JP2015155794A - 鉛直型真空炉用のワークロード昇降システム - Google Patents

Abstract

【課題】本発明に係る１つの態様は、簡便な構成で、真空炉を水平状態に維持しつつ昇降させることができる鉛直型真空炉アセンブリを提供することを目的とする。【解決手段】本発明によれば、第１および第２の支柱と、第１および第２の支柱を表面に固定するための固定手段と、第１および第２の支柱を互いに離間させた状態で接続する横梁と、第１および第２の支柱の対向する面に長手方向に形成された第１および第２のガイドチャネルと、第１および第２のガイドチャネル内に移動可能に配置された昇降台車と、横梁に支持された往復可能な昇降機構であって、昇降台車を上昇または下降させるために昇降台車に機械的に固定され、制御システムに電気的に接続され、往復可能な昇降台車を上昇または下降させるように動作可能な昇降機構とを有する、予め組み立てられた支持モジュールを備えた鉛直型真空炉アセンブリを提供することができる。【選択図】図１

Description

本発明は、真空熱処理炉に関し、とりわけ鉛直方向に配置された真空炉、およびワークロード（被処理部材）を真空熱処理炉の内部に上昇させ、その内部から下降させるための昇降装置に関するものである。

水平型構成または鉛直型構成を有する工業用真空熱処理炉が知られている。水平型構成を有する真空炉においては、熱処理される部品のワークロードが、これを並進移動させる装置を用いて、熱処理炉チャンバ内に搬入される。鉛直型構成を有する真空炉においては、昇降装置を用いて、ワークロードを工場のフロアから高位置にある熱処理炉チャンバまで持ち上げられる。

鉛直型真空炉用の昇降システムの既知の構造は、４点昇降装置を採用している。この装置は、通常、ワークロードが平坦に持ち上げられるように同期して動作する４つのボールねじを有している。ボールねじを互いに同期して動作させるためには、複数のギアボックスとおよび接続部品を含む連結シャフトが用いられる。こうした昇降装置の既知のデザインは、製造現場で組立て、位置合わせし、さらに輸送のために分解する必要のある数多くの部品から構成されている。真空炉が顧客の現場に届けられると、再び、リフト装置を組み立て、位置合わせしなければならない。これは、時間の掛る作業であって、通常、配送時間スケジュールに数日の日数を追加することになる。

既知の昇降機構に用いられるギアボックス、駆動シャフト、および接続部品は、ワークロードを昇降させるように動作する際、相当大きなノイズを発生する。駆動シャフト、モータシャフト、ギアボックスシャフト、およびボールねじシャフトを接続する接続部品は、時間の経過とともに緩んでくる。この場合、１つまたはそれ以上のボールねじが他のボールねじと同期して動作しなくなる。そのような非同期動作は、昇降機構に致命的なダメージを与え得る。ボールねじの非同期動作があまりにもひどくなった場合、ワークロード自体ひいては真空炉内のホットゾーンさえも、ダメージを受けることがある。

既知の鉛直型真空炉用の昇降機構は、コイルスプリングを介して真空炉のボトム昇降構造に当接する昇降ポイントを有している。その昇降機構は、機械式リミットスイッチが作動して、昇降構造が完全に持ち上げられた最終位置にあることを示すまで、ボトムドアを炉に向けて持ち上げる。持ち上げられた最終位置において、ボトム昇降構造が炉の容器の上部に接しているので、スプリングの圧縮量は小さい。機械式スィツチが、適切に調整されず、または調整不具合が生じた場合、スプリングは過剰に圧縮され、昇降構造およびドアが曲げダメージを受けることがある。

鉛直型真空炉用の既知の昇降システムに関する上記問題を鑑みて、既知の昇降システムに関する問題を解消する鉛直型真空炉用の昇降装置を提供することが望まれている。

本発明に係る鉛直型真空炉内にワークロードを昇降させるシステムは、２つのボールねじを有し、各ボールねじは、サーボ型モータによって駆動され、位置情報をフィードバックするエンコーダおよび／またはレゾルバを用いて、電気サーボ駆動システムによって同期駆動される。各ボールねじは、トラック内を案内される昇降部品を昇降させるような構成および構造を有する。ボールねじとモータを有する昇降システムは、鉛直型炉のレッグ構造に組み込まれる。レッグ／エレベータ／ボールねじ／モータの複合体は、出荷およびエンドユーザの現場における組み立てのために完全な状態に維持されるモジュール式のアセンブリである。

