JP2015177109A - 基板処理方法および基板処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】処理液供給工程においてホットプレートの上面を処理液から確実に保護でき、これにより、ホットプレート上での処理液の乾燥に起因するパーティクルの発生を防止できる基板処理方法を提供すること。保護液吐出口から保護液を吐出させるときにホットプレートの上面に保護液の液膜を良好に形成できる構成を、簡単な構成で実現できる基板処理装置を提供すること。
【解決手段】ホットプレート６が基板保持回転ユニット５から下方に退避する下位置に配置した状態で、基板保持回転ユニット５によって保持されている基板Ｗの上面に薬液を供給する薬液供給工程が実行される。この薬液供給工程に並行して、ホットプレート６の基板対向面６ａに、当該基板対向面６ａの全域を覆う保護液の液膜９０が形成される。
【選択図】図１２Ａ−１２Ｂ

Description

本発明は、たとえば、半導体ウエハ、液晶表示装置用ガラス基板、プラズマディスプレイ用基板、ＦＥＤ(Field Emission Display)用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板、セラミック基板、太陽電池用基板などの基板を処理するための基板処理方法および基板処理装置に関する。

半導体装置や液晶表示装置の製造工程では、半導体ウエハや液晶表示パネル用ガラス基板などの基板の表面に薬液を供給して、その基板の表面を薬液で洗浄する薬液処理や、基板を加熱する高温処理などが行われる。
たとえば、基板を１枚ずつ処理する枚葉式の洗浄処理を実施する基板処理装置は、基板をほぼ水平に保持しつつ、その基板を回転させる基板保持回転ユニットと、この基板保持回転ユニットによって回転される基板の表面に薬液を供給するための薬液ノズルとを備えている。

このような枚葉式の基板処理装置として、たとえば、基板保持回転ユニットの回転ベースにヒータを内蔵させるものが知られている。この場合、基板保持回転ユニットに保持されている基板をホットプレートによって高温に加熱させることができる。

特開２００８−４８７９号公報

本願発明者は、ヒータを内蔵するホットプレートを、基板保持手段（基板保持回転ユニット）とは別に設け、これらホットプレートおよび基板保持手段を、相対的に昇降させることを検討している。具体的には、高温処理時には、ホットプレートの上面を基板の下面に近接させた状態で、ホットプレートにより基板を加熱し、一方、薬液処理時には、ホットプレートを基板保持手段より下方に退避させて、ホットプレートによる伝熱を減少させた状態で基板保持手段によって保持されている基板に薬液を供給することが考えられる。

しかしながら、薬液供給工程（薬液処理時）には、基板保持手段に保持されている基板から排出される薬液の液滴が、基板保持手段から下方に退避しているホットプレートの上面に向けて降り掛かるおそれがある。
ホットプレートの上面に薬液の液滴が直接供給されると、発熱状態にあるホットプレートによって薬液が加熱され、ホットプレートの上面において薬液が加熱乾燥されるおそれがある。ホットプレートの上面で薬液が加熱乾燥されると、その乾燥薬液がパーティクルとなって雰囲気中に飛散するなどして基板を汚染するおそれがある。

そこで、本発明の目的は、薬液供給工程においてホットプレートの上面を薬液から確実に保護でき、これにより、ホットプレート上での薬液の乾燥に起因するパーティクルの発生を防止できる基板処理方法を提供することである。
また、本発明の他の目的は、保護液吐出口から保護液を吐出させるときにホットプレートの上面に保護液の液膜を良好に形成できる構成を、簡単な構成で実現できる基板処理装置を提供することである。

前記の目的を達成するための請求項１に記載の発明は、
基板（Ｗ）を保持するための基板保持手段（５）と、前記基板を下方から加熱するためのホットプレート（６）とを備える基板処理装置（１）において実行される基板処理方法であって、前記ホットプレートおよび前記基板保持手段を、前記ホットプレートが前記基板保持手段から下方に退避する退避位置に配置した状態で、前記基板保持手段によって保持されている前記基板の上面に処理液を供給し、当該処理液を用いて前記基板を処理する処理液供給工程（Ｓ２，Ｓ３）と、前記処理液供給工程に並行して、前記ホットプレートの上面に、当該上面を覆う保護液の液膜を形成する保護液液膜形成工程（Ｓ２）と、前記ホットプレートを前記基板の下面に近接または接触させながら、当該ホットプレートにより前記基板を加熱する基板加熱工程（Ｓ７）と、を含む、基板処理方法を提供する。

なお、この項において、括弧内の英数字は、後述の実施形態における対応構成要素の参照符合を表すものであるが、これらの参照符号により特許請求の範囲を実施形態に限定する趣旨ではない。
この方法によれば、処理液供給工程に並行して、ホットプレートの上面に、当該上面を覆う保護液の液膜が形成される。

処理液供給工程では、ホットプレートが基板保持手段から下方に退避している。そのため、基板保持手段に保持されている基板から排出される処理液の液滴が、ホットプレートの上面に向けて降り掛かるおそれがある。
しかしながら、このような場合であっても、ホットプレートの上面が保護液の液膜で覆われているので、基板からの処理液の液滴がホットプレートの上面に直接供給されない。したがって、発熱状態にあるホットプレートの上面における処理液の乾燥を確実に防止できる。これにより、ホットプレート上での処理液の乾燥に起因するパーティクルの発生を防止できる。

請求項２に記載の発明は、前記保護液液膜形成工程は、前記ホットプレートの上面に保護液を連続的に供給する工程を含む、請求項１に記載の基板処理方法である。
この方法によれば、処理液供給工程に並行して、ホットプレートの上面に保護液が連続的に供給することにより、ホットプレートの上面を保護液の液膜で覆うことができる。
請求項３に記載のように、前記保護液液膜形成工程は、前記ホットプレートの上面に形成された保護液吐出口（２０，１２０）から保護液を吐出する工程を含むことが好ましい。この場合、保護液吐出用のノズルを別途設けることなく、基板の上面に保護液を供給できる。

また、請求項４に記載のように、前記保護液液膜形成工程は、保護液ノズル（２１１）から前記ホットプレートの上面に保護液を吐出する工程を含んでいてもよい。
請求項５に記載に記載のように、前記処理液供給工程は、前記基板の上面に薬液またはリンス液を供給する工程と、前記基板の上面を有機溶剤の液膜に置換する有機溶媒供給工程とを含み、前記基板加熱工程では、前記有機溶媒供給工程により前記基板の上面に形成された前記有機溶媒の液膜が前記基板の上面で加熱されるようにしてもよい。この場合、ホットプレート上で薬液またはリンス液の乾燥に起因するパーティクルが発生しないため、その後に行われる、有機溶媒の液膜を基板の上面で加熱する工程において基板がこれらのパーティクルで汚染されることを防止することができる。

請求項６に記載の発明は、基板（Ｗ）を水平姿勢に保持するための基板保持手段（５）と、前記基板保持手段に保持された基板に向けて処理液を供給する処理液供給手段（７）と、前記処理液供給手段から供給された処理液により処理された前記基板の下面に近接または接触させた状態で前記基板を下方から加熱するためのホットプレート（６）と、前記処理液供給手段による前記処理液の供給と並行して、前記ホットプレートの上面に保護液を供給し、当該ホットプレートの上面に保護液の液膜を形成する保護液供給手段（６０；２１０）とを含む、基板処理装置（１）を提供する。

この構成によれば、処理液の供給と並行してホットプレート上面に保護液の液膜が形成される。このため、発熱状態にあるホットプレートの上面における処理液の乾燥を確実に防止できる。これにより、ホットプレート上での処理液の乾燥に起因するパーティクルの発生を防止することができる。
請求項７に記載の発明は、前記ホットプレートは、当該ホットプレートの上面に開口する保護液吐出口（２０，１２０）と、当該保護液吐出口に連通し、前記保護液吐出口に供給される保護液が流通する保護液流通路（１７）と、前記保護液吐出口と前記保護液流通路とを区画し、前記ホットプレートに固定的に設けられた保護液配管（１８）と、前記保護液流通路で上下動可能に、かつ前記保護液吐出口を閉塞可能に設けられた閉塞部材（９８；１９８）と、を有し、前記閉塞部材は、前記保護液吐出口から保護液を吐出させないときには、前記保護液吐出口を閉塞する閉塞位置に配置され、前記保護液吐出口から保護液を吐出させるときには、前記ホットプレートの上面よりも上方に配置させられると共に、前記保護液吐出口から吐出される保護液を前記ホットプレートの外周部に向けて案内する浮上位置に配置させられる、請求項６記載の基板処理装置である。

この構成によれば、保護液吐出口から保護液を吐出させないときには、閉塞部材は保護液吐出口を閉塞している。一方、保護液吐出口から保護液を吐出させるときには、閉塞部材は、ホットプレートの上面よりも上方に浮上する。この状態で、案内部材は、保護液吐出口から吐出される保護液を、ホットプレートの外周部に向けて案内し、これにより、ホットプレートの上面における保護液の液膜の形成を促すことができる。

以上により、保護液吐出口から保護液を吐出させないときにホットプレートの保護液吐出口を閉塞し、かつ、保護液吐出口から保護液を吐出させるときにホットプレートの上面に保護液の液膜を良好に形成できる構成を、簡単な構成で実現できる。
請求項８に記載の発明は、前記閉塞部材は、前記保護液流通路で上下動自在に設けられており、前記閉塞部材は、前記保護液流通路を流通する保護液から圧力を受けて前記浮上位置に配置される、請求項７に記載の基板処理装置である。

