JP2015177040A - 半導体製造装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ウェハに貼り付けられたテープを容易に剥離可能な半導体製造装置を提供する。【解決手段】一の実施形態によれば、半導体製造装置は、ウェハに貼り付けるためのテープに、前記ウェハの保護用に使用するための第1テープと、前記第1テープの剥離用に使用するための第2テープとを切り出すための切り込みを形成する切込部を備える。さらに、前記半導体製造装置は、前記ウェハに前記第1テープを貼り付ける貼付部を備える。【選択図】図1
Description
本発明の実施形態は、半導体製造装置に関する。
ディスクリート半導体装置を製造する場合には、ウェハの裏面研磨を行う前に、ウェハの表面にBSG(Backside Grinding)テープを貼り付けることが一般的である。この場合、BSGテープがウェハからはみ出して外貼り状態で貼られていると、ウェハの搬送トラブルや不良の原因となる。そのため、BSGテープは、ウェハからはみ出さないように内貼り状態で貼り付けることが望ましい。しかしながら、BSGテープが内貼り状態で貼られている場合には、BSGテープを剥離する際に、BSGテープよりも粘着力の強い剥離用テープがウェハ外周部に直接貼り付けられてしまう。そのため、ウェハ外周部に剥離用テープの糊残渣が発生する可能性や、BSGテープの剥離中にウェハが吸着部から離脱する可能性がある。
ウェハに貼り付けられたテープを容易に剥離可能な半導体製造装置を提供する。
一の実施形態によれば、半導体製造装置は、ウェハに貼り付けるためのテープに、前記ウェハの保護用に使用するための第1テープと、前記第1テープの剥離用に使用するための第2テープとを切り出すための切り込みを形成する切込部を備える。さらに、前記半導体製造装置は、前記ウェハに前記第1テープを貼り付ける貼付部を備える。
以下、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。
(第1実施形態)
(1)第1実施形態のテープ貼付装置
図1は、第1実施形態のテープ貼付装置の構造を示す平面図である。図1のテープ貼付装置は、半導体製造装置の例である。
(1)第1実施形態のテープ貼付装置
図1は、第1実施形態のテープ貼付装置の構造を示す平面図である。図1のテープ貼付装置は、半導体製造装置の例である。
図1のテープ貼付装置は、収納カセット11と、搬送ロボット12と、ノッチアライメント部13と、貼付上部チャンバ14と、貼付下部チャンバ15と、貼付ステージ16とを備えている。貼付上部チャンバ14、貼付下部チャンバ15、および貼付ステージ16は、貼付部の例である。
図1のテープ貼付装置はさらに、テープ繰り出し部21と、切り出しステージ22と、原反芯23と、回収巻き芯24と、テープ切込部25とを備えている。テープ切込部25は、切込部の例である。
図1は、互いに垂直な水平方向であるX方向およびY方向と、鉛直方向であるZ方向とを示している。本明細書においては、+Z方向を上方向として取り扱い、−Z方向を下方向として取り扱う。例えば、貼付上部チャンバ14と貼付下部チャンバ15との位置関係は、貼付下部チャンバ15が貼付上部チャンバ14の下方に位置していると表現される。
以下、図1のテープ貼付装置の動作について説明する。
まず、搬送ロボット12が、収納カセット11からウェハ1を取り出し、ウェハ1をノッチアライメント部13上に載置する(ステップS1)。次に、ノッチアライメント部13が、ウェハ1のノッチアライメントを行う。図1において、ウェハ1の+Z方向の面は表面であり、ウェハ1の−Z方向の面は裏面である。
次に、搬送ロボット12が、ノッチアライメントが完了したウェハ1を、貼付下部チャンバ15内の貼付ステージ16上に載置する(ステップS2)。
次に、テープ繰り出し部21が、BSGテープ2を繰り出し、BSGテープ2を切り出しステージ22に吸着させる(ステップS3)。BSGテープ2は、ウェハ1に貼り付けるためのテープの例である。符号2cは、原反芯23に取り付けられたBSGテープ2のテープ原反を示す。符号2dは、回収巻き芯24に取り付けられたBSGテープ2の回収テープを示す。テープ繰り出し部21が動作すると、テープ原反2cからBSGテープ2が繰り出され、BSGテープ2が回収テープ2dとして回収される。
