JP2015177113A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】電極と半田との適切な接合を実現可能な半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】一の実施形態によれば、半導体装置は、第1の金属元素を含有する電極層を備える。さらに、前記装置は、前記電極層上に設けられ、前記第1の金属元素と、前記第1の金属元素と異なる第2の金属元素とを含有する金属層を備える。さらに、前記装置は、前記金属層上に前記電極層と離隔して設けられ、前記第2の金属元素を含有する半田層を備える。
【選択図】図1
【解決手段】一の実施形態によれば、半導体装置は、第1の金属元素を含有する電極層を備える。さらに、前記装置は、前記電極層上に設けられ、前記第1の金属元素と、前記第1の金属元素と異なる第2の金属元素とを含有する金属層を備える。さらに、前記装置は、前記金属層上に前記電極層と離隔して設けられ、前記第2の金属元素を含有する半田層を備える。
【選択図】図1
Description
本発明の実施形態は、半導体装置およびその製造方法に関する。
一般に、半導体装置の裏面電極はNi(ニッケル)で形成され、半田はSn(スズ)で形成されている。裏面電極と半田とを接合する場合、裏面電極内の多くのNi原子が半田内へと拡散する可能性や、裏面電極と半田との接合面に不均一にNi3Sn4合金層が形成される可能性がある。これらの場合、裏面電極と半田との適切な接合が実現できないことが問題となる。
電極と半田との適切な接合を実現可能な半導体装置およびその製造方法を提供する。
一の実施形態によれば、半導体装置は、第1の金属元素を含有する電極層を備える。さらに、前記装置は、前記電極層上に設けられ、前記第1の金属元素と、前記第1の金属元素と異なる第2の金属元素とを含有する金属層を備える。さらに、前記装置は、前記金属層上に前記電極層と離隔して設けられ、前記第2の金属元素を含有する半田層を備える。
以下、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。
(第1実施形態)
図1は、第1実施形態の半導体装置の製造方法を示す断面図である。本実施形態の半導体装置の例は、表面電極と裏面電極とを備える電力用半導体装置である。
図1は、第1実施形態の半導体装置の製造方法を示す断面図である。本実施形態の半導体装置の例は、表面電極と裏面電極とを備える電力用半導体装置である。
まず、図1(a)に示すように、基板1上に電極層2を形成する。具体的には、基板1上に第1電極層2a、第2電極層2b、および第3電極層2cを順次形成する。
基板1の例は、シリコン基板などの半導体基板である。図1(a)は、基板1に平行で互いに垂直なX方向およびY方向と、基板1に垂直なZ方向とを示している。本明細書においては、+Z方向を上方向として取り扱い、−Z方向を下方向として取り扱う。例えば、図1(a)における基板1と電極層2との位置関係は、基板1が電極層2の下方に位置していると表現される。
電極層2は例えば、半導体装置の裏面電極である。第1電極層2aの例は、Al(アルミニウム)層である。第2電極層2bの例は、Ti(チタン)層である。第3電極層2cの例は、Ni(ニッケル)層である。第3電極層2cは、第1の金属元素を含有する電極層の例である。また、Ni元素は、第1の金属元素の例である。
次に、図1(b)に示すように、電極層2上に金属層3と保護層4とを順次形成する。
金属層3は、電極層2と後述する半田層5とを接合するための層である。本実施形態の金属層3は、Ni元素とSn(スズ)元素とを合金成分として含有する合金層であり、具体的には、Ni3Sn4合金層である。Sn元素は、第1の金属元素と異なる第2の金属元素の例である。なお、金属層3は、Ni元素とSn元素とに加えて、その他の元素を含有していてもよい。
保護層4は、金属層3の酸化を防止するための層である。保護層4の例は、Au(金)層またはAg(銀)層である。Au元素またはAg元素は、第1および第2の金属元素と異なる第3の金属元素の例である。また、保護層4は、第3の金属元素を含有する層の例である。保護層4は、いずれの領域においても電極層2上に金属層3を介して形成されており、電極層2とは離隔して形成されている。よって、保護層4は、電極層2とは非接触状態となっている。
次に、図1(c)に示すように、電極層2上に金属層3と保護層4とを形成した後に、金属層3上に保護層4を介して半田層5を形成する。この工程の実施中に、保護層4の構成原子(Au原子またはAg原子)が半田層5内へと拡散し、保護層4が消滅する。
