JP2015185528A - ステージ装置および電子線装置 - Google Patents
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Abstract
Description
特許文献1 特開2012−64567号公報
特許文献2 特開2010−272586号公報
特許文献3 特開2003−115274号公報
特許文献4 特開平10−233434号公報
特許文献5 特開2007−300142号公報
Q1=C1(Vos+V1−Va)
Q2=C2(Va−Vos+V2)
試料200にチャージアップが無ければ、−Q1+Q2=0となる。従って、
−C1(Vos+V1−Va)+C2(Va−Vos+V2)=0
つまり、
Va=Vos+(C1V1−C2V2)/(C1+C2)・・・式(1)
となる。なお、C1=C2、V1=V2の場合、Va=Vosとなる。
Claims (11)
- 電子線により処理される試料を載置するステージ装置であって、
絶縁基板と、
前記絶縁基板の表面に露出して設けられたチャック用電極と、
前記絶縁基板の前記表面に設けられ、前記試料と前記チャック用電極との間に空間ができるように、前記試料を支持する複数の支持部と
を備えるステージ装置。 - 前記絶縁基板の前記表面において、前記チャック用電極を囲んで設けられたガードリングを更に備える
請求項1に記載のステージ装置。 - 前記チャック用電極は、互いに分離した正側電極および負側電極を有し、
前記ステージ装置は、
前記正側電極の電位を設定する正側電源と、
前記負側電極の電位を設定する負側電源と
を更に備える請求項2に記載のステージ装置。 - 前記複数の支持部において前記試料と接触する先端部が、絶縁材料で形成された
請求項2または3に記載のステージ装置。 - 前記複数の支持部は、導電材料で形成され、
前記ステージ装置は、前記複数の支持部の電位を制御する支持部電位制御部を更に備える
請求項3に記載のステージ装置。 - 前記正側電源および前記負側電源は直列に接続され、
前記正側電源および前記負側電源の接続点がフローティングである
請求項5に記載のステージ装置。 - 前記支持部電位制御部は、前記ガードリングの電位を、前記複数の支持部の電位とあわせて制御する
請求項5または6に記載のステージ装置。 - 前記正側電源および前記負側電源は直列に接続され、
前記ステージ装置は、前記正側電源および前記負側電源の接続点における基準電位を制御する基準電源を更に備える
請求項3に記載のステージ装置。 - 前記基準電源は、
前記試料と前記正側電極との間の容量、および、前記試料と前記負側電極との間の容量に基づいて、前記基準電位を制御する
請求項8に記載のステージ装置。 - 請求項1から9のいずれか一項に記載のステージ装置と、
前記試料に電子線を照射する照射部と
を備える電子線装置。 - 前記電子線装置は、CD−SEMである
請求項10に記載の電子線装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024100897A1 (ja) * | 2022-11-11 | 2024-05-16 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子ビーム装置 |
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2014
- 2014-03-26 JP JP2014063986A patent/JP6225055B2/ja active Active
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