ギアボックス、シャフト、および連結部品を備えていないため、昇降部品の昇降移動はきわめて静かである。各サーボモータが、それぞれのボールねじに直接的に連結されている。移動行程の終点付近における昇降移動の加速および減速をサーボ駆動システムにプログラムすることができる。これにより、昇降構造物と昇降部品の取出ポイントとの間に設けられるばねを排除することができる。エンコーダにより正確にフィードバックすることにより、昇降部品を完全に上昇した位置または完全に下降した位置に配置することができる。

本発明に係る昇降システムの別の有利な特徴は、昇降機構上のボールねじの固定ポイントが、ボールねじに対してほとんど、またはまったく応力を与えることなく、位置ずれを排除するジョイント連結部を有する点にある。

添付図面を参照しながら、以下の詳細な説明および上述の発明の要約を読むと、より十分に理解されるであろう。

本発明に係る鉛直型真空炉アセンブリの斜視図である。 図１に示す鉛直型真空炉アセンブリの正面図である。 図１に示す鉛直型真空炉アセンブリに用いられるレッグアセンブリの斜視図である。 図３に示すレッグアセンブリの背面図である。 図１に示す鉛直型真空炉に用いられるボトムヘッドアセンブリの斜視図である。 図５に示すボトムヘッドアセンブリの平面図である。 図５に示すボトムヘッドアセンブリの正面図である。 図３に示すレッグアセンブリで用いられる昇降台車の正面斜視図である。 図８に示す昇降台車の背面斜視図である。 図３に示すレッグアセンブリに用いられるボールねじジャッキの斜視図である。 図１０に示すボールねじジャッキの正面図である。 図１に示す鉛直型真空炉に用いられるサーボモータ制御システムのブロック図である。

ここで添付図面、とりわけ図１および２を参照すると、本発明に係る真空炉１０が示されている。この真空炉１０は、鉛直型の構成を有し、真空炉が配置される施設のフロアに対して持ち上げられている。真空炉１０は、加圧式または真空式の容器（加圧／真空容器）１２と、真空ポンプ１４とを有している。加圧／真空容器１２は、第１のレッグアセンブリ１６と第２のレッグアセンブリ１８とからなる一対のレッグアセンブリによって支持されている。レッグアセンブリ１６，１８の上端に作業台２０が取り付けられている。制御キャビネット２２と制御コンソール２４が、好適には、真空炉１０に隣接して設けられている。

加圧／真空容器１２は本体部２６を有し、本体部はその下端部に開口部２８を有する。加圧／真空容器１２は、金属部品のワークロードを熱処理するために真空炉を動作させるとき、開口部２８を閉口するように移動可能なボトムヘッドアセンブリ３０を有する。加圧／真空容器１２の本体部２６は、複数の支持アームによりレッグアセンブリ１６，１８上に取り付けられている。支持アーム４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄが圧力式の容器本体部２６の前方部分をレッグアセンブリ１６，１８の前方部分に取り付けるために設けられている。同様の一連の支持アーム（図示せず）が圧力式の容器本体部２６の後方部分をレッグアセンブリ１６，１８の後方部分に取り付けるために設けられている。

ここで図３および図４を参照すると、レッグアセンブリ１６の構成がより詳細に示されている。レッグアセンブリ１８は、レッグアセンブリ１６と実質的に同様に構成され配置されている。よってレッグアセンブリ１６についてのみ記述する。

レッグアセンブリ１６は、一対の支柱３２ａ，３２ｂを有する。支柱３２ａ，３２ｂは、横梁３４および床板３５に一体に接続されている。床板３５は、支柱３２ａ，３２ｂの底部に固定され、好適には溶接により固定されている。横梁３４は、支柱３２ａ，３２ｂの下端と上端の中間の位置において支柱３２ａ，３２ｂの間に取り付けられている。

