JP2015182351A - 積層フィルムの製造方法 - Google Patents

積層フィルムの製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2015182351A
JP2015182351A JP2014061595A JP2014061595A JP2015182351A JP 2015182351 A JP2015182351 A JP 2015182351A JP 2014061595 A JP2014061595 A JP 2014061595A JP 2014061595 A JP2014061595 A JP 2014061595A JP 2015182351 A JP2015182351 A JP 2015182351A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
valve
oxygen concentration
mixed gas
coating layer
laminated film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Abandoned
Application number
JP2014061595A
Other languages
English (en)
Inventor
諭司 國安
Satoshi Kuniyasu
諭司 國安
裕介 池山
yusuke Ikeyama
裕介 池山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Corp
Original Assignee
Fujifilm Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujifilm Corp filed Critical Fujifilm Corp
Priority to JP2014061595A priority Critical patent/JP2015182351A/ja
Publication of JP2015182351A publication Critical patent/JP2015182351A/ja
Abandoned legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Abstract

【課題】長時間連続製造(例えば24時間以上)により積層フィルムを製造しても積層フィルムの長手方向における層間密着力及び耐擦傷性の両方にバラツキが発生しないようにできる積層フィルムの製造方法を提供する。
【解決手段】連続搬送される帯状のウエブ12上に塗設された光硬化性塗布層に紫外線照射装置26の照射面30Cから紫外線を照射して光硬化塗布層を硬化させる硬化工程と、硬化後の光硬化性塗布層の上に別の塗布層を塗設して積層する積層工程と、を少なくとも含む積層フィルムの製造方法において、硬化工程では、第1バルブ74A,74Bにより流量調整する圧縮エアと、第2バルブ62A,62Bにより流量調整する窒素ガスとを合流させて0.01〜2.0%の範囲の目標酸素濃度に混合した混合ガスを調製して紫外線照射空間34に供給し、供給する混合ガスの少なくとも24時間当たりの酸素濃度の変動率を目標酸素濃度に対して±5%以内にする。
【選択図】図5