この構成によれば、保護液吐出口から保護液を吐出させないときには、保護液流通路を保護液が流通しない。このとき、閉塞部材は、保護液吐出口を閉塞している。一方、保護液吐出口から保護液を吐出させているときには、保護液流通路内を保護液が流通し、閉塞部材は、流通している保護液から圧力を受けて、ホットプレートの上面よりも上方に浮上する。これにより、閉塞部材を上下動させるための駆動部材を、別途設ける必要がない。

請求項９に記載の発明は、前記閉塞部材は、前記閉塞位置において、当該閉塞部材の上面が、前記ホットプレートの前記上面と同一平面上にあるか、あるいは前記ホットプレートの上面から下方に退避している、請求項７または８に記載の基板処理装置である。
この構成によれば、保護液吐出口から保護液を吐出させないときには、閉塞部材の上面がホットプレートの上面と同一平面上に位置しているか、あるいは閉塞部材の上面がホットプレートの上面から下方に退避している。したがって、ホットプレート上に基板を載置する際において、ホットプレートの上面の全域で基板を良好に接触支持でき、かつ基板の全域を良好に加熱できる。

請求項１０に記載の発明は、前記処理液供給手段は、薬液またはリンス液を含む第１処理液を前記基板に向けて供給する第１処理液供給手段（７）と、有機溶剤を含む第２処理液を前記基板に向けて供給し当該第２処理液の液膜を前記基板の上面に形成する第２処理液供給手段（４５，５０）と、を含み、前記ホットプレートは、前記第２処理液の液膜が前記基板の上面に形成された状態で前記基板を加熱する、請求項６〜９のいずれか一項に記載の基板処理装置である。

この構成によれば、第１処理液や第２処理液のホットプレート上面への付着やホットプレート上面での乾燥に起因するパーティクルの発生を防止することができる。したがって、有機溶媒を含む第２処理液の液膜を基板の上面で加熱する工程での基板のパーティクル汚染を低減することができる。

本発明の一実施形態に係る基板処理装置の構成の模式的な平面図である。 図１に示す基板処理装置に備えられたチャンバの内部の断面図である。 図２に示す、基板保持回転ユニットおよびホットプレートの平面図である。 図３を切断面線IV−IVで切断したときの断面図である（その１）。 図３を切断面線IV−IVで切断したときの断面図である（その２）。 図２に示す、ホットプレートおよびプレート支持軸の要部を拡大して示す断面図である（その１）。 図２に示す、ホットプレートおよびプレート支持軸の要部を拡大して示す断面図である（その２）。 固定ピンの構成を模式的に示す断面図である。 可動ピンの構成を模式的に示す断面図である。 処理ユニットの処理対象の基板の表面を拡大して示す断面図である。 処理ユニットで実行される薬液処理の処理例について説明するための工程図である。 図１１の処理例を説明するための模式図である。 図１２Ｂに続く工程を説明するための模式図である。 図１２Ｄに続く工程を説明するための模式図である。 図１２Ｆに続く工程を説明するための模式図である。 図１１の処理例における基板の上面の状態を説明するための模式的な断面図である。 ホットプレートおよびプレート支持軸の変形例の要部を拡大して示す断面図である（その１）。 ホットプレートおよびプレート支持軸の変形例の要部を拡大して示す断面図である（その２）。 本発明の他の実施形態に係る基板処理装置の構成を示す模式的な断面図である。

以下では、この発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係る基板処理装置１の模式的な平面図である。図２は、基板処理装置１に備えられたチャンバ４の内部の断面図である。
図１に示すように、基板処理装置１は、半導体ウエハなどの円板状の基板Ｗを一枚ずつ処理する枚葉式の装置である。基板処理装置１は、処理液や処理ガスによって基板Ｗを処理する複数の処理ユニット２と、各処理ユニット２のチャンバ４に対して基板Ｗの搬入および搬出を行う基板搬送ロボットＣＲと、基板処理装置１に備えられた装置の動作やバルブの開閉などを制御する制御装置３とを含む。

処理ユニット２は、円形の基板Ｗの表面（パターン形成面）に対して、薬液を用いた薬液処理を施すための枚葉型のユニットである。各処理ユニット２は、内部空間を有する箱形のチャンバ４と、チャンバ４内で一枚の基板Ｗを水平な姿勢で保持しながら、基板Ｗの中心を通る鉛直な回転軸線Ａ１まわりに基板Ｗを回転させる基板保持回転ユニット（基板保持手段）５と、基板Ｗを下方から加熱する基板対向面（上面）６ａを有し、基板Ｗの下面に接触して基板Ｗを下方から支持するホットプレート６と、基板保持回転ユニット５に保持されている基板Ｗに、薬液、リンス液等の処理液を供給する処理液供給ユニット（第１処理液供給手段）７と、ホットプレート６を昇降させるためのプレート昇降ユニット８と、ホットプレート６の基板対向面６ａに保護液を供給するための下供給ユニット（保護液供給手段）６０と、基板保持回転ユニット５およびホットプレート６を密閉状態で収容可能なカップ９とを含む。下供給ユニット６０は、保護液配管１８、および保護液配管１８を開閉する保護液バルブ２１等を含む。

図３は、基板保持回転ユニット５およびホットプレート６の平面図である。図４および図５は、図３を切断面線IV−IVで切断したときの断面図である。図４には、ホットプレート６が上位置に位置する状態を示し、図５には、ホットプレート６が下位置（退避位置）に位置する状態を示す。
図２〜図５に示すように、基板保持回転ユニット５は、基板Ｗよりもやや大径の外径を有する円環状の回転リング１１を有している。回転リング１１は、耐薬性を有する樹脂材料を用いて形成されており、基板Ｗの回転軸線Ａ１と同心の回転中心を有している。回転リング１１は、水平平坦状の円環状の平面からなる上面１１ａを有している。上面１１ａには、回転リング１１に対して不動の複数本（たとえば６本）の固定ピン１０、および回転リング１１に対して可動であり、固定ピン１０より少ない複数本（たとえば３本）の可動ピン１２がそれぞれ設けられている。

複数本の固定ピン１０は、回転リング１１の上面１１ａにおいて、円周方向に沿って等間隔に配置されている。複数本の可動ピン１２は、回転リング１１の上面１１ａにおいて、円周方向に沿って配置されている。複数本の可動ピン１２は、複数本の固定ピン１０のうち、予め定める互いに隣り合う、可動ピン１２と同数（たとえば３つ）の固定ピン１０に１対１対応で設けられている。各可動ピン１２は、対応する固定ピン１０に近接する位置に配置されており、すなわち、複数本の可動ピン１２は、回転リング１１の円周方向に関し、局所的に配置されている。

回転リング１１には、回転リング１１を回転軸線Ａ１回りに回転させるためのリング回転ユニット１３が結合されている。リング回転ユニット１３は、たとえばモータとそれに付随する伝達機構等によって構成されている。
図２〜図５に示すように、ホットプレート６は、たとえばセラミックや炭化ケイ素（ＳｉＣ）を用いて形成されており、円板状をなしている。ホットプレート６は、基板Ｗよりもやや小径の円形をなす平坦な基板対向面６ａを有している。基板対向面６ａは、回転リング１１の内径よりも小径を有している。すなわち、ホットプレート６と基板保持回転ユニット５の回転リング１１とが鉛直方向に重複していない。ホットプレート６の内部には、たとえば抵抗式のヒータ１５が埋設されている。ヒータ１５への通電によりヒータ１５が発熱し、これにより、基板対向面６ａを含むホットプレート６全体が加熱される。基板対向面６ａには、回転軸線Ａ１上に円形の保護液吐出口２０が形成されている。

図３に示すように、ホットプレート６の基板対向面６ａには、基板Ｗに下方から当接支持するための略半球状の微小なエンボス６１が、多数個（図３では、たとえば２４個）分散配置されている。エンボス６１の配置密度は、基板対向面６ａの全域において略均一にされている。具体的には、回転軸線Ａ１を中心とする第１の仮想円６２上に、４個のエンボス６１が等間隔で配置されている。第１の仮想円６２と同心の第２の仮想円６３上に、８個のエンボス６１が等間隔で配置されている。第１の仮想円６２と同心の第３の仮想円６４上に、１２個のエンボス６１が等間隔で配置されている。第２および第３の仮想円６３，６４の直径は、第１の仮想円６２の直径のそれぞれ約２倍および約３倍に設定されている。多数個のエンボス６１は、互いに同等の同径を有している。各エンボス６１の高さは、多数個のエンボス６１によって支持されている基板Ｗが基板対向面６ａに吸着するのを防止できる程度の高さに設定されている。

図４に示すように、多数個のエンボス６１と基板Ｗの下面との当接により、基板対向面６ａの上方に、基板Ｗが、基板対向面６ａと微小間隔Ｗａを隔てて配置される。多数個のエンボス６１と基板Ｗの下面との間に生じる摩擦力により、基板Ｗがホットプレート６上で支持され、この状態でヒータ１５が発熱すると、基板対向面６ａも発熱し、この熱が、熱輻射、基板対向面６ａと基板Ｗとの間の空間内の流体熱伝導および多数個のエンボス６１を介した伝熱により、基板Ｗに与えられる。これにより、多数個のエンボス６１により支持されている基板Ｗが加熱される。

