KR19990062712A - 모듈 진공 열 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 하나의 제조 유니트(cell)로부터 다른 제조 유니트로 짐을 이동시키기 위한 조종 수단이 제공되어 있는 공동 기밀실에 수평 평면으로 연결되어 있는 다수 개의 처리 제조 유니트들을 포함하고 있는 희박한 공기 상태 하에 있는 연쇄 열 처리 장치에 관한 것이다. 상기 공동 실은 수평축을 가지고 있는 원통이고, 그것의 적어도 일단부는 추가 제조 유니트들이 연결되어 있는 원통형 연장부의 형태로 모듈을 수용하기 위하여 배열되어 있다.

Description

모듈 진공 열 처리 장치
본 발명은 짐을 하나의 제조 유니트(cell)로부터 다른 제조 유니트로 이동시키기 위한 조종 수단(handling means)이 구비된 공동 기밀실에 연결되어 있는 다수 개의 처리 제조 유니트들을 포함하고 있는 희박한 공기 상태하의 열 처리 장치에 관한 것이다.
프랑스 특허 출원 제 2537260 호는 그러한 열 처리 장치를 개시하고 있다. 상기 처리 제조 유니트들은 수직 축을 구비한 원통형 기밀 실 내측에 방사 형태로(in a stellate fashion) 수평으로 배열되어 있다. 상기 제조 유니트들은 중앙 조정 장치에 의해서 수리된다.
상기 타입의 공지된 장치의 단점은, 다수개의 제조 유니트들이 고정되어 있다는 것이다. 추가적인 처리 제조 유니트를 갖도록 장치를 수정할 가능성이 없다.
그러한 장치의 또 다른 단점은, 예를 들면 조종 장치를 적합시키기 위한, 챔버 내측에서의 유지 보수 작업을 특히 어렵게 한다는 것이다. 그러한 유지 보수 작업은 거의 상기 조종 장치의 전체 또는 부분 해체를 필요로 한다.
본 발명의 목적은 다수의 처리 제조 유니트들을 수용할 수 있는 희박한 공기 상태하의 연쇄 열 처리 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은, 상기 실내에서의 특히 손쉬운 유지 보수 작업을 가능하게 하는 그러한 장치를 제공하는 것이다.
상기 목적들은, 짐을 하나의 제조 유니트로부터 다른 제조 유니트로 이동시키기 위한 조종 수단이 제공된 공동 기밀실에 수평면으로 연결되어 있는 다수의 처리 제조 유니트들을 포함하고 있는 희박한 공기 상태하의 연쇄 열 처리 장치에 의해서 성취된다. 상기 공동 실은 수평축을 가진 원통이고, 그것의 적어도 하나 이상의 단부는 추가 제조 유니트들이 연결되어 있는 원통형 연장부의 형태로 모듈을 수용하기 위하여 배열되어 있다.
본 발명의 하나의 실시 예에 의하면, 적어도 실린더의 하나 이상의 단부에는 모듈들이 장착될 수 있는 위치 내에 제거할 수 있는 커버가 제공되어 있다.
본 발명의 하나의 실시 예에 의하면, 상기 조종 수단은 상기 실린더에 평행한 방향으로 이동하여, 포개어 끼울 수 있는(telescopic) 요소에 의해서 상기 제조 유니트들을 수리하는 케리지를 포함하고 있다.
본 발명의 하나의 실시 예에 의하면, 상기 제조 유니트들 중의 하나는 적재/부림 제조 유니트로서 또한 사용되는 오일 담금질 제조 유니트이다.
본 발명의 하나의 실시 예에 의하면, 상기 케리지는 상기 실에 부착되어 있는 레일 상에서 이동하고, 상기 레일들은 상기 모듈에 부착되어 있는 레일들에 의해서 상기 모듈 내에서 연장되어 있다.
본 발명의 실시 예에 의하면, 상기 모듈은, 일단부에 의해서 상기 실에 그리고 타단부에 의하여 모듈에 의해서 조립될 수 있도록 제공되어 있다.
본 발명의 실시 예에 의하면, 상기 모듈은 양 단부에서 개방되어 있고, 그 단부는 추가 모듈 또는 상기 커버를 수용하고 있는 상기 실에 상기 모듈을 조립한 후 개방 상태로 남아 있다.
본 발명의 실시 예에 의하면, 상기 장치는 질소 또는 적어도 50% 이상의 질소를 포함하고 있는 혼합물을 사용하여 작동하는 가스 담금질 제조 유니트를 포함하고 있다.