次に、テープ切込部25が、切り出しステージ22上に移動し、切り出しステージ22上のBSGテープ2に、第1および第2のBSGテープ2a、2bを切り出すための切り込みを形成する(ステップS4)。テープ切込部25は、切り込みの形成後に、元の位置に戻る(ステップS5)。
第1のBSGテープ2aは、ウェハ1の保護用に使用するためのテープである。第1のBSGテープ2aは、第1テープの例である。本実施形態の第1のBSGテープ2aの形状は、円形である。ウェハ1の表面に第1のBSGテープ2aを内貼り状態で貼り付けるために、第1のBSGテープ2aの直径は、ウェハ1の直径よりも小さく設定される。
第2のBSGテープ2bは、第1のBSGテープ2aの剥離用に使用するためのテープである。第2のBSGテープ2bは、第2テープの例である。本実施形態の第2のBSGテープ2bの形状は、中心角が45℃の扇形である。第2のBSGテープ2bは第1のBSGテープ2aの円周に隣接しているため、第2のBSGテープ2bの内径は、第1のBSGテープ2aの直径と同じ値である。
なお、本実施形態のテープ切込部25は、1枚の第1のBSGテープ2aの周囲に8枚の第2のBSGテープ2bを形成するが、第2のBSGテープ2bの枚数は8枚以外でもよい。また、第2のBSGテープ2bの中心角は、すべて同じでもよいし、互いに異なっていてもよい。
次に、貼付上部チャンバ14が、切り出しステージ22上に移動し、切り出しステージ22上の第1のBSGテープ2aを吸着し、第1のBSGテープ2aをBSGテープ2から離形する(ステップS6)。この際、貼付上部チャンバ14は、第2のBSGテープ2bをBSGテープ2に残したまま、第1のBSGテープ2aを離形する。
次に、貼付上部チャンバ14が、貼付ステージ16の上方に移動し、ウェハ1に垂直降下し、ウェハ1に第1のBSGテープ2aを貼り付ける(ステップS7)。この際、貼付上部チャンバ14と貼付下部チャンバ15が当接して、チャンバ14、15の内部がシールされる。本実施形態においては、チャンバ14、15の内部を真空(例えば200Pa程度)にして、ウェハ1に第1のBSGテープ2aを貼り付ける。これにより、ウェハ1と第1のBSGテープ2aとの間に気泡が入ることを抑制することが可能となる。
次に、テープ繰り出し部21が、切り出しステージ22によるBSGテープ2の吸着を解除し、BSGテープ2を回収テープ2dとして回収する(ステップS8)。その結果、第2のBSGテープ2bが回収テープ2d内に回収される。
次に、搬送ロボット12が、第1のBSGテープ2aが貼り付けられたウェハ1を貼付下部チャンバ15から取り出し、収納カセット11内に収納する(ステップS9)。
なお、本実施形態のステップS1〜S9は、上記の例とは異なる順番で行ってもよい。例えば、ステップS8は、ステップS7と同時に行ってもよいし、ステップS7よりも前に行ってもよい。同様に、ステップS9は、ステップS8と同時に行ってもよいし、ステップS8よりも前に行ってもよい。
図2は、第1実施形態のテープ貼付装置の構造を示す断面図である。
図2は、テープ繰り出し部21、切り出しステージ22、原反芯23、および回収巻き芯24の断面を示している。具体的には、図2は、ステップS5が終了した際のこれらの断面を示している。
そのため、BSGテープ2には、第1および第2のBSGテープ2a、2bを切り出すための切り込みが形成されている。符号3は、BSGテープ2が貼り付けられた台紙(ライナー)を示している。BSGテープ2の切り込みは、BSGテープ2を貫通し、台紙3にまで達している。
図3〜図6は、第1実施形態のテープ貼付装置の動作を示す断面図である。以下、上述のステップS4〜S7の詳細を、図3〜図6を参照して説明する。
図3(a)は、テープ切込部25の断面を示す。テープ切込部25は、第1および第2の刃P1、P2を有する円周カッタ25aと、第3の刃P3を有する直径カッタ25bとを備えている。テープ切込部25は、円周カッタ25aを駆動することにより、第1および第2の刃P1、P2を同時に移動させることができる。また、テープ切込部25は、直径カッタ25bを駆動することにより、第3の刃P3を第1および第2の刃P1、P2とは独立に移動させることができる。第1、第2、第3の刃P1、P2、P3はそれぞれ、第1、第2、第3切込部の例である。
テープ切込部25はまず、図3(a)に示すように、切り出しステージ22上のBSGテープ2の上方に移動する。
