態のパワーモジュール94(電力用半導体装置)の構成を概略的に示す部分平面図である。図4(B)は図4(A)の線IVB−IVBに沿う概略部分断面図である。なお図を見易くするために、封止部84はその表面のみを示している。
パワーモジュール94(電力用半導体装置)は、実施の形態1のものと同様の副ボンディングワイヤ51を有する。なお、これ以外の構成については、上述した実施の形態3の構成とほぼ同じであるため、同一または対応する要素について同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。
本実施の形態によれば、副ボンディングワイヤ51が設けられることによって、実施の形態3で説明した効果をより確実に得ることができる。なお副ボンディングワイヤ52は、不要な場合、省略されてもよい。
(実施の形態5)
図5(A)は、本実施の形態のパワーモジュール95(電力用半導体装置)の構成を概略的に示す部分平面図である。図5(B)は図5(A)の線VB−VBに沿う概略部分断面図である。なお図を見易くするために、封止部84はその表面のみを示している。
図5(A)は、本実施の形態のパワーモジュール95(電力用半導体装置)の構成を概略的に示す部分平面図である。図5(B)は図5(A)の線VB−VBに沿う概略部分断面図である。なお図を見易くするために、封止部84はその表面のみを示している。
パワーモジュール95(電力用半導体装置)は、副ボンディングワイヤ51(図4(A)および(B))の代わりに、少なくとも1つの副ボンディングワイヤ52Rを有する。本実施の形態においては副ボンディングワイヤ52Rは副ワイヤ52a〜52cを有する。副ワイヤ52aは、主ワイヤ30a〜30cのうち主ワイヤ30aのみを支持している。副ワイヤ52bは、主ワイヤ30a〜30cのうち主ワイヤ30bのみを支持している。
またパワーモジュール95は、副ボンディングワイヤ52(図4(A)および(B))の代わりに、少なくとも1つの副ボンディングワイヤ51Bを有する。副ボンディングワイヤ51Bは、平面レイアウトにおいて、両端だけでなく、主ワイヤ30aおよび30bの間と主ワイヤ30bおよび30cの間とにボンディングポイントBPを有する。副ボンディングワイヤ51Bは平面レイアウトにおいて直線部L1およびL2の少なくともいずれかに沿って延びており、本実施の形態においては直線部L1およびL2の各々に沿って延びている。
なお、上記以外の構成については、上述した実施の形態4の構成とほぼ同じであるため、同一または対応する要素について同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。
本実施の形態によれば、副ボンディングワイヤ52Rに含まれる副ワイヤ52a〜52cの各々は、副ボンディングワイヤ(図(A)および(B))に比して短くすることができる。よって副ワイヤ52a〜52cの剛性を高めることができる。よって電力用半導体素子10の電極パッド11と配線部21との間の電気的経路の機械的安定性がより高められる。
また副ボンディングワイヤ51Bは、その両端以外にもボンディングポイントBPを有するので、より高い剛性を有する。よって電力用半導体素子10の電極パッド11と配線部21との間の電気的経路の機械的安定性がより高められる。
また副ボンディングワイヤ51Bは、副ボンディングワイヤ52Rに比して、直線部L1およびL2の少なくともいずれかに沿って延ばしやすい。よって、主ボンディングワイヤ30と副ボンディングワイヤ51Bとをおおよそ直交させやすい。この結果、電力用半導体素子10の電極パッド11と配線部21との間の電気的経路の機械的安定性がより高められる。
副ボンディングワイヤ51Bおよび52Rの線径および材料については、実施の形態1と同様の選択によって、ほぼ同様の効果を得ることができる。
なお副ボンディングワイヤ51Bのようにその両端以外にもボンディングポイントBPを有するワイヤは配線部21上に配置されてもよい。また副ワイヤ52a〜52cのような副ボンディングワイヤ52Rは電極パッド11上に配置されてもよい。
なお、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。
L1 直線部(第1の直線部)、L2 直線部(第2の直線部)、BP ボンディングポイント、10 電力用半導体素子、11 電極パッド(電極層)、20,20M 配線パターン、21 配線部(第1の配線部)、22 配線部(第2の配線部)、29 実装部、30 主ボンディングワイヤ、51,51B,52,52R 副ボンディングワイヤ、30a〜30d 主ワイヤ、52a〜52c 副ワイヤ、84 封止部、91〜95 パワーモジュール(電力用半導体装置)。
Claims (11)
- 導体から作られた電極層を有する電力用半導体素子と、
導体から作られ、前記電力用半導体素子から離れた第1配線部と、
前記電極層上の一方端と前記第1配線部上の他方端とを有する少なくとも1つの主ボンディングワイヤと、
前記主ボンディングワイヤを支持し、前記電極層および前記第1配線部のいずれか一方の上に両端を有する少なくとも1つの副ボンディングワイヤと
を備える、電力用半導体装置。 - 前記少なくとも1つの主ボンディングワイヤは第1および第2主ワイヤを含む、請求項1に記載の電力用半導体装置。
- 前記少なくとも1つの副ボンディングワイヤは平面レイアウトにおいて前記第1および第2主ワイヤと交差している、請求項2に記載の電力用半導体装置。
- 前記少なくとも1つの副ボンディングワイヤは、前記第1および第2主ワイヤのうち一方のみを支持する第1副ワイヤと他方のみを支持する第2副ワイヤとを含む、請求項2に記載の電力用半導体装置。
- 前記少なくとも1つの副ボンディングワイヤは、平面レイアウトにおいて前記第1および第2主ワイヤの間にボンディングポイントを有するボンディングワイヤを含む、請求項2に記載の電力用半導体装置。
- 前記電力用半導体素子の前記電極層には第1直線部を有する縁が設けられ、前記第1配線部には前記第1直線部に向き合う第2直線部を有する縁が設けられ、前記副ボンディングワイヤは平面レイアウトにおいて前記第1直線部および前記第2直線部の少なくともいずれかに沿って延びている、請求項1から5のいずれか1項に記載の電力用半導体装置。
- 前記電力用半導体素子の前記電極層および前記第1配線部の間に設けられ前記主ボンディングワイヤによって跨がれる第2配線部をさらに備える、請求項1から6のいずれか1項に記載の電力用半導体装置。
- 前記副ボンディングワイヤの硬度は前記主ボンディングワイヤの硬度よりも小さい、請求項1から7のいずれか1項に記載の電力用半導体装置。
- 前記副ボンディングワイヤの線径は前記主ボンディングワイヤの線径と異なる、請求項1から8のいずれか1項に記載の電力用半導体装置。
- 前記主ボンディングワイヤおよび前記副ボンディングワイヤは、同じ材料から作られかつ同じ線径を有する、請求項1から7のいずれか1項に記載の電力用半導体装置。
- 前記電力用半導体素子は、炭化珪素半導体素子およびガリウムヒ素半導体素子のいずれかである、請求項1から10のいずれか1項に記載の電力用半導体装置。
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