Description

本発明は積層フィルムの製造方法に係り、特に光硬化性塗布層の上に別の塗布層を塗設して積層フィルムを製造する際の光硬化性塗布層の硬化技術に関する。
近年、液晶表示装置に用いられる光学フィルムとしては、液晶セルに位相差板として使用される光学補償フィルムや、液晶表示装置への映り込み、眩しさ等を防止する反射防止フィルム、防眩性フィルム等の光学フィルムが代表的である。
これらの光学フィルムは、異なる性質の塗布層を複数積層することによって目的の機能を向上させたり、あるいは1つの光学フィルムに各種の機能を備えたりすることができる。例えば、反射防止フィルムの場合、連続搬送される帯状の支持体(例えば可撓性のプラスチックフィルム)の表面に塗設したハードコート層の上に、屈折率の異なる複数の反射防止層を塗設することによって耐擦傷性の高い反射防止フィルムを製造することができる。
ハードコート層は光硬化性塗布層に紫外線を照射することにより硬化して形成する方法が一般的である。この硬化には紫外線(UV)照射装置が採用されることが多い。具体的には、アクリル基など紫外線硬化性の官能基を持つモノマーを含有する塗布液を支持体に塗布し光硬化性塗布層を形成する。その後、光硬化性塗布層を紫外線により重合させて高分子化することによりハードコート層が形成される。ここで、光硬化性塗布層へ紫外線照射を行う際に酸素が存在すると、重合開始剤より発生するラジカルを消失してしまう。
したがって、紫外線照射して光硬化性塗布層の硬化を促進するには特許文献1のように、紫外線照射空間の酸素濃度をできるだけ下げることが重要になる。具体的には、紫外線照射空間をケーシングで覆い、ケーシングの中に不活性ガス(例えば窒素ガス)を導入して紫外線照射空間の酸素濃度をできるだけ小さくすることが好ましいとされている。
しかしながら、このように光硬化性塗布層を硬化させてハードコート層を形成すると、表面の残存二重結合量が非常に少ないため、ハードコート層の上に塗設する別の塗布層(例えば反射防止層)との密着力が低下し、積層した後で反射防止層がハードコート層から剥離し易くなるという問題がある。
このような背景から、本出願人は、紫外線照射空間の酸素濃度を0.05〜1.0%の範囲に制御することによって、製造された積層フィルムの耐擦傷性と層間密着力との両方を向上させる硬化方法及び装置を提案した(特許文献2)。また、特許文献2によれば、紫外線照射空間の酸素濃度を1時間実測することによって目標酸素濃度に対するバラツキ幅を調べ、良い結果になったとされている。
特開平11−104562号公報 特開2006−95442号公報
しかしながら、特許文献2の硬化方法及び装置を本発明の積層フィルムの製造方法に適用する上で、特許文献2の記載よりも長時間の連続製造においては、1時間程度の連続運転では発現しづらく且つ実際の連続長時間製造を考慮した場合に避けては通れない新たな課題があることが分かった。
即ち、特許文献2に基づいて、紫外線照射空間の酸素濃度が0.05〜1.0%の範囲になる空気流量と不活性ガスとのそれぞれの流量調整バルブを設定し、実際の製造に即した1時間を超える長時間連続製造(例えば24時間連続製造)を行った結果、製造された積層フィルムの長手方向(支持体の搬送方向)において、層間密着力及び耐擦傷性に許容できないバラツキが発生した。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、長時間連続製造(例えば24時間以上)により積層フィルムを製造しても、積層フィルムの長手方向における層間密着力及び耐擦傷性の両方にバラツキが発生しないようにできる積層フィルムの製造方法を提供することを目的とする。
上述の目的を達成するために、本発明に係る積層フィルムの製造方法は、連続搬送される帯状の支持体上に塗設された光硬化性塗布層に紫外線照射装置の照射面から紫外線を照射して光硬化性塗布層を硬化させる硬化工程と、硬化後の光硬化性塗布層の上に別の塗布層を塗設して積層する積層工程と、を少なくとも含む積層フィルムの製造方法において、硬化工程では、第1バルブにより流量調整する酸素含有ガスと、第2バルブにより流量調整する不活性ガスとを合流させて0.01〜2.0%の範囲の目標酸素濃度に混合した混合ガスを調製して照射面と光硬化性塗布層との間の紫外線照射空間に供給し、供給する混合ガスの少なくとも24時間当たりの酸素濃度の変動率を目標酸素濃度に対して±5%以内にする。
ここで、「塗設」とは、塗布操作により支持体上に塗布層を設けることを言う。また、「供給する混合ガスの少なくとも24時間当たりの酸素濃度の変動率を目標酸素濃度に対して±5%以内にする」とは、積層フィルムの製造を例えば3日(72時間)連続製造した場合、製造開始から製造終了までの間から任意に切り取った少なくとも24時間における混合ガスの酸素濃度の変動率が目標酸素濃度に対して±5%以内のバラツキ幅に収まっていることをいう。また、酸素含有ガスとは、例えば空気を言い、酸素100%の場合も含む。
本発明者は、積層フィルム製造の連続製造開始時に酸素含有ガスの第1バルブと不活性ガスの第2バルブとのバルブ開度を調整して、紫外線照射空間に供給する混合ガスの酸素濃度を0.01〜2.0%の範囲の目標酸素濃度に設定し、且つ混合ガスの供給量が一定量に管理したにも係わらず、1時間以上の長時間連続製造を行うと製造された積層フィルムの長手方向において層間密着力及び耐擦傷性にバラツキが発生する問題に直面し、その原因を鋭意検討した。
その結果、本発明のように混合ガスの酸素濃度を0.01〜2.0%の範囲の微少濃度でバルブ制御しなくてはならない場合、第1バルブ及び第2バルブが設置されたバルブ周囲の温度環境の経時変化によるバルブ自体の僅かな収縮又は膨張がバルブ開度の微少変動を招き、混合ガスの酸素濃度が目標酸素濃度に対して±5%の振れ幅を超えてハンチングすることをつきとめた。
即ち、昼間と夜間の1日(24時間)の外気温度の変動サイクルに起因するバルブ周囲の温度環境が酸素濃度のハンチングの主たる原因であることが分かった。特に、微小流量領域のバルブ制御を必要とする酸素含有ガスの第1バルブは、外気温度の影響を受け易く、混合ガスの酸素濃度ハンチングの大きな原因になっていることが分かった。
そして、このように、バルブが設置された温度環境の変動による混合ガスの酸素濃度の経時的なハンチングが、フィルム長手方向における光硬化性塗布層の硬化度合いを変動させ、層間密着力や耐擦傷性にバラツキを発生させる原因であるとの知見を得た。
本発明は、上記知見に基づいて成されたものであり、第1バルブにより流量調整する酸素含有ガスと、第2バルブにより流量調整する不活性ガスとを合流させて0.01〜2.0%の範囲の目標酸素濃度に混合した混合ガスを調製して照射面と光硬化性塗布層との間の紫外線照射空間に供給し、供給する混合ガスの少なくとも24時間当たりの酸素濃度の変動率を目標酸素濃度に対して±5%以内にした。
これにより、長時間連続運転により積層フィルムを製造しても、積層フィルムの長手方向における層間密着力及び耐擦傷性の両方にバラツキを発生しないようにできる。
本発明の積層フィルムの製造方法において、硬化工程において、第1バルブとしてニードルバルブを使用することが好ましい。
これは、混合ガスの少なくとも24時間当たりの酸素濃度の変動率を目標酸素濃度に対して±5%以内にするための具体的な解決手段を、第1バルブをニードルバルブにすることにより達成したものである。
このように、第1バルブとしてニードルバルブを使用することにより、バルブ周囲の温度環境によるバルブ開度の変動を顕著に小さくすることがきる。
これにより、混合ガスの少なくとも24時間当たりの酸素濃度の変動率を目標酸素濃度に対して±5%以内にすることができるので、積層フィルムの長手方向における層間密着力及び耐擦傷性の両方にバラツキが発生しないようにできる。この場合、第1バルブと第2バルブとの両方ともにニードルバルブを使用することが一層好ましい。
本発明の積層フィルムの製造方法において、硬化工程において、第1バルブには、バルブ品温を一定に維持するバルブ品温維持手段を有する。
ここで、「バルブ品温を一定に維持する」とは、バルブ品温の変動が3℃以内であることが好ましく、1℃以内であれば一層よい。
これは、混合ガスの少なくとも24時間当たりの酸素濃度の変動率を目標酸素濃度に対して±5%以内に抑制するための解決手段を、バルブ品温を一定に維持するバルブ品温維持手段を設けることで達成したものである。