次に、テープ切込部25は、円周カッタ25aを降下させ、円周カッタ25aをBSGテープ2に差し込む(図3(a))。この際、第1および第2の刃P1、P2は、BSGテープ2を貫通し、台紙3の厚さの半分程度の深さに達するように差し込まれる。よって、第1および第2の刃P1、P2は、台紙3は貫通していない。
次に、テープ切込部25は、円周カッタ25aをBSGテープ2に差し込んだ状態で回転する(図4(a))。その結果、第1および第2の刃P1、P2により、BSGテープ2に同心円状の第1および第2の切り込みC1、C2が形成される。第1の切り込みC1は、第1のBSGテープ2aの円周や、第2のBSGテープ2bの内周に相当する。第2の切り込みC2は、第2のBSGテープ2bの外周に相当する。第1の切り込みC1は、環形状の第1の切り込みの例である。第2の切り込みC2は、第1の切り込みを包囲する環形状の第2の切り込みの例である。
次に、テープ切込部25は、円周カッタ25aを上昇させ、円周カッタ25aをBSGテープ2から離隔する(図4(b))。
次に、テープ切込部25は、直径カッタ25bを降下させ、直径カッタ25bをBSGテープ2に差し込む(図5(a))。この際、第3の刃P3は、BSGテープ2を貫通し、台紙3の厚さの半分程度の深さに達するように差し込まれる。よって、第3の刃P3は、台紙3は貫通していない。
次に、テープ切込部25は、直径カッタ25bをBSGテープ2に差し込んだ状態で、直径カッタ25bをテープ切込部25の回転軸の径方向に掃引する(図5(b))。次に、テープ切込部25は、直径カッタ25bを元の位置に戻す。テープ切込部25はその後、回転軸の周りに45度回転する動作と、この掃引動作とを交互に繰り返す。その結果、第3の刃P3により、BSGテープ2に放射線状の8本の第3の切り込みC3が形成される。第3の切り込みC3は、第2のBSGテープ2bの内周と外周との間の辺に相当する。第3の切り込みC3は、第1および第2の切り込み間の領域を複数の領域に分割する第3の切り込みの例である。
次に、テープ切込部25が元の位置に戻り、貼付上部チャンバ14が切り出しステージ22上のBSGテープ2の上方に移動する(図6(a))。貼付上部チャンバ14は、ポーラス構造部14aと、テープ保持部14bと、真空チャック14cと、上下動作部14dとを備えている。ポーラス構造部14aは、微細な穴を多数有しており、これらの穴により空気を通すことができる。
貼付上部チャンバ14は、図6(a)に示すように、第1のBSGテープ2a上にポーラス構造部14aを降下させ、第1のBSGテープ2aおよびポーラス構造部14aをテープ保持部14bで覆う。次に、貼付上部チャンバ14は、第1のBSGテープ2aをポーラス構造部14aを介して真空チャック14cにより吸着し、第1のBSGテープ2aをBSGテープ2および台紙3から離形する。次に、貼付上部チャンバ14は、上下動作部14d等により第1のBSGテープ2aをウェハ1上に移動させる。
図6(b)は、第1のBSGテープ2aを離形後のBSGテープ2および台紙3を示している。符号Hは、第1のBSGテープ2aを離形してできたBSGテープ2の穴を示す。その後、BSGテープ2は回収テープ2dとして回収される。
(2)第1実施形態のテープ剥離装置
図7は、第1実施形態のテープ剥離装置の構造を示す平面図である。図7のテープ剥離装置は、半導体製造装置の例である。
図7は、第1実施形態のテープ剥離装置の構造を示す平面図である。図7のテープ剥離装置は、半導体製造装置の例である。
図7のテープ剥離装置は、収納カセット31と、搬送ロボット32と、ノッチアライメント部33と、剥離ステージ34と、剥離補助フィン35と、テープ剥離部36と、貼付ローラ37と、回収巻き芯38とを備えている。剥離補助フィン35は、ウェハから第1テープを剥離するための剥離補助機構の例である。テープ剥離部36は、剥離部の例である。貼付ローラ37は、第2貼付部の例である。
図7のテープ剥離装置はさらに、テープ供給部41と、テープステージ42と、原反芯43と、回収巻き芯44と、テープ貼付部45とを備えている。テープ貼付部45は、第1貼付部の例である。
図7のテープ剥離装置は、図1のテープ貼付装置と一体化されていてもよいし、図1のテープ貼付装置と切り離されていてもよい。
以下、図7のテープ剥離装置の動作について説明する。