半田層5の例は、Sn層である。半田層5は、いずれの領域においても電極層2上に金属層3を介して形成されており、電極層2とは離隔して形成されている。よって、半田層5は、電極層2とは非接触状態となっている。本実施形態の電極層2と半田層5は、金属層3により接合される。
このようにして、本実施形態の半導体装置の半導体チップが製造される。その後、この半導体チップは例えば、リードフレーム上や絶縁基板上に配置される。この場合、半田層5は例えば、半導体チップとリードフレームとを接続するための配線や、絶縁基板上に形成された配線と接合される。
(1)第1実施形態とその比較例
図2は、第1実施形態の比較例の半導体装置の製造方法を示す断面図である。
図2は、第1実施形態の比較例の半導体装置の製造方法を示す断面図である。
図2(a)は、図1(a)に対応する断面図である。ただし、図2(a)においては、基板1と第1電極層2aの図示が省略されている。図2(a)の半田層5は、第3電極層2c上に直接形成されている。
この場合、第3電極層2c内のNi原子と半田層5内のSn原子とが反応し、第3電極層2cと半田層5との界面に金属層3が形成される(図2(b))。この金属層3は、Ni3Sn4合金層である。符号Pは、金属層3を構成する複数のNi3Sn4結晶粒を示す。
図2(c)に示すように、Ni3Sn4結晶粒Pはその後も成長していく。この際、Ni3Sn4結晶粒P同士の間に隙間があることから、矢印Aで示すように、第3電極層2c内の多くのNi原子がこれらの隙間から半田層5内へと拡散していく。
その結果、第3電極層2cが消滅してしまう可能性がある(図2(d))。さらに、Ni3Sn4結晶粒P間に最終的に隙間Hが残存し、金属層3が不均一になる可能性がある(図2(d))。図2(d)の電極層2と半田層5は、隙間Hにおいて互いに接触している。これらの場合、電極層2と半田層5との適切な接合が実現できないことが問題となる。
一方、本実施形態においては、電極層2上に半田層5を形成する前に、電極層2上に予め金属層3を形成しておく。よって、本実施形態によれば、上記のような隙間Hのない金属層3を形成することができ、第3電極層2cの消滅を回避することができる。また、本実施形態によれば、膜厚の均一性の良好な金属層3を形成することができる。
図3は、第1実施形態の半導体装置の構造の例を示す断面図である。
図3は、図1(c)に対応する断面図であり、図1(c)の金属層3の形状の例をより詳細に示している。符号T1は、金属層3の膜厚の最大値を示す。符号T2は、金属層3の膜厚の最小値を示す。
本実施形態の金属層3の膜厚は均一性が良好であり、最大値T1と最小値T2との差が小さい。金属層3の膜厚は、金属層3の形成直後はほぼ一定であるが、半田層5の形成後にNi3Sn4合金の成長やNi原子の拡散により変動する。ただし、本実施形態の金属層3の膜厚は、このような成長や拡散を経ても、比較例の金属層3の膜厚よりも均一性が良好である。本実施形態によれば、金属層3の膜厚の最大値T1を、金属層3の膜厚の最小値T2のおおむね2倍以下に設定することが可能である。
また、図3の金属層3は、上記のような隙間Hを有していない。よって、図3の半田層5は、いずれの領域においても電極層2上に金属層3を介して形成されており、電極層2とは離隔して形成されている。
(2)第1実施形態の電極構造の例
図4は、第1実施形態の半導体装置の電極構造の第1の例を示す平面図である。
図4は、第1実施形態の半導体装置の電極構造の第1の例を示す平面図である。
図4(a)は、+Z方向から見た半導体装置を示す。図4(b)は、−Z方向から見た半導体装置を示す。図4(a)は基板1の裏面側を示し、図4(b)は基板1の表面側を示す。
この半導体装置は、基板1の裏面側に形成されたドレイン電極11と、基板1の表面側に形成されたソース電極12と、基板1の表面側に形成されたゲート電極13とを備えている。よって、ドレイン電極11が裏面電極であり、ソース電極12とゲート電極13が表面電極である。この半導体装置の半導体チップは例えば、棒状のドレイン端子、ソース端子、およびゲート端子を備えるパッケージ内に収容される。
図4(a)のドレイン電極11は、本実施形態の電極層2により形成されている。図4(a)のドレイン電極11上には、本実施形態の金属層3および半田層5が形成されている。
図5は、第1実施形態の半導体装置の電極構造の第2の例を示す平面図である。