このように、第1バルブにはバルブ品温を一定に維持するバルブ品温維持手段を設けるようにしたので、バルブ周囲の温度環境によるバルブ開度の変動をなくすことができる。
これにより、混合ガスの少なくとも24時間当たりの酸素濃度の変動率を目標酸素濃度に対して±5%以内にすることができるので、積層フィルムの長手方向における層間密着力及び耐擦傷性の両方にバラツキが発生しないようにできる。この場合、第1バルブと第2バルブとの両方ともにバルブ品温維持手段を設けることが一層好ましい。
本発明の積層フィルムの製造方法において、硬化工程において、混合ガスの酸素濃度を測定し、測定した酸素濃度に基づいて第1バルブの開度と第2バルブとの開度を制御することで、混合ガスの酸素濃度が変動率の範囲内とすることが好ましい。
これは、混合ガスの少なくとも24時間当たりの酸素濃度の変動率を目標酸素濃度に対して±5%以内にするための解決手段を、混合ガスの酸素濃度の測定値に基づいて第1バルブの開度と第2バルブの開度をフィードバック制御することで達成したものである。
これにより、混合ガスの少なくとも24時間当たりの酸素濃度の変動率を目標酸素濃度に対して±5%以内にすることができるので、積層フィルムの長手方向における層間密着力及び耐擦傷性の両方にバラツキが発生しないようにできる。
本発明の積層フィルムの製造方法では、硬化工程において、紫外線照射空間に供給する混合ガスの供給量を制御して、紫外線照射空間の内圧を外圧よりも高くすることが好ましい。
これにより、支持体の連続搬送に同伴される同伴エアが紫外線照射空間に持ち込まれ難くなるので、紫外線照射空間内の酸素濃度がバラツキにくくなる。この結果、支持体長手方向における光硬化性塗布層の硬化程度にバラツキを一層発生しないようにできるだけでなく、支持体幅方向における層間密着力及び耐擦傷性も均一化できる。
本発明の積層フィルムの製造方法は、第1バルブ及び第2バルブを有する混合ガス供給装置が、紫外線照射装置とは異なる部屋に設けられている場合に有効である。
特に、異なる部屋が、温調のない部屋、あるいは温調があっても弱い温調である(例えば最高と最低の温度差が3℃を超えて大きい)場合に本発明は有効である。
本発明の積層フィルムの製造方法によれば、長時間連続運転(例えば24時間以上)により積層フィルムを製造しても、積層フィルムの長手方向における層間密着力及び耐擦傷性の両方にバラツキが発生しないようにできる。
積層フィルムの一例として反射防止フィルムの断面図 積層フィルムの製造方法を実施する製造装置において、透明支持体の上にハードコート層を形成する製造ラインの一例を示す構成図 紫外線照射装置の一例の構成を一部断面で示した側面図 連続製造日数と混合ガスの酸素濃度との関係を説明する説明図 混合ガス供給装置の第1の実施の形態の構成図 混合ガス供給装置の第2の実施の形態の構成図 混合ガス供給装置の第3の実施の形態の構成図 本発明の実施例の表図
以下添付図面に従って、本発明に係る積層フィルムの製造方法の好ましい実施の形態について詳述する。
図1は、本発明における積層フィルムの製造方法によって製造される積層フィルムの一例であり、反射防止フィルムの断面図である。反射防止フィルム1は、支持体12(以下、「ウエブ12」という)の上にハードコート層3を形成し、ハードコート層3の上に反射防止機能を有する反射防止層4を塗設することにより製造する。なお、図1では、ハードコート層3の上に反射防止層4として低屈折率層を塗設した場合である。
図2は、本発明の積層フィルムの製造方法を実施する製造装置において、ウエブ12の上にハードコート層3を形成する製造ライン10の一例である。
図2に示されるように、帯状のウエブ12が送出機14から製造ラインに連続的に送り出され、以下の順序にしたがって各種の処理が施されることによりハードコート層3が形成される。
送出機14から送り出されたウエブ12は、ガイドローラ16によってガイドされて除塵機18に送られ、ウエブ12の表面に付着した塵等の異物が取り除かれる(ウエブの除塵工程)。
次に、ウエブ12は、グラビア塗布コータ20に送られて、ハードコート層を形成する光硬化性塗布液がウエブ12上に塗布される。これにより、ウエブ12上に光硬化性塗布層が形成される(光硬化性塗布層の塗布工程)。
グラビア塗布コータ20は、ローラ表面にセル(cell)が形成されたグラビアローラ20Aと、グラビアローラ20Aの下方に設けられ、塗布液を満たす液受けパン20Bと、塗布前に塗布液の余剰分を掻き落とすドクターブレード20Cとで構成される。
そして、連続搬送されるウエブ12は、上流ガイドローラ20D及び下流ガイドローラ20Eによって、グラビアローラ20Aと平行な状態で支持されている。
グラビア塗布コータ20は、特に薄層塗布に有効であるので、例えば、ウエット塗布量が5ml/m以下(塗布時のウエット膜厚が5μm以下)の超薄層塗布を行う製造ラインに好適に適用できる。
なお、塗布方法としては、上述したグラビア塗布コータ20以外に、バーコータ、ロールコータ(トランスファロールコータ、リバースロールコータ等)、ダイコータ、エクストルージョンコータ、ファウンテンコータ、カーテンコータ、ディップコータ、スピンコータ、スプレーコータ又はスライドホッパ等が採用できる。
次に、光硬化性塗布層が形成されたウエブ12は、乾燥ゾーン22、加熱ゾーン24に順次送られて、光硬化性塗布液中の光重合開始剤を含む有機溶剤が、乾燥ゾーン22と加熱ゾーン24を通過することにより蒸発する(光硬化性塗布層の乾燥・加熱工程)。
乾燥ゾーン22の乾燥方法及び加熱ゾーン24の加熱方法は、特に限定されない。
次に、光硬化性塗布層が乾燥及び加熱されウエブ12は、光硬化性塗布層を硬化させる硬化装置である紫外線照射装置26に送られる。この紫外線照射装置26の照射面から紫外線を照射して光硬化性塗布層が硬化処理される(光硬化性塗布層の硬化工程)。
最後に、光硬化性塗布層が硬化処理されたウエブ12は、巻取機28に巻き取られる。これにより、ウエブ12上にハードコート層が形成される。
そして、図2と同様の製造ラインによって、ハードコート層が形成された硬化後のウエブ12に、別の塗布層(例えば反射防止層)が塗設されることにより積層工程が行われる。なお、別の塗布層としては、反射防止層の他に、光学補償層、防眩層等の光学機能層、さらには光学機能層以外のどのような塗布層も本発明に含まれる。
図3は、光硬化性塗布層の硬化工程における紫外線照射装置26の一例を示すものであり、ウエブ12の搬送ラインに沿って2つの紫外線ランプハウス30、30を2基直列に配置した場合の側面図である。
なお、紫外線ランプハウス30の数は2基に限定されるものではなく、1基でもよく、3基以上でもよい。
図3に示すように、紫外線照射装置26は、連続搬送されるウエブ12を支持する一対の支持ローラ32、32と、一対の紫外線ランプハウス30、30と、紫外線ランプハウス30の照射面30Cの四周の周縁よりウエブ12に向かって延設され、照射面30Cとウエブ12との間に紫外線照射空間34を形成する張り出し部材36と、で構成される。
紫外線ランプハウス30は、ウエブ12の表面に形成された光硬化性塗布層に紫外線を照射してこの光硬化性塗布層を硬化させる手段であり、支持ローラ32側の先端面が開放された四角な箱形状を有する。この紫外線ランプハウス30の内部には、紫外線ランプ30Aと反射ミラー30Bが配設される。そして、紫外線ランプハウス30の開放された先端面に石英ガラスが設けられ、照射面30Cを形成する。
支持ローラ32は、ウエブ12が紫外線ランプハウス30の照射面30Cに対向配置され、連続搬送されるウエブ12を巻き掛け支持するローラ部材であり、ウエブ12の幅と略同一の長さ(本例では、ウエブ12の幅より若干長い)を有する。
張り出し部材36は、支持ローラ32の軸芯方向に沿って対向配置された一対の長手側板36A、36Aと、長手側板36A、36Aの両側(図3の表裏面側)部分を塞ぐ短手側板36B、36Bと、一対の紫外線ランプハウス30、30の先端面同士の間を塞ぐ天板36Cと、で構成される。また、長手側板36Aと短手側板36Bの先端部分は、支持ローラ32側に略直角に延設される折り返し片36D、36Dを有する。この折り返し片36D、36Dの長さは、支持ローラ32に巻き掛け支持されたウエブ12の表面に接触しない長さであることは言うまでもない。折り返し片36D、36Dの先端とウエブ12の表面との間隔が5mm以下となっていることが好ましい。これにより、照射面30Cと一対の支持ローラ32に巻き掛け支持されたウエブ12との間には、張り出し部材36によって囲まれた略密閉な紫外線照射空間34が形成される。