またレッグアセンブリ１６は、ボトムヘッドアセンブリ３０を加圧式の容器本体部に対して昇降させるように構成された昇降機構４６を含んでいる。昇降機構４６は、機械式の昇降装置と、好適にはボールねじジャッキ５０と、昇降装置に動作可能に連結された昇降台車（昇降トローリ）５２とを有する。支柱３２ａ，３２ｂの対向面には、それぞれガイドチャネル４２ａ，４２ｂが形成または設けられている。ガイドチャネル４２ａ，４２ｂは、昇降台車をレッグアセンブリ１６に沿って移動可能にする軌道（トラック）を形成する。図１０および図１１でより詳細に示すように、ボールねじジャッキ５０は、既知の構造を有するねじ山付きシャフト５８およびボールナット５９を有する。駆動ギアボックス６０がその一端部でねじ山付きシャフト５８に連結されている。駆動ギアボックス６０は、これに電動モータ５１を取り付けるためのモータ実装部６１を有する。図１０および１１に示すボールねじジャッキに代えて、機械ねじジャッキを用いてもよいことは当業者に理解されるであろう。

ここで図８および９を参照すると、昇降台車５２は、一対のＬ字状の側方板７０ａ，７０ｂを有する。側方板は、上側横梁７２と下側横梁７４に一体に接続されている。図示した実施形態では、下側横梁７４は、互いに平行に離間した一対の横板（バー）７４’，７４’’から構成されている。上側横梁７２は、好適には側方板７０ａ，７０ｂの間の中間位置に形成された開口部８８を有している。開口部８８は、ボールねじジャッキ５０のねじ山付きシャフト５８が貫通することができるように寸法設計されて配置されている。昇降台車５２は、ボールねじジャッキ５０を昇降台車５２に連結するためのボールねじ固定アセンブリ７６を有する。下側横梁７４の横板７４’，７４’’の間に昇降板（リフトバー）８０ａ，８０ｂが取り付けられている。ボールねじジャッキ５０を昇降台車５２に接続するために、ブラケット７８が設けられている。図８および図９の実施形態で示すように、ブラケット７８は、中央開口部８９と複数のボルト穴とを含む実装プレート７９を有する。中央開口部は、ボールねじジャッキ５０のねじ山付きシャフト５８が昇降台車５２を貫通できるような寸法を有する。ボールねじジャッキ５０のボールナット５９を実装ブラケット７８に取り付けるために、ボルト穴が設けられている。

実装ブラケット７８は、連結板（リンクバー）８２ａ，８２ｂ，８２ｃ，８２ｄを介して昇降板８０ａ，８０ｂに連結されている。連結板８２ａ，８２ｂは、ピボットピン８４ａ，８４ｂによって昇降板８０ａと実装ブラケット７６との間でピボット回転可能に連結されている。連結板８２ｃ，８２ｄは、ピボットピン８４ｃ，８４ｄによって昇降板８０ｂと実装ブラケット７６との間でピボット回転可能に連結されている。昇降台車とボールねじシャフトとの間に多少の位置ずれが生じたときでも、昇降板と実装ブラケットとの間の連結板で実現される継手連結により、ボールねじジャッキに対する横方向の実質的な応力を防止することができる。

ガイドホイールまたはガイドベアリング１８０ａ，１８０ｂが端壁板７０ａの外向き面に設けられている。同様に、ガイドホイールまたはガイドベアリング１８０ｃ，１８０ｄが端壁板７０ｂの外向き面に設けられている。ガイドホイール１８０ａ，１８０ｂは、それぞれ実装パッド１８２ａ，１８２ｂ上で取り付けられている。同様に、ガイドホイール１８０ｃ，１８０ｄは、それぞれ実装パッド１８２ｃ，１８２ｄ上で取り付けられている。ガイドホイール１８０ａ〜１８０ｄは、レッグアセンブリ１６のガイドチャネル４２ａ，４２ｂに嵌合してその内部を移動するように寸法設計され、配置されている。

