JP2015174165A - 研磨装置及び研磨方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】研磨装置は、研磨テープ38を保持して基板Wの周縁部に対して研磨テープ38を上から押し当てる押圧部材を有する研磨ヘッド50と、研磨ヘッド50に研磨テープ38を供給し、研磨ヘッド50から研磨テープ38を回収するテープ供給回収機構70と、研磨ヘッド50を基板Wの半径方向に移動させる第1の移動機構と、テープ供給回収機構70を基板Wの半径方向に移動させる第2の移動機構とを備える研磨ユニット25と、位置決めユニット90とを有する。位置決めユニット90は、当接面を有する位置決めブロックを備え、第2の移動機構によってテープ供給回収機構70を移動して研磨テープ38の基板Wの側の縁部を当接面に当接させることで、研磨テープ38の位置決めを行う。
【選択図】図3
Description
4 保持ステージ
9 真空ライン
11 動作制御部
15 エアシリンダ
25 研磨ユニット
27 設置台
30 研磨ユニット移動機構
38 研磨テープ
40A、40B 直動ガイド
50 研磨ヘッド
51 押圧部材
52 押圧部材ホルダー
53 エアシリンダ
54 直動ガイド
56 エアシリンダ
58 直動ガイド
60 真空ライン
63 位置センサ
64 ドグ
70 研磨テープ供給回収機構
71 供給リール
72 回収リール
73、74 テンションモータ
76 テープ送り機構
82、83 支持アーム
84A、84B、84C、84D、84E ガイドローラ
91 位置センサ
100 テープエッジ検出センサ
110 ベベル研磨ユニット
180 サポートステージ
181 サポートステージ台
185 テープストッパー
186 テープカバー
190 プランジャ
191 サイドストッパー
W 基板
Claims (12)
- 基板のエッジ部を研磨する少なくとも1つの研磨ユニットと、
位置決めユニットとを備え、
前記研磨ユニットは、
研磨テープを保持して前記基板の周縁部に対して前記研磨テープを上から押し当てる押圧部材を有する研磨ヘッドと、
前記研磨ヘッドに前記研磨テープを供給し、前記研磨ヘッドから前記研磨テープを回収するテープ供給回収機構と、
前記研磨ヘッドを前記基板の半径方向に移動させる第1の移動機構と、
前記テープ供給回収機構を前記基板の半径方向に移動させる第2の移動機構とを備え、
前記位置決めユニットは、
当接面を有する位置決めブロックを備え、
前記第2の移動機構によって前記テープ供給回収機構を移動して前記研磨テープの前記基板の側の縁部を前記当接面に当接させることで、前記研磨テープの位置決めを行うことを特徴とする研磨装置。 - 前記押圧部材は、前記当接面に当接した状態の前記研磨テープを吸着することを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。
- 前記第1の移動機構によって前記研磨ヘッドを移動して前記押圧部材の前記基板の側の縁部を前記当接面に当接させることで、前記押圧部材の前記基板の側の縁部と前記研磨テープの前記基板の側の縁部とを揃えることを特徴とする請求項1又は2に記載の研磨装置。
- 前記位置決めユニットは、さらに、先端が前記位置合わせブロックの当接面から突出するとともに、前記先端の押し込み量を検出可能な位置センサを備え、
前記第1の移動機構によって前記研磨ヘッドを移動して前記押圧部材の前記基板の側の縁部で前記位置センサの前記先端を押し込んで、検出した前記押し込み量に基づいて前記押圧部材の位置決めをすることを特徴とする請求項1又は2に記載の研磨装置。 - 前記位置決めユニットは、さらに位置決めブロックを前記基板の半径方向に移動させる第3の移動機構を備え、
前記第3の移動機構によって、前記当接面が前記基板の前記エッジ部の内側の縁部に一致するように、前記位置決めブロックを移動させることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一項に記載の研磨装置。 - 前記研磨ユニットを前記基板の接線方向に移動させる研磨ユニット移動機構をさらに備えたことを特徴とする請求項5に記載の研磨装置。
- 基板を回転させ、
研磨テープの前記基板の側の縁部を当接面に当接させることで、前記研磨テープを位置決めし、
位置決めされた前記研磨テープを押圧部材に保持させ、
前記押圧部材により前記研磨テープを前記基板の周縁部に対して上から押し当てて前記基板の周縁部を研磨することを特徴とする研磨方法。 - 前記押圧部材は、前記当接面に当接した状態の前記研磨テープを吸着することを特徴とする請求項7に記載の研磨方法。
- 前記押圧部材は、前記研磨テープを吸着した後に、前記研磨テープを吸着した状態で研磨位置に移動して、前記研磨位置にて前記基板の周縁部を研磨することを特徴とする請求項8に記載の研磨方法。
- 前記押圧部材の前記基板の側の縁部を前記当接面に当接させることで、前記押圧部材を位置決めし、
前記押圧部材は、前記当接面に当接した状態で前記研磨テープを吸着することを特徴とする請求項8又は9に記載の研磨方法。 - 前記押圧部材の位置を位置センサで検出して、前記位置センサの検出値に基づいて前記押圧部材を位置決めし、
前記押圧部材は、前記位置決めされた位置で前記研磨テープを吸着することを特徴とする請求項8又は9に記載の研磨方法。 - 前記押圧部材は、前記研磨テープの前記基板の側の縁部が前記押圧部材の前記基板の側の縁部よりも前記基板の側にずれた位置関係で、前記研磨テープを吸着することを特徴とする請求項11に記載の研磨方法。
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