JP2015158661A5 - - Google Patents
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これを達成するための電源39から出力される波形の形態について説明する。
交流成分としては、戻し方向側の電圧の立ち上がり及び立下りの傾きを、転写方向側の電圧の立ち上がり及び立下りの傾きよりも小さくするのが望ましい。すなわち、交互に切り替わる電圧波形の1周期の中に占める、中心電圧値Voffよりも転写方向寄りの値の電圧の出力時間となる転写方向側の時間をB、中心電圧値Voffよりも転写方向とは逆極性寄りの値の電圧の出力時間となる戻し時間をAとしたとき、中心電圧値Voffよりも転写方向の電圧と逆極性側の電圧が出力される時間の割合A/(A+B)をDuty(戻し時間[%])と呼ぶことにする。また、使用する電源39からの電圧の最大値を戻しピーク値Vr、最小値を転写方向ピーク値Vtとしたとき、転写に用いる電圧の最大値Vrと最小値Vtの差をピークツウピーク電圧値Vppとする。
本実施形態では、転写方向側の時間B、戻し時間Aの時間のA/(A+B)をDutyとするが、時間ではなく、例えば面積で示すこともできる。中心電圧値Voffと電圧の時間平均値Vaveとの関係を示す値として、交流波形全体に占める中心電圧値Voffよりも戻し方向側の面積の割合をDutyとすることもできる。すなわち、交互に切り替わる電圧波形の1周期の中に占める、中心電圧値Voffよりも戻し方向側の面積をA1、中心電圧値Voffよりも転写方向側の面積をB1としたとき、A1/(A1+B1)をDutyと示すこともできる。
交流成分としては、戻し方向側の電圧の立ち上がり及び立下りの傾きを、転写方向側の電圧の立ち上がり及び立下りの傾きよりも小さくするのが望ましい。すなわち、交互に切り替わる電圧波形の1周期の中に占める、中心電圧値Voffよりも転写方向寄りの値の電圧の出力時間となる転写方向側の時間をB、中心電圧値Voffよりも転写方向とは逆極性寄りの値の電圧の出力時間となる戻し時間をAとしたとき、中心電圧値Voffよりも転写方向の電圧と逆極性側の電圧が出力される時間の割合A/(A+B)をDuty(戻し時間[%])と呼ぶことにする。また、使用する電源39からの電圧の最大値を戻しピーク値Vr、最小値を転写方向ピーク値Vtとしたとき、転写に用いる電圧の最大値Vrと最小値Vtの差をピークツウピーク電圧値Vppとする。
本実施形態では、転写方向側の時間B、戻し時間Aの時間のA/(A+B)をDutyとするが、時間ではなく、例えば面積で示すこともできる。中心電圧値Voffと電圧の時間平均値Vaveとの関係を示す値として、交流波形全体に占める中心電圧値Voffよりも戻し方向側の面積の割合をDutyとすることもできる。すなわち、交互に切り替わる電圧波形の1周期の中に占める、中心電圧値Voffよりも戻し方向側の面積をA1、中心電圧値Voffよりも転写方向側の面積をB1としたとき、A1/(A1+B1)をDutyと示すこともできる。
本実施形態で2次転写バイアスに用いる電源39から出力される交流成分の出力波形としては、図17から図26に示す波形パターンを用いることができる。
図17は、電源39からの出力波形が、戻し方向側の電圧の立ち上がり及び立下りの傾きを、転写方向側の電圧の立ち上がり及び立下りの傾きよりも小さくする台形状の波形の形態を示す。図17に示す出力波形の場合、戻し時間Aを転写方向側の時間Bよりも短く(B>A)なるように設定した。Duty(戻し時間[%])は40%とした。
図18は、戻し方向側の時間Aを、転写方向側の時間Bよりも短くした矩形状の波形の形態を示す。図18に示す出力波形の場合、戻し時間Aを転写方向側の時間Bよりも短く(B>A)なるように設定した。Duty(戻し時間[%])は40%とした。
図19は、戻し方向側の電圧の立ち上がり及び立下りの傾きを、転写方向側の電圧の立ち上がり及び立下りの傾きよりも小さくする台形状の波形の形態を示す。図19に示す出力波形の場合、戻し時間Aを転写方向側の時間Bよりも短くした(B>A)となるように設定した。Duty(戻し時間[%])は45%とした。
