JP2015177112A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】第1電位が供給される電極と第2電位が供給される電極との間の半導体層上に容易に配線を形成可能な半導体装置を提供する。【解決手段】一の実施形態によれば、半導体装置は、第1方向に延びている、第1電位の第1および第2電極と、前記第1方向に延びており、前記第1電極を挟むように配置された、前記第1電位と異なる第2電位の第3および第4電極と、前記第1方向に延びており、前記第2電極を挟むように配置された、前記第1電位の第5および第6電極とを備える。さらに、前記装置は、前記第3および第4電極のいずれかと前記第5および第6電極のいずれかとの間に設けられた半導体層と、前記第2、第5、および第6電極および前記半導体層上に設けられた、前記第1電位の第1配線とを備える。【選択図】図1
Description
本発明の実施形態は、半導体装置に関する。
電力用半導体装置は、高いドレイン電圧、低いオン抵抗、低いオン抵抗容量積を保持することが要求されている。オン抵抗容量積は、オン抵抗と容量との積である。これらの要求に応えるために、電力用半導体装置の一部のゲート電極にゲート電位の代わりにソース電位を供給する構成が考えられている(以下、このようなゲート電極を「ソースゲート電極」と呼ぶ)。この場合、チャネル面積が減少し、オン抵抗が増加することになる。しかしながら、チャネル抵抗率が全抵抗率に占める割合は小さいため(例えば5%程度)、この場合のオン抵抗の増加量は小さい。一方、チャネル面積の減少が容量に及ぼす影響は大きいため、この場合のオン抵抗容量積の減少量は大きい(例えば50%程度)。よって、電力用半導体装置の一部のゲート電極をソースゲート電極とすれば、オン抵抗の増加を抑制しつつオン抵抗容量積を低減することができる。しかしながら、電力用半導体装置の一部のゲート電極をソースゲート電極とする場合には、電力用半導体装置の微細化に伴い、通常のゲート電極とソースゲート電極との間の半導体層上にコンタクト配線を形成することが難しくなるという問題がある。
第1電位が供給される電極と第2電位が供給される電極との間の半導体層上に容易に配線を形成可能な半導体装置を提供する。
一の実施形態によれば、半導体装置は、第1方向に延びている、第1電位の第1および第2電極と、前記第1方向に延びており、前記第1電極を挟むように配置された、前記第1電位と異なる第2電位の第3および第4電極と、前記第1方向に延びており、前記第2電極を挟むように配置された、前記第1電位の第5および第6電極とを備える。さらに、前記装置は、前記第3および第4電極のいずれかと前記第5および第6電極のいずれかとの間に設けられた半導体層と、前記第2、第5、および第6電極および前記半導体層上に設けられた、前記第1電位の第1配線とを備える。
以下、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。
(第1実施形態)
(1)第1実施形態の半導体装置の構造
図1と図2はそれぞれ、第1実施形態の半導体装置の構造を示す平面図および断面図である。本実施形態の半導体装置は、トレンチゲート型のMOSFETを備える電力用半導体装置である。図2は、図1に示す直線Lに沿った断面を示す。
(1)第1実施形態の半導体装置の構造
図1と図2はそれぞれ、第1実施形態の半導体装置の構造を示す平面図および断面図である。本実施形態の半導体装置は、トレンチゲート型のMOSFETを備える電力用半導体装置である。図2は、図1に示す直線Lに沿った断面を示す。
以下、本実施形態の半導体装置の構造を主に図1を参照して説明し、この説明の中で必要に応じて図2も参照する。
本実施形態の半導体装置は、基板1と、第1および第2電極の例に相当する第1および第2ソース電極2a、2bと、第3および第4電極の例に相当する第1および第2ゲート電極3a、3bと、第5および第6電極の例に相当する第1および第2ソースゲート電極4a、4bと、第1絶縁膜5と、第2絶縁膜6と、第3絶縁膜7とを備えている。なお、図1は、第1、第2、第3絶縁膜5、6、7の図示を省略している。
本実施形態の半導体装置はさらに、ソース配線11と、ソースコンタクト配線12と、ゲート配線13と、ゲートコンタクト配線14と、第1配線の例に相当する第1コンタクト配線21とを備えている。
基板1の例は、シリコン基板などの半導体基板である。図1および図2は、基板1に平行で互いに垂直なX方向およびY方向と、基板1に垂直なZ方向とを示している。X方向は第1方向の例であり、Y方向は第1方向と異なる第2方向の例である。本明細書においては、+Z方向を上方向として取り扱い、−Z方向を下方向として取り扱う。例えば、図2の基板1と第3絶縁膜7との位置関係は、基板1が第3絶縁膜7の下方に位置していると表現される。