図5(a)は、+Z方向から見た半導体装置を示す。図5(b)は、−Z方向から見た半導体装置を示す。図5(a)は基板1の一方の面を示し、図5(b)は基板1の他方の面を示す。
この半導体装置は、基板1の同じ面に形成されたドレイン電極11、ソース電極12、およびゲート電極13を備えている。このような電極11、12、13を備えるトランジスタの例は、HEMT(高電子移動度トランジスタ)である。この半導体装置の半導体チップは例えば、CSP(Chip Size Package)型のパッケージ内に収容される。
図5(a)のドレイン電極11、ソース電極12、およびゲート電極13は、本実施形態の電極層2により形成されている。図5(a)のドレイン電極11、ソース電極12、およびゲート電極13上には、本実施形態の金属層3および半田層5が形成されている。
以上のように、本実施形態においては、電極層2上に半田層5を形成する前に、電極層2の構成元素と半田層5の構成元素とを含有する金属層3を、電極層2上に予め形成しておく。よって、本実施形態によれば、金属層3により電極層2と半田層5との適切な接合を実現することが可能となる。
なお、本実施形態の半導体装置を製造する場合、例えば、以下の第1および第2の製造形態が想定される。第1の製造形態においては、図1(a)〜図1(c)の工程を同一の製造者が実施する。第2の製造形態においては、図1(a)および図1(b)の工程を第1の製造者が実施し、図1(c)の工程を第2の製造者が実施する。第2の製造形態を採用する場合、図1(b)に示す状態の半導体装置を第1の製造者から第2の製造者に運搬することになるため、保護層4により金属層3の酸化を防止する機能は、第1の製造形態を採用する場合に比べ有用性が高い。
(第2実施形態)
図6は、第2実施形態の半導体装置の製造方法を示す断面図である。
図6は、第2実施形態の半導体装置の製造方法を示す断面図である。
まず、図6(a)に示すように、基板1上に第1、第2、および第3電極層2a、2b、2cを含む電極層2を形成する。第1、第2、および第3電極層2a、2b、2cの例はそれぞれ、Al層、Ti層、Ni層である。
次に、図6(b)に示すように、電極層2上に金属層3と保護層4とを順次形成する。
本実施形態の金属層3は、1層以上の第1金属層3aと1層以上の第2金属層3bとを交互に含む積層膜である。本実施形態の金属層3は、電極層2上に第1金属層3aと第2金属層3bとを交互に形成することにより形成される。第1金属層3aの例はNi層であり、第2金属層3bの例はSn層である。また、保護層4の例は、Au層またはAg層である。
符号Taは、各第1金属層3aの膜厚を示す。第1金属層3aの層数がNaの場合、本実施形態の半導体装置の第1金属層3aの合計膜厚はNa×Taである。符号Tbは、各第2金属層3bの膜厚を示す。第2金属層3bの層数がNbの場合、本実施形態の半導体装置の第2金属層3bの合計膜厚はNb×Tbである。
本実施形態においては、第1金属層3aの合計膜厚Na×Taと、第2金属層3bの合計膜厚Nb×Tbとの比が、おおむね1:3に設定されている。合計膜厚Na×Taの例は、3×10nmである。合計膜厚Nb×Tbの例は、3×30nmである。
Niの原子量は58.7であり、Niの密度は8.9g/cm3である。一方、Snの原子量は118.7であり、Snの密度は7.4g/cm3(βスズ)または5.8g/cm3(αスズ)である。常温・常圧のスズは、βスズである。よって、合計膜厚Na×Taと合計膜厚Nb×Tbとの比を1:3に設定すると、第1金属層(ニッケル層)3a内のNi原子の合計モル数と、第2金属層(βスズ層)3b内のSn原子の合計モル数との比が3:4となる。この比は、Ni3Sn4合金を形成するのに好適な比である。
よって、本実施形態においては、合計膜厚Nb×Tbを、合計膜厚Na×Taの3倍程度に設定することが望ましい。本実施形態の合計膜厚Nb×Tbの例は、合計膜厚Na×Taの2.5倍〜3.5倍である。この場合、第1金属層3a内のNi原子の合計モル数と、第2金属層3b内のSn原子の合計モル数との比は、3:3.3〜3:4.7程度となる。
次に、図6(c)に示すように、電極層2上に金属層3と保護層4とを形成した後に、金属層3上に保護層4を介して半田層5を形成する。この工程の実施中に、保護層4の構成原子が半田層5内へと拡散し、保護層4が消滅する。半田層5の例は、Sn層である。
図6(b)の工程以降に、第1金属層3a内のNi原子と第2金属層3b内のSn原子とが反応し、本実施形態の金属層3の全体または大部分がNi3Sn4合金層に変化する。本実施形態の電極層2と半田層5は、このNi3Sn4合金層により接合される。