도 1은 본 발명에 의한 연쇄 열 처리 장치를 개략적으로 도시한 상부도.
도 2는 도 1의 장치를 매우 개략적으로 도시한 측 횡단면도.
도 3은 도 1의 장치의 또 다른 예를 도시한 측 횡단면도.
이하, 본 발명의 상기 목적, 특징 및 장점을 첨부된 도면을 참조하여 더욱 상세히 살펴보기로 하자.
연쇄 열 처리 장치 내에 다수의 처리 제조 유니트들을 사용하기 위하여, 본 발명은 모듈 장치를 제공한다. 모듈화(modularity)는 장치의 특별한 구조에 의해서 가능하다.
도 1은 본 발명에 의한 장치의 기본 모듈(6)을 도시하고 있고, 추가 모듈(8)을 점선으로 도시하고 있다.
기본 모듈(6)은 수평축의 실린더 형태로 형성되어 있는 기밀 실(10)을 포함하고 있다. 플랜지들이 제공되어 있는, 실린더(10)의 양 단부들은, 제거할 수 있는 기밀 커버(12)들에 의해서 폐쇄되어 있다. 상기 처리 제조 유니트들은 상기 실린더(10)에 측면으로 연결되어서 동일한 수평 면내에 위치되어 있다. 예로서, 도 1은, 서로 마주보고 배열되어 있는 두 개의 열 처리 제조 유니트(14)들, 적재/부림 제조 유니트(15) 및 상기 적재/부림 제조 유니트(15)와 마주보고 배열되어 있는 가스 담금질 제조 유니트(16)를 포함하고 있다.
도 2에서 잘 알 수 있는 바와 같이, 원통형 실(10)은, 예를 들면, 볼트 수단에 의해서, 처리 제조 유니트들의 단단한 부착을 가능하게 하는 플랜지가 제공되어 있는 측면 원통형 연장부(10-1)를 포함하고 있다.
일반적으로, 실(10)과의 열 처리 제조 유니트(14)들과의 소통을 위한 개구부들에는 기밀되어 있지 않지만 단열 되어 있는 문(door)들이 제공되어 있다. 실제로, 5밀리바와 유사한, 실(10)내에서 생성되는 압력은, 처리 제조 유니트(14)들 내에 있어야만 하는 압력이다. 역으로, 적재/부림 제조 유니트(15) 및 가스 담금질 제조 유니트(16)에는, 실(10)과의 소통을 위한 개구부에서, 각각 (15-1) 및(16-1)인, 기밀 문들이 제공되어 있다. 실제로, 적재/부림 제조 유니트(15)는 장치 내로 처리되는 짐들을 삽입하기 위하여 외부 도어(15-2)를 포함하고 있다. 따라서, 실(10)의 공기를 교란시키지 않고 제조 유니트(15)를 대기압으로 하는 것이 가능해야만 한다. 유사하게, 대기압보다 더 높은 압력은 담금질 작업동안 제조 유니트(16)내에 존재한다.
조정 장치는 실린더(10)의 축에 평행한 방향으로 이동하는 케리지(18)의 형태이다. 케리지(18)는, 예를 들면, 실린더(10)의 전체 길이를 따라서 연장되어 있는 레일(20)상에서 움직인다. 케리지(18)에는, 처리되는 짐을 들어서 내려놓기 위하여 제조 유니트(14)의 중앙으로 케리지(18)의 어느 일측 상에서 연장될 수 있는 포개어 끼울 수 있는 포크가 제공되어 있다.
도 1에서, 케리지(18)는 제조 유니트(15,16)의 높이에 위치되어 있고, 포개어 끼울 수 있는 포크(22)는 짐(24)을 들어올리기 위하여 제조 유니트(15)내로 관통한다. 물론, 제조 유니트(15)는 도어(15-1)가 오픈될 수 있도록 실(10)의 압력으로 미리 정해져 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 짐(24)은, 제조 유니트의 바닥에 대해서 짐(24)을 들어올려서 포크(22)가 상기 짐 아래를 통과할 수 있도록 지지대(26) 상에 놓여있다. 포크(22)는 지지대(26)로부터 짐(24)을 들어올리기 위하여 들어올려져서 케리지(18)상에 짐(24)을 옮기기 위하여 안으로 잡아끌어진다. 이후, 케리지(18)는, 원하는 제조 유니트의 전방으로, 예를 들면, 점선으로 도시된 위치로, 이동한다. 이후, 포크(22)는 밖으로 잡아끌어져서 제조 유니트내에 짐(24)을 두기 위하여 낮추어진다.