まず、搬送ロボット32が、収納カセット31からウェハ1を取り出し、ウェハ1をノッチアライメント部33上に載置する(ステップS11)。次に、ノッチアライメント部33が、ウェハ1のノッチアライメントを行う。図7において、ウェハ1の+Z方向の面は表面であり、ウェハ1の−Z方向の面は裏面である。ウェハ1の表面には、第1のBSGテープ2aが内貼り状態で貼り付けられている。
次に、搬送ロボット32が、ノッチアライメントが完了したウェハ1を、剥離ステージ34上に載置する(ステップS12)。
次に、テープ供給部41が、BSGテープ2を繰り出し、BSGテープ2をテープステージ42に吸着させる(ステップS13)。符号2eは、原反芯43に取り付けられたBSGテープ2のテープ原反を示す。符号2fは、回収巻き芯44に取り付けられたBSGテープ2の回収テープを示す。テープ供給部41が動作すると、テープ原反2eからBSGテープ2が繰り出され、BSGテープ2が回収テープ2fとして回収される。
本実施形態において、図7のテープ原反2eは、図1の回収テープ2dと同じテープである。例えば、テープ原反2eは、回収テープ2dを回収巻き芯24から取り外し、回収テープ2dを原反芯43に取り付けることで用意される。よって、図7のBSGテープ2は、第2のBSGテープ2bと、第2のBSGテープ2bにより囲まれた穴Hとを有している。
次に、テープ貼付部45が、第2のBSGテープ2bを吸着し、剥離ステージ34上に移動し、第2のBSGテープ2bをウェハ1と剥離補助フィン35とに貼り付ける(ステップS14)。剥離補助フィン35は、ウェハ1と剥離ステージ34との段差を緩和するために、剥離ステージ34上のウェハ1を挟む位置に配置されている。本実施形態のテープ貼付部45は、第1のBSGテープ2aが貼られていないウェハ1の外周部と、剥離補助フィン35とに架橋するように、第2のBSGテープ2bを貼り付ける。その後、テープ貼付部45は元の位置に戻る(ステップS15)。
次に、テープ剥離部36が、剥離ステージ34上に降下し、剥離用テープ4の粘着面をウェハ1上の第1または第2のBSGテープ2a、2bに当接させる(ステップS16)。剥離用テープ4は、第3テープの例である。
次に、テープ剥離部36が、剥離ステージ34を−X方向に摺動させつつ、貼付ローラ37により剥離用テープ4を押圧する(ステップS17)。その結果、剥離用テープ4が、ウェハ1上の第1および第2のBSGテープ2a、2bと剥離補助フィン35とに貼り付けられる。本実施形態の貼付ローラ37は、ウェハ1上の第1および第2のBSGテープ2a、2bと剥離補助フィン35とに架橋するように、剥離用テープ4を貼り付ける。その後、剥離ステージ34は元の位置に戻る。
本実施形態の第2のBSGテープ2bの内周部の幅W1は、剥離用テープ4の幅W2よりも長く設定されている。第2のBSGテープ2bの内周部の幅W1とは、第2のBSGテープ2bの内周の一端と他端との距離である。本実施形態によれば、幅W1を幅W2よりも長く設定することにより、剥離用テープ4がウェハ1と非接触状態になるように、剥離用テープ4を第1および第2のBSGテープ2a、2bと剥離補助フィン35とに貼り付けることができる。
次に、テープ剥離部36が、貼付ローラ37により剥離用テープ4を押圧しつつ、剥離ステージ34を−X方向に摺動させる(ステップS18)。この際、回収巻き芯38は、剥離ステージ34と同じ速度で回転する。その結果、剥離用テープ4がウェハ1から剥離され、第1および第2のBSGテープ2a、2bも剥離用テープ4と共にウェハ1から剥離される。その後、剥離用テープ4は、回収巻き芯38の周りに回収テープ4aとして回収され、第1および第2のBSGテープ2a、2bも、回収巻き芯38の周りに回収テープ2gとして回収される。その後、剥離ステージ34は元の位置に戻る。
次に、搬送ロボット12が、第1のBSGテープ2aが剥離されたウェハ1を剥離ステージ34から取り出し、収納カセット31内に収納する(ステップS19)。
なお、本実施形態のステップS11〜S19は、上記の例とは異なる順番で行ってもよい。例えば、ステップS15は、ステップS16と同時に行ってもよい。
図8〜図11は、第1実施形態のテープ剥離装置の動作を示す断面図である。以下、上述のステップS13〜S15の詳細を、図8〜図11を参照して説明する。
まず、テープ供給部41は、第2のBSGテープ2bがテープステージ42の上方に現れるまでBSGテープ2を繰り出す(図8(a))。
次に、テープ供給部41は、テープステージ42上に降下する(図8(b))。その結果、BSGテープ2の台紙3がテープステージ42に当接する。BSGテープ2および台紙3は、テープステージ42により吸着される。