基板対向面６ａに分散配置されている多数個のエンボス６１によって基板Ｗが支持されているので、基板対向面６ａから基板Ｗへの伝熱による熱の伝わり易さを基板Ｗの面内で均一に保つことができる。また、基板Ｗにおいて反りが発生するのを抑制または防止できる。
多数個のエンボス６１が、基板対向面６ａの全域ではなく、基板対向面６ａの周縁部にのみ配置されていてもよい。

エンボス６１は、ホットプレート６と別部材であってもよいし、ホットプレート６と一体に設けられたものであってもよい。また、ホットプレート６は、基板対向面６ａにエンボス６１が形成されておらず、基板対向面６ａに基板Ｗが直接載置されるようになっていてもよい。
図２、図４および図５に示すように、ホットプレート６には、鉛直をなすプレート支持軸１４が下方から固定されている。

プレート支持軸１４は、鉛直方向に沿って延びている。プレート支持軸１４は中空軸となっていて、プレート支持軸１４の内部には、ヒータ１５への給電線（図示しない）が挿通されていると共に、保護液配管１８が挿通している。
プレート昇降ユニット８は、プレート支持軸１４に結合されている。プレート昇降ユニット８は、たとえばボールねじやモータを含む。プレート昇降ユニット８の駆動によるプレート支持軸１４の昇降により、ホットプレート６は、基板保持回転ユニット５に保持される基板Ｗの下面よりも、下方に大きく退避する下位置（図５に示す位置）と、基板保持回転ユニット５に保持される基板Ｗの下面よりもやや上方に位置する上位置（図４に示す位置）との間で昇降させられる。上位置では、基板Ｗが固定ピン１０による保持から離脱し、ホットプレート６に支持されている。前述のように、ホットプレート６と基板保持回転ユニット５の回転リング１１とが鉛直方向に重複していないので、ホットプレート６の昇降時に、ホットプレート６および基板保持回転ユニット５は互いに干渉しない。

保護液配管１８は、ホットプレート６の中央部をその厚み方向に貫通する貫通穴１９をそれぞれ介して、基板対向面６ａの中央部で開口する保護液吐出口２０に連通している。保護液配管１８には、保護液バルブ２１を介して、保護液が供給されるようになっている。保護液は、たとえば、純水（脱イオン水：Ｄeionzied Ｗater）である。保護液は、純水に限らず、炭酸水、電解イオン水、水素水、オゾン水、および希釈濃度（たとえば、１０〜１００ｐｐｍ程度）の塩酸水のいずれかであってもよい。

図６および図７は、ホットプレート６およびプレート支持軸１４の要部を拡大して示す断面図である。
保護液吐出口２０は、鉛直視で円形の浅い円形溝９６によって区画されている。円形溝９６は、回転軸線Ａ１を中心とする円筒状をなし、円形溝９６の直径は、保護液配管１８の外径よりも大きく設定されている。保護液配管１８の上端１８ａが、円形溝９６の、水平面からなる下底面９６ａに開口している。保護液吐出口２０は、次に述べる浮上部材９７の閉塞部（閉塞部材）９８を丁度収容できる大きさに設定されている。保護液吐出口２０は、通常の状態において、保護液配管１８内に挿通する浮上部材９７によって閉塞されている。

浮上部材９７は、円板状の閉塞部９８と、閉塞部９８の中心から閉塞部９８と垂直に垂下する直線状の挿通部９９とを一体的に備え、保護液配管１８の先端部に取り付けられている。浮上部材９７は、たとえばセラミックや炭化ケイ素（ＳｉＣ）を用いて形成されている。閉塞部９８の直径は、保護液配管１８の外径よりも大きく設定されている。閉塞部９８は、互いに平行な平坦面からなる上面９８ａおよび下面９８ｂを有している。

浮上部材９７は、挿通部９８が保護液配管１８内（すなわち、保護液流通路１７）に挿通した状態で、保護液配管１８に取り付けられている。その状態で、浮上部材９７は、保護液配管１８および保護液流通路１７に対し、上下動自在に設けられている。
保護液バルブ２１（図２参照）の開閉により、保護液流通路１７への保護液の供給および供給停止が切り替えられる。保護液バルブ２１が開かれた状態では、保護液流通路１７に保護液が供給され、保護液流通路１７を保護液が流通する。一方、保護液バルブ２１が閉じられた状態では、保護液流通路１７に保護液が新たに供給されず、保護液流通路１７を保護液が流通しない。

保護液流通路１７を保護液が流通しないときには、図６に示すように、浮上部材９７の閉塞部９８は、保護液吐出口２０に収容されて、保護液吐出口２０をほぼ完全に閉塞している。このときの浮上部材９７の位置を閉塞位置（図６に示す位置）とする。浮上部材９７が閉塞位置に位置するとき、浮上部材９７の挿通部９９が回転軸線Ａ１に沿って鉛直方向に延びていると共に、閉塞部９８の上面９８ａが基板対向面６ａと同一平面上にある。

一方、保護液流通路１７を保護液が流通するときには、図７に示すように、閉塞部９８の下面９８ｂが、流通している保護液から圧力を受けて、浮上部材９７が浮上する。その結果、浮上部材９７は、基板対向面６ａよりも上方の浮上位置（図７に示す位置）に浮上配置される。浮上部材９７が浮上位置よりも上方に浮上するのを規制するために、浮上部材９７が浮上位置にある状態で、閉塞部９８の係合部（図示しない）が周辺部材（図示しない）と係合している。

この状態で、閉塞部９８の下面９８ｂは、保護液吐出口２０から吐出される保護液を、ホットプレート６の外周部に向けて案内する。これにより、図７に示すように、基板対向面６ａにおける保護液の液膜９０の形成が促される。
図２に示すように、処理液供給ユニット７は、薬液を吐出する薬液ノズル２６と、リンス液を吐出するリンス液ノズル２７とを含む。薬液ノズル２６およびリンス液ノズル２７は、その吐出口を下方に向けた状態で、ほぼ水平に延びるアーム２９の先端に取り付けられている。アーム２９は所定の回転軸線まわりに揺動可能に設けられている。薬液ノズル２６およびリンス液ノズル２７は、アーム２９の揺動方向に関し揃っている。アーム２９には、アーム２９を所定角度範囲内で揺動させるためのアーム揺動ユニット３０が結合されている。アーム２９の揺動により、薬液ノズル２６およびリンス液ノズル２７は、基板保持回転ユニット５またはホットプレート６に保持されている基板Ｗの中央部上と、カップ９外に設定されたホームポジションとの間を移動させられる。

図２に示すように、薬液ノズル２６は、たとえば、連続流の状態で薬液を下方に向けて吐出するストレートノズルである。薬液ノズル２６には、薬液供給源からの薬液の供給通路となる薬液配管３１が接続されている。薬液配管３１には、薬液の供給を開閉するための薬液バルブ３２が介装されている。薬液バルブ３２が開かれると、薬液配管３１から薬液ノズル２６に薬液が供給され、また、薬液バルブ３２が閉じられると、薬液配管３１から薬液ノズル２６への薬液の供給が停止される。薬液として、硫酸、酢酸、硝酸、塩酸、フッ酸、アンモニア水、過酸化水素水、有機酸（たとえばクエン酸、蓚酸など）、有機アルカリ（たとえば、ＴＭＡＨ：テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドなど）、界面活性剤、腐食防止剤のうちの少なくとも１つを含む液を採用できる。

図２に示すように、リンス液ノズル２７は、たとえば、連続流の状態でリンス液を下方に向けて吐出するストレートノズルである。リンス液ノズル２７には、リンス液供給源からのリンス液の供給通路となるリンス液配管３３が接続されている。リンス液配管３３には、リンス液の供給を開閉するためのリンス液バルブ３４が介装されている。リンス液バルブ３４が開かれると、リンス液配管３３からリンス液ノズル２７にリンス液が供給され、また、リンス液バルブ３４が閉じられると、リンス液配管３３からリンス液ノズル２７へのリンス液の供給が停止される。

なお、図２では、薬液ノズル２６およびリンス液ノズル２７を１つのアーム２９に配置する場合を示しているが、複数のアーム２９にノズル２６，２７を１つずつ配置する構成を採用してもよい。
図２に示すように、カップ９は、基板保持回転ユニット５およびホットプレート６を収容する下カップ３７と、下カップ３７の開口３８を閉塞するための蓋部材３９とを備えている。蓋部材３９が下カップ３７の開口３８を閉塞することで、内部に密閉空間を有する密閉カップが形成される。

下カップ３７は、略円筒容器状をなし、上面に円形の開口３８を有している。下カップ３７は略円板状の底壁部４０と、底壁部４０から上方に立ち上がる周壁部４１とを一体的に備えている。周壁部４１は、回転軸線Ａ１を中心とする円筒状に形成されている。周壁部４１は円環状の上端面４１ａを有している。底壁部４０の上面には、廃液路（図示しない）の一端が接続されている。廃液路の他端は、機外の図示しない廃液設備に接続されている。

周壁部４１の周囲には、基板保持回転ユニット５またはホットプレート６に保持された基板Ｗから飛び散る処理液を捕獲するための捕獲カップ（図示しない）が配設され、当該捕獲カップは機外の図示しない廃液設備に接続されている。プレート支持軸１４と底壁部４０の中心部との間は、円環状のシール部材４３によってシールされている。
蓋部材３９は、下カップ３７の上方において、ほぼ水平な姿勢で配置されている。蓋部材３９には、蓋昇降ユニット５４が結合されている。蓋昇降ユニット５４は、たとえばボールねじやモータを含む。蓋昇降ユニット５４の駆動により、蓋部材３９は、下カップ３７の開口３８を閉塞する蓋閉位置と、下カップ３７よりも上方に退避して下カップ３７の開口３８を開放する蓋開位置との間で昇降させられる。蓋部材３９の下面には、その中央部３９ａと周縁部３９ｃとを除く領域に、蓋部材３９と同心の円筒状の上環状溝３９ｂが形成されている。