도 1의 기본 장치 내에서(실선으로 도시된), 두 개의 제조 유니트(14)들은, 동일한 시간에 실질적으로 두 개의 짐(24)들을 처리할 수 있게 하는, 예를 들면, 탄소 처리 제조 유니트들이다. 상기 단 하나의 담금질 제조 유니트(16)는, 담금질 작업이 탄소 처리 작업과 비교하였을 때 특히 빠르기 때문에 충분하다.
상기 장치의 생산량이 증가되거나 또는 다른 처리 공정을 위하여 실행하는 것이 필요할 경우, 추가 처리 제조 유니트들은 필요하다. 이 같은 경우, 도 1에서 점선으로 도시된 모듈(8)은 기본 장치에 조립된다. 모듈(8)은 커버(12)들 중 하나를 대신하여 원통형 실(10)에 연속하여 조립되는 원통형 부분(10')를 포함하고 있다. 상기 제거되는 커버(12)는 원통형 부분(10')의 자유 단부를 폐쇄하기 위하여 사용될 수 있다. 모듈(8)은, 도시된 바와 같이, 원통형 부분(10')에 서로 마주보고 연결되어 있는 단 두 개의 추가 제조 유니트(14')들로 구성될 수 있다.
물론, 추가 모듈들은, 커버(12)들을 대신하여 모듈(8) 및 기본 모듈(6)의 자유 단부에 조립될 수 있다. 다수의 모듈들은, 사용자의 필요에 적합되는 열 처리 장치를 생성하기 위하여 직렬로 조립될 수 있다.
케리지(18)가 레일(20)상에 장착되어 있는 경우에 있어서, 도시된 바와 같이, 모듈(8)은, 모듈(8)이 기본 장치에 조립될 때 레일(20)에 연결되는 레일(20')을 포함할 수 있다.
실(10 또는 10')내에서 작업하기 위하여, 사람이 장치를 꿰뚫고, 조종 장치(18,22) 상에서 그리고 제조 유니트들 상에서의 필요한 작업을 손쉽게 실행하는 것을 가능하게 하게 하는 복도를 개방하는, 하나 또는 두 개의 커버(12)들을 제거하는 것이 충분하다. 필요한 경우, 상기 조종 장치는 실의 일측 또는 다른 측으로 이동된다.
도 2에 도시된 바와 같이, 상기 장치는, 적재/부림 제조 유니트(15) 및 가스 담금질 제조 유니트(16)를 포함할 수 있다. 가스 담금질은 다수의 물질들에 적합하다. 경화 가스를 교반시키기 위하여 필요한 동력과 가스-담금질될 수 있는 다양한 물질들 사이의 정확한 절충안(compromise)을 얻기 위하여, 질소 또는 적어도 50% 이상의 질소를 포함하고 있는 혼합물이 사용된다.
그럼에도 불구하고, 몇몇 물질들은 오일 담금질을 필요로 한다.
도 3은, 오일 담금질 제조 유니트(30)를 포함하고 있는, 도 1 타입 장치의 측 횡단면도를 도시하고 있다. 제조 유니트(30)는 도 1 및 도 2의 적재/부림 제조 유니트(15)를 바람직하게 교체할 수 있다. 오일 담금질 제조 유니트(30)는 장치 내에서 짐(24)을 추출하고 삽입하기 위하여 사용되는 외부 도어(30-1)를 포함하고 있다. 제조 유니트(30)는 또한 조종 장치(18,22)에 적합되어 있는 높이에서 짐을 유지시키고 짐(24)을 오일조(34)에 넣는 것을 가능하게 하는 승강기(32)를 더 포함하고 있다.
상기 배치는, 담금질 작업이 최후의 작업이어서, 처리되는 짐(24)은, 담금질 제조 유니트로부터 적재/부림 제조 유니트로의 왕복 운동 시간을 없애서, 곧바로 추출되기 때문에, 바람직하다. 제공되는 적재/부림 제조 유니트의 추가 비용 또한 없어진다.
물론, 적재/부림 제조 유니트(15)와 같이, 오일 담금질 제조 유니트(30)에는, 실(10)내에 존재하는 압력에 영향을 미치지 않고 대기압에서 적재/부림 작업을 가능하게 하기 위하여 실(10)로부터 그것을 고립하고자 하는 기밀 도어(미 도시)가 제공되어 있다.