張り出し部材36の材質に特に制限はないが、折り返し片36D、36Dの先端部分を150°C以上の耐熱性を有する樹脂材(たとえば、ポリイミドシート)が好ましい。または、150°C以上の耐熱性を有するゴム材(たとえば、シリコーンゴム、フッ素ゴム、クロロスルホン化ポリエチレンゴム等)により形成することが好ましい。
このような構成とすることにより、折り返し片36D、36Dの先端部分が耐熱性を有する部材で形成されている。さらには、折り返し片36D、36Dの先端部分とウエブ12の表面との間隔が5mm以下(たとえば、2mm、3mm等)となっているので、外気の影響を受けにくく、紫外線照射空間34の酸素濃度を安定化させ易い。
また、張り出し部材36の対向する長手側板36Aの略中央位置に、後記する混合ガス供給装置42(図5〜図7参照)から供給される混合ガスの供給口38A,38Bが一対形成される。
そして、上記の如く構成された紫外線照射装置26の紫外線照射空間34に、混合ガス供給装置42から酸素含有ガスと不活性ガスとで目標酸素濃度に調製された混合ガスが供給される。これにより、紫外線照射装置26の紫外線照射空間34に、目標酸素濃度の混合ガスが供給されながら、光硬化性塗布層に紫外線が照射されて硬化工程が行われる。
混合ガス供給装置42は、紫外線照射装置26とは異なる部屋であって、温調のない例えば動力室に設けられる。なお、混合ガス供給装置42が設置される部屋としては、動力室に限らず、外気温度が部屋の温度環境に直接影響するような部屋であればよい。
本実施の形態では、酸素含有ガスとして圧縮エアを用い、不活性ガスとして窒素ガスを用いた例で以下に説明する。また、紫外線照射装置26を空調清浄室44(図5参照)に設置し、混合ガス供給装置42を動力室46(図5参照)に設置した例で説明する。
かかる硬化工程において、光硬化性塗布層を硬化させてハードコート層3を形成すると、表面の残存二重結合量が非常に少ないため、ハードコート層の上に塗設する別の塗布層(例えば反射防止層)との密着力が低下する。
これにより、例えば積層フィルムとして反射防止フィルムを製造する場合、ハードコート層3と反射防止層4との層間密着力が低下するので、反射防止層4がハードコート層3から剥離し易くなるという問題がある。
逆に、硬化度が不足すると、ハードコート層3としての耐擦傷性が十分に発揮されなくなる。即ち、最終的に製造する積層フィルムの層間密着力と耐擦傷性との両方を満足することができない。
このことから、層間密着力及び耐擦傷性の両方を満足するには、混合ガス供給装置42によって、0.01〜2.0%の範囲の目標酸素濃度に混合した混合ガスを調製し、紫外線照射装置26の紫外線照射空間34に、混合ガスを目標酸素濃度±5%以内のバラツキで一定量を供給する必要がある。
目標酸素濃度を0.01〜2.0%の範囲で示した理由は、光硬化性塗布層を形成する塗布液の硬化成分の種類や硬化成分の添加量等によって、層間密着力及び耐擦傷性の両方を満足する硬化度が異なるためである。したがって、0.01〜2.0%の範囲において、硬化し易い塗布液の場合には低めの目標酸素濃度に設定し、硬化しにくい場合には、高めの目標酸素濃度に設定する。具体的な目標酸素濃度は、使用する紫外線照射装置の照射強度、照射時間等の照射条件との関係から予備試験等により求めることができる。
そして、積層フィルムの製造において、混合ガスの酸素濃度を上記範囲の目標酸素濃度に圧縮エアと窒素ガスとの流量をバルブ調整しても、製造開始から1時間程度では酸素濃度変動が発現しない。しかし、長時間連続製造を行うと、製造された積層フィルムの長手方向(ウエブ12の搬送方向)において、層間密着力及び耐擦傷性に許容できないバラツキが発生する。
本発明者は、原因究明のため、圧縮エアの流量を調整するバルブ及び窒素ガスの流量を調整するバルブの開度調整を、目標酸素濃度の開度に一定にした状態で、3日(72時間)の長時間連続製造における混合ガスの酸素濃度の経時変化を調べた。
図4は、3日間の連続製造における混合ガスの酸素濃度のハンチング状態(変動状態)を調べたものである。図4において「目標」とは目標酸素濃度を意味する。
その結果、図4から分かるように、外気温の低い夜間には混合ガスの酸素濃度が低く、外気温の高い昼間は酸素濃度が高くなり、酸素濃度の経時変化において、24時間で1サイクルの山と谷からなる温度曲線を描く。即ち、製造開始から1時間程度では温度曲線は殆ど変化せず混合ガスの酸素濃度は目標酸素濃度に対して±5%以内に収まっている。しかし、少なくとも24時間の長時間連続製造を行うと温度曲線の山頂(1日の最高気温)と谷底(1日の最低気温)との間で混合ガスの酸素濃度が大きく変動することを発見した。
即ち、本発明のように混合ガスの酸素濃度を0.01〜2.0%の範囲の微少濃度でバルブ制御しなくてはならない場合、バルブ周囲の温度環境の経時変化によるバルブ自体の僅かな収縮又は膨張がバルブ開度の微少変動を招き、混合ガスの酸素濃度が目標酸素濃度に対して±5%の振れ幅を超えてハンチングすることをつきとめた。特に、微小流量領域のバルブ制御を必要とする圧縮エアのバルブは、外気温の影響を受け易く、混合ガスの酸素濃度ハンチングの大きな原因になっていることが分かった。
このことは、温度曲線の山頂(1日の最高温度)と谷底(1日の最低温度)とを含む少なくとも24時間当りの混合ガスの酸素濃度のバラツキを目標酸素濃度に対して±5%の範囲内に収めることができれば、積層フィルムを長時間連続製造する場合であっても、積層フィルムの長手方向において、層間密着力及び耐擦傷性の許容できないバラツキ発生を防止できることを意味する。
そこで、本発明の実施の形態では、混合ガス供給装置42を、バルブ周囲の温度環境の経時変化に係わらず、供給する混合ガスの少なくとも24時間当たりの酸素濃度の変動率を目標酸素濃度に対して±5%以内にするように構成した。
図5は、混合ガス供給装置42の第1の実施の形態である。
図5に示すように、混合ガス供給装置42は、紫外線照射装置26の上記した2箇所の供給口38A、38Bに混合ガスを供給できるように2ラインからなる混合ガス供給ラインによって構成される。そして、混合ガス供給ラインは、窒素ガスライン48と圧縮エアライン50とで構成される。
窒素ガスライン48は、窒素配管52が途中で第1窒素配管52Aと第2窒素配管52Bとに分岐され、窒素ボンベ54からの窒素ガスは第1窒素配管52Aと第2窒素配管52Bとに分流される。分岐前の窒素配管52には、開閉弁56、圧力計58、圧力調整弁60が設けられ、窒素ガスライン48に流される窒素ガスの圧力が調整される。
また、第1窒素配管52A及び第2窒素配管52Bには、それぞれ窒素ボンベ54側から順に流量調整弁としての第2バルブ62A,62B、流量計64A,64Bが設けられる。これにより、混合ガスを調製するための窒素ガスの流量が調整される。第2バルブ62A,62Bとしては特に限定されないが、例えばガス流量調整の一般的なバルブであるディスクバルブを用いることができる。
そして、第1窒素配管52Aは紫外線照射装置26の第1供給口38Aに連結され、第2窒素配管52Bは第2供給口38Bに連結される。
一方、圧縮エアライン50は、エア配管66が途中で第1エア配管66Aと第2エア配管66Bとに分岐され、コンプレッサ68からの圧縮エアは第1エア配管66Aと第2エア配管66Bとに分流される。また、第1エア配管66Aは第1窒素配管52Aの途中に連通され、第2エア配管66Bは第2窒素配管52Bの途中に連通される。これにより、圧縮エアが窒素ガスに合流されて混合される。
分岐前のエア配管66には、開閉弁69、圧力計70、圧力調整弁72が設けられ、圧縮エアラインに流されるエア圧が調整される。
また、第1エア配管66Aには、コンプレッサ68側から順に、流量調整弁としての第1バルブ74A,74Bであるニードルバルブと流量計76Aとが設けられ、混合ガスを調製するための圧縮エアの流量が調整される。同様に、第2エア配管66Bには、コンプレッサ68側から順に、流量調整弁としての第1バルブ74A,74Bであるニードルバルブと流量計76Bとが設けられ、混合ガスを調製するための圧縮エアの流量が調整される。