端壁板７０ａ，７０ｂは、Ｌ字状形状を有し、水平方向に延びる足部８６ａ，８６ｂを有する。足部８６ａ，８６ｂは、詳細に後述するように、加圧／真空容器のボトムヘッドアセンブリの支持構造体と係合するように配置構成される。

当業者にとって明らかなように、レッグアセンブリ１６，１８の構造的特徴は、レッグアセンブリをモジュールとして予め組み立てた後に真空炉とともに出荷することができるという利点を有する。レッグアセンブリを予め組み立てられたモジュールとして出荷できるので、真空炉を出荷し、真空炉をユーザの工場内で組み立てるのに必要な時間を大幅に短縮することができる。さらに上記説明から明らかなように、各レッグアセンブリの上方にある昇降機構の間において機械的な連結を必要としない。すなわち、レッグアセンブリ１６，１８がモジュール構造を有するため、昇降機構の間を機械的に連結する必要がなく、複数の昇降機構および既知の複数の昇降機構に必要な連結部品を正確に位置合わせし、再位置合わせする必要がない。また通常、機械式連結の部品である複数のギアボックス、駆動シャフト、および連結部品を省略することにより、相当により静かな動作を実現することができる。

ここで図５、図６および図７を参照すると、好適な実施形態に係る加圧／真空容器１２のボトムヘッドが示されている。ボトムヘッドアセンブリ１０２は、簡便なものとするために、ほぼ平坦な外形形状（プロファイル）を有する。ボトムヘッド１０２は、圧力容器本体部の底部にある開口部を覆う（カバーする）ように寸法設計されたほぼ円形のスチールプレート１０４を有する。プレート１０４には、好適には、封止リング１０７を受容する周辺溝が形成されている。フランジ１０６が、プレート１０４の周縁部の周りに形成され、加圧／真空容器の本体部２６の開口部２８の周りで対応する嵌合フランジと係合するように寸法設計され、配置されている。真空炉内で約２バールより高いガス焼入れ圧力が用いられない場合、フラットなボトムヘッド装置は適当なものである。すなわち約２バールより高いガス焼入れ圧力が用いられる場合には、加圧式の容器の基準の要件に適合するために従来式の皿状またはドーム状のボトムヘッドを用いなければならない。

一対の支持ビーム（支持梁）１０８ａ，１０８ｂが、プレート１０４の外側に固定され、プレートを横断するように互いに離間して平行に延びている。これらの支持ビームは、プレート１０４を越えて突出する部分を有する。特に、支持ビーム１０８ａは延長部１１０ａ，１１０ｂを有し、支持ビーム１０８ｂは延長部１１２ａ，１１２ｂを有する。延長部１１０ａ，１１０ｂは、昇降台車５２の足部８６ａ，８６ｂと係合するように構成されている。同様に、延長部１１２ａ，１１２ｂは、レッグアセンブリ１８上の昇降台車の対応する足部と係合するように構成されている。図７に示すように、支持レッグ１１４ａ，１１４ｂがプレート１０４の外側表面から鉛直方向に延びている。図７には図示されないが、一対の第２の支持レッグが支持レッグ１１４ａ，１１４ｂの後方に離間して配置されている。これらの支持レッグは、ボトムヘッドアセンブリ１０２がフロア上に載置されているときに、プレート１０４に剛性を付加するとともに、ボトムヘッドアセンブリ１０２を支持するように構成され、配置されている。また、これら支持レッグは、昇降台車が支持ビーム１０８ａ，１０８ｂの延長部１１０ａ，１１０ｂ，１１２ａ，１１２ｂと容易に係合できるように、フロアから上方に十分な高さを与えるように寸法設計されている。

