JP2015175626A - 走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
Description
即ち、本発明の走査型プローブ顕微鏡は、先鋭試料を保持するための試料台と、前記試料台の上に設置され、前記試料を上方向から拡大観察するための拡大観察手段と、前記先鋭試料に光を横方向から照射する光源と、前記先鋭試料の先端面を走査するためのプローブと、前記プローブが端部に設置されたカンチレバーと、前記プローブの先端を前記先鋭試料の先端面に位置合わせするための微動手段と、を備え、前記光源が横方向から前記先鋭試料に光を照射することにより、上方向から観察したときに前記先鋭試料の先端が光るようにせしめ、前記微動手段により前記プローブ先端を前記先鋭試料の先端に位置合わせすることを可能とすることを主要な特徴としている。
本発明の走査型プローブ顕微鏡は、先鋭試料12を保持するための試料台10と、先鋭試料12を上方向から拡大観察するための拡大観察手段11と、先鋭試料12に光を横方向から照射する光源16と、先鋭試料12の先端面を走査するためのプローブ13と、プローブ13が端部に設置されたカンチレバー14と、プローブ13の先端を先鋭試料12の先端面に位置あわせするための微動手段(不図示)と、を主に備えて構成される。
カンチレバー14は、その一端が固定された片持ち梁構造をなし、自由端側にはプローブ13が設置されている。
11 拡大観察手段
12 先鋭試料
13 プローブ
14 カンチレバー
16 光源
17 側面拡大観察手段
18 光源
Claims (4)
- 先鋭試料を保持するための試料台と、
前記試料台の上に設置され、前記試料を上方向から拡大観察するための拡大観察手段と、
前記先鋭試料に光を横方向から照射する光源と、
前記先鋭試料の先端面を走査するためのプローブと、
前記プローブが端部に設置されたカンチレバーと、
前記プローブの先端を前記先鋭試料の先端面に位置合わせするための微動手段と、
を備え、
前記光源が横方向から前記先鋭試料に光を照射することにより、上方向から観察したときに前記先鋭試料の先端が光るようにせしめ、前記微動手段により前記プローブ先端を前記先鋭試料の先端に位置合わせすることを可能とする走査型プローブ顕微鏡。 - 前記試料を横方向から拡大観察するための拡大観察手段を更に備える請求項1に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記光源は、前記プローブを前記先鋭試料の先端面に位置合わせをするアプローチ中、及び前記先端面の走査中も前記先鋭試料に光を照射し続ける請求項1または2に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- ケルビンプローブ法による測定手段を更に備える請求項1から3のいずれか1項に記載の走査型プローブ顕微鏡。
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