JP2015165164A - ダイヤフラムバルブ - Google Patents
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この種のダイヤフラムバルブとして、例えば、図7に示すダイヤフラム弁1が知られている。このダイヤフラム弁1では、弁座シート2がボデー部3側にカシメにより装着され、弁座シート2と上下動可能に設けられた押圧体4との間に装着されたダイヤフラム体5を、押圧体4によって弁座シート2に押圧してシールする構成になっている。ボデー部3側には弁座シート2を収容するための凹状取付部6が設けられ、この凹状取付部6は、図において、ボデー部3に設けられた流入流路7と流出流路8とが垂直方向に屈曲していることでその厚みが確保されている。
このダイヤフラム弁11と同様の構造として、例えば、特許文献1のダイヤフラム型バルブが知られている。このバルブは、ホルダに金属ダイヤフラムが溶接によって固着され、シートがホルダに吊り下げられた状態で装着されている。
更に、ダイヤフラム体13を交換する際には、専用の治具を用いてホルダ14やステム19等の昇降動部品とダイヤフラム体13とを調芯する必要があるため、ダイヤフラム体13の交換作業が困難になる。
ダイヤフラム31は、これを接合するための接合部位であるダイヤフラムピース32、並びにシートホルダ33とは異種金属からなり、例えば、Co−Ni合金材などの弾性変形可能な金属材料により円板状に成形され、中央部にはシートホルダ33の後述するおねじ部35が挿通する取付け用の内径孔51が形成されている。図3に示すように、ダイヤフラム31は、接ガス用ダイヤフラム31aと、バックアップ用ダイヤフラム31bとの二層構造になっており、これらが一体に貼着されて一体化されている。
本発明のダイヤフラムバルブは、弁箱20内に設けた弁室25b内の弁座面25の弁口25a直下に極小の容積Vを有する連通部29を介してメイン流路23を配設し、この弁箱20内にシートホルダ33でシート26を保持したダイヤフラム構造体21を装着しているので、連通部29のデッドスペースを小さくして流路切り替え時の残留流体を最少に抑えることで、弁開閉時の切り替え時間を短くできる。このため、例えば、化合物MO−CVD装置で使用した場合に、複数の性質の異なるガスを使用したときでも、このガスを迅速に排出して流路の切り替え時間を極小にできスムーズに切り替えできる。
この実施形態では、エアーピストン62の上部に設けられたシリンダ部材80にめねじ81が設けられ、このめねじ81におねじ82を介して調整部材83が螺着されている。調整部材83の上面側には、エアー供給用のエアー給気口84、有底穴85、ねじ穴86が設けられ、このねじ穴86には固定ねじ87が螺着されている。調整部材83の下部側には、エアーピストン62の縮径筒部88を摺動可能に嵌入するためのガイド穴89と、エアーピストン62の拡径筒部90の先端側に当接可能な当接部91が形成されている。
この実施形態においては弁箱をブロック体94とし、このブロック体94にメイン流路23と、複数の連通流路24とを設け、複数のダイヤフラム構造体21を装着して多連バルブ95としたものである。この多連バルブ95では、メイン流路23を流れる流体に対し、ダイヤフラム構造体21をそれぞれ開閉制御して連通流路24から適宜流体を所定量供給することで、混合流体を設けることが可能になる。
21 ダイヤフラム構造体
22 アクチュエータ本体
22a 下端部
23 メイン流路
25 弁座面
25a 弁口
25b 弁室
26 シート
29 連通部
31 ダイヤフラム
32 ダイヤフラムピース
32a 軸部
32b 軸部上端
33 シートホルダ
34 ボンネット
34a 上面
35 おねじ部
37 めねじ部
40 ストッパ
41 スプリング
42 突設部
45 つぶれシール部
47 案内孔
51 内径孔
52 内径孔外周縁
53 外周縁
62 エアーピストン
63 ばね
69 ピストンロッド
69a 下端
83 調整部材
94 ブロック体
95 多連バルブ
V 容積
Claims (2)
- 弁箱内に設けた弁室内に下部にシートを保持したシートホルダを上下動可能に設け、前記シートホルダをダイヤフラムピースに螺着結合し、前記シートの下部面に極小の突起長さを有する環状突部を設け、ダイヤフラムの外周縁を弁箱内に挟着保持し、このダイヤフラムの内径孔の外周縁を前記ダイヤフラムピースと前記シートホルダで挟着してシートホルダとシートを弁室内に配設することによりダイヤフラム吊り下げタイプとし、前記弁室内のフラットな弁座面に前記環状突部の接離で弁開閉させると共に、前記弁座面の弁口の直下で、かつ前記弁口方向と交差する方向にメイン流路を配設することにより、前記環状突部から前記メイン流路までを連通させる連通部の容積を極小容積に構成したことを特徴とするダイヤフラムバルブ。
- ブロック体の複数の弁室内を前記メイン流路で連通し、前記弁室内のそれぞれにダイヤフラム吊り下げタイプのダイヤフラムバルブを設けて多連バルブとした請求項1に記載のダイヤフラムバルブ。
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---|---|---|---|---|
JP2018141494A (ja) * | 2017-02-27 | 2018-09-13 | 株式会社キッツエスシーティー | ダイヤフラムバルブの取付構造とダイヤフラムバルブの着脱方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH11182708A (ja) * | 1997-11-24 | 1999-07-06 | Fujikin Inc | 金属ダイヤフラム型バルブ |
JP2009138817A (ja) * | 2007-12-04 | 2009-06-25 | Hamlet Motoyama Japan:Kk | 弁構造 |
JP2011220422A (ja) * | 2010-04-08 | 2011-11-04 | Koganei Corp | 開閉弁 |
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