JP2007200133A - 流体制御機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ダイヤフラム25の上下側を2つの環状部材21、23で挟み、ダイヤフラム25と環状部材21、23を外径側からシール溶接したダイヤフラムユニット20を構成し、このユニット20のボデー接続側にネジ部22を設け、このネジ部13とボデー12に形成したネジ部13とを内側に装着したガスケット27を介してユニット20とボデー12を螺着して、ダイヤフラムユニット20とボデー12をシール一体化した流体制御機器である。
【選択図】 図1
Description
このため、減圧弁の大きさ(外径)を大きくすることなくダイヤフラムだけを大きく形成し、同種のダイヤフラムバルブと同程度の大きさでありながら圧力制御の精度や寿命を向上した減圧弁の開発が待ち望まれていた。
更に、請求項4に係る発明によると、高シール性のガスケットを容易に形成することができる流体制御機器である。
図1ないし図4において、レギュレータ10は、内部に流体の流れる流体流路(ボデー流路)11を有し、この流体流路11を半導体製造装置1の流路ブロック3に接続してガス供給ライン2を構成できるようにしたボデー12、流体圧力によって変位可能なダイヤフラム25を内部に備えたダイヤフラムユニット20、及び、作動軸46の上下動によってダイヤフラム25を変位させて流体圧力を調節する蓋体40を備えており、これらを一体に組み立てて構成されている。
さらにボデー12の内側には凹部14を形成し、この凹部14に圧力制御部30を構成している。さらに、凹部14の下方側には、この凹部14に続けて内径をより縮径した縮径凹部16を設け、この縮径凹部16内をニードル弁体33が図において上下に移動できるようにしている。
ダイヤフラムユニット20の環状部材23においては、蓋体40との接続側に接続ネジ部24を設け、この接続ネジ部24は、ボデー12接続側のネジ部13と同様にめねじ部によって形成している。
シートホルダー32は、上部側にニードル弁体33の軸部33aを軸受けする軸受穴32aを有している。また、孔部32b、32cをそれぞれ形成しており、入口流路17から縮径凹部16に流れ込んだ流体を、孔部32bを介して凹部14に案内し、この凹部14から孔部32cを介して出口流路18に流すことができるようにしている。
ニードル弁体33は軸部33aと弁部33bからなっており、スプリング34によって弁座面31b方向に弾発付勢されている。圧力制御部30全体が組み付けられた後には、ニードル弁体33を弁座31bにシールさせて流路を閉状態にすることが可能になっている。
これにより、ダイヤフラム25とシートホルダー32の間に、ダイヤフラム25の受圧面積が流体に作用するようなダイヤフラム室28が構成される。
作動軸46の他端側には操作ハンドル48が螺合され、この操作ハンドル48の上から雄ネジ46aに対してナット体49を螺着することで操作ハンドル48を作動軸46に固定している。
図4において、集積化ガス制御装置1は、窒素ガス、水素ガス、モノシラン、シジラン、水素希釈ホスフィン、N2O、三弗化クロライド等のプロセスガスなどの流体の圧力制御、流量制御、混合、パージガス等の供給時の制御などの供給制御を行う前記のガス制御ライン2を構成し、このガス制御ライン2は、例えば、図示しない基盤状の部材に複数列に並設することで集積弁装置が構成される(本実施形態では集積弁装置の1列のみを示している)。
レギュレータ10をこの流路ブロック3に搭載する際には、隣接する流路ブロック3に載置し、ボルト孔から締結ボルト8によって固着することでレギュレータ10の入口17a、出口18aと流路ブロック3の出口孔3b、入口孔3aを接続してガス制御ライン2が構成される。
環状ガスケット6は、中央部に連通穴6aを形成しており、この連通穴6aにより一次側と二次側を連通可能に設けている。環状ガスケット6は、ステンレス鋼等からなり、ボデー12と流路ブロック3との間に挟着されて押し潰されてメタルタッチによってシールしてガス漏れを防ぐ構造となっている。