プレート１０４の内側表面の中央領域には複数のソケットまたはレセプタクル１１８が配置され、固定されている。これらのレセプタクル１１８は、鉛直方向に延び、炉床レールを支持する支柱部（ポスト、たとえば図１を参照）を受容するように寸法設計されている。カバープレート１２２は、プレート１０４の内側表面上に固定されて、プレート１０４の中央領域を覆う。カバープレート１２２は、スペーサリング１２４上に設置され、固定され、スペーサリングは、プレート１０４の内側表面上に固定される。カバープレート１２２は開口部を有し、レセプタクル１１８はこの開口部を貫通して延びる。ボトムヘッドアセンブリ１０２は、好適には、熱処理サイクル中に炉内で発生する莫大な熱からヘッドアセンブリを冷却するための手段を有する。好適には、冷却手段は、スペーサリング１２４とカバープレート１２２とからなる複合体により実現され、カバープレートは、冷却剤カバー（冷却剤被覆）として機能する密閉空間を画定する。好適には、冷却剤カバーは、水等の冷却剤の流れを制御するためのチャネル（図示せず）を有し、チャネルはプレート１０４の内側表面を横断するように延びている。好適には、チャネルは、プレート１０４の中央領域のほぼ全面が冷却剤と接することができるように配置されている。プレート１０４を十分に冷却して、流れが停滞したスポットまたは渦流が形成されないように、当業者ならばチャネルの配置を容易に設計することができる。ボトムヘッドアセンブリ１０２が加圧／真空容器の本体部２６に対して閉じた状態にあるとき、カバープレートにより、冷却チャネルは真空炉の内部から隔離される。

ここで図１２を参照すると、本発明に係る昇降装置の動作を制御するために好適な装置が図示されている。制御システム９０は、昇降装置のフェイルセーフ動作を実現するように構成され、ボールねじドライブの動きを連動させ、昇降モータの操作を同期させる手段を設けることにより、ボトムヘッドアセンブリを水平状態で昇降させて、ボトムヘッドおよび／または昇降機構に対する損傷を回避することができる。制御システム９０は、プログラマブル論理コントローラ（ＰＬＣ）１００と、マスタサーボ駆動回路９２と、フォロワサーボ駆動回路９４とを有している。昇降モータ５０がマスタサーボ駆動回路９２に接続されている。エンコーダ９６がモータ５０の駆動シャフトに機械的に連結されている。同様に、昇降モータ５５がフォロワサーボ駆動回路９４に接続され、レゾルバ９８がモータ５５の駆動シャフトに機械的に連結されている。

ＰＬＣ１００は、炉のオペレータにより入力される命令に応じてボトムヘッドアセンブリを昇降させるため、昇降モータ５０，５５を動作させる電気的な命令信号を提供するようにプログラムされたプロセッサを有する。オペレータの命令は、プッシュボタンまたはキーボード等の便利な手段を用いて、ＰＬＣに入力することができる。ＰＬＣ１００は、ボトムヘッドアセンブリ１０２が上昇位置または下降位置にあるか否かを示す状況情報を、マスタサーボ駆動回路およびフォロワサーボ駆動回路から受信するようにプログラムされている。ＰＬＣ１００は、ボトムヘッドアセンブリの位置を特定したとき、連動動作が実行可能であることを示す連動信号をサーボ駆動回路に送信する。マスタサーボ駆動回路９２は、ＰＬＣ１００に接続され、命令信号を受信し、第１のフィードバック信号をＰＬＣに出力する。フォロワサーボ駆動回路９４は、マスタサーボ駆動回路９２に接続され、命令信号を受信し、マスタサーボ駆動回路９２を介してＰＬＣにフィードバック信号を出力する。またＰＬＣは、マスタサーボ駆動回路およびフォロワサーボ駆動回路からのフィードバック信号をモニタするとともに、昇降モータ５０，５５の同期した動作を維持するために更新された命令信号を出力するようプログラムされている。フィードバック信号は、位置および／または速度を示す指標であってもよい。エンコーダー９６は、昇降モータ５０の駆動シャフトの回転に基づいて第１のフィードバック信号を生成するように構成されている。エンコーダー９６は、マスタサーボ駆動回路９２に接続され、第１のフィードバック信号をマスタサーボ駆動回路に送信する。同様に、レゾルバ９８は、昇降モータ５５の駆動シャフトの回転に基づいて第２のフィードバック信号を生成するように構成されている。レゾルバ９８は、フォロワサーボ駆動回路９４に接続され、第２のフィードバック信号をフォロワサーボ駆動回路に出力する。好適には、このシステムは、昇降コントローラに接続された帰還リミットスイッチ（図示せず）を有する。帰還リミットスイッチは、昇降機構が完全に下降位置に達したことを検出するように配置され、システム自らが位置指標をゼロに設定するように昇降コントローラに信号を出力する。