次に、テープ貼付部45は、テープステージ42の上方に移動する(図9(a))。テープ貼付部45は、二組の吸着ハンド45aと吸着パッド45bとを備えている。吸着ハンド45aは、図9(a)に矢印で示すように、旋回動作および摺動動作が可能である。テープ貼付部45は、不図示のアライメント部により、吸着パッド45bと第2のBSGテープ2bの面内位置を合わせる。アライメント部は例えば、処理レシピに指定された寸法情報を用いた座標指定により位置合わせを行ってもよいし、CCDカメラによる画像認識アライメントにより位置合わせを行ってもよい。なお、吸着パッド45bは例えば、第2のBSGテープ2bよりも各辺が1mm程度小さい形状を有している。
次に、テープ貼付部45は、吸着ハンド45aを降下させ、吸着パッド45bを第2のBSGテープ2bに当接させる(図9(b))。吸着パッド45bは、第2のBSGテープ2bを真空吸着により吸着する。
次に、テープ貼付部45は、テープステージ42の上方に上昇し、第2のBSGテープ2bをBSGテープ2から離隔する(図10(a))。本実施形態のテープ貼付部45は、図10(a)に示すように、2枚の第2のBSGテープ2bを同時に移送することができる。
次に、テープ貼付部45は、剥離ステージ34上のウェハ1の上方に移動する(図10(b))。テープ貼付部45は、上述のアライメント部により、ウェハ1の外周部と吸着パッド45bの面内位置を合わせる。なお、剥離ステージ34は、ウェハ1を真空吸着により吸着している。
次に、テープ貼付部45は、ウェハ1上に下降し、第2のBSGテープ2bをウェハ1の外周部と剥離補助フィン35とに当接させる(図11(a))。
次に、テープ貼付部45は、吸着パッド45bによる第2のBSGテープ2bの吸着を解放し、ウェハ1の上方に上昇する(図11(b))。このようにして、第2のBSGテープ2bがウェハ1の外周部と剥離補助フィン35とに貼り付けられる。
本実施形態においては、ウェハ1と剥離補助フィン35とに架橋するように第2のBSGテープ2bを貼り付けることにより、第2のBSGテープ2bを貼り付けるときの吸着パッド45bの押し込み量を減らすことできる。よって、本実施形態によれば、吸着パッド45bによるウェハ1の外周部への負荷を抑制し、ウェハ1の破損を防止することが可能となる。
(3)第1実施形態のテープ貼付装置とテープ剥離装置の詳細
次に、図1のテープ貼付装置と図7のテープ剥離装置の詳細について説明する。
次に、図1のテープ貼付装置と図7のテープ剥離装置の詳細について説明する。
以上のように、テープ貼付装置は、BSGテープ2に第1および第2のBSGテープ2a、2bを切り出すための切り込みを形成し、ウェハ1に第1のBSGテープ2aを貼り付ける。
さらに、テープ剥離装置は、第1のBSGテープ2aが貼り付けられたウェハ1と剥離補助フィン35とに第2のBSGテープ2bを貼り付け、ウェハ1上の第1および第2のBSGテープ2a、2bと剥離補助フィン35とに剥離用テープ4を貼り付け、剥離用テープ4と共に第1および第2のBSGテープ2a、2bを剥離する。
よって、本実施形態によれば、ウェハ1に剥離用テープ4を直接貼り付けずに、第1のBSGテープ2aをウェハ1から剥離することができる。よって、本実施形態によれば、ウェハ1上に剥離用テープ4の糊残渣が発生することを回避することができる。
また、本実施形態の第1および第2のBSGテープ2a、2bは、同一のBSGテープ2から切り出される。よって、本実施形態によれば、破棄予定のBSGテープ2から剥離補助用の第2のBSGテープ2bを切り出すことができ、BSGテープ2の材料コストを抑制することができる。
また、本実施形態の第2のBSGテープ2bの内周部の幅W1は、剥離用テープ4の幅W2よりも長く設定されている。よって、本実施形態によれば、剥離用テープ4がウェハ1と非接触状態になるように、剥離用テープ4を第1および第2のBSGテープ2a、2bと剥離補助フィン35とに貼り付けることができる。
ただし、剥離用テープ4をウェハ1と非接触状態にすることができれば、第2のBSGテープ2bの内周部の幅W1は、剥離用テープ4の幅W2よりも短く設定してもよい。例えば、1つの剥離補助フィン35の付近に複数枚の第2のBSGテープ2bを貼り付ける場合には、幅W1が幅W2より短くても、剥離用テープ4をウェハ1と非接触状態にすることが可能である。
