JP2015174803A - 石英ガラスルツボの製造方法、及び石英ガラスルツボ - Google Patents

Abstract

【課題】ルツボの大きさに拘わらず、ルツボ全体を略均一に加熱し、ルツボ内表面の汚染量を低減する。
【解決手段】ルツボ成形型２の中心軸Ｃの周りに複数の電極３からなる第１電極グループＧ１から選択された複数の電極からなり、ルツボ成形型の中心軸と、選択された隣り合う２つの電極とのなす角が、ルツボ成形型の中心軸と、前記選択された他の隣り合う２つの電極とのなす角と同一となるように選択された複数の電極からなる第２電極グループＧ２と、前記第１電極グループのうち、第２電極グループ以外の複数の電極からなり、前記複数の電極においてルツボ成形型の中心軸と隣り合う２つの電極とのなす角が、ルツボ成形型の中心軸と他の隣り合う２つの電極とのなす角と同一となるように選択された第３電極グループＧ３とを形成し、第２電極グループと第３電極グループの各グループ内において、隣り合う電極同士によりアーク放電を行うステップとを含む。
【選択図】図１

Description

本発明は、石英ガラスルツボの製造方法、及び石英ガラスルツボに関し、特にシリコン単結晶引き上げに使用される石英ガラスルツボの製造方法、及び石英ガラスルツボに関する。

チョクラルスキー法（ＣＺ法）によるシリコン単結晶引き上げに用いられる石英ガラスルツボは、成形型内にルツボ状に形成した石英粉からなる成形体に対し、成形型の軸周りに配置した電極から発生したアーク放電によって加熱溶融することにより製造されている。
図５（ａ）に示すように、一般にルツボ製造装置５０は、回転機構５５により軸周りに回転可能に設けられたルツボ成形型５１と、その上方において成形型５１の中心軸Ｃの周りに等間隔に配置された複数（例えば３本）の直棒状のカーボン電極５２（５２ａ，５２ｂ，５２ｃ）とを備える。

カーボン電極５２は図示しない昇降機構により昇降可能となされ、その先端部５２ａ１，５２ｂ１，５２ｃ１は、それぞれ下方の成形型５１の中心軸Ｃに向けられている。より具体的には、図５（ｂ）に示すように、カーボン電極５２の先端部５２ａ１，５２ｂ１，５２ｃ１が、中心軸Ｃを中心とする同心円（図において一点鎖線で示す）上に位置するようにリング状に配置されている。

このようなルツボ製造装置５０においては、前記ルツボ成形型５１内に石英粉が供給され、回転機構５５によりルツボ成形型５１が回転され、遠心力により石英粉が成形型５１の内周面に固められて成形体Ｐが成形される。
次いで、ルツボ成形型５１の上方に位置するカーボン電極５２が降下され、ルツボ成形型５１内に挿入された後、３本の電極間でアーク放電が開始される。
このアーク放電による熱により成形体Ｐが溶融され、ルツボ成形型５１内に石英ガラスルツボが形成される。

ところで、前記のようにアーク放電を発生させるためのカーボン電極は前記のように３本をリング状に配置する構成が主流であったが、近年、石英ガラスルツボの大口径化に伴い、３本の電極５２では成形体Ｐの胴部Ｐ１までの距離が離れすぎて充分に加熱溶融することができないという課題があった。また、加熱範囲を拡大するため、電極５２の先端間距離、即ち先端部５２ａ１，５２ｂ１，５２ｃ１の相互間距離を広げると、アークが切れやすく安定しないという課題があった。
このような課題に対し、特許文献１では、カーボン電極５２の本数を例えば６本に増加し、それら電極の先端部がルツボ中心軸Ｃを中心とする同心円上に位置するようにリング状に配置する構成が提案されている。
このように、カーボン電極５２の数を増やすことにより、電極により形成されたリングの径が大きくなると共に隣り合う電極間の距離が縮まるため、安定したアーク放電を維持しつつ、成形体の胴部内周面に対し充分に加熱溶融することができる。

特開２００３−３３５５３２号公報

しかしながら、前記のようにカーボン電極５２の本数を増やし、それらの先端部が同心円上に位置するようリング状に配置する場合、電極の先端部を出来るだけ閉じた配置にしても、電極先端部により形成されたリングの径が大きいために、その中央部の熱量が低下し、ルツボ成形体Ｐの底部領域Ｐ２（図５（ａ）参照）を充分に加熱することができないという課題があった。