ここで「ニードルバルブ」とは、一定の孔が開けられたオリフィスに、ニードルピンを回転させて前後させることにより、オリフィスの孔の開口を調整し、これによりガスや流体の流量を変えるバルブを言う。
そして、混合ガス供給装置42では、混合ガスの酸素濃度が0.01〜2.0%の範囲の目標酸素濃度になるように、圧縮エアの流量が第1バルブ74A、74Bによって調整されるとともに、窒素ガスの流量が第2バルブ62A,62Bによって調整される。
このように、窒素ガス99に対して圧縮エア1の混合比率である微小流量領域の流量調整を行う第1バルブ74A,74Bとしてニードルバルブを使用する。これにより、紫外線照射装置26に供給する混合ガスの少なくとも24時間当たりの酸素濃度の変動率を目標酸素濃度に対して±5%以内にすることができる。
これは、バルブ品温が変化してもバルブ開度に影響しにくいニードルバルブのバルブ構造に着眼したものであり、図4で示した温度曲線の山頂(1日の最高温度)と谷底(1日の最低温度)との温度差があっても、混合ガスの少なくとも24時間当たりの酸素濃度の変動率を目標酸素濃度に対して±5%以内にすることができる。
また、混合ガス供給装置42から紫外線照射装置26に供給する混合ガスの供給量としては、紫外線照射空間34の内圧を外圧よりも高くすることが好ましい。このように、紫外線照射空間34の内圧を外圧よりも高くすることで、ウエブ12の連続搬送によって同伴される同伴エア(同伴風ともいう)が紫外線照射空間34内に持ち込まれることが防止される。これにより、混合ガス供給装置42から送気した混合ガスの酸素濃度をそのまま紫外線照射空間34で維持できるので、製造された積層フィルムの長手方向(支持体の搬送方向)において、層間密着力及び耐擦傷性にバラツキを一層防止できる。
さらには、同伴エア(同伴風ともいう)が紫外線照射空間34内に持ち込まれることが防止されることによって、製造された積層フィルムの幅方向における層間密着力及び耐擦傷性にバラツキをなくすことができる。
なお、図5では圧縮エアの流量調整を行う第1バルブ74A,74Bのみをニードルバルブにしたが、更に窒素ガスの流量調整を行う第2バルブ62A,62Bもニードルバルブにすることが一層好ましい。
図6は、混合ガス供給装置42の第2の実施の形態である。
図6の混合ガス供給装置42は、基本的には図5と同様であるが、第1バルブ74A,74Bにバルブ品温を一定に維持するバルブ品温維持手段82を設けるようにしたものである。
なお、図6では第1バルブ74A,74Bにバルブ品温維持手段82を設けた図で示してあるが、バルブ品温維持手段82を設けることにより第1バルブ74A,74Bをディスクバルブで構成することも可能である。また、図1では、第1バルブ74A,74Bにのみバルブ品温維持手段82を設けたが、第2バルブ62A,62Bにもバルブ品温維持手段82を設けることがより好ましい。
バルブ品温維持手段82は、例えば、第1バルブ74A,74Bを囲むヒータ82A付きの断熱性ケーシング84と、断熱性ケーシング84内に設けられた温度センサ86と、温度センサ86の測定温度に基づいて断熱性ケーシング84内(バルブ周囲の温度環境)が一定温度(例えば常温)に維持されるようヒータ82Aを制御する温度制御手段87と、で構成される。
なお、バルブ品温維持手段82は、上記構成に限定されるものではなく、バルブ品温を一定に維持できるものであればどのような手段でもよい。
これにより、混合ガス供給装置42の第2の実施の形態では、バルブ周囲の温度環境の変化に係わらず、上記した第1の実施の形態よりも更に確実にバルブ品温を一定に維持し、バルブ開度が変動しないようにできる。したがって、温度曲線の山頂(1日の最高温度)と谷底(1日の最低温度)との温度差が大きい場合であっても、混合ガスの少なくとも24時間当たりの酸素濃度の変動率を目標酸素濃度に対して±5%以内にすることができる。
なお、バルブ周囲の温度環境の変動がそれほど大きくない場合には、第1バルブ74A,74Bとしてニードルバルブを使用し、バルブ品温維持手段82としての断熱材(例えばグラスファイバ)でバルブを被覆する簡単な方法も採用することができる。
図7の混合ガス供給装置42は、基本的には図5と同様であるが、調製した混合ガスの酸素濃度を測定し、測定した酸素濃度に基づいて第1バルブ74A,74Bの開度と第2バルブ62A,62Bの開度とをフィードバック制御し、これにより混合ガスの酸素濃度の変動率が目標酸素濃度の±5%以内に収まるようにする制御系統88を設けるように構成したものである。
図7に示すように、第1窒素配管52A及び第2窒素配管52Bに、混合ガスの酸素濃度センサ90A,90Bをそれぞれ設ける。酸素濃度センサ90A,90Bで測定された混合ガスの測定値がコントローラ92に送られる。コントローラ92は、第1バルブ74A,74B及び第2バルブ62A,62Bの開度を制御して混合ガスが目標酸素濃度の±5%以内に収まるように制御する。
酸素濃度計としては、例えば、横河電気(株)製の低濃度ジルコニア式酸素濃度計OX400、あるいは東レエンジニアリング(株)製の高機能型ジルコニア式酸素濃度計LC−860等を使用することができる。測定箇所としては、図7に示すように、紫外線照射装置26に供給する直前における混合ガスの酸素濃度を測定することが好ましい。
これにより、混合ガス供給装置42の第3の実施の形態では、バルブ周囲の温度環境の変化に係わらず、上記した第1の実施の形態よりも更に確実にバルブ品温を一定に維持してバルブ開度が変動しないようにできる。したがって、温度曲線の山頂(1日の最高温度)と谷底(1日の最低温度)との温度差が大きい場合であっても、混合ガスの少なくとも24時間当たりの酸素濃度の変動率を目標酸素濃度に対して±5%以内にすることができる。
第1〜第3の実施の形態の混合ガス供給装置42のうちどれを採用するかは、温度曲線の山頂(1日の最高温度)と谷底(1日の最低温度)との温度差の大小に応じて適宜選択することができる。
本発明の実施の形態では、混合ガス供給装置42の構成として、上記第1〜第3の実施の形態の例で説明したが、少なくとも24時間当りの混合ガスの酸素濃度のバラツキを±5%の範囲内に収めることができるように構成された混合ガス供給装置であればよい。
なお、本実施の形態では、酸素含有ガスとして、圧縮エアの例で説明したが、酸素ガスを使用するようにしてもよい。
次に、ウエブ12及びハードコート層3の好ましい態様を説明する。
ウエブ12としては、プラスチックフィルムであることが好ましい。プラスチックフィルムとしてはセルロースエステル(例、トリアセチルセルロース、ジアセチルセルロース、プロピオニルセルロース、ブチリルセルロース、アセチルプロピオニルセルロース、ニトロセルロース)、ポリオレフィン(例、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリメチルペンテンが含まれる。トリアセチルセルロース、及びポリオレフィンがレターデーションが小さく、光学的均一性も高いため、偏光板用途として好ましく、特に、液晶表示装置に用いる場合、トリアセチルセルロースであることが好ましい。
ハードコート層3は、積層フィルムに物理強度を付与するために、ウエブ12の表面に設けられる。
ハードコート層3は、電離放射線硬化性化合物を含有する光硬化性塗布層の架橋反応、又は、重合反応により形成されることが好ましい。たとえば、電離放射線硬化性の多官能モノマーや多官能オリゴマーを含む光硬化性化合物をウエブ12上に塗布し、多官能モノマーや多官能オリゴマーを架橋反応、又は、重合反応させることにより形成することができる。また、ハードコート層3の屈折率や強度を調整するために、無機微粒子を含んでもよい。
電離放射線硬化性の多官能モノマーや多官能オリゴマーの官能基としては、光、電子線、放射線重合性のものが好ましく、中でも光重合性官能基が好ましい。
光重合性官能基としては、(メタ)アクリロイル基、ビニル基、スチリル基、アリル基等の不飽和の重合性官能基等が挙げられ、中でも、(メタ)アクリロイル基が好ましい。
光重合性多官能モノマーの重合反応には、光重合開始剤を用いることが好ましい。光重合開始剤としては、光ラジカル重合開始剤と光カチオン重合開始剤が好ましく、特に好ましいのは光ラジカル重合開始剤である。