本実施形態の剥離補助フィン35は、第2のBSGテープ2bや剥離用テープ4を剥離しやすい材料で形成することが望ましい。このような材料の例は、PTFE(ポリテトラフルオロエチレン)である。本実施形態の剥離補助フィン35は、第2のBSGテープ2bや剥離用テープ4が接する部分だけがPTFEで形成されていてもよいし、表面だけがPTFEでコーティングされていてもよい。
本実施形態の剥離ステージ34は、ウェハ1の裏面を外周部付近で真空吸着により吸着している。このような吸着法は、ウェハ1の裏面電極に触れずにウェハ1を吸着できるという利点があるが、ウェハ1の吸着力が弱いという欠点がある。ウェハ1の吸着力が弱いと、第1のBSGテープ2aの剥離中にウェハ1が剥離ステージ34から離脱する可能性がある。しかしながら、本実施形態によれば、第1のBSGテープ2aを容易に剥離することができるため、ウェハ1の離脱を抑制することが可能となる。
(第2実施形態)
図12は、第2実施形態のテープ剥離装置の構造を示す平面図である。図12のテープ剥離装置は、半導体製造装置の例である。
図12は、第2実施形態のテープ剥離装置の構造を示す平面図である。図12のテープ剥離装置は、半導体製造装置の例である。
図12のテープ剥離装置は、収納カセット31と、搬送ロボット32と、ノッチアライメント部33と、剥離ステージ34と、剥離補助機構の例である剥離補助フィン35と、剥離部の例であるテープ剥離部36と、貼付部の例である貼付ローラ37と、回収巻き芯38と、調整部の例である高さ調整部51とを備えている。
高さ調整部51は、ウェハ1上の第1のBSGテープ2aの上面の高さと剥離補助フィン35の上面の高さとを揃えるように、剥離補助フィン35の位置を調整する。よって、本実施形態のテープ剥離装置は、第2のBSGテープ2bを使用せずに剥離用テープ4を貼り付けても、剥離用テープ4とウェハ1とを非接触状態にすることができる。
図12のテープ剥離装置は、図1のテープ貼付装置と一体化されていてもよいし、図1のテープ貼付装置と切り離されていてもよい。ただし、これらの場合の図1のテープ貼付装置は、第2のBSGテープ2bを形成する機能を有していなくてもよい。具体的には、このテープ貼付装置は、直径カッタ25bを備えていなくてもよい。
なお、本実施形態においては、第1のBSGテープ2aが第1テープの例であり、剥離用テープ4が第2テープの例である。
以下、図12のテープ剥離装置の動作について説明する。
まず、搬送ロボット32が、収納カセット31からウェハ1を取り出し、ウェハ1をノッチアライメント部33上に載置する(ステップS11)。次に、ノッチアライメント部33が、ウェハ1のノッチアライメントを行う。ウェハ1の表面(+Z方向の面)には、第1のBSGテープ2aが内貼り状態で貼り付けられている。
次に、搬送ロボット32が、ノッチアライメントが完了したウェハ1を、剥離ステージ34上に載置する(ステップS12)。
次に、高さ調整部51が、剥離補助フィン35の上面の高さを、ウェハ1上の第1のBSGテープ2aの上面と同じ高さに調整する(ステップS21)。
次に、テープ剥離部36が、剥離ステージ34上に降下し、剥離用テープ4の粘着面をウェハ1上の第1のBSGテープ2aに当接させる(ステップS16)。この際、剥離用テープ4の粘着面は、ウェハ1の表面には当接しない。
次に、テープ剥離部36が、剥離ステージ34を−X方向に摺動させつつ、貼付ローラ37により剥離用テープ4を押圧する(ステップS17)。その結果、剥離用テープ4が、ウェハ1上の第1のBSGテープ2aと剥離補助フィン35とに貼り付けられる。その後、剥離ステージ34は元の位置に戻る。
次に、テープ剥離部36が、貼付ローラ37により剥離用テープ4を押圧しつつ、剥離ステージ34を−X方向に摺動させる(ステップS18)。この際、回収巻き芯38は、剥離ステージ34と同じ速度で回転する。その結果、剥離用テープ4がウェハ1から剥離され、第1のBSGテープ2aも剥離用テープ4と共にウェハ1から剥離される。その後、剥離用テープ4は、回収巻き芯38の周りに回収テープ4aとして回収され、第1のBSGテープ2aも、回収巻き芯38の周りに回収テープ2gとして回収される。その後、剥離ステージ34は元の位置に戻る。
次に、搬送ロボット12が、第1のBSGテープ2aが剥離されたウェハ1を剥離ステージ34から取り出し、収納カセット31内に収納する(ステップS19)。