蓋部材３９の下面の中央部３９ａは、円形の水平平坦面を有している。蓋部材３９の下面の中央部３９ａは、基板保持回転ユニット５に保持された基板Ｗの上面の中央部、またはホットプレート６に保持された基板Ｗの上面の中央部に対向している。
蓋部材３９の下面の周縁部３９ｃには、シール環５３が全周に亘って設けられている。シール環５３は、たとえば樹脂弾性材料を用いて形成されている。蓋部材３９が蓋閉位置にある状態では、蓋部材３９の下面の周縁部３９ｃに配置されたシール環５３が、その円周方向全域で下カップ３７の上端面４１ａに当接し、蓋部材３９と下カップ３７との間がシールされる。

図２に示すように、蓋部材３９の中央部３９ａには、リンス液上配管４４、有機溶剤上配管４５および窒素ガス上配管４６が、鉛直方向に延びて隣接して挿通している。
リンス液上配管４４の下端は、蓋部材３９の下面の中央部３９ａで開口し、リンス液吐出口４７を形成している。リンス液上配管４４の上端には、リンス液供給源が接続されている。リンス液上配管４４には、リンス液がリンス液供給源から供給される。リンス液上配管４４には、リンス液の供給を開閉するためのリンス液上バルブ４８が介装されている。

有機溶剤上配管４５の下端は、蓋部材３９の下面の中央部３９ａで開口し、有機溶剤吐出口４９を形成している。有機溶剤上配管４５の上端には、有機溶剤供給源が接続されている。有機溶剤上配管４５には、液体のＩＰＡ（有機溶剤（第２処理液）の一例）がＩＰＡ供給源から供給される。有機溶剤上配管４５には、液体のＩＰＡの供給を開閉するための有機溶剤バルブ５０が介装されている。有機溶剤上配管４５および有機溶剤バルブ５０によって、有機溶剤供給ユニット（第２処理液供給手段）が構成されている。

窒素ガス上配管４６の下端は、蓋部材３９の下面の中央部３９ａで開口し、不活性ガスの一例としての窒素ガス（Ｎ２）を吐出するための窒素ガス吐出口５１を形成している。窒素ガス上配管４６の上端には窒素ガス供給源が接続されている。窒素ガス供給源からは、窒素ガス上配管４６を窒素ガス供給通路として窒素ガス吐出口５１に窒素ガスが供給される。窒素ガス上配管４６には、窒素ガスの供給を開閉するための窒素ガスバルブ５２が介装されている。

図８は、固定ピン１０の構成を模式的に示す断面図である。図３を用いて前記したように、複数本の固定ピン１０は、回転リング１１の上面１１ａに円周方向に沿って等間隔に配置されている。図８に図解されている通り、各固定ピン１０は、回転リング１１に結合された第１の下軸部７１と、第１の下軸部７１の上端に一体的に形成された第１の上軸部７２とを含む。第１の下軸部７１および第１の上軸部７２は、それぞれ円柱形状に形成されている。第１の上軸部７２は、第１の下軸部７１の中心軸線から偏心して設けられている。第１の下軸部７１の第１の上軸部７２に連結される部分には、下方向に向かうに従って次第に大径となるテーパ面７３が形成されている。

図９は、可動ピン１２、および可動ピン１２の周辺の構成を模式的に示す断面図である。各可動ピン１２は、回転軸線Ａ２まわりに回転可能に回転リング１１に結合された鉛直方向に延びる第２の下軸部７４と、中心軸線が回転軸線Ａ２から偏心した状態で第２の下軸部７４に固定された第２の上軸部７５とを含む。第２の上軸部７５は、基板Ｗの周端に当接可能な円筒面７５ａを有している。第２の下軸部７４の回転により、第２の上軸部７５の円筒面７５ａは、基板Ｗの回転軸線Ａ１（図２参照）から離れた遠い開放位置と、基板Ｗの回転軸線Ａ１に近づいた保持位置との間で変位する。各可動ピン１２は、チャック開閉ユニット７６を含む。チャック開閉ユニット７６は、第２の上軸部７５の位置を開放位置と保持位置との間で変位させることにより、基板Ｗの挟持を開閉する。

図８および図９に示すように、複数の固定ピン１０によって基板Ｗが下方から支持されている状態では、各固定ピン１０のテーパ面７３に基板Ｗの周端が当接している。この状態において、複数の可動ピン１２の第２の上軸部７５の位置が開放位置から保持位置に変位される。各第２の上軸部７５が開放位置から保持位置に変位されると、円筒面７５ａが基板Ｗの周端に当接すると共に、当接している基板Ｗの周端を基板Ｗの内方に向けて押し込む。これにより、当該当接している基板Ｗの周端と回転軸線Ａ１を挟んだ反対側の基板Ｗの周端が、当該可動ピン１２と回転軸線Ａ１を挟んだ反対側に位置する固定ピン１０の第１の上軸部７２に押し当てられる。このように、複数の可動ピン１２の第２の上軸部７５が開放位置から保持位置に変位させられることにより、複数の可動ピン１２が挟持状態になり、これにより、複数の固定ピン１０および複数の可動ピン１２によって基板Ｗが水平姿勢に挟持される。

なお、円筒面７５ａで基板Ｗの周端を押し付ける構成でなく、回転軸線Ａ１側に向きかつ水平方向に開くＶ溝が、円筒面７５ａに形成されており、当該Ｖ溝を構成する上下のテーパ面が基板Ｗの周端に当接することにより基板Ｗを挟持する構成を採用してもよい。
図１に示す制御装置３は、たとえばマイクロコンピュータなどによって構成されている。制御装置３は、予め定められたプログラムに従って、プレート昇降ユニット８、リング回転ユニット１３、アーム揺動ユニット３０、蓋昇降ユニット５４、チャック開閉ユニット７６等の動作を制御する。また、制御装置３は、ヒータ１５に供給される電力を調整する。さらに、制御装置３は、保護液バルブ２１、薬液バルブ３２、リンス液バルブ３４、リンス液上バルブ４８、有機溶剤バルブ５０、窒素ガスバルブ５２等の開閉を制御する。

図１０は、処理ユニット２の処理対象の基板Ｗの表面を拡大して示す断面図である。処理対象の基板Ｗは、たとえばシリコンウエハであり、そのパターン形成面である表面（上面１００）に微細パターン１０１が形成されている。微細パターン１０１は、図１０に示すように、凸形状（柱状）を有する構造体１０２が行列状に配置されたものであってもよい。この場合、構造体１０２の線幅Ｗ１はたとえば１０nm〜４５nm程度に、微細パターン１０１の隙間Ｗ２はたとえば１０nm〜数μｍ程度に、それぞれ設けられている。

また、微細パターン１０１は、微細なトレンチにより形成されたライン状のパターンが、繰り返し並ぶものであってもよい。
また、微細パターン１０１は、薄膜に、複数の微細孔（ボイド（void）またはポア（pore））を設けることにより形成されていてもよい。
微細パターン１０１は、たとえば絶縁膜を含む。また、微細パターン１０１は、導体膜を含んでいてもよい。より具体的には、微細パターン１０１は、複数の膜を積層した積層膜により形成されており、さらには、絶縁膜と導体膜とを含んでいてもよい。微細パターン１０１は、単層膜で構成されるパターンであってもよい。絶縁膜は、シリコン酸化膜（ＳｉＯ_２膜）やシリコン窒化膜（ＳｉＮ膜）であってもよい。また、導体膜は、低抵抗化のための不純物を導入したアモルファスシリコン膜であってもよいし、金属膜（たとえば金属配線膜）であってもよい。

また、微細パターン１０１の膜厚Ｔは、たとえば、５０ｎｍ〜５μｍ程度である。また、微細パターン１０１は、たとえば、アスペクト比（線幅Ｗ１に対する膜厚Ｔの比）が、たとえば、５〜５００程度であってもよい（典型的には、５〜５０程度である）。
図１１は、処理ユニット２で実行される薬液処理の処理例について説明するための工程図である。図１２Ａ−１２Ｈは、処理例を説明するための模式図である。図１３Ａ−１３Ｂは、処理例における基板Ｗの上面の状態を説明するための模式的な断面図である。