図2で示した製造ライン10を用いて、ハードコート層3の形成を3日間連続して行い、その間に混合ガス供給装置42から紫外線照射装置26に供給される混合ガスの酸素濃度がどのように変動するかを調べた。合わせて、比較例1〜3を実施した。
ウエブ12には、膜厚80μmのトリアセチルセルロースフイルム(TD−80UL、富士フイルム(株)製)を使用した。グラビア塗布コータ20にて塗布される光硬化性塗布液は、以下のように調整した。
(光硬化性塗布液の調製)
メチルエチルケトン900質量部に対して、シクロヘキサノン100質量部、部分カプロラクトン変性の多官能アクリレート(DPCA−20、日本化薬(株)製)750質量部、シリカゾル(MIBK−ST、日産化学工業(株)製)200質量部、光重合開始剤(イルガキュア184、BASF製)50質量部、を添加して攪拌した。そして、孔径0.4μmのポリプロピレン製フィルターで濾過してハードコート層用の光硬化性塗布液を調製した。
(ハードコート層の形成)
ウエブ12上に、グラビア塗布コータ20を用いて光硬化性塗布液を塗布した。次に、塗布層を60℃で2分間乾燥した。その後、混合ガス供給装置により、目標酸素濃度(1.0%)に調製された混合ガスを紫外線照射装置26の紫外線照射空間34に供給しながら、160W/cmの空冷メタルハライドランプ(アイグラフィックス(株)製)を用いて、照度400mW/cm、照射量150mJ/cmの紫外線を照射して塗布層を硬化させ、厚さ5μmのハードコート層を形成した。
ウエブ12の搬送速度は30m/分で行い、3日間の連続運転を行った。また、第1バルブ74A,74B及び第2バルブ62A,62Bが設置された動力室46の連続運転中における外気温の昼間(最高温度)と夜間(最低温度)の温度差は10℃であった。
(混合ガスの調製方法)
・実施例1…図5の混合ガス供給装置を用いた。即ち、第1バルブ74A,74Bとしてニードルバルブを使用し、圧縮エアの流量を1.0(m/h)になる開度に調整した。また、第2バルブ62A,62Bとしてディスクバルブを使用し、窒素ガスの流量が99.0(m/h)になる開度に調整した。
・実施例2…図6の混合ガス供給装置を用いた。即ち、実施例1の構成に加えて更に、第1バルブ74A,74Bにバルブ品温維持手段82を設け、バルブ周囲の温度環境を20℃で一定にした。ここで「20℃で一定」とは、20℃を中心として温度幅が3℃以内であることを言い、好ましくは1℃以内である。
・実施例3…図7の混合ガス供給装置を用いた。即ち、実施例1の構成に加えて更に、フィードバック制御(FB制御)の制御系統88を設け、混合ガスの酸素濃度が目標酸素濃度の±5%以内に収まるように第1バルブ74A,74Bの開度と第2バルブ62A,62Bとの開度を制御するようにした。
・比較例1…窒素ガスの一定量(30m/h)を紫外線照射装置26の紫外線照射空間34に直接供給した(以下「N流量ダウン法」という)。
・比較例2…実施例1の圧縮エアラインには流量調整バルブは設けずに、窒素ガスラインのディスクバルブのみで混合ガスの調製を行った場合である。
・比較例3…実施例1の第1バルブ74A,74Bと第2バルブ62A,62Bとの両方をディスクバルブにした。
[試験結果の評価方法]
試験結果の評価は次のように行った。
A…混合ガスの酸素濃度が目標酸素濃度の±1%以内に常に収まっている。
B…混合ガスの酸素濃度が目標酸素濃度の±5%以内に常に収まっている。
C…混合ガスの酸素濃度が目標酸素濃度の±5%を常に超える。
[試験結果]
図8の表に示すように、ウエブ12の幅方向における酸素濃度の安定性と、ウエブ12の長手方向(搬送方向)における酸素濃度の安定性とを評価した。
図8の表から分かるように、ウエブ12の幅方向における混合ガスの酸素濃度安定性は、「N流量ダウン法」の比較例1のみが評価Cである以外は、比較例2、3及び実施例1〜3ともに評価Aであり、問題なかった。
一方、ウエブ12の長手方向における混合ガスの酸素濃度安定性は、比較例と実施例とで評価が明らかに相違した。
即ち、「N流量ダウン法」の比較例1及び比較例2は、3日間の連続運転中、運転開始から運転終了まで全てCの評価であり、悪い結果となった。
また、第1バルブ74A,74Bと第2バルブ62A,62Bの両方にディスクバルブを使用した比較例3は、製造開始1時間ではAの評価であったが、24時間以降は全てCの評価となった。即ち、ガス流量の流量調整バルブとして一般的に使用されているディスクバルブであっても、製造開始1時間では混合ガスの酸素濃度安定性に問題なく、長時間の連続製造を行った場合に、酸素濃度が安定しなくなるという問題が発生したことが分かる。
これに対して、第1バルブ74A,74Bをニードルバルブとした実施例1は、製造開始1時間のときに評価Aで、24時間以降は評価Bになるが、許容できる範囲内であり合格であった。
また、実施例2及び3は、製造開始から製造終了まで全て評価Aであり、混合ガスの酸素濃度が極めて安定していた。
また、上記した比較例1〜3と、実施例1〜3とで製造したハードコート層の上に、反射防止層(低屈折率層)を塗設して積層フィルム(反射防止フィルム)を製造し、ハードコート層と反射防止層との間の層間密着力を調べた。
〈低屈折率層用塗布液の調製)
屈折率1.42の熱架橋性含フッ素ポリマー(JN−7228、固形分濃度6%、JSR(株)製)18gにゾル液a0.4g及びメチルエチルケトン2g、シクロヘキサノン0.6gを添加、攪拌の後、孔径1μmのポリプロピレン製フィルターでろ過して、低屈折率層用塗布液を調製した。
〈低屈折率層用塗布液の塗設)
上記調製した低屈折率層用塗布液を、ハードコート層を塗設したウエブ12上に、グラビアロールコータを用いてウエブ搬送速度30m/分の条件で塗布し、120℃で150秒乾燥の後、更に140℃で8分乾燥させてから窒素パージ下で240W/cmの空冷メタルハライドランプ(アイグラフィックス(株)製)を用いて、照度400mW/cm2、照射量900mJ/cm2の紫外線を照射し、厚さ100nmの低屈折率層を形成した。
〈層間密着力の評価方法〉
作成した積層フィルムをクロスカット剥離法によって層間密着力を調べ、剥離マス数によって評価した。
X…剥離なし
Y…1マス以上の剥離あり
〈層間密着力の結果〉
図8の層間密着力の結果から分かるように、比較例1及び2は、製造開始〜製造終了(72時間)で採取したいずれのサンプルについても、層間密着力はYの評価であり、剥離が生じた。
また、比較例3は、酸素濃度安定性が評価Aの製造時におけるサンプルについては、評価がXであり剥離は生じなかった。しかし、酸素濃度安定性が評価Cの製造時におけるサンプルについては、評価がYであり剥離が生じた。
これに対して、製造開始〜製造終了(72時間)で採取したサンプルの酸素濃度安定性評価がB〜Aの実施例1〜3は、全て評価Xであり剥離は生じなかった。
即ち、酸素濃度安定性の評価がCの場合には層間密着力も許容できない悪い結果であり、BからAの評価であれば、層間密着力も問題ない結果であった。
なお、スチールウール耐傷性評価ラビングテスターを用いて行った耐擦傷性についても層間密着力と同様の結果であった。
1…反射防止フィルム、3…ハードコート層、4…反射防止層、10…ハードコート層の製造ライン、12…ウエブ、14送出機、16…ガイドローラ、18…除塵機、20…グラビア塗布コータ、22…乾燥ゾーン、24…加熱ゾーン、26…紫外線照射装置、28…巻取機、30…紫外線ランプハウス、32…支持ローラ、34…紫外線照射空間、36…張り出し部材、38A,38B…混合ガスの供給口、42…混合ガス供給装置、44…空調清浄室、46…動力室、48…窒素ガスライン、50…圧縮エアライン、52…窒素配管、52A…第1窒素配管、52B…第2窒素配管、54…窒素ボンベ、56…開閉弁、58…圧力計、60…圧力調整弁、62A,62B…第2バルブ、64A,64B…流量計、66…エア配管、66A…第1エア配管、66B…第2エア配管、68…コンプレッサ、70…圧力計、72…圧力調整弁、74A、74B…第1バルブ、76A,76B…流量計、78A…第1窒素バイパス配管、78B…第2窒素バイパス配管、80A,80B…開閉バルブ、82…バルブ品温維持手段、82A…ヒータ、84…断熱性ケーシング、86…温度センサ、87…温度制御手段、88…制御系統、90A,90B…酸素濃度センサ、92…コントローラ