また、アーク放電による加熱溶融前において、ルツボ成形体Ｐの内側表層は、炉内雰囲気や成形時にアルカリ金属やＳＵＳ系金属等の不純物により汚染されているが、大部分は加熱溶融によりベーパライズ（蒸発）され、炉外へと排出される。
しかしながら、ルツボ成形体Ｐの底部領域Ｐ２を充分に加熱できないと、ルツボ底部におけるベーパライズの量が減少し、含まれていた不純物が濃縮するため表層の汚染量が多くなるという課題があった。
さらには、多数のカーボン電極の先端部が同心円上に位置するようにリング状に配置した場合、その中央に上下に貫通する大きな空間部ができ、前記のように中央部の熱量が低下する。そのため、加熱溶融中に炉内のパーティクルが前記空間部を通過した際、燃焼しきれずルツボ成形体Ｐの底部領域Ｐ２に付着し汚染するという課題があった。

本発明は、前記したような事情の下になされたものであり、石英ガラスルツボの製造方法において、ルツボの大きさに拘わらず、ルツボ全体を充分に加熱溶融することができ、ルツボの汚染量を低減することのできる石英ガラスルツボの製造方法、及び石英ガラスルツボを提供することを目的とする。

前記課題を解決するためになされた、本発明に係る石英ガラスルツボの製造方法は、ルツボ成形型に石英粉を供給し、前記ルツボ成形型を軸周りに回転させて成形体を形成し、アーク放電によって前記成形体を溶融することにより石英ガラスルツボを形成する石英ガラスルツボの製造方法であって、前記ルツボ成形型の中心軸の周りに複数の電極からなる第１電極グループをリング状に配置すると共に、先端部をルツボ成形型内に挿入し、隣り合う電極同士によりアーク放電を行うステップと、前記第１電極グループから選択された複数の電極からなり、前記ルツボ成形型の中心軸と、前記選択された隣り合う２つの電極とのなす角が、前記ルツボ成形型の中心軸と、前記選択された他の隣り合う２つの電極とのなす角と同一となるように選択された第２電極グループと、前記第１電極グループのうち、前記第２電極グループ以外の複数の電極からなり、前記複数の電極内において前記ルツボ成形型の中心軸と隣り合う２つの電極とのなす角が、前記ルツボ成形型の中心軸と他の隣り合う２つの電極とのなす角と同一となるように選択された第３電極グループとを形成し、前記第２電極グループと第３電極グループの各グループ内において、隣り合う電極同士によりアーク放電を行うステップとを含むことに特徴を有する。

尚、前記ルツボ成形型の中心軸の周りに複数の電極からなる第１電極グループをリング状に配置すると共に、先端部をルツボ成形型内に挿入し、隣り合う電極同士によりアーク放電を行うステップの後、前記第１電極グループを降下させると共に、それらの先端部をより前記ルツボ成形型の中心軸側に配置するステップを実施し、前記第２電極グループと第３電極グループの各グループ内において、隣り合う電極同士によりアーク放電を行うステップを実施することが好ましい。
また、前記第１電極グループは６本の電極からなり、前記第２電極グループは、前記第１電極グループから選択された３本の電極からなり、前記第２電極グループの３本の電極は、前記ルツボ成形型の中心軸と隣り合う２つの電極とのなす角が、前記ルツボ成形型の中心軸と他の隣り合う２つの電極とのなす角と同一となるように選択され、前記第３電極グループは、前記第１電極グループのうち、前記第２電極グループ以外の３本の電極からなり、前記第３電極グループ内において前記ルツボ成形型の中心軸と隣り合う２つの電極とのなす角が、前記ルツボ成形型の中心軸と他の隣り合う２つの電極とのなす角と同一になるように選択されることが好ましい。
また、前記ルツボ成形型の中心軸の周りに複数の電極からなる第１電極グループをリング状に配置すると共に、先端部をルツボ成形型内に挿入し、隣り合う電極同士によりアーク放電を行うステップにおいて、隣り合う前記電極同士における交流電流の位相差の絶対値が１２０°であることが好ましい。
また、前記第２電極グループと第３電極グループの各グループ内において、隣り合う電極同士によりアーク放電を行うステップにおいて、前記第１電極グループとして隣り合う前記電極同士における交流電流の位相差の絶対値が６０°であることが好ましい。