以下、図１、図２、図６および図７を参照する。図４、図５および図１０〜図１３Ｂについては適宜参照する。なお、以下の説明における「基板Ｗの表面（上面）」は、基板Ｗ自体の表面（上面）および微細パターン１０１の表面（上面）を含む。
処理ユニット２によって基板Ｗが処理されるときには、チャンバ４内に未処理の基板Ｗを搬入する基板搬入工程（図１１のステップＳ１）が行われる。基板搬入工程（Ｓ１）に先立って、制御装置３は、ヒータ１５をオン（通電状態）にしておき、ホットプレート６を、基板保持回転ユニット５による基板Ｗの保持位置から下方に大きく退避した下位置（図５に示す位置）に配置し、かつ全てのノズルを基板保持回転ユニット５の上方から退避させる。また、すべての可動ピン１２を開放状態にさせる。基板搬入工程（Ｓ１）では、制御装置３は、基板Ｗを保持している基板搬送ロボットＣＲ（図１参照）のハンドをチャンバ４内に進入させ、基板搬送ロボットＣＲに、パターン形成面（表面）を上方に向けた状態で、基板保持回転ユニット５に基板Ｗを引き渡させる。基板保持回転ユニット５に受けられた基板Ｗは、複数本の固定ピン１０によって下方から支持され、その後、制御装置３は、複数本の可動ピン１２をいずれも挟持状態にさせる。これにより、図１２Ａに示すように、複数本（たとえば、６本）の固定ピン１０および複数本（たとえば、３本）の可動ピン１２によって基板Ｗが水平姿勢に挟持される（図１２Ａでは、固定ピン１０のみを図示）。制御装置３は、基板保持回転ユニット５に基板Ｗを引き渡した後、基板搬送ロボットＣＲのハンドをチャンバ４内から退避させる。

複数本の固定ピン１０および複数本の可動ピン１２によって基板Ｗが挟持されると、制御装置３は、リング回転ユニット１３を制御して、基板Ｗの回転を開始させる。基板Ｗは予め定める液処理回転速度（たとえば１００〜１５００rpm程度）まで上昇され、その液処理回転速度に維持される。
なお、基板搬入工程（Ｓ１）からヒータ１５がオン状態とされ、それゆえホットプレート６が発熱状態（このときの基板対向面６ａの表面温度が、たとえば約６０〜２５０℃）とされているのであるが、ホットプレート６は下位置にあるため、ホットプレート６からの熱が基板Ｗに十分に届かない。

次いで、薬液を基板Ｗに供給する薬液供給工程（図１１のステップＳ２）が行われる。
具体的には、図１２Ｂに示すように、制御装置３は、アーム揺動ユニット３０を制御することにより、アーム２９をホームポジションから揺動させ、薬液ノズル２６を退避位置から基板Ｗ上に移動させる。これにより、薬液ノズル２６が処理位置（基板Ｗの上方の、基板Ｗの回転軸線Ａ１上の処理位置）に配置される。薬液ノズル２６が処理位置に配置された後、制御装置３は、薬液バルブ３２を開く。これにより、薬液ノズル２６の吐出口から薬液が吐出され、基板Ｗの上面に薬液が供給される。

基板Ｗの上面の中央部に供給された薬液は、基板Ｗの回転による遠心力を受けて、基板Ｗの上面を基板Ｗの周縁部に向けて流れる。これにより、基板Ｗの上面全域に薬液が供給され、基板Ｗの上面の全域に薬液による処理が施される。基板Ｗの上面に供給された薬液は、基板Ｗの周縁部から基板Ｗの側方に向けて飛散する。基板保持回転ユニット５に保持されている基板Ｗから排出される薬液の液滴が、下方に向けて落液する。

基板Ｗの周縁部から飛散する薬液は、前述の捕獲カップの内壁に受け止められ、廃液路（図示しない）を介して、機外の廃液設備（図示しない）に送られ、そこで処理される。廃液設備ではなく、回収設備に送られ、そこで再利用されるようになっていてもよい。
また、薬液ノズル２６からの薬液の吐出の開始に併せて、制御装置３は、保護液バルブ２１を開く。これにより、保護液流通路１７に供給された保護液が当該保護液流通路１７を流通し、閉塞部９８が、流通している保護液から圧力を受けて、その結果、浮上部材９７が、閉塞位置（図６に示す位置）から浮上位置（図７に示す位置）まで浮上する。

これにより、保護液吐出口２０が開放され、保護液流通路１７に供給された保護液が保護液吐出口２０から吐出される。このときの保護液の流量は、比較的大流量（たとえば約０．５〜４.０（リットル／分））である。保護液吐出口２０から基板対向面６ａに吐出された保護液は、後続の保護液によって径方向外方へと押し出され、基板対向面６ａの周縁部に向けて放射状に流れる。また、このとき、浮上位置に位置している浮上部材９７の閉塞部９８が、保護液吐出口２０から基板対向面６ａに吐出された保護液を、基板対向面６ａの外周部に向けてスムーズに案内する。その結果、図１２Ｂに示すように、基板対向面６ａに、基板対向面６ａの全域を覆う保護液の液膜９０が形成される。保護液の液膜９０の形成後も、保護液吐出口２０から基板対向面６ａに連続的に保護液が供給され、これにより、基板対向面６ａ上の保護液の液膜９０が、基板対向面６ａを覆う状態に維持される。

薬液の吐出開始から、予め定める時間が経過すると、制御装置３は、薬液バルブ３２を閉じて、薬液ノズル２６からの薬液の吐出を停止する。
次いで、基板Ｗから薬液を除去するためのリンス工程（図１１のステップＳ３）が行われる。
具体的には、図１２Ｃに示すように、制御装置３は、アーム揺動ユニット３０を制御することによりアーム２９を揺動させ、リンス液ノズル２７を処理位置に配置させる。リンス液ノズル２７が処理位置に配置された後、制御装置３は、リンス液バルブ３４を開く。これにより、リンス液ノズル２７の吐出口からリンス液が吐出される。

基板Ｗの上面の中央部に供給されたリンス液は、基板Ｗの回転による遠心力を受けて、基板Ｗの上面を基板Ｗの周縁部に向けて流れる。これにより、基板Ｗの上面全域にリンス液が供給され、基板Ｗの上面に付着している薬液が洗い流される。基板Ｗの上面に供給されたリンス液は、基板Ｗの周縁部から基板Ｗの側方に向けて飛散する。
基板Ｗの周縁部から飛散するリンス液は、下カップ３７の周壁部４１の内壁に受け止められ、この内壁を伝って下カップ３７の底部に溜められる。下カップ３７の底部に溜められた第リンス液は、廃液路（図示しない）を介して、機外の廃液設備（図示しない）に送られ、そこで処理される。

リンス液の吐出開始から、予め定める時間が経過すると、制御装置３は、リンス液バルブ３４を閉じて、リンス液ノズル２７からのリンス液の吐出を停止すると共に、アーム揺動ユニット３０を制御して、アーム２９を、そのホームポジションに戻す。これにより、薬液ノズル２６、およびリンス液ノズル２７が、退避位置に戻される。
また、リンス液の吐出停止と同時に、制御装置３は、保護液バルブ２１を閉じて、保護液流通路１７への保護液の供給を停止する。これにより、保護液吐出口２０からのリンス液の吐出が停止され、基板対向面６ａに保持されていた保護液の液膜９０が解消（液膜状態が解消）される。保護液流通路１７への保護液の供給停止に伴い、浮上部材９７が閉塞位置（図６参照）まで下降する。なお、保護液を停止するタイミングはリンス液の停止と同時でなくてもよく、基板Ｗの上面から薬液がリンス液に置換された後の任意のタイミングに実行すればよい。

次いで、制御装置３は、蓋昇降ユニット５４を制御して、蓋部材３９を蓋閉位置まで下降させる。蓋閉位置に下降した蓋部材３９により、下カップ３７の開口９が閉塞される。この状態で、ロック部材（図示しない）により蓋部材３９と下カップ３７とが結合されると、蓋部材３９の下面の周縁部３９ｃに配置されたシール環５３が、その円周方向全域に亘って下カップ３７の上端面３３の上端面４１ａに当接し、下カップ３７と蓋部材３９との間がシールされる。これにより、下カップ３７および蓋部材３９の内部空間が密閉される。この状態で、リンス液吐出口４７、有機溶剤吐出口４９および窒素ガス吐出口５１が、それぞれ基板Ｗの上面に対向して配置されている。

次いで、最終リンス工程（図１２のステップＳ４）が基板Ｗに行われる。
具体的には、図１２Ｄに示すように、制御装置３は、リンス液上バルブ４８を開いて、リンス液上配管４４のリンス液吐出口４７からリンス液を吐出する。リンス液吐出口４７から吐出されたリンス液は、基板Ｗの上面の中央部に着液する。
基板Ｗの上面の中央部に供給されたリンス液は、基板Ｗの回転による遠心力を受けて、基板Ｗの上面を基板Ｗの周縁部に向けて流れる。これにより、基板Ｗの上面全域にリンス液が供給され、基板Ｗの上面にリンス処理が施される。最終リンス工程（Ｓ４）において、基板Ｗの上面１００（図１０参照）に形成された微細パターン１０１（図１０参照）の隙間の底部（当該空間における基板Ｗ自体の上面１００に極めて近い位置）までリンス液が行き渡る。

また、基板Ｗの周縁部から飛散するリンス液は、下カップ３７の周壁部４１の内壁に受け止められ、この内壁を伝って下カップ３７の底部に溜められる。下カップ３７の底部に溜められた第リンス液は、廃液路（図示しない）を介して、機外の廃液設備（図示しない）に送られ、そこで処理される。
リンス液の吐出開始から、予め定める時間が経過すると、制御装置３は、リンス液上バルブ４８を閉じて、リンス液吐出口４７からのリンス液の吐出を停止する。

次いで、基板Ｗの上面に液体のＩＰＡが供給して、基板Ｗの上面のリンス液をＩＰＡで置換する有機溶剤置換工程（図１２のステップＳ５）が行われる。
制御装置３は、図１２Ｅに示すように、有機溶剤バルブ５０を開き、有機溶剤上配管４５の有機溶剤吐出口４９から、液体のＩＰＡを連続流状に吐出する。有機溶剤吐出口４９から吐出されるＩＰＡは、常温（たとえば２５℃）、すなわちＩＰＡの沸点（８２．４℃）未満の液温を有しており、液体である。有機溶剤吐出口４９から吐出された液体のＩＰＡは、基板Ｗの上面の中央部に着液する。ＩＰＡの吐出開始により、有機溶剤置換工程（Ｓ５）が開始される。