조종 장치(18,22)는 일반적인 수단에 의해서 구동된다. 예를 들면, 케리지(18)는, 레일에 평행한 방향으로 배열되어 있는 톱니 막대(rack)와 맞물려 있는 피니언(pinion)이 제공되어 있는 일체형 전기 모터에 의해서 레일(20)을 따라서 이동할 수 있다. 접을 수 있는 포크(22)는, 체인 또는 레버 시스템에 의해서 연장되거나 수축될 수 있다. 상기 포크의 들어올림 및 낮춤은 캠 또는 편심 시스템에 의해서 가능하다.
물론, 본 발명은 당업자가 쉽게 생각할 수 있는 다양한 변형예, 수정안 및 개선 안들을 가질 수 있다. 그러한 변형예, 수정안 및 개선 안들은 본 공지 사항의 일부이며, 본 발명의 기술적 사상 및 범위 내에 있다. 따라서, 상기 기술 사항은 단지 예에 불과하며, 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 발명은 아래의 청구 범위 및 그 대응안내에 한정되어 있는 것으로서 단지 제한된다.
본 발명은 다수의 처리 제조 유니트들을 수용할 수 있는 희박한 공기 상태하의 연쇄 열 처리 장치를 제공하여 실내에서의 특히 손쉬운 유지 보수 작업을 가능하게 하는 효과가 있다.

Claims (8)

  1. 하나의 제조 유니트로부터 다른 제조 유니트로 짐을 이동시키기 위한 조종 수단(18,22)이 제공되어 있는 공동 기밀실에 수평면으로 연결되어 있는 다수 개의 처리 제조 유니트(14,15,16)들을 포함하고 있고,
    상기 공동 실은 수평 축(10)을 갖는 실린더이고, 그것의 적어도 일단부는 추가 제조 유니트(14')들이 연결되어 있는 원통형 연장부(10') 형태의 모듈(8)을 수용하기 위하여 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 희박한 공기 상태 하에 있는 연쇄 열 처리 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 실린더의 적어도 일단부는 상기 모듈이 장착될 수 있는 위치 내에 제거할 수 있는 커버(12)가 제공되어 있는 것을 특징으로 하는 희박한 공기 상태 하에 있는 연쇄 열 처리 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 조종 수단은 상기 실린더 축(10)에 평행한 방향으로 이동하여 포갤 수 있는 요소(22)에 의해서 상기 제조 유니트들을 수리하는 케리지(18)를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 희박한 공기 상태 하에 있는 연쇄 열 처리 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제조 유니트들 중 하나는 적재/부림 제조 유니트로서 또한 사용되는 오일 담금질 제조 유니트(30)인 것을 특징으로 하는 희박한 공기 상태 하에 있는 연쇄 열 처리 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 케리지(18)는 실(10)에 부착되어 있는 레일(20)상에서 이동하고, 상기 레일들은 모듈에 부착되어 있는 레일(20')에 의해서 모듈(8)내에서 연장되어 있는 것을 특징으로 하는 희박한 공기 상태 하에 있는 연쇄 열 처리 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 모듈(8)은 일단부에 의해서 상기 실(10)에 그리고 타단부에 의해서 다른 모듈에 조립될 수 있도록 제공되어 있는 것을 특징으로 하는 희박한 공기 상태 하에 있는 연쇄 열 처리 장치.
  7. 제 2 항에 있어서,
    상기 모듈(8)은 양 단부에서 개방되어 있고, 그 단부는, 추가 모듈 또는 상기 커버(12)를 수용하는 실(10)로의 상기 모듈의 조립 후에 개방 상태로 남아 있는 것을 특징으로 하는 희박한 공기 상태 하에 있는 연쇄 열 처리 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    질소 또는 적어도 50% 이상의 질소를 포함하고 있는 혼합물로 작동하는 가스 담금질 제조 유니트(16)를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 희박한 공기 상태 하에 있는 연쇄 열 처리 장치.