第1および第2ソース電極2a、2bは、基板1上に形成され、X方向に延びており、第1電位の例であるソース電位が供給される。第1および第2ソース電極2a、2bの例は、ポリシリコン層である。本実施形態においては、複数本の第1ソース電極2aと複数本の第2ソース電極2bが、Y方向に沿って交互に配置されている。符号E1、E2はそれぞれ、第1および第2ソース電極2a、2bの端部を示す。
第1および第2ゲート電極3a、3bは、X方向に延びており、基板1上に第1ソース電極2aを挟むように配置され、第1電位と異なる第2電位の例であるゲート電位が供給される。第1および第2ゲート電極3a、3bの例は、ポリシリコン層である。符号E3、E4はそれぞれ、第1および第2ゲート電極3a、3bの端部を示す。
第1および第2ソースゲート電極4a、4bは、X方向に延びており、基板1上に第2ソース電極2bを挟むように配置され、ソース電位が供給される。第1および第2ソースゲート電極4a、4bの例は、ポリシリコン層である。符号E5、E6はそれぞれ、第1および第2ソースゲート電極4a、4bの端部を示す。
第1絶縁膜5(図2)は、X方向に延びるように基板1上に形成されている。第1絶縁膜5の各々は、第1ソース電極2aと第1および第2ゲート電極3a、3bの側部および底部に接している、または第2ソース電極2bと第1および第2ソースゲート電極4a、4bの側部および下部に接している。第1絶縁膜5の例は、シリコン酸化膜である。
第2絶縁膜6(図2)は、X方向に延びるように基板1上に形成されている。第2絶縁膜6の各々は、第1ソース電極2aと第1および第2ゲート電極3a、3bの上部に接している。第2絶縁膜6の例は、シリコン酸化膜である。
第3絶縁膜7(図2)は、基板1上にソース配線11、ソースコンタクト配線12、ゲート配線13、ゲートコンタクト配線14、および第1コンタクト配線21を覆うように形成されている。第3絶縁膜7の例は、シリコン酸化膜である。
基板1は、図2に示すように、第1半導体層の例に相当する第1ソース層1aと、第2半導体層の例に相当する第2ソース層1bと、第3半導体層の例に相当するベース層1cとを含んでいる。
第1ソース層1a、第2ソース層1b、およびベース層1cは、第1または第2ゲート電極3a、3bと第1または第2ソースゲート電極4a、4bとの間に、第1絶縁膜5を介して形成されている。第1ソース層1aは、n型層であり、第1または第2ゲート電極3a、3bに隣接している。第2ソース層1bは、n型層であり、第1または第2ソースゲート電極4a、4bに隣接している。ベース層1cは、p型層であり、第1および第2ソース層1a、1b間に形成された部分を含んでいる。n導電型とp導電型はそれぞれ、第1および第2導電型の例である。
ソース配線11は、基板1上にY方向に延びるように形成されている。ソース配線11の例は、ポリシリコン層である。ソースコンタクト配線12は、ソース配線11上にY方向に延びるように形成されている。ソースコンタクト配線12の例は、金属層である。ソース配線11は、第1および第2ソース電極2a、2b上に形成されており、第1および第2ソース電極2a、2bにソース電位を供給する。
ゲート配線13は、基板1上にY方向に延びるように形成され、ソース配線11の+X方向に位置している。ゲート配線13の例は、ポリシリコン層である。ゲートコンタクト配線14は、ゲート配線13上にY方向に延びるように形成されている。ゲートコンタクト配線14の例は、金属層である。ゲート配線13は、第1および第2ゲート電極3a、3b上に形成されており、第1および第2ゲート電極3a、3bにゲート電位を供給する。なお、ゲート配線13は、第1および第2ソース電極2a、2b上に絶縁膜を介して形成されており、第1および第2ソース電極2a、2bとは電気的に絶縁されている。
ゲート配線13は、櫛形形状を有している。具体的には、ゲート配線13は、Y方向に延びる帯状の形状を有する第1領域13aと、第1領域13bの+X方向に位置する複数の第2領域13bとを含んでいる。第2領域13b間のピッチは、第1ソース電極2a間のピッチや、第2ソース電極2b間のピッチと同じ値である。