基板Ｗの上面の中央部に供給された液体のＩＰＡは、基板Ｗの回転による遠心力を受けて、基板Ｗの上面を基板Ｗの周縁部に向けて流れる。そのため、基板Ｗの上面の中央部に供給された液体のＩＰＡを周縁部に向けて拡げることができ、これにより、基板Ｗの上面の全域に液体のＩＰＡを行き渡らせることができる。このとき、ホットプレート６は下位置にあり、基板Ｗはホットプレート６からの熱が十分に伝わっていない。そのため、基板Ｗの上面の温度はたとえば常温であり、ＩＰＡは、常温を維持したまま、基板Ｗの上面を流れる。これにより、基板Ｗの上面に、ＩＰＡの液膜が形成される。基板Ｗの上面に供給されるＩＰＡは液体であるため、図１３Ａに示すように、微細パターン１０１の隙間に存在するリンス液を、良好に置換できる。ＩＰＡの液膜１１１が、基板Ｗの上面の全域を覆うので、基板Ｗの上面の全域において、リンス液を液体のＩＰＡに良好に置換できる。

なお、有機溶剤置換工程（Ｓ５）において、基板Ｗの回転が停止させられ、またはパドル速度で基板Ｗが回転させられてもよい。このような基板Ｗの減速に伴って、基板Ｗ上の液体のＩＰＡに作用する遠心力が零または小さくなり、液体のＩＰＡが基板Ｗの周縁部から排出されず基板Ｗの上面に滞留し、その結果、基板Ｗの上面に、パドル状態のＩＰＡの液膜が保持される。

ＩＰＡの供給開始から、予め定める時間が経過すると、その後、基板受け渡し工程（図１１のステップＳ６）が実行される。
具体的には、制御装置３は、プレート昇降ユニット８を制御して、ホットプレート６を、下位置（図５に示す位置）から上位置（図４に示す位置）まで上昇させる。ホットプレート６が回転リング１１と同じ高さまで上昇させられると、基板Ｗの下面にホットプレート６の基板対向面６ａが当接するようになる。その後、制御装置３がホットプレート６を引き続き上昇させることにより、基板保持回転ユニット５から基板Ｗが離脱して、ホットプレート６に基板Ｗが引き渡される。ホットプレート６に引き渡された基板Ｗは、多数個のエンボス６１によって下方から支持される。基板Ｗが引き渡された後もホットプレート６の上昇は続行され、上位置に達するとホットプレート６の上昇が停止させられる。ホットプレート６が上位置に配置された状態を、図１２Ｆおよび図４に示す。

ホットプレート６に基板Ｗが引き渡されると、基板高温化工程（基板加熱工程。図１２のステップＳ７）が開始される。
ヒータ１５は常時オン状態とされており、そのため、ホットプレート６（基板対向面６ａ）が発熱状態とされている。ホットプレート６上に基板Ｗが載置された状態では、基板対向面６ａからの熱が、熱輻射、基板対向面６ａと基板Ｗとの間の空間内の流体熱伝導および多数個のエンボス６１を介した伝熱により、基板Ｗの下面に与えられ、これにより、基板Ｗの下面が加熱される。基板Ｗに与えられる単位面積当たりの熱量は、基板Ｗの全域においてほぼ均一となっている。

また、この状態では、保護液流通路１７を保護液が流通しないので、浮上部材９７が閉塞位置（図４参照）に位置している。そのため、閉塞部９８の上面９８ａがホットプレート６の基板対向面６ａと同一平面上に位置している。したがって、ホットプレート６上に基板Ｗを載置する際において、ホットプレート６の基板対向面６ａの全域で基板Ｗを良好に接触支持でき、かつ基板Ｗの全域を良好に加熱できる。

基板高温化工程（Ｓ７）では、ホットプレート６による基板Ｗへの加熱により、基板Ｗの上面が、ＩＰＡの沸点（８２．４℃）よりも４０〜１２０℃高い予め定める液膜浮上温度（第１の温度）ＴＥ１まで昇温させられる。液膜浮上温度ＴＥ１は、の所定の温度に設定されている。
基板Ｗの上面の温度が液膜浮上温度ＴＥ１に達した後、基板Ｗの上面の温度（微細パターン１０１（図１３Ｂ等参照）の上面、より詳しくは、各構造体１０２の上端面１０２Ａの温度）は、液膜浮上温度ＴＥ１に保持される。基板Ｗの上面の全域において、液膜浮上温度ＴＥ１に保持される。このとき、ヒータ１５の単位時間当たりの発熱量は、ホットプレート６からの加熱により、ホットプレート６に載置されている基板Ｗの上面が液膜浮上温度ＴＥ１になるように設定されている。

基板Ｗ上面の温度が液膜浮上温度ＴＥ１に到達してからしばらくすると、基板Ｗの上面のＩＰＡの液膜１１１の一部が蒸発して気相化し微細パターン１０１の隙間を満たすと共に基板Ｗの上面（各構造体１０２の上端面１０２Ａ）の上方空間にＩＰＡの蒸発気体膜１１２を形成する。これにより、基板Ｗの上面（各構造体１０２の上端面１０２Ａ）からＩＰＡの液膜１１１が浮上する（図１３Ｂ参照）。また、微細パターン１０１の隙間が気相のＩＰＡによって満たされるようになる。そのため、隣り合う構造体１０２の間には、極めて小さな表面張力しか生じない。その結果、表面張力に起因する微細パターン１０１の倒壊を抑制または防止できる。また、図１３Ｂの状態では、基板Ｗの上面（各構造体１０２の上端面１０２Ａ）からＩＰＡの液膜１１１が浮上しているため、基板Ｗの上面とＩＰＡの液膜１１１との間に生じる摩擦力の大きさは略零である。

基板高温化工程（Ｓ７）に次いで、蒸発気体膜１１２の上方にあるＩＰＡの液膜１１１を液塊状態のまま排除する有機溶剤排除工程（図１１のステップＳ８）が実行される。有機溶剤排除工程（Ｓ８）では、ＩＰＡの液膜１１１に、基板Ｗの側方に向けて移動するための力を作用させる。
具体的には、ホットプレート６に基板Ｗが引き渡されてから予め定める時間（たとえば、約１〜２分間）が経過すると、制御装置３は、図１２Ｇに示すように、窒素ガスバルブ５２を開く。これにより、窒素ガス吐出口５１から窒素ガスが吐出し、この窒素ガスが基板Ｗの上面の中央部に吹き付けられる。これにより、浮上しているＩＰＡの液膜１１１の中央部に、小径円形状の乾燥領域１１３が形成される。基板Ｗの上面とＩＰＡの液膜１１１との間に生じる摩擦力の大きさは略零であるので、窒素ガス吐出口５１からの窒素ガスの吐出の続行に伴って、前記の乾燥領域１１３は拡大し、乾燥領域１１３が基板Ｗの上面の全域に広がることにより、浮上しているＩＰＡの液膜１１１が、液塊状態を維持しながら（多数の小滴に分裂させることなく）、基板Ｗの側方へと案内される。これにより、ＩＰＡの液膜１１１を基板Ｗの上方から完全に排除できる。

基板Ｗの上方からＩＰＡの液膜１１１が全て排除された後、制御装置３は、プレート昇降ユニット８を制御して、ホットプレート６を、上位置（図４に示す位置）から下位置（図５に示す位置）まで下降させる。ホットプレート６が回転リング１１と同じ高さまで下降させられると、基板Ｗの周縁面に固定ピン１０が当接するようになる。その後、ホットプレート６の下降により、ホットプレート６から基板Ｗが離脱して、基板保持回転ユニット５に基板Ｗが引き渡される。基板保持回転ユニット５に受けられた基板Ｗは、複数本の固定ピン１０によって下方から支持される。可動ピン１２は開状態にあり、そのため、基板Ｗは、固定ピン１０や可動ピン１２等に挟持されない。

また、制御装置３は、ロック部材（図示しない）を駆動して、蓋部材３９と下カップ３７との結合が解除する。そして、制御装置３は、図１２Ｈに示すように、蓋昇降ユニット５４を制御して、蓋部材３９を開位置まで上昇させる。
ホットプレート６が下位置まで下降させられた後は、ホットプレート６と基板保持回転ユニット５に保持されている基板Ｗとの間の間隔が、ホットプレート６が上位置にあるときよりも大きくなるため、ホットプレート６からの熱（熱輻射、基板対向面６ａと基板Ｗとの間の空間内の流体熱伝導および多数個のエンボス６１を介した伝熱）が基板Ｗに十分に届かなくなる。これにより、ホットプレート６による基板Ｗの加熱が終了し、基板Ｗは、ほぼ常温になるまで降温する。