Claims (6)

  1. 連続搬送される帯状の支持体上に塗設された光硬化性塗布層に紫外線照射装置の照射面から紫外線を照射して前記光硬化性塗布層を硬化させる硬化工程と、硬化後の光硬化性塗布層の上に別の塗布層を塗設して積層する積層工程と、を少なくとも含む積層フィルムの製造方法において、
    前記硬化工程では、
    第1バルブにより流量調整する酸素含有ガスと、第2バルブにより流量調整する不活性ガスとを合流させて0.01〜2.0%の範囲の目標酸素濃度に混合した混合ガスを調製して前記照射面と前記光硬化性塗布層との間の紫外線照射空間に供給し、
    前記供給する混合ガスの少なくとも24時間当たりの酸素濃度の変動率を前記目標酸素濃度に対して±5%以内にする積層フィルムの製造方法。
  2. 前記硬化工程において、前記第1バルブとしてニードルバルブを使用する請求項1に記載の積層フィルムの製造方法。
  3. 前記硬化工程において、前記第1バルブには、バルブ品温を一定に維持するバルブ品温維持手段を有する請求項1又は2に記載の積層フィルムの製造方法。
  4. 前記硬化工程において、
    前記混合ガスの酸素濃度を測定し、
    前記測定した酸素濃度に基づいて前記第1バルブの開度と前記第2バルブとの開度を制御することで、前記混合ガスの酸素濃度が前記変動率の範囲内とする請求項1から3の何れか1項に記載の積層フィルムの製造方法。
  5. 前記硬化工程において、前記紫外線照射空間に供給する前記混合ガスの供給量を制御して前記紫外線照射空間の内圧を外圧よりも高くする請求項1から4の何れか1項に記載の積層フィルムの製造方法。
  6. 前記第1バルブ及び前記第2バルブを有する混合ガス供給装置は、前記紫外線照射装置とは異なる部屋に設けられている請求項1から5の何れか1項に記載の積層フィルムの製造方法。
JP2014061595A 2014-03-25 2014-03-25 積層フィルムの製造方法 Abandoned JP2015182351A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014061595A JP2015182351A (ja) 2014-03-25 2014-03-25 積層フィルムの製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014061595A JP2015182351A (ja) 2014-03-25 2014-03-25 積層フィルムの製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2015182351A true JP2015182351A (ja) 2015-10-22