第1および第2ソース電極2a、2bの端部E1、E2は、ソース配線11およびゲート配線13の−X方向に位置している。また、第1および第2ゲート電極3a、3bの端部E3、E4は、ソース配線11の+X方向に位置し、かつ、ゲート配線13の第2領域13bの真下に位置している。また、第1および第2ソースゲート電極4a、4bの端部E5、E6は、ソース配線11およびゲート配線13の+X方向に位置している。よって、第1および第2ソース電極2a、2bの端部E1、E2は、ソース配線11およびゲート配線13に対し、第1および第2ソースゲート電極4a、4bの端部E5、E6とは反対側に位置している。なお、第1および第2ソースゲート電極4a、4bの端部E5、E6は、ゲート配線13の第2領域13b間に位置している。
第1コンタクト配線21は、基板1上にX方向に延びるように形成されている。第1コンタクト配線21の例は、金属層である。第1コンタクト配線21は、ソースコンタクト配線12やゲートコンタクト配線14とは異なり、ポリシリコン層を介さずに基板1上に形成されている。第1コンタクト配線21間のピッチは、第1ソース電極2a間のピッチや、第2ソース電極2b間のピッチと同じ値である。
第1コンタクト配線21は、図2に示すように、第2ソース電極2b、第1および第2ソースゲート電極4a、4b、第1および第2ソース層1a、1b、およびベース層1c上に形成されている。よって、第1コンタクト配線21は、第2ソース電極2b、第1および第2ソースゲート電極4a、4b、第1および第2ソース層1a、1b、およびベース層1cにソース電位を供給することができる。第1コンタクト配線21は、これらの電極や半導体層とは電気的に接続されているが、第1および第2ゲート電極3a、3bとは電気的に絶縁されている。
(2)第1実施形態の比較例の半導体装置の構造
図3と図4はそれぞれ、第1実施形態の比較例の半導体装置の構造を示す平面図および断面図である。図4は、図3に示す直線Lに沿った断面を示す。
図3と図4はそれぞれ、第1実施形態の比較例の半導体装置の構造を示す平面図および断面図である。図4は、図3に示す直線Lに沿った断面を示す。
以下、本比較例の半導体装置の構造を主に図3を参照して説明し、この説明の中で必要に応じて図4も参照する。
本比較例においては、第1実施形態の第1コンタクト配線21の各々が、ソースゲート配線15と、ソースゲートコンタクト配線16と、コンタクト配線17とに置き換えられている。
ソースゲート配線15は、図4に示すように、第2ソース電極2bと第1および第2ソースゲート電極4a、4b上に形成されている。よって、ソースゲート配線15は、第2ソース電極2bと第1および第2ソースゲート電極4a、4bにソース電位を供給することができる。ソースゲート配線15の例は、ポリシリコン層である。ソースゲートコンタクト配線16は、ソースゲート配線15上に形成されている。ソースゲートコンタクト配線16の例は、金属層である。
図4は、直線Lの+X方向に位置するコンタクト配線17を点線で示している。コンタクト配線17は、図4に示すように、第1および第2ソース層1a、1bとベース層1c上に形成されている。よって、コンタクト配線17は、第1および第2ソース層1a、1bとベース層1cにソース電位を供給することができる。コンタクト配線17は、これらの半導体層1a〜1cとは電気的に接続されているが、第1および第2ゲート電極3a、3bとは電気的に絶縁されている。コンタクト配線17の例は、金属層である。
ここで、第1実施形態と比較例とを比較する。
比較例においては、半導体装置の微細化が進むと、半導体層1a〜1c上にコンタクト配線17を形成することが難しくなる。理由は、半導体装置の微細化が進むと、半導体層1a〜1cのY方向の幅が狭くなり、コンタクト配線17を形成するためのリソグラフィおよびエッチングの余裕度が低下するからである。コンタクト配線17のY方向の幅の例は、0.25〜0.35μmである。この場合のリソグラフィは例えば、波長248nmのKrFレーザーを用いて行われることになる。
一方、第1実施形態においては、第1コンタクト配線21のY方向の幅は、コンタクト配線17のY方向の幅よりも広くすることが可能である。よって、半導体装置の微細化が進んでも、第1コンタクト配線21を形成するためのリソグラフィおよびエッチングの余裕度を十分に確保することができ、第1コンタクト配線21を容易に形成することができる。第1コンタクト配線21のY方向の幅の例は、3.0〜3.5μmである。この場合のリソグラフィは例えば、波長365nmのi線を用いて行うことができる。
また、第1実施形態においては、第1コンタクト配線21がポリシリコン層を介さずに基板1上に形成されており、かつ、第1コンタクト配線21のXY平面内の面積が、配線15、17のXY平面内の合計面積よりも広く設定されている。よって、本実施形態によれば、第1コンタクト配線21の抵抗を、配線15、16、17の抵抗よりも低減することができる。