これにより、１枚の基板Ｗに対する薬液処理が終了し、基板搬送ロボットＣＲ（図１参照）によって、処理済みの基板Ｗがチャンバ４から搬出される基板搬出工程（図１１のステップＳ９）が行われる。
以上により、薬液供給工程（Ｓ２）およびリンス工程（Ｓ３）に並行して、ホットプレート６の基板対向面６ａに保護液が連続的に供給することにより、ホットプレート６の基板対向面６ａに、基板対向面６ａを覆う保護液の液膜９０が形成される。薬液供給工程（Ｓ２）およびリンス工程（Ｓ３）では、ホットプレート６が基板保持回転ユニット５から退避している。そのため、基板保持回転ユニット５に保持されている基板Ｗから排出される薬液や薬液を含んだリンス液の液滴が、ホットプレート６の基板対向面６ａや多数個のエンボス６１に向けて降り掛かるおそれがある。仮に、これらの液滴が基板対向面６ａやエンボス６１に直接供給され発熱状態にあるホットプレート６によって加熱されると、基板対向面６ａやエンボス６１において薬液が加熱乾燥されるおそれがある。ホットプレート６のエンボス６１が、基板高温化工程（Ｓ７）において基板Ｗに接触するので、乾燥薬液が、パーティクルとなって基板Ｗを汚染するおそれがある。

しかしながら、このような場合であっても、基板対向面６ａが保護液の液膜９０で覆われているので、基板Ｗからの薬液の液滴や薬液を含んだリンス液が基板対向面６ａに直接供給されない。したがって、発熱状態にある基板対向面６ａにおける薬液の乾燥を確実に防止できる。これにより、ホットプレート６上での薬液の乾燥に起因するパーティクルの発生を防止できる。

また、保護液吐出口２０から保護液を吐出させないときには、保護液流通路１７を保護液が流通しない。このとき、閉塞部９８は、保護液吐出口２０を閉塞している。一方、保護液吐出口２０から保護液を吐出させているときには、保護液流通路１７内を保護液が流通し、閉塞部９８は、流通している保護液から圧力を受けて、ホットプレート６の基板対向面６ａよりも上方に浮上する。この状態で、閉塞部９８は、保護液吐出口２０から吐出される保護液を、ホットプレート６の外周部に向けて案内し、これにより、基板対向面６ａにおける保護液の液膜９０の形成を促すことができる。

これにより、保護液吐出口２０から保護液を吐出させないときに、ホットプレート６の保護液吐出口２０を閉塞し、かつ、保護液吐出口２０から保護液を吐出させるときに、ホットプレート６の基板対向面６ａに保護液の液膜９０を良好に形成できる構成を、簡単な構成で実現できる。この場合、閉塞部９８を上下動させるための駆動部材を、別途設ける必要がない。

また、保護液吐出口２０から保護液を吐出させないときには、閉塞部９８の上面９８ａがホットプレート６の基板対向面６ａと同一平面上に位置している。したがって、ホットプレート６上に基板Ｗを載置する際において、ホットプレート６の基板対向面６ａの全域で基板Ｗを良好に接触支持でき、かつ基板Ｗの全域を良好に加熱できる。
前述の処理例において、下カップ３７および蓋部材３９の内部空間が密閉された状態で最終リンス工程（Ｓ４）が実行されるものとして説明したが、下カップ３７および蓋部材３９の内部空間が開放されている（蓋部材３９が開位置にある）状態で最終リンス工程（Ｓ４）が実行されてもよい。リンス液上配管４４のリンス液吐出口４７からのリンス液を基板Ｗの上面に供給してもよいし、リンス液ノズル２７を基板Ｗの上面に対向して配置させ、リンス液ノズル２７からのリンス液を基板Ｗの上面に供給してもよい。この場合、最終リンス工程（Ｓ４）の後、下カップ３７および蓋部材３９の内部空間が密閉状態にされる。

また、前述の処理例において、薬液供給工程（Ｓ２）が１回のみである場合を例示したが、複数回（２回）繰り返すようにしてもよい。
また、処理例の薬液供給工程（Ｓ２）およびリンス工程（Ｓ３）において、基板Ｗの上面処理のみを例に挙げて説明したが、これらの工程（Ｓ２，Ｓ３）において、上下両面処理を実行するものであってもよい。

また、処理例の薬液供給工程（Ｓ２）およびリンス工程（Ｓ３）において、上面処理のみを例に挙げて説明したが、これらの工程（Ｓ２，Ｓ３）において、上下両面処理を実行するものであってもよい。
また、処理例において、リンス工程（Ｓ３）を省略してもよい。
また、前述の処理例では、有機溶剤排除工程（Ｓ８）において、ＩＰＡの液膜１１１を基板Ｗの側方に向けて移動させるために、窒素ガス吐出口５１から基板Ｗの上面の中央部に向けて窒素ガスを吹き付けた。この手法に代えて、誘導面を有する誘導部材（誘導ピンや誘導リング）を、基板の周縁部に対向するように設けておき、有機溶剤排除工程（Ｓ８）において、誘導部材を基板Ｗの内方に向けて移動させて、浮上しているＩＰＡの液膜１１１に誘導部材の誘導面を接触させるようにしてもよい。基板Ｗの上面とＩＰＡの液膜１１１との間に生じる摩擦力の大きさは略零であるので、誘導部材の誘導面とＩＰＡの液膜１１１との接触により、浮上しているＩＰＡの液膜１１１が、液塊状態を維持しながら（多数の小滴に分裂させることなく）誘導面を伝って基板Ｗの側方へと案内される。これにより、ＩＰＡの液膜１１１を基板Ｗの上方から完全に排除できる。このような手法を採用する場合、有機溶剤排除工程（Ｓ８）において、基板Ｗおよびホットプレート６をともに水平姿勢に維持することが可能である。

また、ホットプレート６が水平姿勢と、傾斜姿勢との間で姿勢変更可能である場合には、有機溶剤排除工程（Ｓ８）において、基板Ｗとホットプレート６との相対姿勢を一定に維持しながら、基板Ｗおよびホットプレート６を傾斜姿勢に姿勢変更させて、基板Ｗの上面を水平面に対して傾斜させてもよい。これにより、浮上しているＩＰＡの液膜１１１は自重を受けて、傾斜している基板Ｗの低位側の周縁部に向けて、基板Ｗの上面に沿って移動し、基板Ｗの周縁部から排出される。

図１４および図１５は、ホットプレート６およびプレート支持軸１４の変形例の要部を拡大して示す断面図である。図１４および図１５では、保護液吐出口２０に代えて、円錐面状のテーパ面１９６ａからなる底壁を有する円形溝１９６によって区画される保護液吐出口１２０が形成されている。保護液配管１８の上端１８ａが、テーパ面１９６ａに開口している。また、浮上部材９７の閉塞部９８に代えて、円錐状の閉塞部（閉塞部材）１９８が設けられている。閉塞部１９８の底壁は、テーパ面１９６ａと整合するテーパ面１９８ｂによって形成されている。保護液吐出口１２０は、閉塞部１９８を丁度収容できる大きさおよび形状に形成されている。

浮上部材９７の位置を閉塞位置（図１４に示す位置）にある状態で、浮上部材９７の閉塞部１９８は、保護液吐出口１２０に収容されて、保護液吐出口１２０をほぼ完全に閉塞している。この状態で、閉塞部１９８の上面１９８ａが基板対向面６ａと同一平面上に位置している。
一方、保護液流通路１７を保護液が流通するときには、図１５に示すように、閉塞部１９８のテーパ面１９８ｂが、流通している保護液から圧力を受けて、浮上部材９７が浮上する。その結果、浮上部材９７は、基板対向面６ａよりも上方の浮上位置（図１５に示す位置）に浮上配置される。

この状態で、閉塞部１９８のテーパ面１９８ｂは、保護液吐出口１２０から吐出される保護液を、ホットプレート６の外周部に向けて案内する。保護液吐出口１２０から吐出される保護液がテーパ面１９８ｂによって案内されるので、これにより、基板対向面６ａにおける保護液の液膜９０の形成が、より一層促される。
図１６は、本発明の他の実施形態に係る処理ユニット２０２の構成を示す模式的な断面図である。図１６において、図１〜図１５に示された各部に対応する部分には、図１〜図１５の場合と同一の参照符号を付して示し、説明を省略する。また、図１６には、主要な構成のみを示して、適宜省略している。

図１６に示す実施形態が、図１〜図１５に示す実施形態と相違する点は、ホットプレート６の基板対向面６ａに保護液を供給するための保護液供給ユニット（保護液供給手段）２１０を、下供給ユニット６０に代えて備える点である。また、ホットプレート６の基板対向面６ａに、保護液吐出口２０，１２０は形成されていない。
保護液供給ユニット２１０は、連続流の状態で保護液を下方に向けて吐出するための保護液ノズル２１１を備えている。保護液ノズル２１１には、保護液供給源からの保護液が供給される保護液供給管２１２が接続されている。保護液供給管２１２には、保護液の供給を開閉するための保護液バルブ２１３が介装されている。保護液バルブ２１３が開かれると、保護液供給管２１２から保護液ノズル２１１に保護液が供給され、また、保護液バルブ２１３が閉じられると、保護液供給管２１２から保護液ノズル２１１への保護液の供給が停止される。保護液ノズル２１１には、ノズル移動ユニット２１４が結合されている。ノズル移動ユニット２１４は、下位置（図１６に示す位置）にあるホットプレート６の上方と、カップ９外に設定されたホームポジションとの間で保護液ノズル２１１を移動させる。図１に示す制御装置３は、予め定められたプログラムに従って、ノズル移動ユニット２１４の動作を制御する。また、制御装置３は、ヒータ１５に供給される電力を調整する。さらに、制御装置３は、保護液バルブ２１３の開閉を制御する。