ベース体5は、流体と接触することがないため、例えば、アルミニウム等の軽量な材料によって形成することができ、これにより、集積ガス制御装置1の軽量化を図ることができ、延いては、集積弁全体の軽量化を図ることもできる。
図3において、レギュレータ10の1次側である入口17aから流体が入ると、この流体は、入口流路17を通って縮径凹部16内に到達し、この流体の圧力がニードル弁体33に加わる。
一方、ダイヤフラム室28には、出口流路18からの圧力が加わっており、このダイヤフラム室28に加わる圧力と、コイルスプリング44の弾発付勢による押圧部材42からダイヤフラム25に加えている圧力が釣り合っているため、ダイヤフラム25は変形することなく、ニードル弁体33はスプリング34の弾発力によって弁座31bにシールして入口流路17から出口流路18に流体が流れるのを防いでいる。
これにより、流体が入口流路17から連通流路、孔部32b、ダイヤフラム室28、孔部32cを順に介して出口流路18側に流れる。
よって、入口流路17と出口流路18が連通したときに、ガス供給ライン2を流れる流体を高精度で圧力制御することができる。
ダイヤフラム25の径を最大に利用できることによって、同等の大きさであれば従来の減圧弁に比べて圧力制御の精度と耐久性を向上することができ、また、同じダイヤフラム25の径であれば、従来の減圧弁に比べてコンパクトに形成できる。
このレギュレータ50においては、ダイヤフラム室51側にばね52を装着し、このばね52によってダイヤフラム25を初期の状態において上方に付勢させるようにしたものである。これにより、流体圧力が負圧の場合でもダイヤフラム25を上方に付勢させておくことができ、この負圧に対応させてニードル弁体53を移動させて流路を開閉できるようにしている。
この流量制御機器においては、流量制御機器としてダイヤフラムバルブ60を構成したものである。
このダイヤフラムバルブ60のボデー61は、内側に入口流路62と出口流路63を形成して、上述した実施形態における凹部と縮径凹部を省略しただけのものであり、他の構造は前述したボデー12と同じものである。また、ダイヤフラムユニット20も同様であり、前述のダイヤフラムユニット20と同じ形状である。このように、レギュレータ10のボデーとダイヤフラムユニットを流用してダイヤフラムバルブを設けることができ、ボデーへの加工を省略するだけでレギュレータ10とは全く用途の異なる流量制御機器であるダイヤフラムバルブ60を設けることができる。
この実施形態において、ダイヤフラムユニット20の他端側に実施形態と同様に蓋体等を接続し(図示せず)、操作ハンドルを操作することによって押圧部材を作動させ、この押圧部材の進退によってダイヤフラムを直接動作して弁座面に接離でき、いわゆる、ダイレクトシール構造のダイヤフラム弁を設けることができる。
12 ボデー
13 おねじ(ネジ部)
20 ダイヤフラムユニット
21、23 環状部材
22 めねじ(ネジ部)
25 ダイヤフラム
27 ガスケット
Claims (4)
- ダイヤフラムの上下側を2つの環状部材で挟み、前記ダイヤフラムと環状部材を外径側からシール溶接したダイヤフラムユニットを構成し、このユニットのボデー接続側にネジ部を設け、このネジ部とボデーに形成したネジ部とを内側に装着したガスケットを介してユニットとボデーを螺着して、前記ダイヤフラムユニットとボデーをシール一体化したことを特徴とする流体制御機器。
- ダイヤフラムユニットとボデーに形成したネジ部の位置を前記ダイヤフラムユニットの外径より小径に形成し、前記ダイヤフラムユニットとボデーを一体化するときに、前記ネジ部の1箇所の螺着により前記ガスケットでシールしつつ分解可能に装着して、弁座シートを同時に締め付けることによりボデー流路の入口と出口を内部シールするように構成した請求項1記載の流体制御機器。
- 前記ガスケットをステンレス等の薄板材料からなる芯材に樹脂コーティングを施して構成した請求項1又は2に記載の流体制御機器。
- 前記ガスケットを薄板のPCTFE材で形成した請求項1又は2に記載の流体制御機器。
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