図20は、戻し方向側の電圧の立ち上がり及び立下りの傾きを、転写方向側の電圧の立ち上がり及び立下りの傾きよりも小さくする台形状の波形の形態を示す。図20に示す出力波形の場合、戻し時間Aを転写方向側の時間Bよりも短く(B>A)なるように設定した。Duty(戻し時間[%])は40%とした。
図21は、戻し方向側の電圧の立ち上がり及び立下りの傾きを、転写方向側の電圧の立ち上がり及び立下りの傾きよりも小さくする三角形状と台形状を組み合わせた波形の形態を示す。図21に示す出力波形の場合、戻し時間Aを転写方向側の時間Bよりも短く(B>A)となるように設定した。Duty(戻し時間[%])は32%とした。
図22は、戻し方向側の電圧の立ち上がり及び立下りの傾きを、転写方向側の電圧の立ち上がり及び立下りの傾きよりも小さくする三角形状と台形状を組み合わせた波形の形態を示す。図22に示す出力波形の場合、戻し時間Aを転写方向側の時間Bよりも短くした(B>A)なるように設定した。Duty(戻し時間[%])は16%とした。
図23は、戻し方向側の電圧の立ち上がり及び立下りの傾きを、転写方向側の電圧の立ち上がり及び立下りの傾きよりも小さくする三角形状と台形状を組み合わせた波形の形態を示す。図22に示す出力波形の場合、戻し時間Aを転写方向側の時間Bよりも短く(B>A)なるように設定した。Duty(戻し時間[%])は8%とした。
図24は、戻し方向側の電圧の立ち上がり及び立下りの傾きを、転写方向側の電圧の立ち上がり及び立下りの傾きよりも小さくして波形を丸くした波形の形態を示す。図24に示す出力波形の場合、戻し時間Aを転写方向側の時間Bよりも短くした(B>A)となるように設定した。Duty(戻し時間[%])は16%とした。
図25は、2次転写ニップNの静電容量を170pF(ピコファラド)、抵抗を17MΩと想定したときの波形の形態を示す。図25に示す出力波形の場合、戻し時間Aを転写方向側の時間Bよりも短くした(B>A)となるように設定した。戻し時間Aを転写方向側の時間Bよりも短くした(B>A)となるように設定した。Duty(戻し時間[%])は12%とした。
図26は、2次転写ニップNの静電容量を120pF(ピコファラド)、抵抗を15MΩと想定したときの波形の形態を示す。図26に示す出力波形の場合、戻し時間Aを転写方向側の時間Bよりも短く(B>A)なるように設定した。Duty(戻し時間[%])は12%とした。
図17は、電源39からの出力波形が、戻し方向側の電圧の立ち上がり及び立下りの傾きを、転写方向側の電圧の立ち上がり及び立下りの傾きよりも小さくする台形状の波形の形態を示す。図17に示す出力波形の場合、戻し時間Aを転写方向側の時間Bよりも短く(B>A)なるように設定した。Duty(戻し時間[%])は40%とした。
図18は、戻し方向側の時間Aを、転写方向側の時間Bよりも短くした矩形状の波形の形態を示す。図18に示す出力波形の場合、戻し時間Aを転写方向側の時間Bよりも短く(B>A)なるように設定した。Duty(戻し時間[%])は40%とした。
図19は、戻し方向側の電圧の立ち上がり及び立下りの傾きを、転写方向側の電圧の立ち上がり及び立下りの傾きよりも小さくする台形状の波形の形態を示す。図19に示す出力波形の場合、戻し時間Aを転写方向側の時間Bよりも短くした(B>A)となるように設定した。Duty(戻し時間[%])は45%とした。
図20は、戻し方向側の電圧の立ち上がり及び立下りの傾きを、転写方向側の電圧の立ち上がり及び立下りの傾きよりも小さくする台形状の波形の形態を示す。図20に示す出力波形の場合、戻し時間Aを転写方向側の時間Bよりも短く(B>A)なるように設定した。Duty(戻し時間[%])は40%とした。
図21は、戻し方向側の電圧の立ち上がり及び立下りの傾きを、転写方向側の電圧の立ち上がり及び立下りの傾きよりも小さくする三角形状と台形状を組み合わせた波形の形態を示す。図21に示す出力波形の場合、戻し時間Aを転写方向側の時間Bよりも短く(B>A)となるように設定した。Duty(戻し時間[%])は32%とした。