薬液供給工程（Ｓ２）の実行に際し、制御装置３は、ノズル移動ユニット２１４を制御して、保護液ノズル２１１を基板対向面６ａ上に配置させる。そして、薬液ノズル２６からの薬液の吐出の開始に併せて、制御装置３は、保護液バルブ２１を開く。これにより、保護液流通路１７に供給された保護液が当該保護液流通路１７を流通する。
その後、制御装置３は、保護液バルブ２１３を開く。これにより、保護液ノズル２１１の吐出口から保護液が吐出される。このときの保護液の流量は、比較的大流量（たとえば約０．５〜４.０（リットル／分））である。また、保護液の吐出と並行して、制御装置３は、ノズル移動ユニット２１４を制御して、保護液ノズル２１１を、基板対向面６ａの面内を基板対向面６ａに沿って移動させる。これに伴い、保護液の着液位置が、基板対向面６ａの面内を移動する。これにより、基板対向面６ａに、基板対向面６ａの全域を覆う保護液の液膜２９０が形成される。保護液の液膜２９０の形成後も、保護液ノズル２１１から基板対向面６ａに連続的に保護液が供給され、これにより、基板対向面６ａ上の保護液の液膜２９０が、基板対向面６ａを覆う状態に維持される。

また、基板Ｗ上の薬液がリンス液によって置換されると、制御装置３は、保護液バルブ２１３を閉じて、保護液ノズル２１１からの保護液の吐出を停止する。これにより、基板対向面６ａに保持されていた保護液の液膜２９０が解消（液膜状態が解消）される。
なお、保護液ノズル２１１を所定位置（たとえば、基板対向面６ａの中央部の上方）に静止させた状態で、基板対向面６ａに保護液を供給してもよい。この場合、保護液ノズル２１１から吐出された保護液は、後続の保護液によって径方向外方へと押し出され、基板対向面６ａの周縁部に向けて放射状に流れる。これにより、基板対向面６ａに、基板対向面６ａの全域を覆う保護液の液膜２９０が形成される。保護液の液膜２９０の形成後も、保護液ノズル２１１から基板対向面６ａに連続的に保護液が供給され、これにより、基板対向面６ａ上の保護液の液膜２９０が、基板対向面６ａを覆う状態に維持される。

以上、この発明の２つの実施形態について説明したが、本発明は他の形態で実施することできる。
図１〜図１５に示す実施形態において、浮上部材９７が閉塞位置（図６または図１４に示す位置）にある状態で、浮上部材９７の閉塞部９８，１９８の上面９８ａ，１９８ａが基板対向面６ａと同一平面上に位置しているとして説明した。しかしながら、浮上部材９７の閉塞部９８，１９８の上面９８ａ，１９８ａが基板対向面６ａよりも下方に退避していてもよい。

また、図１〜図１５に示す実施形態において、浮上部材９７が、保護液流通路１７を流通する保護液から圧力を受けて上昇移動する構成を例に挙げて説明したが、浮上部材９７にモータやシリンダ等の昇降ユニットが結合されており、この昇降ユニットの駆動により、浮上部材９７が上昇移動させられるようになっていてもよい。
また、前述の処理例では、薬液供給工程（Ｓ２）に並行して、基板対向面６ａを保護液の液膜９０で覆うものとして説明したが、薬液供給工程（Ｓ２）だけでなく、リンス工程（Ｓ３）や最終リンス工程（Ｓ４）など、基板Ｗの上面または下面に向けて、薬液・有機溶媒・リンス液などの処理液を供給する工程と並行して、基板対向面６ａを保護液の液膜９０で覆ってもよい。

また、前述の処理例では、基板高温化工程（基板加熱工程。Ｓ７）に先立って、薬液供給工程（Ｓ２）を実行する場合を例に挙げたが、基板加熱工程の後に、薬液供給工程を実行するものであってもよい。
また、リンス液より低い表面張力を有する有機溶剤としてＩＰＡを例に挙げて説明したが、ＩＰＡ以外に、たとえば、メタノール、エタノール、アセトン、およびＨＦＥ（ハイドロフルオロエーテル）などを採用できる。

また、１種類の薬液を用いるのではなく、複数種類（２種類）の薬液を用いて基板Ｗに処理を施すものであってもよい。
また、前述した実施形態の薬液処理（エッチング処理、洗浄処理等）は、大気圧の下で実行したが、処理雰囲気の圧力はこれに限られるものではない。たとえば、蓋部材３９と下カップ３７とで区画される密閉空間の雰囲気を所定の圧力調整手段を用いて加減圧することにより、大気圧よりも高い高圧雰囲気または大気圧よりも低い減圧雰囲気とした上で各実施形態のエッチング処理、洗浄処理等を実行してもよい。

また、上述した各実施形態では、基板Ｗの裏面にホットプレート６の基板対向面６ａを接触させた状態で基板Ｗを加熱させたが、基板Ｗと基板対向面６ａとを接触させず近接させた状態で基板Ｗを加熱する態様においても、本発明は実施することが可能である。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。

１ 基板処理装置
３ 制御装置
５ 基板保持回転ユニット（基板保持手段）
６ ホットプレート
６ａ 基板対向面（上面）
１７ 保護液流通路
１８ 保護液配管
２０ 保護液吐出口
９０ 保護液の液膜
９８ 閉塞部（閉塞部材）
９８ａ 閉塞部の上面
１２０ 保護液吐出口
１９８ 閉塞部（閉塞部材）
１９８ａ 閉塞部の上面
２１１ 保護液ノズル
２９０ 保護液の液膜
Ｗ 基板

Claims (10)

1. 基板を保持するための基板保持手段と、前記基板を下方から加熱するためのホットプレートとを備える基板処理装置において実行される基板処理方法であって、
   前記ホットプレートおよび前記基板保持手段を、前記ホットプレートが前記基板保持手段から下方に退避する退避位置に配置した状態で、前記基板保持手段によって保持されている前記基板の上面に処理液を供給し、当該処理液を用いて前記基板を処理する処理液供給工程と、
   前記処理液供給工程に並行して、前記ホットプレートの上面に、当該上面を覆う保護液の液膜を形成する保護液液膜形成工程と、
   前記ホットプレートを前記基板の下面に近接または接触させながら、当該ホットプレートにより前記基板を加熱する基板加熱工程と、を含む、基板処理方法。
2. 前記保護液液膜形成工程は、前記ホットプレートの上面に保護液を連続的に供給する工程を含む、請求項１に記載の基板処理方法。
3. 前記保護液液膜形成工程は、前記ホットプレートの上面に形成された保護液吐出口から保護液を吐出する工程を含む、請求項１または２に記載の基板処理方法。
4. 前記保護液液膜形成工程は、保護液ノズルから前記ホットプレートの上面に保護液を吐出する工程を含む、請求項１〜３のいずれか一項に記載の基板処理方法。
5. 前記処理液供給工程は、前記基板の上面に薬液またはリンス液を供給する工程と、前記基板の上面を有機溶剤の液膜に置換する有機溶媒供給工程とを含み、
   前記基板加熱工程では、前記有機溶媒供給工程により前記基板の上面に形成された前記有機溶媒の液膜が前記基板の上面で加熱される、請求項１〜４のいずれか一項に記載の基板処理方法。
6. 基板を水平姿勢に保持するための基板保持手段と、
   前記基板保持手段に保持された基板に向けて処理液を供給する処理液供給手段と、
   前記処理液供給手段から供給された処理液により処理された前記基板の下面に近接または接触させた状態で前記基板を下方から加熱するためのホットプレートと、
   前記処理液供給手段による前記処理液の供給と並行して、前記ホットプレートの上面に保護液を供給し、当該ホットプレートの上面に保護液の液膜を形成する保護液供給手段とを含む、基板処理装置。
7. 前記ホットプレートは、
   当該ホットプレートの上面に開口する保護液吐出口と、
   当該保護液吐出口に連通し、前記保護液吐出口に供給される保護液が流通する保護液流通路と、
   前記保護液吐出口と前記保護液流通路とを区画し、前記ホットプレートに固定的に設けられた保護液配管と、
   前記保護液流通路で上下動可能に、かつ前記保護液吐出口を閉塞可能に設けられた閉塞部材と、を有し、
   前記閉塞部材は、前記保護液吐出口から保護液を吐出させないときには、前記保護液吐出口を閉塞する閉塞位置に配置され、前記保護液吐出口から保護液を吐出させるときには、前記ホットプレートの上面よりも上方に配置させられると共に、前記保護液吐出口から吐出される保護液を前記ホットプレートの外周部に向けて案内する浮上位置に配置させられる、請求項６に記載の基板処理装置。
8. 前記閉塞部材は、前記保護液流通路で上下動自在に設けられており、
   前記閉塞部材は、前記保護液流通路を流通する保護液から圧力を受けて前記浮上位置に配置される、請求項７に記載の基板処理装置。
9. 前記閉塞部材は、前記閉塞位置において、当該閉塞部材の上面が、前記ホットプレートの前記上面と同一平面上にあるか、あるいは前記ホットプレートの上面から下方に退避している、請求項７または８に記載の基板処理装置。
10. 前記処理液供給手段は、薬液またはリンス液を含む第１処理液を前記基板に向けて供給する第１処理液供給手段と、有機溶剤を含む第２処理液を前記基板に向けて供給し当該第２処理液の液膜を前記基板の上面に形成する第２処理液供給手段と、を含み、
    前記ホットプレートは、前記第２処理液の液膜が前記基板の上面に形成された状態で前記基板を加熱する、請求項６〜９のいずれか一項に記載の基板処理装置。

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