このような方法によれば、ルツボの大きさに拘わらず、カーボン電極間でのアーク放電を、ルツボ成形体の直胴部近傍だけでなく、底部近傍でも発生させることができ、ルツボ全体にわたり高温雰囲気により充分に溶融することができる。
したがって、ルツボ全体の内表面の汚染層をベーバライズさせ、汚染を除去することができる。

本発明によれば、石英ガラスルツボの製造方法において、ルツボの大きさに拘わらず、ルツボ全体を充分に加熱溶融することができ、ルツボ内部に収容し溶融するシリコンへの汚染量を低減することのできる石英ガラスルツボの製造方法、及び石英ガラスルツボを得ることができる。

図１は、本発明に係る石英ガラスルツボの製造方法を実施可能な製造装置の一部構成を示す断面図である。 図２（ａ）、（ｂ）は、図１の製造装置が備える電極の先端部の配置を示す平面図である。 図３は、図１の製造装置において、６本の電極によりアーク放電を行う場合の電極の配置を示す断面図である。 図４は、図１の製造装置において、６本の電極によりアーク放電を行う場合の別の電極の配置を示す断面図である。 図５は、従来の石英ガラスルツボの製造装置を説明するための断面図である。

以下、本発明に係る石英ガラスルツボの製造方法、及び石英ガラスルツボの実施形態について図面に基づき説明する。図１は本発明に係る石英ガラスルツボの製造方法が実施される製造装置の一部構成を示す断面図である。
この石英ガラスルツボの製造装置１（以下、ルツボ製造装置１と呼ぶ）は、炉体１１内において支持軸９に回転可能に設けられたルツボ成形型２と、このルツボ成形型２を、支持軸９を介して軸周りに回転させる回転駆動装置１０とを備える。

さらに、ルツボ成形型２の上方には、昇降可能に設けられた複数（図では６本）の直棒状のカーボン電極３（電極）を備えている。これら６本のカーボン電極３は、下方に向けられた先端部３ａ１，３ｂ１，３ｃ１，３ｄ１，３ｅ１，３ｆ１が、中心軸Ｃに向けて所定角度傾斜した状態（即ち逆錐形状）に配置されている。
また、図２（ａ）に示すように、６本の電極３の先端部３ａ１，３ｂ１，３ｃ１，３ｄ１，３ｅ１，３ｆ１は、中心軸Ｃを中心とする同心円（一点鎖線で示す）上に位置するようリング状に等間隔に配置されている。即ち、先端部３ａ１，３ｂ１，３ｃ１，３ｄ１，３ｅ１，３ｆ１が正六角形の頂点に配置された状態となされ、６本のカーボン電極３からなる第１電極グループＧ１を形成している。
隣り合う電極３同士は、通電された際の交流電流の位相が異なり、位相差の絶対値が１２０°に設定されている。これにより、隣り合う電極３同士でアーク放電が生じるようになされている。

また、前記６本のカーボン電極３は、昇降移動により前記ルツボ成形型２に対し進退可能となされている。即ち、並行に立設された一対の鉛直フレーム４ａ、４ｂの間に水平フレーム４ｃが懸架され、この水平フレーム４ｃに６本のカーボン電極３が保持された状態で鉛直フレーム４ａ、４ｂに沿って上下動するようになされている。
具体的には、前記鉛直フレーム４ａ，４ｂは、装置全体を収容する炉体１１の天井部１１ａから垂下され、前記水平フレーム４ｃは、ワイヤ１２を介して前記鉛直フレーム４ａ，４ｂに沿って昇降移動するようになっている。また、前記ワイヤ１２は、天井部１１ａに設けられたモータ駆動のワイヤ巻き取り装置１３によって巻き取りと繰り出しがなされるように構成されている。

また、前記６本のカーボン電極３は、水平フレーム４ｃに設けられた昇降駆動部５によって、さらに下降可能とされている。即ち、６本のカーボン電極３は、２段階に下降移動することができる。
より具体的に説明すると、６本のカーボン電極３が昇降駆動部５によって下降すると、その傾斜状態を維持したまま、それぞれ電極軸に沿って下方にスライド移動するようになされている。そして、６本のカーボン電極３が最も下降すると、図２（ｂ）に示すように、その先端部３ａ１，３ｂ１，３ｃ１，３ｄ１，３ｅ１，３ｆ１は、図２（ａ）の状態よりも径の小さい同心円上に位置するように等間隔に配置される。即ち、電極先端部３ａ１，３ｂ１，３ｃ１，３ｄ１，３ｅ１，３ｆ１が互いに、より近接した状態となされる。