Family

ID=54349451

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014061595A Abandoned JP2015182351A (ja) 2014-03-25 2014-03-25 積層フィルムの製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2015182351A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11572448B2 (en) 2017-12-15 2023-02-07 Shanjin Optoelectronics (Suzhou) Co., Ltd. Polarizing plate-carrier film laminate, method for producing same, method for producing polarizing plate using same, and polarizing plate

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0774462A (ja) * 1993-09-01 1995-03-17 Nippon Dennetsu Keiki Kk はんだ付け装置の不活性ガス雰囲気制御装置
JP3021185B2 (ja) * 1992-05-14 2000-03-15 三菱重工業株式会社 2方向ローラー
JP2002340785A (ja) * 2001-05-21 2002-11-27 Canon Inc 分光光度測定器
JP2006095442A (ja) * 2004-09-29 2006-04-13 Fuji Photo Film Co Ltd 塗布膜の硬化方法、装置及び光学フィルム
JP2008110332A (ja) * 2006-10-27 2008-05-15 Top Engineering Co Ltd ディスペンス装置
JP2008124385A (ja) * 2006-11-15 2008-05-29 Tokyo Electron Ltd 処理システムと処理方法および記録媒体
US20090004401A1 (en) * 2005-03-18 2009-01-01 Fujifilm Corporation Method And Apparatus For Curing Coated Film
JP2009240941A (ja) * 2008-03-31 2009-10-22 Fujifilm Corp 塗布膜の硬化装置
JP2010251324A (ja) * 2009-04-16 2010-11-04 Siemens Ag とりわけ粒子線治療設備用のガス噴射システムおよびガス噴射システムを動作させるための方法

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3021185B2 (ja) * 1992-05-14 2000-03-15 三菱重工業株式会社 2方向ローラー
JPH0774462A (ja) * 1993-09-01 1995-03-17 Nippon Dennetsu Keiki Kk はんだ付け装置の不活性ガス雰囲気制御装置
JP2002340785A (ja) * 2001-05-21 2002-11-27 Canon Inc 分光光度測定器
JP2006095442A (ja) * 2004-09-29 2006-04-13 Fuji Photo Film Co Ltd 塗布膜の硬化方法、装置及び光学フィルム
US20090004401A1 (en) * 2005-03-18 2009-01-01 Fujifilm Corporation Method And Apparatus For Curing Coated Film
JP2008110332A (ja) * 2006-10-27 2008-05-15 Top Engineering Co Ltd ディスペンス装置
JP2008124385A (ja) * 2006-11-15 2008-05-29 Tokyo Electron Ltd 処理システムと処理方法および記録媒体
JP2009240941A (ja) * 2008-03-31 2009-10-22 Fujifilm Corp 塗布膜の硬化装置
JP2010251324A (ja) * 2009-04-16 2010-11-04 Siemens Ag とりわけ粒子線治療設備用のガス噴射システムおよびガス噴射システムを動作させるための方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11572448B2 (en) 2017-12-15 2023-02-07 Shanjin Optoelectronics (Suzhou) Co., Ltd. Polarizing plate-carrier film laminate, method for producing same, method for producing polarizing plate using same, and polarizing plate

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3899485B2 (ja) 塗布方法及び装置
JP5235469B2 (ja) 乾燥装置及び光学フィルムの製造方法
US7713579B2 (en) Coating apparatus, coating method, and method for manufacturing optical film
JP2013148806A (ja) 偏光フィルムとその製造方法及び偏光板
KR101899157B1 (ko) 편광판의 제조 방법
TWI378862B (en) Method of forming multi-layer films using corona treatments
US9827752B2 (en) Laminate film manufacturing method
JP5756313B2 (ja) 偏光板の製造方法
JP2009237047A (ja) 偏光板及び液晶表示装置
KR20150002586A (ko) 편광판의 제조 방법
TW200812711A (en) System for forming multi-layer films using corona treatments
JP2009025604A (ja) 偏光板保護フィルム、その製造方法及び製造装置、並びに偏光板、その製造方法及び表示装置
Özpirin et al. Transparent block copolymer thin films for protection of optical elements via chemical vapor deposition
JP2015182351A (ja) 積層フィルムの製造方法
JP2019028109A (ja) 複層フィルム及びその製造方法
JP4716036B2 (ja) 光学補償フィルムの製造方法
KR20150082102A (ko) 광학 필름의 제조 방법
JP4977936B2 (ja) 光学フィルムの製造方法
TWI453110B (zh) 光學薄膜之製法及光學薄膜
JP6122804B2 (ja) 塗布層の硬化方法及び硬化装置並びにその硬化方法を用いた積層フィルムの製造方法
JP2016096276A (ja) 波長変換部材及びそれを備えたバックライトユニット、液晶表示装置並びに波長変換部材の製造方法
JP2007268384A (ja) 塗布装置、塗布方法、および光学フィルムの製造方法
WO2021029190A1 (ja) 転写用フィルム積層体及びその製造方法
CN111316147B (zh) 偏振膜保护用层叠体及其制造方法
JP5781464B2 (ja) 塗膜付きフィルムの製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20160229

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20161219

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20161222

A762 Written abandonment of application

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762

Effective date: 20170207