図22は、戻し方向側の電圧の立ち上がり及び立下りの傾きを、転写方向側の電圧の立ち上がり及び立下りの傾きよりも小さくする三角形状と台形状を組み合わせた波形の形態を示す。図22に示す出力波形の場合、戻し時間Aを転写方向側の時間Bよりも短くした(B>A)なるように設定した。Duty(戻し時間[%])は16%とした。
図23は、戻し方向側の電圧の立ち上がり及び立下りの傾きを、転写方向側の電圧の立ち上がり及び立下りの傾きよりも小さくする三角形状と台形状を組み合わせた波形の形態を示す。図22に示す出力波形の場合、戻し時間Aを転写方向側の時間Bよりも短く(B>A)なるように設定した。Duty(戻し時間[%])は8%とした。
図24は、戻し方向側の電圧の立ち上がり及び立下りの傾きを、転写方向側の電圧の立ち上がり及び立下りの傾きよりも小さくして波形を丸くした波形の形態を示す。図24に示す出力波形の場合、戻し時間Aを転写方向側の時間Bよりも短くした(B>A)となるように設定した。Duty(戻し時間[%])は16%とした。
図25は、2次転写ニップNの静電容量を170pF(ピコファラド)、抵抗を17MΩと想定したときの波形の形態を示す。図25に示す出力波形の場合、戻し時間Aを転写方向側の時間Bよりも短くした(B>A)となるように設定した。戻し時間Aを転写方向側の時間Bよりも短くした(B>A)となるように設定した。Duty(戻し時間[%])は12%とした。
図26は、2次転写ニップNの静電容量を120pF(ピコファラド)、抵抗を15MΩと想定したときの波形の形態を示す。図26に示す出力波形の場合、戻し時間Aを転写方向側の時間Bよりも短く(B>A)なるように設定した。Duty(戻し時間[%])は12%とした。
次に、ピークツウピーク電圧値Vpが大きい程Dutyを大きく、ピークツウピーク電圧値Vppが小さい程Dutyを小さくするように電源39を制御するメリットについて説明する。
図32は、図18で示した出力波形に矩形波を用いた場合の、設定波形と実測波形を示し、図33は、図32に対し、Dutyは変更しないでピークツウピーク電圧値Vppを増大させたときの、設定波形と実測波形を示す。図36は、図32、図33に示す比較例と、図34、図35に示す本発明の実施例のおけるピークツウピーク電圧値Vppの狙いの値(設定値)と実測値とDutyの関係を示す。
本発明者は、制御部60が予め設定された狙いの設定波形で電源39から2次転写バイアスを出力しても、実測した波形は、設定された設定形波となることは少なく、必ず鈍った波形になることに着目した。すなわち、図32、図33、図36からわかるように、単にピークツウピーク電圧値Vppを増加させた場合、Duty低い値で一定の時には所望のピークツウピーク電圧値Vppに達する前に、2次転写バイアスの交流成分の極性が入れ替わってしまい、大きなピークツウピーク電圧値Vppを実現することが難しい。
図32は、図18で示した出力波形に矩形波を用いた場合の、設定波形と実測波形を示し、図33は、図32に対し、Dutyは変更しないでピークツウピーク電圧値Vppを増大させたときの、設定波形と実測波形を示す。図36は、図32、図33に示す比較例と、図34、図35に示す本発明の実施例のおけるピークツウピーク電圧値Vppの狙いの値(設定値)と実測値とDutyの関係を示す。
本発明者は、制御部60が予め設定された狙いの設定波形で電源39から2次転写バイアスを出力しても、実測した波形は、設定された設定形波となることは少なく、必ず鈍った波形になることに着目した。すなわち、図32、図33、図36からわかるように、単にピークツウピーク電圧値Vppを増加させた場合、Duty低い値で一定の時には所望のピークツウピーク電圧値Vppに達する前に、2次転写バイアスの交流成分の極性が入れ替わってしまい、大きなピークツウピーク電圧値Vppを実現することが難しい。
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