比較例においては、各第2ソース電極2b上に、複数のソースゲート配線15と複数のソースゲートコンタクト配線16とが配置されている。図3は、これらのソースゲート配線15およびソースゲートコンタクト配線16のうちの、1つのソースゲート配線15と1つのソースゲートコンタクト配線16とを示している。
一方、第1実施形態においては、各第2ソース電極2b上に、1つの第1コンタクト配線21のみが配置されている。すなわち、第1実施形態においては、比較例の複数のソースゲート配線15と複数のソースゲートコンタクト配線16が、1つの第1コンタクト配線21に置き換えられている。よって、本実施形態によれば、第1コンタクト配線21の抵抗を、配線15、16、17の抵抗よりも大幅に低減することができる。
以上のように、第1実施形態の半導体装置は、第2ソース電極2b、第1および第2ソースゲート電極4a、4b、および半導体層1a〜1c上に形成され、第2ソース電極2b、第1および第2ソースゲート電極4a、4b、および半導体層1a〜1cにソース電位を供給する第1コンタクト配線21を備えている。
よって、本実施形態によれば、第1および第2ゲート電極3a、3bと第1および第2ソースゲート電極4a、4bとの間の半導体層1a〜1c上に容易に配線(第1コンタクト配線21)を形成することが可能となる。
(第2実施形態)
図5と図6はそれぞれ、第2実施形態の半導体装置の構造を示す平面図および断面図である。図6は、図5に示す直線Lに沿った断面を示す。
図5と図6はそれぞれ、第2実施形態の半導体装置の構造を示す平面図および断面図である。図6は、図5に示す直線Lに沿った断面を示す。
以下、本実施形態の半導体装置の構造を主に図5を参照して説明し、この説明の中で必要に応じて図6も参照する。
第2実施形態においては、第1実施形態のソース配線11およびソースコンタクト配線12が、第2コンタクト配線22に置き換えられている。第2コンタクト配線22は、第2配線の例である。また、第2実施形態のゲート配線13は、非櫛形形状を有している。よって、第2実施形態のゲート配線13は、第1領域13aを含んでいるが、第2領域13bは含んでいない。
第2コンタクト配線22は、基板1上にX方向に延びるように形成されている。第2コンタクト配線22の例は、金属層である。第2コンタクト配線22は、第1コンタクト配線21と同様に、ポリシリコン層を介さずに基板1上に形成されている。第2コンタクト配線22間のピッチは、第1ソース電極2a間のピッチや、第2ソース電極2b間のピッチと同じ値である。
第2コンタクト配線22は、図5と図6に示すように、第1ソース電極2a上に第1および第2ゲート電極3a、3b間に挟まれるように形成されている。よって、第2コンタクト配線22は、第1ソース電極2aにソース電位を供給することができる。第2コンタクト配線22は、第1ソース電極2aとは電気的に接続されているが、第1および第2ゲート電極3a、3bとは電気的に絶縁されている。また、第2コンタクト配線22は、第2および第3絶縁膜6、7により第1コンタクト配線21と分離されている。
なお、本実施形態においては、各第1ソース電極2a上に、1つの第2コンタクト配線22のみが配置されている。これは、第1実施形態の各第2ソース電極2b上に、1つの第1コンタクト配線21のみが配置されているのと同様である。
第1および第2ソース電極2a、2bの端部E1、E2は、ゲート配線13の+X方向に位置している。また、第1および第2ゲート電極3a、3bの端部E3、E4は、ゲート配線13の真下に位置している。また、第1および第2ソースゲート電極4a、4bの端部E5、E6は、ゲート配線13の+X方向に位置している。よって、第1および第2ソース電極2a、2bの端部E1、E2は、ゲート配線13に対し、第1および第2ソースゲート電極4a、4bの端部E5、E6と同じ側に位置している。具体的には、端部E1、E2のX方向の位置が、端部E5、E6のX方向の位置とほぼ同じであり、端部E1、E2とゲート配線13との距離D1、D2が、端部E5、E6とゲート配線13との距離D5、D6とほぼ同じ値に設定されている。
ここで、第1および第2実施形態を比較する。
第1実施形態においては、端部E3、E4のX方向の位置が、端部E5、E6のX方向の位置とほぼ同じであり、第1および第2ゲート電極3a、3bのX方向の長さが、第1および第2ソースゲート電極4a、4bのX方向の長さとほぼ同じである。このような構造には、これらの電極3a、3b、4a、4bを形成しやすいという利点がある。