本発明に係るサーボ駆動制御システムは、各レッグアセンブリ上の昇降機構の間において、複数のギアボックス，シャフト、および連結部品を含む機械式の連結装置を必要とすることなく、各レッグアセンブリ上の昇降機構を同期させて昇降移動させる。機械式の連結装置を省略することにより、顧客の工場で真空炉を組み立てるのに必要とされる時間を大幅に短縮させることができる。昇降機構は、鉛直型真空炉に用いられる既知の昇降機構に比して、動作音が相当により静かである。さらに、機械式の連結装置を省略することにより、長期間の使用により生じる位置ずれの問題が回避される。また本発明に係る制御システムは、正確な昇降サイクルを実現し、駆動機構が生成するトルクまたは昇降力を自ら規制して任意の昇降部品に対する偶発的な損傷を回避できるようにプログラムすることができる。昇降部品に対する偶発的な損傷を実質的に回避するために、昇降機構の駆動力は、これにより生成されるトルクまたは昇降力を自己制御されるものである。

本明細書において用いた用語および表現は、本発明を説明するために用いたものに過ぎず、本発明を何ら限定するものではない。こうした用語および表現を用いたことにより、図示および記載された特徴もしくはステップまたはその一部の任意の均等物を排除しようとするものではない。したがって本発明の範囲および精神に含まれるさまざまな変形例が実現可能であることが認識される。よって本発明は、上述した発明の範疇に属する変形例を包含するものである。

Claims (13)

