JP2015176971A - 半導体パッケージ、およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体素子が接続されるセラミック多層基板と、上記セラミック多層基板の貫通穴に充填され、上記セラミック多層基板の底面から突出した突出部を有するとともに、上記半導体素子が上面に実装される放熱部と、上記セラミック多層基板の底面における上記放熱部の突出部の周囲に配置された複数のはんだボールとを備える。
【選択図】 図1
Description
以下、本発明に係る実施の形態1について図を用いて説明する。
図1は、実施の形態1による半導体パッケージの構成を示す図である。図1において、半導体パッケージ100は、多層セラミック基板2と放熱部4とはんだボール6から構成される。多層セラミック基板2は、放熱部4、はんだ7および複数のはんだボール6を介して、キャリア5の上面に接合される。キャリア5は金属導体板から形成される、もしくはプリント基板から構成されてもよい。放熱部4は金属導体の塊から形成されている。
図2(a)の工程において、はじめに複数の誘電体および導体を積層し、セラミック多層基板2を形成する。ここでは、半導体素子1を収容するキャビティ3が貫通穴9と連通しており、貫通穴39となっている。また、この貫通穴39は金属面が形成されていない状態となっている。
実施の形態1の半導体パッケージ100は、貫通穴9の上下断面形状を直線形状としている。しかしながら、特許文献1に示されるように、貫通穴9の上下断面形状を凹凸形状にしてもよい。図3は、実施の形態2による半導体パッケージ100の放熱部140を挿入した貫通穴45の上下断面形状を示す図である。ここで、多層セラミック基板2の底面における放熱部140の周囲にはんだフィレッと16を形成してもよい。
Claims (5)
- 半導体素子が接続されるセラミック多層基板と、
上記セラミック多層基板の貫通穴に充填され、上記セラミック多層基板の底面から突出した突出部を有するとともに、上記半導体素子が上面に実装される放熱部と、
上記セラミック多層基板の底面における、上記放熱部の突出部の周囲に配置された複数のはんだボールと、
を備えた半導体パッケージ。 - 放熱部は、樹脂の含有された金属からなることを特徴とする請求項1記載の半導体パッケージ。
- セラミック多層基板に貫通穴を形成する工程と、
セラミック多層基板の底面に突出部が形成されるように、セラミック多層基板の貫通穴に導体ペーストを充填し、加圧する工程と、
セラミック多層基板と導体ペーストを加圧しながら焼成し、セラミック多層基板の底面から突出するとともにセラミック多層基板の上面側で半導体素子が実装される放熱部を固化する工程と、
を備えた半導体パッケージの製造方法。 - セラミック多層基板における突出部の周囲に複数のはんだボールを接合する工程を備えた請求項3記載の半導体パッケージの製造方法。
- 導体ペーストは、低温焼結金属の金属粒子と、金属粒子表面を覆う有機保護材を備えたことを特徴とする請求項3または請求項4記載の半導体パッケージの製造方法。
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