このようにして、本実施形態の半導体装置の半導体チップが製造される。その後、この半導体チップは例えば、リードフレーム上や絶縁基板上に配置される。
本実施形態においては、第1実施形態と同様に、電極層2上に半田層5を形成する前に、電極層2上に予め金属層3を形成しておく。よって、本実施形態によれば、上記のような隙間Hのない金属層3を形成することができ、第3電極層2cの消滅を回避することができる。また、本実施形態によれば、膜厚の均一性の良好な金属層3を形成することができる。
以上のように、本実施形態においては、電極層2上に半田層5を形成する前に、電極層2の構成元素と半田層5の構成元素とを含有する金属層3を、電極層2上に予め形成しておく。よって、本実施形態によれば、第1実施形態と同様に、金属層3により電極層2と半田層5との適切な接合を実現することが可能となる。
なお、本実施形態の第1金属層3aの膜厚Taは、第1金属層3aごとに異なる値でもよい。同様に、本実施形態の第2金属層3bの膜厚Tbは、第2金属層3bごとに異なる値でもよい。
また、本実施形態の第1金属層3aは、Ni元素に加えて、その他の元素を含有していてもよい。同様に、本実施形態の第2金属層3bは、Sn元素に加えて、その他の元素を含有していてもよい。
以上、いくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例としてのみ提示したものであり、発明の範囲を限定することを意図したものではない。本明細書で説明した新規な装置および方法は、その他の様々な形態で実施することができる。また、本明細書で説明した装置および方法の形態に対し、発明の要旨を逸脱しない範囲内で、種々の省略、置換、変更を行うことができる。添付の特許請求の範囲およびこれに均等な範囲は、発明の範囲や要旨に含まれるこのような形態や変形例を含むように意図されている。
1:基板、2:電極層、2a:第1電極層、2b:第2電極層、2c:第3電極層、
3:金属層、3a:第1金属層、3b:第2金属層、4:保護層、5:半田層、
11:ドレイン電極、12:ソース電極、13:ゲート電極
3:金属層、3a:第1金属層、3b:第2金属層、4:保護層、5:半田層、
11:ドレイン電極、12:ソース電極、13:ゲート電極
Claims (8)
- 第1の金属元素を含有する電極層と、
前記電極層上に設けられ、前記第1の金属元素と、前記第1の金属元素と異なる第2の金属元素とを含有する金属層と、
前記金属層上に前記電極層と離隔して設けられ、前記第2の金属元素を含有する半田層と、
を備える半導体装置。 - 前記金属層の膜厚の最大値は、前記金属層の膜厚の最小値の2倍以下である、請求項1に記載の半導体装置。
- 第1の金属元素を含有する電極層と、
前記電極層上に設けられ、前記第1の金属元素と、前記第1の金属元素と異なる第2の金属元素とを含有する金属層と、
前記金属層上に前記電極層と離隔して設けられ、前記第1および第2の金属元素と異なる第3の金属元素を含有する層と、
を備える半導体装置。 - 前記金属層は、前記第1の金属元素と前記第2の金属元素とを合金成分として含有する合金層を含む、請求項1から3のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記金属層は、前記第1の金属元素を含有する1層以上の第1金属層と、前記第2の金属元素を含有する1層以上の第2金属層とを含む、請求項1から3のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 第1の金属元素を含有する電極層を形成し、
前記電極層上に、前記第1の金属元素と、前記第1の金属元素と異なる第2の金属元素とを含有する金属層を形成し、
前記電極層上に前記金属層を形成した後に、前記金属層上に前記第2の金属元素を含有する半田層を形成する、
ことを含む半導体装置の製造方法。 - 前記金属層は、前記第1の金属元素と前記第2の金属元素とを合金成分として含有する合金層を含む、請求項6に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記金属層は、前記第1の金属元素を含有する1層以上の第1金属層と、前記第2の金属元素を含有する1層以上の第2金属層とを含む、請求項6に記載の半導体装置の製造方法。
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