また、第1実施形態のゲート配線13は、櫛形形状を有している。よって、本実施形態によれば、電極3a、3b、4a、4bのX方向の長さを同じに設定しつつ、電極3a、3bをゲート配線13と電気的に接続し、電極4a、4bをゲート配線13と電気的に絶縁することが可能となる。
一方、第2実施形態においては、端部E1、E2のX方向の位置が、端部E5、E6のX方向の位置とほぼ同じであり、第1および第2ソース電極2a、2bのX方向の長さが、第1および第2ソースゲート電極4a、4bのX方向の長さとほぼ同じである。このような構造には、これらの電極2a、2b、4a、4bを形成しやすいという利点がある。
さらに、このような構造には、ゲート配線13と端部E1、E2、E5、E6との距離D1、D2、D5、D6を長くすることができるという利点がある。よって、本実施形態によれば、ゲート配線13をエッチングする際の残渣が、ゲート配線13と端部E1、E2、E5、E6とを電気的に接続してしまう事態を抑制することが可能となる。
以上、いくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例としてのみ提示したものであり、発明の範囲を限定することを意図したものではない。本明細書で説明した新規な装置は、その他の様々な形態で実施することができる。また、本明細書で説明した装置の形態に対し、発明の要旨を逸脱しない範囲内で、種々の省略、置換、変更を行うことができる。添付の特許請求の範囲およびこれに均等な範囲は、発明の範囲や要旨に含まれるこのような形態や変形例を含むように意図されている。
1:基板、1a:第1ソース層、1b:第2ソース層、1c:ベース層、
2a:第1ソース電極、2b:第2ソース電極、
3a:第1ゲート電極、3b:第2ゲート電極、
4a:第1ソースゲート電極、4b:第2ソースゲート電極、
5:第1絶縁膜、6:第2絶縁膜、7:第3絶縁膜、
11:ソース配線、12:ソースコンタクト配線、
13:ゲート配線、14:ゲートコンタクト配線、
13a:第1領域、13b:第2領域、
15:ソースゲート配線、16:ソースゲートコンタクト配線、
17:コンタクト配線、
21:第1コンタクト配線、22:第2コンタクト配線
2a:第1ソース電極、2b:第2ソース電極、
3a:第1ゲート電極、3b:第2ゲート電極、
4a:第1ソースゲート電極、4b:第2ソースゲート電極、
5:第1絶縁膜、6:第2絶縁膜、7:第3絶縁膜、
11:ソース配線、12:ソースコンタクト配線、
13:ゲート配線、14:ゲートコンタクト配線、
13a:第1領域、13b:第2領域、
15:ソースゲート配線、16:ソースゲートコンタクト配線、
17:コンタクト配線、
21:第1コンタクト配線、22:第2コンタクト配線
Claims (6)
- 第1方向に延びている、第1電位の第1および第2電極と、
前記第1方向に延びており、前記第1電極を挟むように配置された、前記第1電位と異なる第2電位の第3および第4電極と、
前記第1方向に延びており、前記第2電極を挟むように配置された、前記第1電位の第5および第6電極と、
前記第3および第4電極のいずれかと前記第5および第6電極のいずれかとの間に設けられた半導体層と、
前記第2、第5、および第6電極および前記半導体層上に設けられた、前記第1電位の第1配線と、
を備える半導体装置。 - 前記第1配線は、前記第1方向に延びている、請求項1に記載の半導体装置。
- 前記半導体層は、第1導電型の第1および第2半導体層と、前記第1および第2半導体層間に設けられた第2導電型の第3半導体層とを含み、
前記第1配線は、前記第1、第2、および第3半導体層上に設けられている、
請求項1または2に記載の半導体装置。 - 前記第1電極上に前記第3および第4電極間に挟まれるように設けられた、前記第1電位の第2配線を備える、請求項1から3のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記第3および第4電極上に設けられ、前記第1方向と異なる第2方向に延びている、前記第2電位の第3配線を備え、
前記第1電極の端部は、前記第3配線に対して前記第5および第6電極の端部と同じ側に位置する、請求項4に記載の半導体装置。 - 前記第3および第4電極上に設けられ、前記第1方向と異なる第2方向に延びている、前記第2電位の第3配線を備え、
前記第2電極の端部は、前記第3配線に対して前記第5および第6電極の端部と同じ側に位置する、請求項4または5に記載の半導体装置。
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