このように、６本のカーボン電極３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ，３ｅ，３ｆが昇降駆動部５によって最も高い位置にあるときには、電極先端部３ａ１，３ｂ１，３ｃ１，３ｄ１，３ｅ１，３ｆ１は、図３に示す基本位置に配置される（平面視で先端部の配置は図２（ａ）のようになる）。
一方、６本のカーボン電極３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ，３ｅ，３ｆが最も低い位置にあるときには、電極先端部３ａ１，３ｂ１，３ｃ１，３ｄ１，３ｅ１，３ｆ１は、図４に示すように、より低い位置（底部加熱位置と呼ぶ）に配置される。また、このとき、先端部３ａ１，３ｂ１，３ｃ１，３ｄ１，３ｅ１，３ｆ１は、それぞれ中心軸Ｃに近づいて、互いの間隔がより近接した状態となされる（平面視で先端部の配置は図２（ｂ）のようになる）。

また、本実施形態においては、第１電極グループＧ１を形成する６本のカーボン電極３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ，３ｅ，３ｆのうち、１つおきに配置された３つの電極３ａ，３ｂ，３ｃにより第２電極グループＧ２が形成され、その他の３つの電極３ｄ，３ｅ，３ｆにより第３電極グループＧ３が形成される。
より具体的には、図２（ｂ）に示すように第２電極グループＧ２（カーボン電極３ａ，３ｂ，３ｃ）は、該グループ内において前記ルツボ成形型の中心軸Ｃと隣り合う２つの電極とのなす角θ１（第１電極グループＧ１内においては前記ルツボ成形型の中心軸Ｃと一の隣り合う２つの電極とのなす角）が、前記ルツボ成形型の中心軸Ｃと他の隣り合う２つの電極とのなす角θ２、θ３と同一となるように選択される。第３電極グループＧ３（カーボン電極３ｄ，３ｅ，３ｆ）は、第２電極グループＧ２以外の複数の電極であり、該第３グループＧ３内において前記ルツボ成形型の中心軸Ｃと隣り合う２つの電極とのなす角θ４が、前記ルツボ成形型の中心軸Ｃと他の隣り合う２つの電極とのなす角θ５、θ６と同一となるように選択される。

そして、第２電極グループＧ２と第３電極グループＧ３の各グループ内において、隣り合う電極間でアーク放電を起こすために、第１電極グループＧ１として隣り合う電極同士における位相差の絶対値は、好ましくは６０°となされる。これにより図２（ｂ）に矢印で示すように第２電極グループＧ２を構成するカーボン電極３ａ，３ｂ，３ｃの先端部３ａ１、３ｂ１、３ｃ１間においてアーク放電がなされ、第３電極グループＧ３を構成するカーボン電極３ｄ，３ｅ，３ｆの先端部３ｄ１、３ｅ１、３ｆ１間においてアーク放電がなされる（即ちクロス状態でアーク放電がなされる）。

また、ルツボ成形型２は、保持体７と、この保持体７に内装されたカーボン型８とを有し、前記保持体７に設けられた回転軸９を介して回転駆動装置１０に支持されている。
前記ルツボ成形型２のカーボン型８内には石英原料粉が供給され、回転駆動装置１０がルツボ成形型２を回転させることにより石英原料粉がカーボン型８の内周面に固められ、ルツボ成形体Ｐに成形されるようになっている。

続いて、このように構成された石英ガラスルツボの製造装置１において、石英ガラスルツボを製造する工程について説明する。
先ず、図示しない原料粉供給装置から石英原料粉をルツボ成形型２に供給し、回転駆動装置１０によりルツボ成形型２を回転させながら成形治具（図示せず）により石英原料粉をルツボ形状の成形体Ｐに成形する。

次いで、ルツボ成形型２を６本のカーボン電極３の直下に配置する。また、６本のカーボン電極３は、隣り合う電極同士における位相差の絶対値が１２０°となるよう通電されることにより隣り合うカーボン電極３の間でアーク放電が開始される。
アーク放電開始から所定時間経過し、アークが安定すると、ワイヤ巻き取り装置１３を作動させて水平フレーム４ｃを降下させ、アークが安定状態にある６本のカーボン電極３の先端部をルツボ成形型２内に挿入する。
ここで、第１の段階においては、第１の電極グループＧ１を構成する６本のカーボン電極３は、基本位置（即ち図２（ａ）、図３の状態）とされて、図２（ａ）に示すように先端部３ａ１，３ｂ１，３ｃ１，３ｄ１，３ｅ１，３ｆ１が正六角形の頂点に配置される。６本のカーボン電極３においては、引き続き隣り合う電極間でアーク放電がなされ、成形体Ｐの胴部Ｐ１が高温雰囲気により溶融され、透明層を形成する。