なお、本実施形態のステップS11、S12、S21、およびS16〜S19は、上記の例とは異なる順番で行ってもよい。
図13は、第2実施形態のテープ剥離装置の動作の第1の例を示す断面図である。図13は、上述のステップS21、S16、およびS17の詳細を示している。
第1の例のテープ剥離装置は、第1のBSGテープ2aの剥離処理用レシピとして、ワーク厚さTを保持することが可能である(図13(a))。ワーク厚さTは、ウェハ1と第1のBSGテープ2aの合計厚さである。
符号Z1は、ウェハ1上の第1のBSGテープ2aの上面の高さを示す。符号Z2は、剥離補助フィン35の上面の高さを示す。図13(a)の剥離補助フィン35の上面の高さZ2は、剥離ステージ34の上面の高さと一致している。高さ調整部51は、この場合の高さZ2を基準高さとして取り扱う。
次に、高さ調整部51は、図13(a)の剥離補助フィン35をワーク厚さTだけ上昇させる(図13(b))。その結果、剥離補助フィン35の上面の高さZ2が、ウェハ1上の第1のBSGテープ2aの上面の高さZ1に調整される。本実施形態の高さ調整部51は、剥離補助フィン35をパルスモータにより上下移動させる。
次に、テープ剥離部36や貼付ローラ37が、ウェハ1上の第1のBSGテープ2aと剥離補助フィン35とに剥離用テープ4を貼り付ける(図13(c))。本実施形態のテープ剥離装置は、高さZ1と高さZ2とを揃えることにより、ウェハ1に剥離用テープ4を直接貼り付けずに、剥離用テープ4を第1のBSGテープ2aと剥離補助フィン35とに貼り付けることができる(図13(c))。すなわち、本実施形態によれば、剥離用テープ4をティンティング貼り状態で貼り付けることが可能となる。
図14は、第2実施形態のテープ剥離装置の動作の第2の例を示す断面図である。図14は、上述のステップS21、S16、およびS17の詳細を示している。
第2の例の高さ調整部51は、第1および第2のレーザ変位計51a、51bを備えている(図14(a))。第1のレーザ変位計51aは、ウェハ1上の第1のBSGテープ2aの上面と調整部51との距離を測定する。第2のレーザ変位計51bは、剥離補助フィン35の上面と調整部51との距離を測定する。
次に、高さ調整部51は、第1および第2のレーザ変位計51a、51bにより測定された距離の差が0になるように、図14(a)の剥離補助フィン35を上昇させる(図14(b))。その結果、剥離補助フィン35の上面の高さZ2が、ウェハ1上の第1のBSGテープ2aの上面の高さZ1に調整される。
次に、テープ剥離部36や貼付ローラ37が、ウェハ1上の第1のBSGテープ2aと剥離補助フィン35とに剥離用テープ4を貼り付ける(図14(c))。これは、第1の例の場合と同様である。
なお、第2の例の高さ調整部51は、上記の距離を第1および第2のレーザ変位計51a、51bにより測定しているが、その他の手段(例えばCCDカメラ)により測定してもよい。また、第2の例の高さ調整部51は、上記の距離を光学的手法により測定しているが、その他の手法(例えば音響的手法や電磁的手法)により測定してもよい。
また、本実施形態のテープ剥離装置は、第1、第2の例の動作を併用してもよい。例えば、本実施形態のテープ剥離装置は、第1の例により剥離補助フィン35の高さを粗調整し、その後、第2の例により剥離補助フィン35の高さを微調整してもよい。
以上のように、本実施形態のテープ剥離装置は、ウェハ1上の第1のBSGテープ2aの上面の高さZ1と剥離補助フィン35の上面の高さZ2とを揃えた後、ウェハ1上の第1のBSGテープ2aと剥離補助フィン35とに剥離用テープ4を貼り付ける。
よって、本実施形態によれば、ウェハ1に剥離用テープ4を直接貼り付けずに、第1のBSGテープ2aをウェハ1から剥離することができる。よって、本実施形態によれば、ウェハ1上に剥離用テープ4の糊残渣が発生することを回避することができる。
以上のように、第1および第2実施形態によれば、ウェハ1に貼り付けられた第1のBSGテープ2aを容易に剥離することが可能となる。
以上、いくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例としてのみ提示したものであり、発明の範囲を限定することを意図したものではない。本明細書で説明した新規な装置は、その他の様々な形態で実施することができる。また、本明細書で説明した装置の形態に対し、発明の要旨を逸脱しない範囲内で、種々の省略、置換、変更を行うことができる。添付の特許請求の範囲およびこれに均等な範囲は、発明の範囲や要旨に含まれるこのような形態や変形例を含むように意図されている。