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Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2801059B1 (fr) * 1999-11-17 2002-01-25 Etudes Const Mecaniques Procede de trempe apres cementation a basse pression
FR2809746B1 (fr) 2000-06-06 2003-03-21 Etudes Const Mecaniques Installation de cementation chauffee au gaz
EP1193317B1 (fr) * 2000-09-27 2004-07-28 Patherm SA Installation pour le traitement thermique de charges de pièces métalliques
DE50112495D1 (de) * 2001-01-26 2007-06-21 Ipsen Int Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Transportieren metallischer Werkstücke sowie Anlage zur Wärmebehandlung dieser Werkstücke
DE10118244C1 (de) * 2001-04-11 2002-08-22 Ald Vacuum Techn Ag Modulare Vorrichtung für die Abschreckhärtung von Werkstücken
JP2003183728A (ja) * 2001-12-14 2003-07-03 Jh Corp 真空熱処理装置
US6627856B2 (en) 2001-12-26 2003-09-30 Nitrex Metal Inc. Moveable heat exchanger
US6902635B2 (en) * 2001-12-26 2005-06-07 Nitrex Metal Inc. Multi-cell thermal processing unit
DE10359458B4 (de) * 2003-12-17 2009-09-24 Ald Vacuum Technologies Gmbh Vorrichtung zur verketteten Wärmebehandlung von Werkstücken unter Unterdruck
FR2864106B1 (fr) * 2003-12-23 2006-08-11 Etudes Const Mecaniques Dispositif de trempe
EP1989335A4 (en) * 2005-11-23 2010-04-07 Surface Comb Inc SURFACE TREATMENT OF METAL OBJECTS IN AN ATMOSPHERIC OVEN
JP6403959B2 (ja) * 2014-03-06 2018-10-10 Ｄｏｗａサーモテック株式会社 浸炭焼入れ設備
CN110453060A (zh) * 2019-09-11 2019-11-15 东莞市升华炉具设备有限公司 均质设备

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE243050C (ko) *
FR2487492B1 (fr) * 1980-07-25 1987-07-17 Bmi Four pour traitement thermique ou thermochimique en continu de metaux
JPS57137417A (en) * 1981-02-17 1982-08-25 Michio Sugiyama Semicontinuous vacuum heat treatment furnace and operating method
FR2537260B3 (fr) * 1982-12-02 1985-11-22 Traitement Sous Vide Four multicellulaire pour le traitement thermique, thermochimique ou electrothermique de metaux sous atmosphere rarefiee
US5259881A (en) * 1991-05-17 1993-11-09 Materials Research Corporation Wafer processing cluster tool batch preheating and degassing apparatus
DD243050A1 (de) * 1985-11-27 1987-02-18 Hochvakuum Dresden Veb Rezipient fuer vakuumanlagen
FR2594102B1 (fr) * 1986-02-12 1991-04-19 Stein Heurtey Installation flexible automatisee de traitement thermochimique rapide
JPS63148088A (ja) * 1986-07-17 1988-06-20 大亜真空株式会社 連続式真空熱処理炉
KR890001020A (ko) * 1987-06-30 1989-03-17 송진황 전자음악장치
FR2634496B1 (fr) * 1988-07-25 1992-06-19 Centre Nat Rech Scient Polysaccharides, procede pour leur preparation par culture de pseudomonas paucimobilis et application des souches en agriculture
US5076205A (en) * 1989-01-06 1991-12-31 General Signal Corporation Modular vapor processor system
FR2644567A1 (fr) * 1989-03-17 1990-09-21 Etudes Const Mecaniques Dispositif pour l'execution de traitements thermiques enchaines en continu sous vide
DE3934103A1 (de) * 1989-10-12 1991-04-25 Ipsen Ind Int Gmbh Ofen zur partiellen waermebehandlung von werkzeugen
JPH04309786A (ja) * 1991-04-09 1992-11-02 Tokai Konetsu Kogyo Co Ltd 真空連続熱処理炉
JP3118612B2 (ja) * 1991-09-30 2000-12-18 株式会社トウネツ 熱処理設備
JP3289949B2 (ja) * 1992-04-27 2002-06-10 パーカー熱処理工業株式会社 密閉循環式ガス焼入装置及びガス焼入方法
JP3781787B2 (ja) * 1993-10-26 2006-05-31 株式会社半導体エネルギー研究所 多目的基板処理装置およびその動作方法および薄膜集積回路の作製方法
FR2719893B1 (fr) * 1994-05-13 1996-08-02 Europ Propulsion Dispositif de chargement d'un four spatial automatique.
DE4442903A1 (de) * 1994-12-02 1996-06-05 Hans Ruediger Dr Ing Hoffmann Vakuumkammerofenanlage in einem senkrecht stehenden Behälter, der der Länge nach in drei etwa gleichgroße Kammern unterteilt ist, von denen die beiden äußeren während des Betriebs stets unter Überdruck stehen
JP3490791B2 (ja) * 1994-12-20 2004-01-26 光洋サーモシステム株式会社 多室熱処理炉

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