1. 鉛直型真空炉アセンブリであって、
   下端部に開口部（２８）を有する真空容器（１２）と、
   真空容器の開口部を閉口するような寸法を有するボトムヘッドアセンブリ（３０）と、
   真空容器に固定された支持アーム（４０ａ〜４０ｄ）を有し、真空容器の対向する両側に配置され、予め組み立てられた第１および第２の支持モジュール（１６，１８）からなる支持構造体と、
   制御システム（９０）とを備え、
   予め組み立てられた支持モジュールのそれぞれは、
   第１および第２の支柱（３２ａ，３２ｂ）と、
   第１および第２の支柱の底部に接続され、第１および第２の支柱を表面に固定するための固定手段（３５）と、
   第１および第２の支柱を互いに離間させた状態で接続する横梁（３４）であって、固定手段から第１の距離だけ上方に配置された横梁と、
   固定手段と横梁との間において、第１および第２の支柱の対向する面に長手方向に形成された第１および第２のガイドチャネル（４２ａ，４２ｂ）と、
   第１および第２のガイドチャネル内に移動可能に配置された昇降台車（５２）と、
   横梁に支持された往復可能な昇降機構（４６）であって、昇降台車を上昇または下降させるために昇降台車に機械的に固定され、制御システムに電気的に接続され、往復可能な昇降台車を上昇または下降させるように動作可能な昇降機構とを有することを特徴とする鉛直型真空炉アセンブリ。
2. 固定手段は、床板（３５）を含み、
   往復可能な昇降機構は、
   一方の端部で床板に回転可能に取り付けられたねじ山付きシャフト（５８）と、
   横梁に実装され、ねじ山付きシャフトの他方の端部に接続された駆動機構（５１，６０）と、
   ねじ山付きシャフト上に動作可能に実装され、昇降台車に接続される搬送部品（５９）とを有することを特徴とする請求項１に記載の鉛直型真空炉アセンブリ。
3. 駆動機構は、横梁に実装されたギアボックス（６０）と、ギアボックスに連結された駆動モータ（５１）とを有することを特徴とする請求項２に記載の鉛直型真空炉アセンブリ。
4. 昇降台車は、互いに離間して平行に配置された第１および第２の側方板（７０ａ，７０ｂ）と、第１および第２の側方板の上端部でこれらを連結する横梁（７２）と、第１および第２の側方板の下端部でこれらを連結する横板（７４）とを含む昇降アセンブリを有し、
   昇降台車は、昇降機構および搬送部品（５９）にピボット回転可能に連結された連結アセンブリ（７６）をさらに有することを特徴とする請求項２または３に記載の鉛直型真空炉アセンブリ。
5. 連結アセンブリ（７６）は、その下端部で昇降アセンブリの横板に固定された第１および第２の昇降板（８０ａ，８０ｂ）と、ブラケット（７８）と、第１および第２の昇降板とブラケットとの間でピボット回転可能に連結された第１および第２の連結部品（８２ａ，８２ｄ）とを有することを特徴とする請求項４に記載の鉛直型真空炉アセンブリ。
6. 横板は、連結アセンブリのいずれか一方側において互いに平行に離間して配置された第１の横板部品（７４’）と第２の横板部品（７４’’）とを有することを特徴とする請求項４に記載の鉛直型真空炉アセンブリ。
7. 昇降台車は、ボトムヘッドアセンブリが往復可能な昇降機構（４６）により上昇または下降できるように、ボトムヘッドアセンブリ（３０）と係合するように構成されたアーム（８６ａ，８６ｂ）を有することを特徴とする請求項６に記載の鉛直型真空炉アセンブリ。
8. ボトムヘッドアセンブリは、円形のスチールプレート（１０４）と、スチールプレートの周縁部の周りに形成されたフランジ（１０６）と、スチールプレートの外側表面に固定された第１および第２の支持梁（１０８，１０８ｂ）と、スチールプレートの内側表面に固定された、スチールプレート上でワークロードを支持するための手段とを有することを特徴とする請求項１に記載の鉛直型真空炉アセンブリ。
9. ボトムヘッドアセンブリは、スチールプレートの内側表面に沿って冷却剤を循環させるための冷却手段（１２２，１２４）を有することを特徴とする請求項８に記載の鉛直型真空炉アセンブリ。
10. 冷却手段は、その内部においてスチールプレートの内側表面に沿って冷却剤を案内するチャンネルと、冷却剤がチャンネル内へ導入させるためにスチールプレートに形成された入口と、冷却剤がチャンネルから導出させるためにスチールプレートに形成された出口とを有することを特徴とする請求項９に記載の鉛直型真空炉アセンブリ。
11. 制御システムは、
    第１の支持モジュールに設けた駆動モータに接続され、第１の支持モジュールに設けた往復可能な昇降機構の鉛直方向の位置を示す電気信号を生成する第１のセンサ（９６）と、
    第２の支持モジュールに設けた駆動モータに接続され、第２の支持モジュールに設けた往復可能な昇降機構の鉛直方向の位置を示す電気信号を生成する第２のセンサ（９６）と、
    これらの駆動モータおよび第１ならびに第２のセンサに接続された駆動回路（９２，９４）と、
    駆動回路に接続され、第１および第２のセンサにより生成された位置信号を受信するプロセッサ（１００）とを有し、
    プロセッサは、動作命令を受信するように構成され、駆動モータが同期して動作できるように、位置信号および動作命令に応じて命令信号を生成して、命令信号を駆動回路に送信するようにプログラムされたことを特徴とする請求項１に記載の鉛直型真空炉アセンブリ。
12. 制御システムの駆動回路は、
    第１の支持モジュールに設けた駆動モータ、第１のセンサ、およびプログラマブル論理コントローラに接続されたマスタ駆動回路（９２）と、
    第２の支持モジュールに設けた駆動モータ、第２のセンサ、およびプログラマブル論理コントローラに接続されたフォロワ駆動回路（９４）とを有することを特徴とする請求項１１に記載の鉛直型真空炉アセンブリ。
13. フォロワ駆動回路は、マスタ駆動回路を介してプログラマブル論理コントローラに接続されることを特徴とする請求項１２に記載の鉛直型真空炉アセンブリ。

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