前記第１の段階の状態で所定時間が経過すると、６本のカーボン電極３が昇降駆動部５によって更に下降され、第２の段階に移行される。
即ち、図４に示すように６本のカーボン電極３の先端部３ａ１，３ｂ１，３ｃ１，３ｄ１，３ｅ１，３ｆ１が、より下方の底部加熱位置に配置され、図２（ｂ）に示すように、より近接した状態で中心軸Ｃの近傍に配置される。
そして、第１電極グループＧ１（６本のカーボン電極３）として隣り合う電極同士における位相差の絶対値が６０°となるよう通電され、それにより、第２電極グループＧ２（カーボン電極３ａ，３ｂ，３ｃ）と第３電極グループＧ３（カーボン電極３ｄ，３ｅ，３ｆ）の各グループ内において、隣り合う電極間でアーク放電がなされる。

このように第２電極グループＧ２と第３電極グループＧ３の各グループ内において、隣り合う電極間でアーク放電することにより、同心円上に配置された６本のカーボン電極３の内側領域でアーク放電がなされることとなる。これにより、成形体Ｐの底部領域Ｐ２が高温雰囲気により溶融され、不透明層が形成される。
このようにして、ルツボ成形体Ｐの胴部Ｐ１及び底部領域Ｐ２が溶融されると、ルツボ全体の表面の汚染層がベーバライズされ、汚染が除去された状態の石英ガラスルツボが製造される。

以上のように本発明に係る実施の形態によれば、カーボン電極間でのアーク放電を、ルツボ成形体Ｐの胴部Ｐ１近傍だけでなく、底部領域Ｐ２近傍でも発生させることができ、ルツボ全体にわたり充分に加熱溶融することができる。したがって、ルツボ全体の表面の汚染層をベーバライズさせ、汚染を除去することができる。

尚、前記実施の形態においては、６本のカーボン電極３を昇降駆動部５によって下降させ、その先端部３ａ１，３ｂ１，３ｃ１，３ｄ１，３ｅ１，３ｆ１を底部加熱位置に配置するよう構成したが、本発明にあっては、その構成に限定されるものではない。
例えば、アーク放電により成形体Ｐの胴部Ｐ１に透明層を形成後、６本のカーボン電極３の配置を図２（ａ）、図３に示す基本位置としたまま、第２電極グループＧ２と第３電極グループＧ３の各グループ内において、隣り合う電極間でアーク放電させてもよい。

また、前記実施の形態においては、６本の電極を用いるものとしたが、電極の数は限定されるものではなく、例えば、８本の電極が同心円上に位置するように等間隔に配置してもよい。

本発明に係る石英ガラスルツボの製造方法、及び石英ガラスルツボについて、実施例に基づきさらに説明する。本実施例では、前記実施の形態に示した石英ガラスルツボ製造装置を用いて石英ガラスルツボの製造を行い、得られた石英ガラスルツボに基づき検証した。

［実施例１］
実施例１では、図１に示した石英ガラスルツボの製造装置を用い、第２電極グループＧ２（カーボン電極３ａ，３ｂ，３ｃ）と第３電極グループＧ３（カーボン電極３ｄ，３ｅ，３ｆ）の各グループ内において、隣り合う電極間でアーク放電することによりルツボ底部を加熱溶融し、得られた石英ガラスルツボの底部中心における不純物濃度（ｗｔ・ｐｐｂ）を測定した。
製造した石英ガラスルツボの直径は３６インチ、測定したルツボ底部の領域は底部中心を含む直径１８０ｍｍの領域とした。

［比較例１］
比較例１では、６本のカーボン電極の先端部が図２（ａ）のように正六角形の頂点に位置するように配置し、その状態で隣り合う電極間でアーク放電してルツボ底部を加熱溶融し、得られた石英ガラスルツボの底部中心における不純物濃度（ｗｔ・ｐｐｂ）を測定した。
製造した石英ガラスルツボの直径は３６インチ、測定したルツボ底部の領域は底部中心を含む直径１８０ｍｍの領域とした。
実施例１、及び比較例１の結果を表１に示す。