1:ウェハ、2:BSGテープ、
2a:第1のBSGテープ、2b:第2のBSGテープ、
2c:テープ原反、2d:回収テープ、2e:テープ原反、2f:回収テープ、
2g:回収テープ、3:台紙、4:剥離用テープ、4a:回収テープ、
11:収納カセット、12:搬送ロボット、13:ノッチアライメント部、
14:貼付上部チャンバ、14a:ポーラス構造部、14b:テープ保持部、
14c:真空チャック、14d:上下動作部、
15:貼付下部チャンバ、16:貼付ステージ、
21:テープ繰り出し部、22:切り出しステージ、
23:原反芯、24:回収巻き芯、
25:テープ切込部、25a:円周カッタ、25b:直径カッタ、
31:収納カセット、32:搬送ロボット、33:ノッチアライメント部、
34:剥離ステージ、35:剥離補助フィン、36:テープ剥離部、
37:貼付ローラ、38:回収巻き芯、
41:テープ供給部、42:テープステージ、43:原反芯、44:回収巻き芯、
45:テープ貼付部、45a:吸着ハンド、45b:吸着パッド、
51:高さ調整部、51a:第1のレーザ変位計、51b:第2のレーザ変位計
2a:第1のBSGテープ、2b:第2のBSGテープ、
2c:テープ原反、2d:回収テープ、2e:テープ原反、2f:回収テープ、
2g:回収テープ、3:台紙、4:剥離用テープ、4a:回収テープ、
11:収納カセット、12:搬送ロボット、13:ノッチアライメント部、
14:貼付上部チャンバ、14a:ポーラス構造部、14b:テープ保持部、
14c:真空チャック、14d:上下動作部、
15:貼付下部チャンバ、16:貼付ステージ、
21:テープ繰り出し部、22:切り出しステージ、
23:原反芯、24:回収巻き芯、
25:テープ切込部、25a:円周カッタ、25b:直径カッタ、
31:収納カセット、32:搬送ロボット、33:ノッチアライメント部、
34:剥離ステージ、35:剥離補助フィン、36:テープ剥離部、
37:貼付ローラ、38:回収巻き芯、
41:テープ供給部、42:テープステージ、43:原反芯、44:回収巻き芯、
45:テープ貼付部、45a:吸着ハンド、45b:吸着パッド、
51:高さ調整部、51a:第1のレーザ変位計、51b:第2のレーザ変位計
Claims (6)
- ウェハに貼り付けるためのテープに、前記ウェハの保護用に使用するための第1テープと、前記第1テープの剥離用に使用するための第2テープとを切り出すための切り込みを形成する切込部と、
前記ウェハに前記第1テープを貼り付ける貼付部と、
を備える半導体製造装置。 - 前記切込部は、
前記テープに、環形状の第1の切り込みを形成する第1切込部と、
前記テープに、前記第1の切り込みを包囲する環形状の第2の切り込みを形成する第2切込部と、
前記テープに、前記第1および第2の切り込み間の領域を複数の領域に分割する第3の切り込みを形成する第3切込部と、
を備える請求項1に記載の半導体製造装置。 - 第1テープが貼り付けられたウェハと、前記ウェハから前記第1テープを剥離するための剥離補助機構とに、第2テープを貼り付ける第1貼付部と、
前記ウェハ上の前記第1および第2テープと前記剥離補助機構とに、第3テープを貼り付ける第2貼付部と、
前記第3テープを前記ウェハから剥離することにより、前記第1および第2テープを前記ウェハから剥離する剥離部と、
を備える半導体製造装置。 - 前記第1および第2テープは、同一のテープから切り出されたものである、請求項3に記載の半導体製造装置。
- ウェハ上の第1テープの上面の高さと、前記ウェハから前記第1テープを剥離するための剥離補助機構の上面の高さとを揃えるように、前記剥離補助機構の位置を調整する調整部と、
前記剥離補助機構の位置の調整後に、前記ウェハ上の前記第1テープと前記剥離補助機構とに第2テープを貼り付ける貼付部と、
前記第2テープを前記ウェハから剥離することにより、前記第1テープを前記ウェハから剥離する剥離部と、
を備える半導体製造装置。 - 前記貼付部は、前記第2テープが前記ウェハと非接触状態になるように、前記第2テープを前記ウェハ上の前記第1テープと前記剥離補助機構とに貼り付ける、請求項5に記載の半導体製造装置。
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