実施例１の結果、不純物のベーパライズがなされることを確認できた。
以上の実施例の結果より、本発明によれば、３６インチのような大型の石英ガラスルツボであっても、ルツボ全体を充分に加熱することができ、特にルツボ底部の汚染量を低減できることを確認した。

１ 石英ガラスルツボの製造装置
２ ルツボ成形型
３ カーボン電極（電極）
４ａ 鉛直フレーム
４ｂ 鉛直フレーム
４ｃ 水平フレーム
５ 昇降駆動部
７ 保持体
８ カーボン型
９ 回転軸
１０ 回転駆動装置
１１ 炉体
１２ ワイヤ
１３ ワイヤ巻き取り装置
Ｃ 中心軸
Ｇ１ 第１電極グループ
Ｇ２ 第２電極グループ
Ｇ３ 第３電極グループ
Ｐ 成形体
θ１〜θ６ ルツボ成形型の中心軸と隣り合う２つの電極とのなす角

Claims (6)

1. ルツボ成形型に石英粉を供給し、前記ルツボ成形型を軸周りに回転させて成形体を形成し、アーク放電によって前記成形体を溶融することにより石英ガラスルツボを形成する石英ガラスルツボの製造方法であって、
   前記ルツボ成形型の中心軸の周りに複数の電極からなる第１電極グループをリング状に配置すると共に、先端部をルツボ成形型内に挿入し、隣り合う電極同士によりアーク放電を行うステップと、
   前記第１電極グループから選択された複数の電極からなり、前記ルツボ成形型の中心軸と、前記選択された隣り合う２つの電極とのなす角が、前記ルツボ成形型の中心軸と、前記選択された他の隣り合う２つの電極とのなす角と同一となるように選択された第２電極グループと、
   前記第１電極グループのうち、前記第２電極グループ以外の複数の電極からなり、前記複数の電極内において前記ルツボ成形型の中心軸と隣り合う２つの電極とのなす角が、前記ルツボ成形型の中心軸と他の隣り合う２つの電極とのなす角と同一となるように選択された第３電極グループとを形成し、
   前記第２電極グループと第３電極グループの各グループ内において、隣り合う電極同士によりアーク放電を行うステップとを含むことを特徴とする石英ガラスルツボの製造方法。
2. 前記ルツボ成形型の中心軸の周りに複数の電極からなる第１電極グループをリング状に配置すると共に、先端部をルツボ成形型内に挿入し、隣り合う電極同士によりアーク放電を行うステップの後、
   前記第１電極グループを降下させると共に、それらの先端部をより前記ルツボ成形型の中心軸側に配置するステップを実施し、
   前記第２電極グループと第３電極グループの各グループ内において、隣り合う電極同士によりアーク放電を行うステップを実施することを特徴とする請求項１に記載された石英ガラスルツボの製造方法。
3. 前記第１電極グループは６本の電極からなり、
   前記第２電極グループは、前記第１電極グループから選択された３本の電極からなり、
   前記第２電極グループの３本の電極は、前記ルツボ成形型の中心軸と隣り合う２つの電極とのなす角が、前記ルツボ成形型の中心軸と他の隣り合う２つの電極とのなす角と同一となるように選択され、
   前記第３電極グループは、前記第１電極グループのうち、前記第２電極グループ以外の３本の電極からなり、
   前記第３電極グループ内において前記ルツボ成形型の中心軸と隣り合う２つの電極とのなす角が、前記ルツボ成形型の中心軸と他の隣り合う２つの電極とのなす角と同一になるように選択されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載された石英ガラスルツボの製造方法。
4. 前記ルツボ成形型の中心軸の周りに複数の電極からなる第１電極グループをリング状に配置すると共に、先端部をルツボ成形型内に挿入し、隣り合う電極同士によりアーク放電を行うステップにおいて、
   隣り合う前記電極同士における交流電流の位相差の絶対値が１２０°であることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに形成された石英ガラスルツボの製造方法。
5. 前記第２電極グループと第３電極グループの各グループ内において、隣り合う電極同士によりアーク放電を行うステップにおいて、
   前記第１電極グループとして隣り合う前記電極同士における交流電流の位相差の絶対値が６０°であることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに形成された石英ガラスルツボの製造方法。
6. 前記請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の石英ガラスルツボの製造法により製造されたことを特徴とする石英ガラスルツボ。

Images